【図1】本実施の形態にかかる接合システムの構成の概略を示す平面図である。

【図2】本実施の形態にかかる接合システムの内部構成の概略を示す側面図である。

【図3】上ウェハと下ウェハの構成の概略を示す側面図である。

【図4】接合装置の構成の概略を示す横断面図である。

【図5】接合装置の構成の概略を示す縦断面図である。

【図6】位置調節機構の構成の概略を示す側面図である。

【図7】反転機構の構成の概略を示す平面図である。

【図8】反転機構の構成の概略を示す側面図である。

【図9】反転機構の構成の概略を示す側面図である。

【図10】保持アームと保持部材の構成の概略を示す側面図である。

【図11】接合装置の内部構成の概略を示す側面図である。

【図12】上部撮像部の構成の概略を示す説明図である。

【図13】上チャックと下チャックの構成の概略を示す縦断面図である。

【図14】上チャックを下方から見た平面図である。

【図15】下チャックを上方から見た平面図である。

【図16】乾燥空気供給源の構成の概略を示す説明図である。

【図17】ウェハ接合処理の主な工程を示すフローチャートである。

【図18】上部撮像部と下部撮像部の水平方向位置を調節する様子を示す側面視における説明図である。

【図19】上ウェハと下ウェハの水平方向位置を調節する様子を示す説明図である。

【図20】上ウェハと下ウェハの鉛直方向位置を調節する様子を示す説明図である。

【図21】仕切板を下降させた状態を示す説明図である。

【図22】上ウェハの中心部と下ウェハの中心部を当接させて押圧する様子を示す説明図である。

【図23】上ウェハを下ウェハに順次当接させる様子を示す説明図である。

【図24】上ウェハの表面と下ウェハの表面を当接させた様子を示す説明図である。

【図25】上ウェハと下ウェハが接合された様子を示す説明図である。

【図26】他の実施の形態にかかる乾燥空気供給源の構成の概略を示す説明図である。