特許6055537プラズマ処理方法

発明の名称　プラズマ処理方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 36 位（601件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（798件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社ダイヘン　（識別番号 262）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（256件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 267 位（107件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6055537

公報発行日　2016年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6055537

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