特許 6067050 ソーイングワイヤーによってワークピースからウェハをスライスするための方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6067050

(24)【登録日】2017年1月6日

(45)【発行日】2017年1月25日

(54)【発明の名称】ソーイングワイヤーによってワークピースからウェハをスライスするための方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20170116BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20170116BHJP

   B28D 5/04 20060101ALI20170116BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/304 611W

   B24B27/06 Q

   B28D5/04 C

【請求項の数】5

【外国語出願】

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2015-75900(P2015-75900)

(22)【出願日】2015年4月2日

(65)【公開番号】特開2015-201641(P2015-201641A)

(43)【公開日】2015年11月12日

【審査請求日】2015年5月19日

(31)【優先権主張番号】10 2014 206 488.0

(32)【優先日】2014年4月4日

(33)【優先権主張国】DE

(31)【優先権主張番号】10 2015 200 198.9

(32)【優先日】2015年1月9日

(33)【優先権主張国】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】599119503

【氏名又は名称】ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト

【氏名又は名称原語表記】Ｓｉｌｔｒｏｎｉｃ ＡＧ

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】クラウディア・ラインハルト

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−３０９０１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０７４７９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５１−１３７９９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／０２８８６５１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２８Ｄ ５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ソーイングワイヤー２ａによってワークピース３からウェハをスライスするための方法であって、前記ソーイングワイヤー２ａは平行に配される多数のワイヤーセクションを含むワイヤーウェブ２を形成し、前記ワイヤーウェブは少なくとも２つのガイドロール１によってクランプされ、前記ソーイングワイヤー２ａは、前記少なくとも２つのワイヤーガイドロール１によって、２つの横方向面において互いの間に距離Ａを有する溝４を通じてガイドされており、各前記溝４は幅Ｃを有し、ワイヤー２ａがワイヤーソーイングの間に挿入されない少なくとも１つの溝４ａが、ワイヤーをガイドする前記溝４のそばに存在し、前記溝４および４ａのそれぞれの幅Ｃはワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へと減少する、方法。

【請求項2】

２つの前記溝４同士の間の前記距離Ａは、前記ワイヤーガイドロール１の全長に亘って一定である、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

２つの前記溝４同士の間の前記距離Ａは、ワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へと減少する、請求項１に記載の方法。

【請求項4】

前記ワイヤーをガイドする溝４がひとたび摩耗すると、前記ソーイングワイヤー２ａは、まだ前記ソーイングワイヤー２ａをガイドしていない最も近い隣接した前記溝４ａに巻回される、請求項１〜３にいずれか１項に記載の方法。

【請求項5】

第１の規定された回数のソーイングプロセスのために前記ワイヤーをガイドする溝４がひとたび使用されると、前記ソーイングワイヤー２ａは、まだ前記ソーイングワイヤー２ａをガイドしていない最も近い隣接した前記溝４ａに周期的に巻回され、前記ソーイングワイヤー２ａは、第２の規定された回数のソーイングプロセスの後、以前に用いられたワイヤーガイド溝４に巻回される、請求項１〜４にいずれか１項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

発明の詳細な説明
本発明は、少なくとも２つのワイヤーガイドロールがワイヤーウェブをクランプする、ソーイングワイヤーを使用してワークピースからウェハをスライスするための方法に関する。各ワイヤーガイドロールはその横方向面に多数の溝を有し、ワイヤーソーイングの間にワイヤーが挿入されない少なくとも１つの溝がワイヤーガイド溝のそばに存在し、ワイヤーガイド溝の摩耗の後または規定された回数のソーイングプロセスの後に、ソーイングワイヤーはそれぞれ、まだ摩耗または使用されていない以前に占有されていなかった溝に巻回される。

