特許 6097213 光の帯域幅を制御する方法及び装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6097213

(24)【登録日】2017年2月24日

(45)【発行日】2017年3月15日

(54)【発明の名称】光の帯域幅を制御する方法及び装置

(51)【国際特許分類】

   H01S 3/137 20060101AFI20170306BHJP

   H01S 3/00 20060101ALI20170306BHJP

【ＦＩ】

   H01S3/137

   H01S3/00 A

【請求項の数】15

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2013-503817(P2013-503817)

(86)(22)【出願日】2011年4月4日

(65)【公表番号】特表2013-524533(P2013-524533A)

(43)【公表日】2013年6月17日

(86)【国際出願番号】US2011031116

(87)【国際公開番号】WO2011126992

(87)【国際公開日】20111013

【審査請求日】2014年4月2日

(31)【優先権主張番号】12/755,772

(32)【優先日】2010年4月7日

(33)【優先権主張国】US

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】513192029

【氏名又は名称】サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(72)【発明者】

【氏名】オブライエン ケヴィン エム

(72)【発明者】

【氏名】トリントチョウク ヒョードル ビー

【審査官】 林 祥恵

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２００８／１２７５９９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００３−２９８１６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１０−５２４２５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１８０９８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２５８４０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｓ ３／００−３／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光ビームを生成する段階と、
前記生成した光ビームの第１の帯域幅範囲にわたる帯域幅を推定するように調整された第１の測定基準に従って、前記生成した光ビームの帯域幅を推定する段階と、前記生成した光ビームに光学的に結合された第１の光学特徴部に接続された第１の帯域幅作動システムの起動及び制御を可能にする段階とを含む、第１の帯域幅範囲内で該生成光ビームの帯域幅を制御する段階と、
前記生成した光ビームの第２の帯域幅範囲にわたる帯域幅を推定するように調整された第２の測定基準に従って、前記生成した光ビームの帯域幅を推定する段階と、前記生成した光ビームに光学的に結合された第２の光学特徴部に接続された第２の帯域幅作動システムの起動及び制御を可能にする段階とを含む、第２の帯域幅範囲内で該生成光ビームの帯域幅を制御する段階と、を含み、
前記第２の帯域幅範囲は、前記第１の帯域幅範囲とは異なっており、
前記第１の帯域幅作動システムのみが、前記第１の帯域幅範囲内で前記生成光ビームの帯域幅を制御するのに用いられ、
前記第２の帯域幅作動システムのみが、前記第２の帯域幅範囲内で前記生成光ビームの帯域幅を制御するのに用いられ、
前記第１の帯域幅作動システムの起動及び制御から前記第２の帯域幅作動システムの起動及び制御に切り替えることにより、前記生成光ビームの帯域幅を前記第１の帯域幅範囲の帯域幅から前記第２の帯域幅範囲の帯域幅に変更する、
ことを特徴とする方法。

【請求項2】

前記生成光ビームの帯域幅を前記第１の帯域幅範囲から前記第２の帯域幅範囲に変更する要求を受け取る段階を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項3】

切り換え指令に応答して前記第１の範囲内の帯域幅制御と前記第２の範囲内の帯域幅制御との間で切り換える段階を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項4】

前記第１の範囲内の帯域幅制御から前記第２の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階を更に含み、
前記切り換える段階は、
第２のターゲット帯域幅情報を選択する段階と、
前記第１の帯域幅作動システムを第１の固定状態に設定する段階と、
帯域幅測定システムを第１の構成から第２の構成に切り換える段階と、
前記帯域幅測定システムから測定帯域幅情報を受け取る段階と、
前記測定帯域幅情報が前記第２のターゲット帯域幅情報に適合するか否かを判断する段階と、
前記測定帯域幅情報が前記第２のターゲット帯域幅情報に適合すると判断されるまで、前記第２の光学特徴部に前記生成光ビームの前記帯域幅を修正させるように前記第２の帯域幅作動システムを起動する段階と、を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項5】

前記第１の帯域幅作動システムを前記第１の固定状態に設定する前に、該第１の帯域幅作動システムの１つ又はそれよりも多くの構成要素の状態に関する情報を格納する段階を更に含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項6】

前記第１の固定状態は、前記生成光ビームの前記帯域幅を前記第１の帯域幅範囲から前記第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での前記第１の帯域幅作動システムの状態であることを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項7】

前記第１の固定状態は、前記生成光ビームの前記帯域幅を前記第１の帯域幅範囲から前記第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での前記第１の帯域幅作動システムの状態の関数から判断されることを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項8】

前記生成光ビームの前記帯域幅を前記第２の帯域幅範囲から前記第１の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られるまで、前記測定帯域幅情報と前記第２のターゲット帯域幅情報の間の絶対誤差を低減するように前記第２の帯域幅作動システムを制御する段階を更に含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項9】

前記帯域幅測定システムを前記第１の構成から前記第２の構成に切り換えた後に前記第２の帯域幅作動システムをリセットモードで制御する段階を更に含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。

【請求項10】

前記第１の範囲内の帯域幅制御から前記第２の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階を更に含み、
前記第１の範囲内の帯域幅制御から前記第２の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階は、帯域幅測定システムを第１の構成から第２の構成に切り換える段階を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。

【請求項11】

前記帯域幅測定システムを前記第１の構成から前記第２の構成に切り換える段階は、第１の組の較正変数から第２の組の較正変数に切り換える段階を含むことを特徴とする請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

