【図1】本発明のプラズマ処理装置の一例を示す縦断面である。

【図2】前記プラズマ処理装置の横断平面図である。

【図3】前記プラズマ処理装置の横断平面図である。

【図4】前記プラズマ処理装置のプラズマ発生容器を拡大して示す縦断面図である。

【図5】前記プラズマ発生容器を示す斜視図である。

【図6】前記プラズマ発生容器の一部を示す斜視図である。

【図7】前記プラズマ発生容器の一部を示す斜視図である。

【図8】前記プラズマ発生容器を示す分解斜視図である。

【図9】前前記プラズマ発生容器を示す分解斜視図である。

【図10】前記プラズマ発生容器に設けられるファラデーシールドを示す斜視図である。

【図11】前記ファラデーシールドを示す側面図である。

【図12】前記プラズマ発生容器を示す平面図である。

【図13】前記ファラデーシールドのスリットの開口面積を調整するためのシャッターを示す斜視図である。

【図14】前記プラズマ処理装置における補助プラズマ発生部を示す縦断面図である。

【図15】前記補助プラズマ発生部を示す分解斜視図である。

【図16】前記補助プラズマ発生部を示す平面図である。

【図17】前記プラズマ処理装置を周方向に切断した様子を模式的に示す縦断面図である。

【図18】前記プラズマ処理装置の作用を概略的に示す縦断面図である。

【図19】前記プラズマ処理装置の作用を概略的に示す縦断面図である。

【図20】前記プラズマ処理装置の作用を概略的に示す横断平面図である。

【図21】前記プラズマ処理装置の作用を概略的に示す横断平面図である。

【図22】前記プラズマ処理装置の他の例を示す分解斜視図である。

【図23】前記プラズマ処理装置の別の例を示す分解斜視図である。

【図24】前記別の例における作用を示す側面図である。

【図25】前記別の例における作用を示す側面図である。

【図26】前記プラズマ処理装置の更に他の例を示す斜視図である。

【図27】前記プラズマ処理装置の他の例を示す側面図である。

【図28】前記プラズマ処理装置の他の例を示す分解斜視図である。

【図29】前記プラズマ処理装置の他の例を示す縦断面図である。

【図30】前記プラズマ処理装置の他の例を示す縦断面図である。

【図31】前記プラズマ処理装置の他の例を示す横断平面図である。