【背景技術】

【0002】

電子技術、超小形電子技術、および超小形電気機械技術では、グローバル平坦性およびローカル平坦性、片面基準のローカル平坦性（ナノトポロジー）、粗さならびに清浄さからなる非常に厳しい要求がある半導体ウェハが出発物質（基板）として必要とされる。半導体ウェハは、半導体材料から構成されるウェハであり、より特定的には、砒化ガリウムのような化合物半導体、主として、シリコンおよび場合によってはゲルマニウムのような元素半導体から構成される。

【0003】

先行技術に従うと、半導体ウェハは、多数の連続的なプロセスステップで製造される。例として、第１のステップでは、半導体材料から構成される単結晶（ロッド）が、チョクラルスキー法（Czochralski method）によって引き出されるか、または、半導体材料から構成される多結晶ブロックが鋳造される。さらに別のステップにおいて、半導体材料から構成される得られた円形円筒状またはブロック形状のワークピース（「インゴット」）がワイヤーソーによって個々の半導体ウェハへと分離される。

【0004】

この場合、シングルカットワイヤーソーと、以下ＭＷソー（ＭＷ＝複数のワイヤー（multiple wire））として指定される複数のワイヤーソーとの間に違いが存在する。ＭＷソーは特に、たとえば半導体材料から構成されるロッドであるワークピースが１つのワークステップで多数のウェハに切断されるように意図される場合に用いられる。

【0005】

ＵＳ−５ ７７１ ８７６は、半導体ウェハを製造するのに好適なワイヤーソーの機能的な原理について記載する。これらのワイヤーソーの本質的な構成要素は、マシンフレームと、フィードデバイスと、平行なワイヤーセクションから構成されるウェブ（「ワイヤーウェブ」）からなるソーイングツールとを含む。

【0006】

たとえば、ＭＷソーはＥＰ ９９０ ４９８ Ａ１に開示される。この場合、結合砥粒粒子でコーティングされた長いソーイングワイヤーが、ワイヤースプール上を螺旋状に延在し、１つ以上のワイヤーウェブを形成する。

【0007】

一般に、ワイヤーウェブは、少なくとも２つのワイヤーガイドロールの間にクランプされる多数の平行なワイヤーセクションから形成されており、ワイヤーガイドロールが回転可能な態様で搭載され、それらの少なくとも１つが駆動される。ワイヤーガイドロールには通常、たとえばポリウレタンのようなコーティングが施されている。ＤＥ １０ ２００７ ０１９ ５６６ Ｂ４およびＤＥ １０ ２０１０ ００５ ７１８ Ａ１に従うと、ソーイングワイヤーをガイドするための多数の溝がワイヤーガイドロールのコーティングに切り込まれ、すべての溝は、湾曲した溝基部と、特有の開口角度を有する溝側面とを有する。

【0008】

ワイヤーガイドロールの長手方向軸は、ワイヤーウェブにおいてソーイングワイヤーに概して垂直に方向付けされる。

【0009】

半導体材料から構成されるウェハの製造には、スライスプロセスの正確性について特に厳格な要件が存在する。この目的のために、ソーイングワイヤーがガイドされるワイヤーガイドロール上の多数の溝が正確に平行に延在し、溝およびソーイングワイヤーが１つの線上に存在する（整列する）ことが重要である。

【0010】

ＤＥ １０２ ３７ ２４７ Ａ１に従うと、ワイヤーガイドロール上の２つの溝の間の距離は同一であり得、または、ワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へと減少し得る。溝同士の間の距離の低減は、ワイヤーの直径がソーイングプロセスの間に減少することを状況を考慮しており、そのため、ソーイングワイヤーがより薄くなるにもかかわらず、溝同士の間の距離が低減する結果、均一厚さのウェハがワークピースからスライスされる。

【0011】

ソーイングワイヤーとの連続的な接触の結果、ワイヤーガイドロールのコーティングと、コーティングに切り込まれた溝とは、摩耗にさらされ、いわゆる位置合わせエラーを回避するために定期的に再生される必要がある。たとえば、ワイヤーガイドロールの溝と上記溝に存在するワイヤーとがもはや直線上に存在しない場合には、位置合わせエラーは、たとえばスライスされた半導体ウェハの表面上のソーマークまたはソーグルーブといった損傷に繋がり得る。