前記第１の組の較正変数は、前記第１の帯域幅範囲にわたって帯域幅を推定するように調整された測定基準を提供するように事前に判断され、かつそのように構成され、
前記第２の組の較正変数は、前記第２の帯域幅範囲にわたって帯域幅を推定するように調整された測定基準を提供するように事前に判断され、かつそのように構成される、ことを特徴とする請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

光ビームを生成する光源と、
前記光源から出力された光ビームの一部分を受け取るように構成され、かつ該光ビーム部分の帯域幅を測定して該帯域幅測定値を提供するように構成された帯域幅測定システムであって、前記生成した光ビームの第１の帯域幅範囲にわたる帯域幅を推定するように調整された測定基準を与える第１の組の所定の較正変数と、前記生成した光ビームの第２の帯域幅範囲にわたる帯域幅を推定するように調整された測定基準を与える第２の組の所定の較正変数とを含む、帯域幅測定システムと、
各々が、１つ又はそれよりも多くの帯域幅アクチュエータを含み、かつ各々が、前記生成光ビームに光学的に結合された光学特徴部に接続され、該接続された光学特徴部を修正して該生成光ビームの帯域幅範囲内の帯域幅を選択するように動作可能である複数の帯域幅作動システムと、
前記帯域幅測定システムと前記複数の帯域幅作動システムとに接続された制御システムであって、提供された帯域幅測定値及び選択されたターゲット帯域幅に基づいて、第１の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階及び前記第１の組の所定の較正変数を用いて前記帯域幅を推定する段階と、該第１の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階とは独立してかつ別々に第２の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階及び前記第２の組の所定の較正変数を用いて前記帯域幅を推定する段階との間で切り換えることにより、前記生成光ビームの帯域幅を前記第１の帯域幅範囲の帯域幅から前記第２の帯域幅範囲の帯域幅に変更すること、
前記第１の帯域幅作動システムが起動及び動作している最中に、前記第２の帯域幅作動システム内のアクチュエータを固定状態に設定することを含む、前記第１の帯域幅範囲内で前記生成光ビームの帯域幅を制御するために前記第１の帯域幅作動システムのみを起動及び動作させること、
前記第２の帯域幅作動システムが起動及び動作している最中に、前記第１の帯域幅作動システム内のアクチュエータを固定状態に設定することを含む、第２の帯域幅範囲内で前記生成光ビームの帯域幅を制御するために前記第２の帯域幅作動システムのみを起動及び動作させること、
を行うように構成された制御システムと、
を含むことを特徴とする装置。

【請求項14】

複数の異なるターゲット帯域幅範囲から選択されたターゲット帯域幅範囲内であるターゲット帯域幅に設定されるように構成されたターゲット帯域幅スイッチを更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の装置。

【請求項15】

前記光学特徴部の少なくとも１つは、分散要素及びプリズムの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１３に記載の装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の開示の主題は、レーザ光の帯域幅を制御する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

レーザのような光源の帯域幅の正確な把握は、例えば、基板又はウェーハが光ビームの光軸に沿って軸線方向に移動されながら基板又はウェーハが光源によって生成される光ビームによって照射される深紫外（ＤＵＶ）半導体フォトリソグラフィにおける臨界寸法制御のような多くの科学用途及び産業用途において重要である。

【0003】

レーザ光の帯域幅は、レーザから出力されるレーザ光の強度スペクトルの幅であり、この幅は、レーザ光の波長又は周波数に基づいて与えることができる。レーザ光の帯域幅を推定するのに、光源スペクトルの詳細内容に関連するあらゆる適切な計量的又は数学的な構成を使用することができる。例えば、レーザ光帯域幅を推定値するのに、最大ピーク強度のある一定の分率（Ｘ）におけるスペクトルの全幅（ＦＷＸＭと呼ばれる）を使用することができる。別の例として、レーザ光帯域幅を推定値するのに、積分スペクトル強度のある一定の分率（Ｙ）を含むスペクトルの幅（ＥＹと呼ばれる）を使用することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】米国特許出願第１２／６０５，３０６号明細書

【特許文献2】米国特許第６，９５２，２６７号明細書

【特許文献3】米国特許出願第１２／４１３，３４１号明細書

【特許文献4】米国特許第６，３９３，０３７号明細書

【特許文献5】米国特許公報第２００８／０２５３４１３号明細書

【特許文献6】米国特許出願第６１／２３６，８４８号明細書

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0005】

１つの一般的な態様では、方法は、光ビームを生成する段階と、生成光ビームに光学的に結合された第１の光学特徴部に接続された第１の帯域幅作動システムの起動及び制御を可能にする段階を含む第１の帯域幅範囲で生成光ビームの帯域幅の制御を可能にする段階と、生成光ビームに光学的に結合された第２の光学特徴部に接続された第２の帯域幅作動システムの起動及び制御を可能にする段階を含む第２の帯域幅範囲で生成光ビームの帯域幅の制御を可能にする段階とを含む。第２の帯域幅範囲は、第１の帯域幅範囲とは異なるものである。

【0006】

実施は、以下に続く特徴のうちの１つ又はそれよりも多くを含むことができる。例えば、本方法は、生成光ビームの帯域幅を第１の帯域幅範囲から第２の帯域幅範囲に変更する要求を受け取る段階を含むことができる。本方法は、切り換え指令に応答して第１の範囲内の帯域幅制御と第２の範囲内の帯域幅制御の間で切り換える段階を含むことができる。

