特許6063879集積回路デバイス、光デバイス、マイクロマシン及び線幅５０ｎｍ以下のパターニングされた材料層を有する機械的精密デバイスの製造方法

発明の名称　集積回路デバイス、光デバイス、マイクロマシン及び線幅５０ｎｍ以下のパターニングされた材料層を有する機械的精密デバイスの製造方法

出願人　ビーエーエスエフ　ソシエタス・ヨーロピア　（識別番号 508020155）

　　　　特許公開件数ランキング 119 位（250件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 214 位（132件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6063879

公報発行日　2017年1月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6063879

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