【0012】

ワイヤーガイドロールの溝は、摩耗すると、再生される必要がある。この目的のために、一般にワイヤーガイドロールはワイヤーソーからを取り外されなければならず、ワイヤーガイドロールのコーティングの表面へ新しいコーティングおよび／または新しい溝を導入することが必要である（ワイヤーガイドロールへの溝の付与）。定期的に行なわれる必要があるこの作業はワイヤーソーの停止につながるので、当該方法の経済的妥当性が制限される。

【0013】

したがって、摩耗した溝の再生、すなわち、ワイヤーガイドロールへの溝の付与の間の時間的な間隔を長くすることが望ましい。これはたとえば、好適な材料でワイヤーガイドロールをコーティングすることにより行うことができる。

【0014】

ポリウレタン（ＰＵ）から構成されるコーティングを有するワイヤーガイドロールが通常使用される。ポリウレタンは、遊離した固体（研磨材）を含む液体の研磨媒体（スラリー）または接合した粒子を有するソーイングワイヤーによる摩滅に高い抵抗性がある。

【0015】

しかしながら、ワイヤーガイドロールのコーティングは、柔らかすぎてはならず、また固すぎてもならない。柔らかすぎる材料の場合には、コーティングは、溝の塑性変形に対して十分に抵抗性がなく、これにより溝形状の望ましくない変更につながる。固すぎる材料の場合には、ワイヤーとワイヤーガイドロールとの間の摩擦係合がもはや保証され得ず、その結果、ワイヤーウェブはもはや最適に動かされ得なくなる。

【0016】

ワイヤーガイドロールのコーティングの摩耗を低減するために、ＪＰ ２００６１０２９１７ Ａ２は、単にウレタンからなるコーティングよりもコーティングが有意に固くなるように、５〜３０重量％の炭化珪素粒子を含むウレタンの形態にあるコーティングを提案している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0017】

【特許文献1】ＵＳ−５ ７７１ ８７６

【特許文献2】ＥＰ ９９０ ４９８ Ａ１

【特許文献3】ＤＥ １０ ２００７ ０１９ ５６６ Ｂ４

【特許文献4】ＤＥ １０ ２０１０ ００５ ７１８ Ａ１

【特許文献5】ＤＥ １０２ ３７ ２４７ Ａ１

【特許文献6】ＪＰ ２００６１０２９１７ Ａ２

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0018】

より固いコーティングによって、摩耗した溝の再生の時間的な間隔が長くなるが、これには上記の欠点が存在する。

【0019】

したがって、本発明の目的は、コーティングには固すぎる材料の欠点を有することなく、ワイヤーガイドロールの摩耗した溝の再生の間の時間的な間隔が長くなり、これによりワイヤーソーの停止時間が低減される、ワイヤーソーによってワークピースから多数のウェハをスライスするための方法を提供することであった。

【課題を解決するための手段】

【0020】

ソーイングワイヤー２ａによってワークピース３からウェハをスライスするための方法によって上記の目的が達成される。上記方法は、上記ソーイングワイヤー２ａが平行に配される多数のワイヤーセクションを含むワイヤーウェブ２を形成し、上記ワイヤーウェブは少なくとも２つのガイドロール１によってクランプされ、上記ソーイングワイヤー２ａは、上記少なくとも２つのワイヤーガイドロール１によって、２つの横方向面において互いの間に距離Ａを有する溝４を通じてガイドされており、ワイヤー２ａがワイヤーソーイングの間に挿入されない少なくとも１つの溝４ａが、ワイヤーをガイドする溝４のそばに存在することを特徴とする。

