【図1】本発明の一実施形態における誘導結合型プラズマ処理装置の構成を示す縦断面図である。

【図2】図１のプラズマ処理装置におけるＲＦアンテナおよびフローティングコイルの配置構成（レイアウト）および電気的結線構成を示す斜視図である。

【図3】図１のプラズマ処理装置におけるＲＦアンテナおよびフローティングコイルの配置構成（レイアウト）および電気的結線構成を示す略平面図である。

【図4】フローティングコイル内の可変コンデンサの静電容量を可変したときの作用を説明するためのモデル（基本構成）を示す図である。

【図5】フローティングコイル内の可変コンデンサの静電容量を可変したときにアンテナ電流と誘導電流の比が変化する特性を示す図である。

【図6】図４のモデルの一変形例を示す図である。

【図7】図４または図６のモデルにおいて相互インダクタンスと角周波数との積がフローティングコイルの半径に依存する特性を示す図である。

【図8】本発明の第２の実施形態における誘導結合型プラズマ処理装置の構成を示す縦断面図である。

【図9】図８のプラズマ処理装置におけるＲＦアンテナおよびフローティングコイルの配置構成（レイアウト）および電気的結線構成を示す斜視図である。

【図10】図８のプラズマ処理装置におけるＲＦアンテナおよびフローティングコイルの配置構成（レイアウト）および電気的結線構成を示す略平面図である。

【図11】一実施例によるフローティングコイルの構成を示す斜視図である。

【図12A】一実施例によるフローティングコイルの構成を示す斜視図である。

【図12B】図１２Ａのフローティングコイルにおける切れ目の構成を示す平面図である。

【図12C】図１２Ｂの切れ目構造の一変形例を示す部分拡大平面図である。

【図13A】一実施例によるフローティングコイルの構成を示す図である。

【図13B】フローティングコイルにおけるコイル導体の断面形状を示す断面図である。

【図14】一実施例によるフローティングコイルの構成を示す斜視図である。

【図15】図１４のフローティングコイルの一変形例を示す斜視図である。

【図16】フローティングコイルに可変コンデンサを一体に作り込む一実施例を示す一部断面正面図である。

【図17】コンデンサと直列接続および／または並列接続でスイッチを設ける構成を示す等価回路図である。

【図18】図１６の実施例の作用を説明するための要部の断面図である。

【図19】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図20】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図21】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図22】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図23】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図24】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図25】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図26】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図27】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図28】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図29】ＲＦアンテナおよびフローティングコイルのレイアウトに関する別の実施例を示す図である。

【図30】３系統のアンテナコイルに関する一実施例を示す図である。

【図31】３系統のアンテナコイルに関する別の実施例を示す図である。

【図32】３系統のアンテナコイルに関する一実施例を示す図である。

【図33】３系統のアンテナコイルに関する別の実施例を示す図である。

【図34】３系統のアンテナコイルに関する別の実施例を示す図である。

【図35】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける一実施例を示す図である。

【図36】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図37】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図38】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図39】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図40】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図41】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図42】フローティングコイルのループ内に固定コンデンサを設ける別の実施例を示す図である。

【図43】ＲＦアンテナにインピーダンス調整部を設けない実施例を示す図である。

【図44】ＲＦアンテナにインピーダンス調整部を設けない別の実施例を示す図である。

【図45】ＲＦアンテナにインピーダンス調整部を設けない別の実施例を示す図である。

【図46】ＲＦアンテナにインピーダンス調整部を設けない別の実施例を示す図である。

【図47】ＲＦアンテナと高周波給電部の整合器との間にトランスを設ける構成例を示す図である。