【0007】

本方法は、第１の範囲内の帯域幅制御から第２の範囲内の帯域幅制御へ切り換える段階を含むことができる。切り換える段階は、第２のターゲット帯域幅情報を選択する段階と、第１の帯域幅作動システムを第１の固定状態に設定する段階と、帯域幅測定システムを第１の構成から第２の構成に切り換える段階と、第２の構成で動作する間に帯域幅測定システムから測定帯域幅情報を受け取る段階と、測定帯域幅情報が第２のターゲット帯域幅情報に適合するか否かを判断する段階と、測定帯域幅情報が第２のターゲット帯域幅情報に適合すると判断されるまで、第２の光学特徴部に生成光ビームの帯域幅を修正させるように第２の帯域幅作動システムを起動する段階とを含む。本方法は、第１の帯域幅作動システムを第１の固定状態に設定する前に、第１の帯域幅作動システムの１つ又はそれよりも多くの構成要素の状態に関する情報を格納する段階を含むことができる。

【0008】

第１の固定状態は、生成光ビームの帯域幅を第１の帯域幅範囲から第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での第１の帯域幅作動システムの状態とすることができる。第１の固定状態は、生成光ビームの帯域幅を第１の帯域幅範囲から第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での第１の帯域幅作動システムの状態の関数から判断することができる。

【0009】

本方法は、生成光ビームの帯域幅を第２の帯域幅範囲から第１の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られるまで、測定帯域幅情報と第２のターゲット帯域幅情報の間の絶対誤差を低減するように第２の帯域幅作動システムを制御する段階を含むことができる。

【0010】

本方法は、帯域幅測定システムを第１の構成から第２の構成に切り換えた後に第２の帯域幅作動システムをリセットモードで制御する段階を含むことができる。

【0011】

本方法は、生成光ビームの帯域幅を第２の帯域幅範囲から第１の帯域幅範囲に変更する要求の受け取り時に、第２の範囲内の帯域幅制御から第１の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階を含むことができる。切り換える段階は、第１のターゲット帯域幅情報を選択する段階と、第２の帯域幅作動システムを第２の固定状態に設定する段階と、帯域幅測定システムを第２の構成から第１の構成に切り換える段階と、第１の構成で動作させる間に帯域幅測定システムから測定帯域幅情報を受け取る段階と、測定帯域幅情報が第１のターゲット帯域幅情報に適合するか否かを判断する段階と、測定帯域幅情報が第１のターゲット帯域幅情報に適合すると判断されるまで、第１の光学特徴部に生成光ビームの帯域幅を修正させるように第１の帯域幅作動システムを起動する段階とを含む。

【0012】

第２の固定状態は、生成光ビームの帯域幅を第２の帯域幅範囲から第１の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での第２の帯域幅作動システムの状態とすることができる。第２の固定状態は、較正中に判断された所定の状態とすることができる。

【0013】

本方法は、生成光ビームの帯域幅を第１の帯域幅範囲から第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られるまで、測定帯域幅情報と第１のターゲット帯域幅情報の間の絶対誤差を低減するように第１の帯域幅作動システムを制御する段階を含むことができる。本方法は、第１の帯域幅作動システムを第１の固定状態に設定する前に格納された状態に戻る信号を第１の帯域幅作動システムに送る段階を含むことができる。本方法は、帯域幅測定システムを第２の構成から第１の構成に切り換えた後に第１の帯域幅作動システムをリセットモードで制御する段階を含むことができる。

【0014】

本方法は、第１の範囲内の帯域幅制御から第２の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階を含むことができる。第１の範囲内の帯域幅制御から第２の範囲内の帯域幅制御に切り換える段階は、帯域幅測定システムを第１の構成から第２の構成に切り換える段階を含むことができる。

【0015】

帯域幅測定システムを第１の構成から第２の構成に切り換える段階は、第１の組の較正変数から第２の組の較正変数に切り換える段階を含むことができる。第１の組の較正変数は、第１の帯域幅範囲にわたって帯域幅を推定するように調整された測定基準を提供するように予め判断され、かつそのように構成することができ、第２の組の較正変数は、第２の帯域幅範囲にわたって帯域幅を推定するように調整された測定基準を提供するように予め判断され、かつそのように構成することができる。

【0016】

光ビームは、レーザビームを生成することによって生成することができる。

【0017】

別の一般的な態様では、装置は、光ビームを生成する光源と、光源から出力される光ビームの一部分を受け取るように構成され、かつ光ビーム部分の帯域幅を測定して帯域幅の測定値を提供するように構成された帯域幅測定システムと、各々が、１つ又はそれよりも多くの帯域幅アクチュエータを含み、各々が、生成光ビームに光学的に結合された光学特徴部に接続され、かつこの接続した光学特徴部を修正して生成光ビームの帯域幅範囲の帯域幅を選択するように動作可能な複数の帯域幅作動システムと、帯域幅測定システムと複数の帯域幅作動システムとに接続した制御システムとを含む。制御システムは、供給された帯域幅測定値及び選択されたターゲット帯域幅に基づいて、第１の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階と、第１の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階とは独立してかつ別々に第２の帯域幅作動システムを起動及び動作させる段階との間で切り換えるように構成される。

【0018】

実施は、以下に続く特徴のうちの１つ又はそれよりも多くを含むことができる。例えば、装置はまた、複数の異なるターゲット帯域幅範囲から選択されたターゲット帯域幅範囲にあるターゲット帯域幅に設定されるように構成されたターゲット帯域幅スイッチを含むことができる。装置は、生成光ビームを受け取るリソグラフィ装置を含むことができる。