【0021】

本発明および好ましい実施形態を以下に詳細に記載する。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】平行に延在するワイヤーセクションから形成されたワイヤーウェブ２がその間を延在する２つのワイヤーガイドロール１を含む、先行技術に従ったワイヤーソーを示す図であって、上記ワイヤーウェブは、ワークピース受け部（図示せず）に固定されるワークピース３へと切り込まれる図である。明瞭さの理由により、ワイヤーソーは、たとえば偏向ロールのない非常に簡易な態様で示される。

【図2】距離Ａを有し幅Ｃ（カーフロス）および深さＴを有する溝４を有するワイヤーガイドロール１の断面を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

先行技術に従うと、ワイヤー２ａは各溝４（図２ａ）に挿入される。本発明に従ったワイヤーガイドロールの場合には、ワイヤーガイドロールの第１のライフサイクルにおいて、ｎ番目ごとの溝（ｎ≧２）のみがワイヤー２ａ（図２ｂ）によって占有される。たとえばワイヤー２ａによって占有された溝４が摩耗された場合（第１のライフサイクルの終了；図２ｃにおいて深くなった凹部として示される）、ワイヤー２ａが隣接しまだ未使用である溝４ａに挿入される（図２ｃ）。図２において、例として、溝４および４ａのそれぞれが一定の距離Ａを有しており、Ａは、２つの溝４同士の間の内側の距離Ｂと溝４の幅（カーブロス）Ｃとの合計すなわちＡ＝Ｂ＋Ｃ（式（１））であり、Ｄは第１の溝４とｎ＋２の溝４との間の内側の距離であり、ｎは第１の溝４の数である。図２ａにおいて、Ｄは、第１の溝４と第３の溝４との間の内側の距離であり、Ｄ＝２ｘＢ＋Ｃ（式（２））として規定される。

【0024】

本発明に従った、ワイヤーガイドロールを使用してワイヤーソーによってワークピース３から多数のウェハをスライスするための方法は、溝が設けられたガイドロール１を介してソーイングワイヤー２ａがガイドされる任意のワイヤーソーにおいて実現され得る。

【0025】

ワイヤーガイドロール１は、ロールコアの周りを軸方向に回転可能に搭載される概して円形円筒状のロールであり、ワイヤーガイドのための溝４が切り込まれている外側横方向面と、２つの側面とを有するケーシングを有する。ワイヤーガイド長さは好ましくは、先行技術に従ったワイヤーガイドロールの長さに対応する。

【0026】

ソーイングワイヤー２ａは、少なくとも２つのワイヤーガイドロール１によってクランプされたワイヤーウェブ２を介して、供給スプール（ディスペンサーロール）からレシーバースプール（巻取ロール）上に巻回される。当該ワイヤーウェブは、互いに平行に配される多数のワイヤーセクションを含む。ソーイングプロセスの間、ソーイングワイヤー２ａは、一方向にのみ巻回され得るか、または、方向を周期的に変更して巻回され得る（ピルグリムステップ法（pilgrim step method））。

【0027】

第１の実施形態において、ワイヤーガイドロール１は単一の材料のみからなる、すなわち、ワイヤーガイドロール１の横方向面はワイヤーガイドロール１のロールコアと同じ材料からなる。

【0028】

第１の実施形態において、ワイヤーガイドロール１は、たとえばＤＥ １０ ２００７ ０１９ ５６６ Ｂ４に開示されるように、好ましくはポリエステルベースまたはポリエーテルベースのポリウレタンからなる。この実施形態において、ワイヤーガイドロール１のケーシングは、長手方向軸の方向に延在するワイヤーガイドロール１の表面である横方向面とロールコアとの間の境界を定めない層厚さによって形成される。

