特許6091366気相成長装置の運転管理方法、及び該方法を使用した積層体の製造方法

発明の名称　気相成長装置の運転管理方法、及び該方法を使用した積層体の製造方法

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 284 位（110件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 269 位（107件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6091366

公報発行日　2017年3月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6091366

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6091366「気相成長装置の運転管理方法、及び該方法を使用した積層体の製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録