特許6051917IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体発光素子の検査方法及びこの検査方法を含む半導体発光素子の製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

前記したように、特許文献1に記載された検査方法は、活性層の発光不良に起因する色相又は光強度の良品との違いを検知することで、発光素子の良否を判定するものである。
これに対し、本願の発明者は、フォトルミネッセンス効果による活性層から放出される光に、本来の波長の光に加えて、これより短波長の光が混ざって観察されることがあり、発光色の色調が良品と異なるほかに、この短波長の光が観察された発光素子は、初期に十分な光強度を有していても、使用を続ける間に光強度が低下し、又は故障して発光しなくなる恐れがあることを見出した。ここで、本発明の検査方法が検出対象とする不良品の発光色の色相は、特許文献1に記載された検査方法が検出対象とする不良品の発光色の色相とは異なるものである。このため、特許文献1に記載の検査方法では、短波長の光が混ざって放出される発光素子を、不良品として適切に検出することができなかった。 本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、光照射によって励起された半導体発光素子から放出される蛍光の画像を解析して不良品を適切に検出する半導体発光素子の検査方法及びこの検査方法を工程として含む半導体発光素子の製造方法を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

前記した課題を解決するために、本発明に係る半導体発光素子の検査方法は、所定の第1波長の光を発光する活性層を有する半導体発光素子の検査方法であって、前記半導体発光素子に前記第1波長よりも短波長の照射光を照射し、前記活性層からの蛍光を複数の色成分に分解して撮影した画像を入力する画像入力工程と、前記画像から、前記半導体発光素子が撮影された領域を検査領域として抽出する検査領域抽出工程と、前記第1波長・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明に係る半導体発光素子の検査方法によれば、活性層から本来の波長よりも短波長の蛍光を放出する半導体発光素子を不良品として判定するため、良品と色調が異なり、使用を続ける間に光強度が低下、又は故障して発光しなくなる恐れがある半導体発光素子を適切に判定することができる。
また、本発明に係る半導体発光素子の製造方法によれば、かかる検査方法による良否の判定結果に基づいて半導体発光素子を選別するため、不良品を適切に除外することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の第1半導体発光素子の検査方法を実施するための検査装置の構成を示す図である。

【図2】本発明の第1半導体発光素子の検査方法の概要を説明するための説明図であり、(a)〜(d)は、それぞれ蛍光画像の輝度成分、R成分、G成分及びB成分を示し、(e)は輝度不足の発光素子を示し、(d)は青色光を発光する発光素子を示す。

【図3】本発明の第1半導体発光素子の検査方法の概要を説明するための説明図である。

【図4】本発明の第1半導体発光素子の検査方法において、検査対象の構成を示す模式図であり、(a)は底面図、(b)は(a)の部分拡大図、(c)は(b)のA−A線における断面図である。

【図5】本発明の第1発光導体発光素子の検査方法の流れを示すフローチャートである。

【図6】本発明の第2発光導体発光素子の製造方法の流れを示すフローチャートである。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 検査装置   2 撮影装置(画像入力手段)   21 照明光源   22 撮像手段   23 ダイクロイックミラー   24 対物レンズ   25 載置台   3 解析装置   31 検査領域抽出手段   32 検査領域情報記憶手段   33 輝度平均判定手段(光強度平均判定手段)   34 輝度分散判定手段(光強度ばらつき判定手段)   35 色判定手段   36 総合判定手段   37 判定結果記憶手段   10 半導体発光素子(発光素子)   11 成長基板   12 半導体積層体   12n n型半導体層   12p p型半導体層   12a 活性層   12b 凹部   13n n側電極   13p p側電極   13a 全面電極   13b 延伸部   14 保護膜   15 分割領域   15a 基準点   15b 境界線   16 発光領域   W 検査対象

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