【0029】

第２の実施形態において、ワイヤーガイドロール１のロールコアは第１の材料からなり、好ましくは鋼、アルミニウム、またはたとえばガラス繊維強化プラスチックもしくは炭素繊維強化プラスチックといった複合材料からなり、また、ワイヤーガイドロール１のケーシングは第１の材料と同一または異なり得る第２の材料からなる。第２の材料は、第１の材料を厚さＭにて少なくとも長手方向に囲む。ケーシングの厚さＭは、好ましくは０．５ｍｍと５０ｍｍとの間であり、特に好ましくは３ｍｍと２５ｍｍとの間である。

【0030】

第２の実施形態において、ロールコアは第２の材料でカバーまたはコーティングされる。当該カバーまたはコーティングは、たとえば接着結合によって固定的にロールコアに接続され得るか、または、たとえば横方向のクランピングリングを介してロールコアに接続される除去可能なカバーの形で実施され得る。

【0031】

第２の実施形態において、ワイヤーガイドロール１のケーシング（カバー，コーティング）は好ましくは、たとえばＤＥ １０ ２００７ ０１９ ５６６ Ｂ４において開示されるようなポリエステルベースのポリウレタンまたはポリエーテルベースのポリウレタンと、コポリマーとからなり、適切な場合、混合剤と混合される。

【0032】

以下、「ケーシング」という用語は、ロールコアが、第２の材料からなりロールコアに対して境界を定めることが可能である外側コーティングを有するかどうかと無関係に使用される。

【0033】

各々の場合において、距離Ａを有する、ケーシングに切り込まれた溝４はソーイングワイヤーをガイドするために機能する。すなわち、ソーイングワイヤーは溝４に存在する。ワイヤーガイドロール１の溝４は好ましくは、同一の深さＴのものである。溝４の深さＴは好ましくは５０〜１５００μｍの範囲内である。

【0034】

個々の溝４の幅Ｃは好ましくは同一である。ワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側までの溝４の幅Ｃの連続的な低減も、ワークピース３へのワイヤーウェブ２のワイヤーセクションの貫入の間に摩耗の結果直径が減少するソーイングワイヤー２ａの最適なガイドを保証するために、同様に好ましい。

【0035】

溝４は好ましくは、後で溝４にガイドされるソーイングワイヤーがワイヤーガイドロール１のそれぞれの回転軸に対して直交して延在するように、水平面において互いに反対に位置する２つのワイヤーガイドロール１上に同一に位置決めされる。したがって、ソーイングされるワークピース３の長手方向軸に関して垂直なワークピース３中へのワイヤーウェブ２の切り込みも保証される。

【0036】

その後のワイヤーガイドのための溝４は、好ましくは機械的にワイヤーガイドロール１のケーシングへ導入され、特に好ましくはレーザーによって光学的に導入される。

【0037】

先行技術に従ったワイヤーガイドロール１の場合には、ケーシングにおける溝４は各々ソーイングワイヤーによって占有されており、溝４は互いから距離Ａ（ピッチ）にあり、距離Ａは溝の中心同士の間を測定したものである。本発明に従ったワイヤーガイドロール１の場合には、各ｎ番目の溝４（ｎ≧２）のみがワイヤーによって占有されており、ワイヤー２ａによって占有されていない少なくとも１つの溝４ａが、ワイヤー２ａに占有され互いに距離Ａにある２つの溝４の間に存在する。

【0038】

ワイヤーによって占有された２つの溝４同士の間の距離Ａは、ワークピース３からスライスされるウェハの目標厚さと、使用されるソーイングスラリーと、ワイヤー２ａの直径（厚さ）とによって実質的に決定される。ワイヤー２ａによって占有される２つの溝４の間の距離Ａは、ワイヤーの摩耗を補償する目的で、すなわち、ワイヤーソーイングの間のワイヤーウェブ２のワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へのワイヤー厚さの減少を補償する目的で、可変または一定（固定ピッチ）であり得る。

