特許6047508荷電粒子線装置、試料画像取得方法、およびプログラム記録媒体

発明の名称　荷電粒子線装置、試料画像取得方法、およびプログラム記録媒体

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 175 位（48件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 65 位（96件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6047508

公報発行日　2016年12月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6047508

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