特許6052440IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献1又は2に記載の感光性樹脂組成物を使用した場合でも、近年要求される解像度については改善の余地がある。また、本発明者らの検討により、特許文献3に記載の感光性樹脂組成物を使用すると、レジストパターンを形成する際のめっき工程において、レジストの端部でのめっき液への耐性(以下、「めっき耐性」という。)が低くなり、めっきもぐりが生じる点で改善の余地があることが判明した。 めっき耐性を向上する手法としては、レジストに疎水性化合物を付与する手法や、ガラス転移温度を向上させる手法が一般的である。しかしながら、これらの手法では、疎水性向上により現像スカムの発生や、レジストの剥離残渣付着が生じたり、ガラス転移温度の向上によりレジスト柔軟性が低下し、めっきもぐりが改善されなかったりする問題があることを本発明者らは見出した。 また、レジストに親水性化合物を付与することで、レジスト柔軟性を向上させる手法を本発明者らは試みたが、レジストの密着性及びめっき耐性の低下がみられ、SAPに要求される微細配線形成を形成可能であり、且つめっき耐性に優れた感光性樹脂組成物を製造することは困難であった。 本発明は問題点に鑑みてなされたものであり、解像度及び密着性に優れ、且つめっき耐性が良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第一の態様は、(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分が、(a1)ベンジル(メタ)アクリレート誘導体由来の構成単位を50〜80質量%、(a2)スチレン誘導体由来の構成単位を5〜40質量%、(a3)(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位を1〜20質量%、及び(a4)(メタ)・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば解像度及び密着性に優れ、且つ薄板基材上においてもめっき耐性に優れる感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1…感光性エレメント、10…支持フィルム、20…感光性樹脂組成物層。

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