特許6049043マイクロリソグラフィ投影露光系のチャネルの欠陥を補償するための装置及び方法

発明の名称　マイクロリソグラフィ投影露光系のチャネルの欠陥を補償するための装置及び方法

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 494 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6049043

公報発行日　2016年12月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6049043

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