【0019】

光源は、レーザ源を含むことができ、光ビームは、レーザビームとすることができる。

【0020】

光学特徴部のうちの少なくとも１つは、分散要素を含むことができる。光学特徴部のうちの少なくとも１つは、ビーム拡大器を含むことができる。

【0021】

別の一般的な態様では、パルスレーザビームの帯域幅を制御する方法は、パルスレーザビームを生成する段階と、帯域幅測定システムから生成レーザビームの測定帯域幅情報を受け取る段階と、受け取られた測定帯域幅情報に基づいて、各々が生成レーザビームに光学的に結合された光学特徴部に接続した複数の帯域幅作動システムを起動及び制御する段階を含む生成レーザビームの帯域幅を複数の帯域幅範囲内に制御する段階とを含む。複数の範囲の各帯域幅範囲は、複数の範囲の他の帯域幅範囲の各々とは異なるものである。

【0022】

そのような帯域幅制御装置及び方法は、狭帯域幅（例えば、０．５ピコメートル（ｐｍ）よりも小さい範囲）及び広帯域幅（例えば、０．５と１．７ｐｍの間の範囲）におけるレーザ光帯域幅の制御を可能にするのに使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】リソグラフィ機械のような装置に入力を供給する光システムのブロック図である。

【図2】図１の光システムの帯域幅選択システムのブロック図である。

【図3】図１の光システムに対して使用することができる例示的な光源のブロック図である。

【図4】図１の光システムの制御システムによって使用される制御手法のブロック図である。

【図5】図１の光システムに使用される制御システムのブロック図である。

【図6】図１の光システムにおいて帯域幅を選択するための手順の流れ図である。

【図7】図１の光システムの第１の帯域幅作動システムを動作させるための手順の流れ図である。

【図8】図１の光システムの第１の帯域幅作動システムの能動制御から第２の帯域幅作動システムに切り換えるための手順の流れ図である。

【図9】図１の光システムの第２の帯域幅作動システムを動作させるための手順の流れ図である。

【図10】図１の光システムの第２の帯域幅作動システムの能動制御から第１の帯域幅作動システムに切り換えるための手順の流れ図である。

【図11】第１の帯域幅作動システムの閉ループ移行モードにおける動作のための手順の流れ図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

図１を参照すると、光システム１００は、装置１０６に送出される光ビーム１０４を生成する光源１０２を含む。装置１０６は、選択されたそれぞれの波長を中心とし、それぞれの帯域幅を有するいくつかの波長を必要とするスキャナを含むリソグラフィ機械を含むことができる。この目的のために、更に光システム１００は、光源１０２から光ビーム１４０を受け取って光源１０２のスペクトル出力を微調整する帯域幅選択システム（線狭化モジュールとも呼ばれる）１０８と、装置１０６に送出される光ビーム１０４の１つ又はそれよりも多くの特性（帯域幅情報を含む）を測定するビーム分析モジュール１１０と、線狭化モジュール１０８、光源１０２、ビーム分析モジュール１１０、及び装置１０６に接続した制御システム１１２とを含む。帯域幅情報は、帯域幅を判断するのに使用することができるあらゆる情報を含む。従って、帯域幅情報は、実際の帯域幅とすることができ、又は別の特性の測定値であり、そこから帯域幅を計算することができる測定値とすることができる。

【0025】

目的の中でも取りわけ、以下に解説するように、制御システム１１２は、複数の異なる帯域幅範囲における光源１０２の動作及び制御を提供し、光源１０２が帯域幅範囲の間で自動的に切り換わることを、切り換えを実施するのに手動介入を必要とせずに妥当な時間量（例えば、５秒よりも短い）で可能にする。一部の実施では、帯域幅範囲は、帯域幅の上側の値と、帯域幅の下側の値と、上側の値と下側の値の間の帯域幅の全てとによって定義される。帯域幅範囲は、追加的に又は代替的に、帯域幅の上側の値又は下側の値だけと、上側の（下側の）値よりも小さい（超える）帯域幅の全てとによって定義することができる。帯域幅範囲は、各範囲の上側の値が等しくない及び／又は各範囲の下側の値が等しくない場合に別の帯域幅範囲とは異なるものである。帯域幅範囲は、異なることができるが、上側及び下側の値が等しくない場合であっても依然として重なり合う可能性がある。例えば、第１の帯域幅範囲は、０．５ｐｍ（上側範囲）よりも小さい全ての帯域幅値とすることができ、第２の帯域幅範囲は、０．５ｐｍと１．７ｐｍの間の値とすることができる。

【0026】

制御システム１１２は、切り換えが完了した状態で、光源１０２の正常動作に対するいずれの識別可能な外乱も存在しないように切り換えを実施することができる。制御システム１１２は、光源１０２のある一定の特性（例えば、エネルギ出力、トリガ時間、タイミング、及び照射量）を制御するようにも構成される。制御システム１１２は、ビーム分析モジュール１１０、装置１０６、及び光源１０２の構成要素から入力を受け取ってこれらの動作を実施する。更に、制御システム１１２は、ユーザに直接フィードバックを供給するために、モニタ、光デバイス、又はオーディオデバイスのような出力デバイス１１６に接続することができる。

