【図1】実施の形態に係わる液処理装置の縦断側面図である。

【図2】前記液処理装置の平面図である。

【図3】ウエハ及びこれを囲むガイドリングの平面図である。

【図4】前記回転カップ、上側ガイドリング及び下側ガイドリングの配置位置を示す縦断側面図である。

【図5】前記上側ガイドリング及び下側ガイドリングの作用を示す縦断側面図である。

【図6】他の実施の形態に係わるガイドリングの縦断側面図である。

【図7】さらに他の実施の形態に係わるガイドリングの縦断側面図である。

【図8】第２の液処理装置の縦断側面図である。

【図9】前記第２の液処理装置の平面図である。

【図10】前記第２の液処理装置に設けられている回転カップの昇降機構を示す第１の説明図である。

【図11】前記回転カップの昇降機構を示す第２の説明図である。

【図12】第３の液処理装置の縦断側面図である。

【図13】前記第３の液処理装置に設けられている円錐蓋の昇降機構を示す第１の説明図である。

【図14】前記円錐蓋の第２の説明図である。