【0039】

本発明に従ったワイヤーガイドロール１の長さが先行技術に従ったワイヤーガイドロール１と比較して変化しないように、各場合において、本発明に従ったワイヤーガイドロール１においてワイヤー２ａによって占有される２つの溝４の間に、ワイヤー２ａによって当初は占有されない少なくとも１つの新しい溝４ａがケーシング（図２ａおよび図２ｂ）に導入される。

【0040】

たとえば、先行技術に従ったワイヤーガイドロール１においてワイヤー２ａによって占有された２つの溝４の間の距離Ａが１５００μｍであり、本発明に従ったガイドロール１において使用可能な溝の数が２倍になるように意図される（２倍の溝の付与）場合、各場合において新しい溝４ａが２つの溝４の間に切り込まれ、溝４と溝４ａとの間の距離Ａ′は１５００／２＝７５０μｍに減少する（図２ｂ）。

【0041】

ワイヤー２ａによって占有される溝４と、ワイヤー２ａによって占有されない溝４ａとの間の最小の内側の距離Ｂは、ワイヤーソーイングプロセスの間にソーイングワイヤー２ａを安定してガイドすることができるために溝４が十分な横方向の安定を有さなければならないので、未使用のソーイングワイヤー２ａの直径とケーシングが構成される材料とによって決定される。

【0042】

ワイヤー２ａによって占有される２つの溝４の間の距離Ａ（それぞれ内側の距離Ｂ）は、好ましくはケーシングの全長に亘って同一である。同様に、２つの溝４の間の距離Ａ（それぞれ内側の距離Ｂ）は、好ましくはワイヤーインレット側からワイヤーアウトレット側へと減少する。

【0043】

ワークピース３へのワイヤーウェブ２の垂直な切り込みを保証するために、本発明に従ったワイヤーガイドロール１が、ワークピース３からウェハをスライスするための、すなわち、ソーイングプロセスのためのワイヤーソーにおいて使用される場合、ワイヤーウェブをクランプするワイヤーガイドロール１の溝４は同一に占有されることになる。

【0044】

たとえばワイヤーガイドロール１の場合において第１、第３、第５などの溝４がワイヤー２ａによって占有されるならば、少なくとも第２のワイヤーガイドロール１の対応する第１、第３、第５などの溝４もワイヤー２ａによって占有されることになる。

【0045】

ワイヤーソーイングプロセスが、このワイヤーによる溝４の占有で始められる場合、ワイヤー２ａによって占有された溝４はソーイングプロセスの間に摩耗する。ワイヤー２ａによって占有される溝４が摩耗されると、当該溝４のライフサイクルが終了する。

【0046】

その後、ソーイングワイヤー２ａは、当該摩耗した溝４から以前にソーイングワイヤー２ａによって占有されていない隣接した溝４ａへスプーリングされ、同じワイヤーガイドロール１上の未使用の溝４ａでワイヤーソーイングプロセスが継続され得る。未使用の溝４ａ同士の間の距離Ａは好ましくは、以前のソーイングプロセスにおいて摩耗された溝４同士の間の距離Ａに対応する。

【0047】

たとえば、第１、第３、第５などの溝４がワイヤー２ａによって占有され、少なくとも第２のワイヤーガイドロール１の対応する第１、第３、第５などの溝４も当該ワイヤー２ａによって占有される本発明に従ったワイヤーガイドロール１のワイヤー占有で開始することも好ましい。たとえば２０回といった第１の規定された回数のソーイングプロセス後に、ソーイングワイヤー２ａは、現在使用されている溝４から以前にソーイングワイヤー２ａによって占有されていない隣接した溝４ａ（たとえば第２、第４、第６などの溝４）にスプーリングされる。そのため、ワイヤーソーイングプロセスは、同じワイヤーガイドロール１上の未使用の溝４ａで継続され得る。