【0027】

更に図２を参照すると、線狭化モジュール１０８は、ファームウエアとソフトウエアのあらゆる組合せの形態にある電子機器を含む帯域幅制御モジュール１２０を含むことができる。モジュール１２０は、２つ又はそれよりも多くの帯域幅作動システム１２２、１２４、１２６に接続される。作動システム１２２、１２４、１２６の各々は、光学システム１３８のそれぞれの光学特徴部１３２、１３４、１３６に接続した１つ又はそれよりも多くのアクチュエータを含むことができる。帯域幅制御モジュール１２０は、帯域幅作動システム１２２、１２４、１２６のうちの１つ又はそれよりも多くを動作させるか、又は制御するための特定の指令を含む信号１１４を制御システム１１２から受信する。

【0028】

各光学特徴部１３２、１３４、１３６は、光源１０２によって生成される光ビーム１４０に光学的に結合される。光学特徴部１３２、１３４、１３６を含む光学システム１３８は、反射回折格子のような分散光学要素と、回転可能プリズムのような屈折光学要素とを含むことができる。作動システムによって制御される光学特徴部を含む光学システムの例は、２００９年１０月２３日出願の「光源帯域幅を選択及び制御するためのシステムの方法及び装置（Ｓｙｓｔｅｍ Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｆｏｒ Ｓｅｌｅｃｔｉｎｇ ａｎｄ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｓｏｕｒｃｅ Ｂａｎｄｗｉｄｔｈ）」という名称の米国特許出願第１２／６０５，３０６号明細書（’３０６出願）に見出すことができ、本出願は、その全体が引用によって本明細書に組み込まれている。’３０６出願では、ビーム拡大器（１つ又はそれよりも多くのプリズムを含む）及び回折格子のような分散要素を含む光学システムが説明されている。

【0029】

作動システム１２２、１２４、１２６のアクチュエータの各々は、光学システム１３８のそれぞれの光学特徴部１３２、１３４、１３６を移動するか、又は制御するための機械デバイスである。アクチュエータは、モジュール１２０からエネルギを受け取り、このエネルギを光学システム１３８の光学特徴部１３２、１３４、１３６に与えられるいずれかの種類の運動に変換する。例えば、’３０６出願では、ビーム拡大器のプリズムのうちの１つ又はそれよりも多くを回転させるための力デバイス（回折格子の領域に力を印加する）及び回転台のような作動システムが説明されている。作動システム１２２、１２４、１２６は、例えば、ステッパモータのようなモータ、弁、圧力制御デバイス、圧電デバイス、リニアモータ、液圧アクチュエータ、音声コイルなどを含むことができる。

【0030】

ビーム分析モジュール１１０及び装置１０６からの入力に基づいて、線狭化モジュール１０８は、制御システム１１２に供給されるターゲット帯域幅の範囲まで狭化された光ビーム１５０（図２に示す）を生成する。

【0031】

ビーム分析モジュール１１０は、光ビーム１０４の帯域幅情報を測定する少なくとも１つのセンサを含む帯域幅測定システム（帯域幅計とも呼ぶ）１１１を含む。帯域幅測定システム１１１は、干渉計又は分散計器（分光計のような）を使用する。例えば、帯域幅測定システム１１１は、２００５年１０月４日に付与された「レーザ出力の帯域幅を測定する方法及び装置（Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｆｏｒ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｂａｎｄｗｉｄｔｈ ｏｆ ａ Ｌａｓｅｒ Ｏｕｔｐｕｔ）」という名称の米国特許第６，９５２，２６７号明細書（’２６７特許）に説明されているような異なるインパルス応答関数を有する１つ又はそれよりも多くの分光計を含むことができ、この特許は、その全体が引用によって本明細書に組み込まれている。各分光計は、光ビーム１０４の帯域幅に関する情報に関連するか又はこの情報を含む測定パラメータを表す出力を供給する。帯域幅測定システム１１１は、分光計出力を方程式システムの一部として利用する計算装置も含む。これらの方程式は、分光計に特定の所定の較正変数を用い、１つ又はそれよりも多くの測定基準に従って光ビーム１０４の帯域幅の推定値を計算するのに使用される。そのような測定基準は、得られる最大値のいずれかの百分率又は分率（Ｘ）におけるスペクトル全幅（ＦＷＸＭ）とすることができ、又は合計エネルギのいずれかの百分率又は分率（Ｙ）を含む部分の幅（ＥＹ）とすることができる。

【0032】

帯域幅測定システム１１１は、複数の組の所定の較正変数を含む。複数の組の各々は、特定の波長範囲にわたって特定の中心波長にある帯域幅を推定するように正確に調整された測定基準を与えるように構成される。例えば、第１の組の所定の較正変数は、光学特徴部１３２を能動的に制御するように帯域幅作動システム１２２を動作させる場合に予想される第１の帯域幅範囲にわたる帯域幅を推定値する段階に関連付けることができる。別の例として、第２の組の所定の較正変数は、光学特徴部１３４を能動的に制御するように作動システム１２４を動作させる場合に予想される第２の帯域幅範囲にわたる帯域幅を推定値する段階に関連付けることができる。

【0033】

一部の実施では、光源１０２は、例えば、光ビーム１０４としてパルスレーザビームを生成するパルスレーザ光源とすることができる。更に、図３を参照すると、この実施の例として、光源１０２は、電力増幅器（ＰＡ）３１０にシードレーザビーム３０５を供給する主発振器（ＭＯ）３００を含む。制御システム１１２は、接続部３３５を通じて主発振器３００に結合され、接続部３４０を通じて電力増幅器３１０に結合される。電力増幅器３１０は、例えば、２００９年３月２７日出願の「再生リング共振器（Ｒｅｇｅｎｅｒａｔｉｖｅ Ｒｉｎｇ Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）」という名称の米国特許出願第１２／４１３，３４１号明細書に説明されている再生リング共振器とすることができ、この出願は、その全体が引用によって本明細書に組み込まれている。主発振器３００は、比較的低い出力パルスエネルギにおける中心波長及び帯域幅のようなパラメータの微調整を可能にする。電力増幅器３１０は、主発振器３００からシードレーザビーム３０５を受け取り、その出力を増幅し、装置１０６内に使用するための出力に必要な光ビーム１０４（この実施ではレーザビームである）の電力を得る。

