【図1】本発明の第１の実施の形態に係るアンテナモジュールの模式的平面図である。

【図2】図１のアンテナモジュールのＡ−Ａ線模式的断面図である。

【図3】フリップチップ実装法による半導体素子の実装を示す模式図である。

【図4】ワイヤボンディング実装法による半導体素子の実装を示す模式図である。

【図5】本実施の形態に係るアンテナモジュールの受信動作を示す模式的平面図である。

【図6】本実施の形態に係るアンテナモジュールの送信動作を示す模式的平面図である。

【図7】本実施の形態に係るアンテナモジュールの指向性を説明するための模式的側面図である。

【図8】本実施の形態に係るアンテナモジュールの指向性の変更を説明するための模式的側面図である。

【図9】本実施の形態に係るアンテナモジュールの第１の変形例を示す模式的平面図である。

【図10】本実施の形態に係るアンテナモジュールの第２の変形例を示す模式的斜視図である。

【図11】シミュレーションおよび実験に用いたアンテナモジュールの寸法を説明するための模式的平面図である。

【図12】誘電体膜の厚みと放射効率との関係のシミュレーション結果を示す図である。

【図13】誘電体膜の比誘電率と放射効率との関係のシミュレーション結果を示す図である。

【図14】アンテナモジュールの評価システムの構成を示すブロック図である。

【図15】０．１２ＴＨｚおよび０．３ＴＨｚのテラヘルツ波の伝送時のＢＥＲの測定結果を示す図である。

【図16】０．１２ＴＨｚのテラヘルツ波の伝送時にオシロスコープで観測されるベースバンド信号のアイパターンを示す図である。

【図17】０．３ＴＨｚのテラヘルツ波の伝送時にオシロスコープで観測されるベースバンド信号のアイパターンを示す図である。

【図18】データ伝送速度が８．５Ｇｂｐｓである場合におけるＢＥＲの測定結果を示す図である。

【図19】データ伝送速度が８．５Ｇｂｐｓである場合にオシロスコープで観測されるベースバンド信号のアイパターンを示す図である。

【図20】実験およびシミュレーションでのアンテナモジュールの受信角度の定義を説明するための模式図である。

【図21】アンテナモジュールの指向性の水平距離依存性の測定結果を示す図である。

【図22】０．１２ＴＨｚのテラヘルツ波の受信時の指向性の測定結果を示す図である。

【図23】０．３ＴＨｚのテラヘルツ波の受信時の指向性の測定結果を示す図である。

【図24】０．３ＴＨｚのテラヘルツ波の受信時の指向性の測定結果および計算結果を示す図である。

【図25】アンテナモジュールを折り曲げない場合の３次元電磁界シミュレーションの結果を示す図である。

【図26】アンテナモジュールを折り曲げた場合の３次元電磁界シミュレーションの結果を示す図である。

【図27】アンテナモジュールを折り曲げない場合および折り曲げた場合におけるアンテナ利得の計算結果を示す図である。

【図28】本発明の第２の実施の形態に係るアンテナモジュールの模式的平面図である。

【図29】図２８のアンテナモジュールのＢ−Ｂ線模式的断面図である。

【図30】アンテナモジュールの方向の定義を説明するための図である。

【図31】図２８のアンテナモジュールの３次元電磁界シミュレーションの結果を示す図である。

【図32】図２８のアンテナモジュールの反射損失の計算結果を示す図である。

【図33】本実施の形態に係るアンテナモジュールの変形例を示す模式的平面図である。

【図34】アンテナモジュールの方向の定義を説明するための図である。

【図35】図３３のアンテナモジュールの３次元電磁界シミュレーションの結果を示す図である。

【図36】図３３のアンテナモジュールの反射損失の計算結果を示す図である。

【図37】本発明の第３の実施の形態に係るアンテナモジュールの模式的平面図である。

【図38】図３７のアンテナモジュールのＢ−Ｂ線模式的断面図である。

【図39】図３７のアンテナモジュールの模式的斜視図である。

【図40】図３７のアンテナモジュールの製造方法を示す模式的工程断面図である。

【図41】支持体−電極間距離を変化させた場合におけるアンテナ利得の変化の計算結果を示す図である。

【図42】支持体−電極間距離を変化させた場合におけるアンテナ利得の変化の計算結果を示す図である。

【図43】電磁波の周波数を０．１５ＴＨｚから０．３０ＴＨｚまで変化させた場合における最大アンテナ利得の計算結果を示す図である。

【図44】アンテナモジュールが支持体を有する場合および支持体を有しない場合におけるアンテナ利得の計算結果を示す図である。