【0048】

たとえば２０回といった第２の規定された回数のソーイングプロセスの後に、ソーイングワイヤー２ａは、用いられた第２、第４、第６などの溝４から以前に用いられた第１、第３、第５などの溝４に戻るようにスプーリングされる。また、ある数のソーイングプロセスの後、ソーイングワイヤー２ａは第２、第４、第６などの溝４にスプーリングされる。ある回数のソーイングプロセスの後にソーイングワイヤー２ａによって占有される溝４の周期的な変更によって、すべての溝４が連続的に摩耗する。

【0049】

好ましくは、ソーイングプロセスの第１および第２の規定された回数は、同じであり、１０回〜５０回のソーイングプロセスの範囲内である。また、１つのセットの溝４が使用されるソーイングプロセスの第１および第２の規定された回数は同じでなく、たとえば、ソーイングプロセスの第１の規定された回数は１０回であり、ソーイングプロセスの第２の規定された回数は２０回であるのも好ましい。

【0050】

ワイヤーウェブ２を最も近い溝の組合せへスプーリングすること、すなわち、摩耗した溝４にそれぞれ隣接しまだ未使用である溝４ａへスプーリングすることは、好ましくは、先行技術に従ってワイヤーウェブ２の搭載に類似して手作業で行われる。ソーイングワイヤー２ａを自動的にスプーリングすることも同様に好ましい。

【0051】

たとえば、２番目ごとに溝４および４ａのそれぞれがソーイングワイヤー２ａによって占有される場合（ｎ＝２）、上記ワイヤーガイドロールを交換または再度溝を設けなければならなくなるのはソーイングワイヤーによって新たに占有された溝４ａの摩耗の後だけになるので、ワイヤーガイドロール１の使用可能期間は２倍になる。

【0052】

本発明に従ったワイヤーガイドロールの使用の開始の際に、３番目ごとに溝４がソーイングワイヤー２ａによって占有される場合（ｎ＝３）、溝４の摩耗の後に、２つの新しく未使用の溝４ａがその後のソーイングプロセスにまだ利用可能であるので、ワイヤーガイドロール１の使用期間は３倍になる。

【0053】

本発明に従ったワイヤーガイドロール１はさらに、ワイヤーガイドロールがワイヤーソーから取り外されることを必要とすることなく、ワークピース３から異なる厚さを有する多数のウェハをスライスするのに好適である。

【0054】

たとえば、厚さが７５０μｍであるウェハ、すなわち２つの溝４同士の間の内側の距離Ｂも７５０μｍであるウェハが第１のワークピース３から切り出され得るようにワイヤーガイドロール１のケーシングにおける２つの隣接した溝４同士の間の内側の距離Ｄが選ばれる場合、ソーイングワイヤーが２番目ごとの溝４にスプールされたことによって、たとえば１７５０μｍの厚さを有するウェハが第２のワークピース３から切り出され得る。すなわち、ソーイングワイヤーによって占有されるすべての溝４同士の間に空の溝４が存在する。例として記載される１７５０μｍの厚さは、７５０μｍの２つの隣接した溝４同士間の内側の距離Ｂと、２５０μｍのカーフロスＣ（溝４の幅）とに基づいており、式（２）により計算される。すなわち、Ｄ＝２ｘＢ＋Ｃ＝２ｘ７５０μｍ＋２５０μｍ＝１７５０μｍである。

【0055】

本発明に従ったワイヤーガイドロール１のすべての溝４および４ａのそれぞれの形状（深さおよび幅）は好ましくは同一である。

【0056】

特に好ましくは、それぞれワイヤー２ａが占有する溝４および４ａのそれぞれの形状は、ソーイングワイヤー２ａの摩耗に適合される。この点に関して、例として、ソーイングワイヤー２ａによってまだ占有されていない溝４ａの幅は、ソーイングワイヤー２ａの直径がワイヤーソーイングの間の摩耗の結果減少するので、ワイヤーガイドロールの第１のライフサイクルにおいて、ワイヤー２ａによって占有された溝４の幅よりも若干少なくなり得る。

【図1】

【図2a】

【図2b】

【図2c】