【0034】

主発振器３００は、２つの細長い電極、レーザガス、及び電極の間でガスを循環させるためのファンを有する放電チャンバを含み、放電チャンバの片側にある線狭化モジュール１０８と放電チャンバの第２の側にある出力カプラ３１５との間にレーザ共振器が形成される。主発振器３００は、出力カプラ３１５から出力を受け取る線中心分析モジュール３２０と、必要に応じてレーザビームのサイズ及び／又は形状を修正する１つ又はそれよりも多くのビーム修正光学システム３２５とを含むことができる。放電チャンバ内に使用されるレーザガスは、所要の波長及び帯域幅のレーザビームを生成するのに適するあらゆるガスとすることができ、例えば、レーザガスは、約１９３ｎｍの波長の光を放出するフッ化アルゴン（ＡｒＦ）、又は約２４８ｎｍの波長の光を放出するフッ化クリプトン（ＫｒＦ）とすることができる。

【0035】

電力増幅器３１０は電力増幅器放電チャンバを含み、再生リング増幅器である場合には、レーザビームを放電チャンバに反射して戻して循環経路を形成するビーム反射器を更に含む。電力増幅器放電チャンバは、１対の細長い電極と、レーザガスと、電極の間でガスを循環させるためのファンとを含む。シードレーザビーム３０５は、電力増幅器３１０を繰返し通過することによって増幅される。ビーム修正光学システム３２５は、シードレーザビーム３０５を入力結合し、電力増幅器３１０からの増幅済み放射線の一部分を出力結合して電力レーザビーム１０４を形成する手法（例えば、部分反射ミラー）を提供する。

【0036】

再度図１を参照すると、光源１０２からの電力レーザビーム１０４は、更に、パルス伸張器、自動シャッター、及びビーム送出ユニットのうちの１つ又はそれよりも多くを含むことができるビーム修正システム１６０を通して誘導することができる。パルス伸張器では、装置１０６に入射するレーザビームの照射量又は露光のような性能特性を調節するために、電力レーザビーム１０４のパルスの各々を例えば光学遅延ユニット内で伸張することができる。パルス伸張器を射出するレーザビーム１０４は、次に、レーザビーム１０４を装置１０６に向けるビーム送出ユニットに入射する前に自動シャッターを通して誘導することができる。

【0037】

図４及び図５を参照すると、制御システム１１２は、ターゲット帯域幅情報４１０と測定帯域幅情報４１５の間の差の絶対値から得られる誤差信号４００を用いて動作する。測定帯域幅情報４１５は、帯域幅測定システム１１１の出力４２５から直接判断することができ、又は帯域幅測定システム１１１の出力４２５からノイズ４２０を除去することによって判断することができる。制御システム１１２からの出力１１４は、線狭化モジュール１０８に送られ（具体的には、作動システム１２２、１２４、１２６に信号を出力する帯域幅制御モジュール１２０に）、線狭化モジュール１０８は、光源１０２に接続されて光源１０２の動作の変化をもたらし、それによって光源１０２から出力される帯域幅４３５を変化させる。帯域幅測定システム１１１は、帯域幅の分析に向けて、帯域幅作動システム１２２、１２４、１２６のうちの１つ又はそれよりも多くによって制御される帯域幅４３５と、例えば、チャンバ内のガス中の熱効果又は光源１２０内の光学構成要素の熱効果、光源１０２の出力エネルギの変化、光源１０２内での構成要素の整列又は配置の変化、及び音響効果（光ビーム１０４のパルスの繰返し数の変化の効果を通じて観察することができる）のような光源内で変化する特性によってもたらされる帯域幅４３５に対する外乱４４０との組合せである帯域幅４３０を有する光ビーム１０４の一部分を受け取る。

【0038】

制御システム１１２は、ユーザ又は装置１０６から供給されるターゲット帯域幅情報４１０に基づいて複数のターゲット範囲の中からターゲット帯域幅範囲を選択することができるターゲット帯域幅スイッチ５００（図５）のようなサブシステム（例えば、サブプログラム）を含む。制御システム１１２の他のサブシステムは、ターゲット範囲の各々に関連付けられた動作モードセットを含む。制御システム１１２は、モードの各々において比例制御値、積分制御値、及び微分制御値のうちの１つ又はそれよりも多くを使用する。第１のターゲット帯域幅範囲５０５では、制御システム１１２は、第１の範囲の通常モード５１０への移行を可能にする一時モードであると考えられる第１の範囲切換モード５３５を完了した後に、定常状態モードであると考えられるこの第１の範囲の通常モード５１０で動作する。例えば、第１の範囲の通常モード５１０は、比例制御値、積分制御値、及び微分制御値のうちの１つ又はそれよりも多くを使用する閉ループ制御モードとすることができる。第１の範囲の通常モード５１０では、第１の帯域幅作動システム１２２が動作される。第１の範囲切換モード５３５は、開ループ制御モード又は閉ループ制御モードとすることができる。

