特許6082743放射源、リソグラフィ装置、ノズル、およびノズルを形成する方法

発明の名称　放射源、リソグラフィ装置、ノズル、およびノズルを形成する方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 226 位（142件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 338 位（77件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6082743

公報発行日　2017年2月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6082743

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