【0039】

第１の範囲の通常モード５１０における制御システム１１２の動作は、２００２年５月２１日に付与された「調節可能角度分布を有するレーザのための波長セレクタ（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ Ｓｅｌｅｃｔｏｒ ｆｏｒ Ｌａｓｅｒ ｗｉｔｈ Ａｄｊｕｓｔａｂｌｅ Ａｎｇｕｌａｒ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）」という名称の米国特許第６，３９３，０３７号明細書（’０３７特許）に説明されている動作、及び２００８年４月９日出願の「改善された帯域幅制御を有するレーザリソグラフィシステム（Ｌａｓｅｒ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ Ｓｙｓｔｅｍ ｗｉｔｈ Ｉｍｐｒｏｖｅｄ Ｂａｎｄｗｉｄｔｈ Ｃｏｎｔｒｏｌ）」という名称の米国特許公報第２００８／０２５３４１３号明細書（’４１３公報）に説明されている動作と類似のものとすることができ、これらの文献は両方共に、その全体が引用によって本明細書に組み込まれている。これらの参考文献では、分散要素上への入射の前にビームの倍率が変更され、倍率が変更されるので、分散要素から反射される光の帯域幅が変更される。ビームの倍率は、ビーム拡大器（プリズムセットのうちの１つ又はそれよりも多くのプリズム）の向き（例えば、角度）の変化を能動的に導入することによって変更することができる。従って、第１の範囲の通常モード５１０では、第１の帯域幅範囲の帯域幅を選択するために、制御システム１１２は、光学特徴部（ビーム拡大器）１３２の向き（例えば、角度）を修正して、分散要素（回折格子）によって光学システム１３８内に与えられる角度分布のマグニチュードを変化させるように帯域幅作動システム１２２を制御するように構成することができる。

【0040】

第２のターゲット帯域幅範囲５１５では、制御システム１１２は、第２の範囲の通常モード５２５への移行を可能にする一時モードである第２の範囲切換モード５２０を完了した後に、この第２の範囲の通常モード５２５（定常状態モードと考えられる）で動作する。例えば、第２の範囲の通常モード５２５は、低い利得を有する積分制御を使用する閉ループ制御モードとすることができ、それに対して第２の範囲切換モード５２０は、高い利得を有する比例−積分制御を使用する閉ループ制御モードとすることができる。一般的に「低い」利得は、非常に堅固に安定する（いわゆる「過減衰である」）が、幾分緩慢な（アクチュエータ速度と比較して）閉ループ性能をもたらすものである。「高い」利得は、減衰不足（振動）性能をもたらすが、低い利得よりもアクチュエータ速度と比較して高速である。これらのモードの各々を図６〜図１０を参照して以下により詳細に説明する。

【0041】

簡略化のために、図５に示して以下に説明する制御システム１１２は、２つのターゲット帯域幅範囲を含み、これらの２つのターゲット範囲の間で動作する。しかし、制御システム１１２は、３つ又はそれよりも多くのターゲット範囲を含むことができ、制御システム１１２によって実施される手順を３つ又はそれよりも多くのターゲット範囲に拡張されるように修正することができる。３つ又はそれよりも多くの範囲では、ターゲット帯域幅スイッチ５００は、これらの３つ又はそれよりも多くのターゲット範囲の間で切り換わり、制御システム１１２は、他のターゲット範囲での動作及びこれらの範囲の間の切り換えに対応する他のモードを必要に応じて含む。

【0042】

更に図６を参照すると、制御システム１１２は、装置１０６に出力される光ビーム１０４の帯域幅を制御する段階を含む光源１０２を動作させて制御する段階のための手順６００を実施する。

【0043】

制御システム１１２は並列処理を実施し、そのうちの２つを図６に示している。第１の処理（図面の左手側に一般化した処理として示す）では、制御システム１１２は、光源１０２を点灯し（段階６０２）、光ビームを生成する指令を光源１０２に出力する（段階６０４）。例えば、光源１０２が、主発振器３００及び電力増幅器３１０を含む図３に示すレーザ源である場合には、制御システム１１２は（接続部３３５及び３４０を通じて）、レーザ源から所定のパルス繰返し数で出力されるパルスエネルギ及び積算照射量エネルギを制御する。この場合、制御システム１１２は、パルス及び照射量エネルギのフィードバック制御及びフィードフォワード制御を用いて主発振器のチャンバ内の放電と電力増幅器のチャンバ内の放電との互いに対するトリガも与える。制御システム１１２は、光源１０２を遮断する要求（例えば、装置１０６からの）が受け取られたか否かを判断し（段階６０６）、この判断が真である場合には、制御システム１１２は、光源１０２を消灯する（段階６０８）。

【0044】

更に制御システム１１２は、光源１０２に指令を出力する（段階６０４）間に、光ビーム１０４の帯域幅を制御するための第２の処理（図面の右手側に示す）を実施する。この第２の処理では、制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２２のような）を第１の範囲の通常モード５１０で動作させる（段階６１０）。制御システム１１２は、光ビーム１０４の帯域幅を第１の帯域幅範囲からこの第１の帯域幅範囲とは異なる第２の帯域幅範囲に変更する要求を例えば装置１０６又はユーザから受け取ったか否かを判断する（段階６１５）。この要求が受け取られていない場合は（段階６１５）、制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム１２２を第１の範囲の通常モード５１０で動作させ続ける（段階６１０）。一方、要求が受け取られた場合は（段階６１５）、制御システム１１２は、第２の範囲切換モード５２０において第１の帯域幅作動システムの能動制御から第２の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２４等）の能動制御に切り換える（段階６２０）。

【0045】

切り換えが完了した（段階６２０）後、制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システムを第２の範囲の通常モード５２５で動作させる（段階６２５）。制御システム１１２は、光ビーム１０４の帯域幅を第２の帯域幅範囲から第１の帯域幅範囲に変更する要求が、例えば、装置１０６又はユーザから受け取られたか否かを判断する（段階６３０）。制御システム１１２が、この要求が受け取られていないと判断した場合は（段階６３０）、制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システムを第２の範囲の通常モード５２５で動作させ続ける（段階６２５）。制御システム１１２が、要求が受け取られたと判断した場合は（段階６３０）、制御システム１１２は、第１の範囲切換モード５３５において第２の帯域幅作動システムの能動制御から第１の帯域幅作動システムの能動制御に切り換える（段階６３５）。切り換えの完了時に、制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システムを第１の範囲の通常モード５１０で動作させる段階（段階６１０）に戻る。

【0046】

図７を参照すると、制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２２等）を第１の範囲の通常モード５１０で動作させるための例示的な手順６１０を実施する。手順６１０中に、制御システム１１２は、帯域幅測定システム１１１から測定帯域幅情報４１５を受け取る（段階７００）。この場合、制御システム１１２は第１の範囲の通常モード５１０で動作しているので、帯域幅測定システム１１１は、光ビーム１０４の一部分の帯域幅情報を推定するのに第１の組の所定の較正変数を用いている。例えば、帯域幅測定システム１１１は、光ビーム１０４の帯域幅を推定するのに、ＥＹ測定基準（全エネルギのいずれかの百分率又は分率「Ｙ」（例えば、９５％）の幅である）のような測定基準を使用することができる。制御システム１１２は、測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合するか否かを判断する（段階７０５）。

【0047】

測定帯域幅情報４１５は、そのような適合を判断するいくつかの異なる手法が存在するので、あらゆる適切な試験を用いてターゲット帯域幅情報４１０と照合することができる。例えば、適合判断は、帯域幅誤差（ターゲットからの）の最後のＮ個の示度の重み付き和を閾値に対して比較することができる。帯域幅誤差は、測定帯域幅とターゲット帯域幅の間の絶対差である。別の例として、適合判断は、単純に、（時にフィルタリングされた）測定帯域幅とターゲット帯域幅の間の算術差の符号がいつ変化するかを検出することができる。

【0048】

制御システム１１２は、「最適推定」と呼ぶことができる技術において、現在のアクチュエータ指令に基づいて（高ノイズの）測定値（測定帯域幅情報４１５からの）を予想値とを組み合わせることによって（適合モデルを用いて）帯域幅を推定することができる。この場合、制御システム１１２は、この最適推定がターゲット帯域幅から異なるか否かを判断することにより、測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合するか否かを判断する。

【0049】

別の例では、適合判断は、帯域幅誤差が、ある一定の連続時間量にわたって閾値範囲にあるか否かを判断する段階を含むことができる。更に別の例では、適合判断は、帯域幅誤差の変化率が、符号を少なくともＮ回変化させるか（これは、Ｎ回の振動を有する誤差信号振動と考えることができる）否かを判断する段階を含むことができる。更に、これらの適合判断の殆どは、独立したものであり、従って、測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合するか否かを判断するために、様々な可能な独立した適合判断のうちの１つ又はそれよりも多くを組み合わせることができる（段階７０５）。

【0050】

一部の実施では、測度帯域幅情報４１５は、測度帯域幅情報４１５とターゲット帯域幅情報４１０の間の差の絶対値４００が所定の閾値よりも小さい場合にターゲット帯域幅情報４１０に適合する。測度帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合する場合には、制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム１２２をその現在の状態に維持する（段階７１０）。測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０と適合しない場合には、制御システム１１２は、ターゲット帯域幅情報（例えば、ターゲット帯域幅）により近い新しい帯域幅情報（新しい帯域幅等）を選択する新しい位置に光学特徴部１３２を移動する方向に第１の帯域幅作動システム１２２を調節する（段階７１５）。

【0051】

一部の実施では、第１の範囲の通常モード５１０において、制御システム１１２は、線狭化モジュール１０８内の分散要素上に入射するビームの倍率の調節を用いて測定帯域幅情報４１５をターゲット帯域幅情報４１０の近くに維持する。

【0052】

図８を参照すると、制御システム１１２は、手順６２０を実施して、第２の範囲切換モード５２０において第１の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２２等）の能動制御から第２の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２４等）に切り換える。制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム１２２の現在の状態に関する情報を格納する（段階８００）。例えば、制御システム１１２は、光学システム１３８内の光学特徴部１３２の現在の状態に関する情報（例えば、ビーム拡大器の角度又は分散要素の角度分布のマグニチュード）を格納する。更に、制御システム１１２は、それ自体が第２の範囲切換モード５２０にあるという通知を出力デバイス１１６への信号としてこの通知を出力することによって提供する（段階８０５）。

【0053】

次に、制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム１２２を以前に較正して固定した状態に設定する（段階８１０）。例えば、第１の帯域幅作動システム１２２内のアクチュエータの各々は、それぞれの固定状態に設定される。固定状態は、適切な測定法を用いて事前に判断することができる。例えば、固定状態は、生成される光ビームの帯域幅を第１の帯域幅範囲から第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での第１の帯域幅作動システムの状態とすることができる。別の例として、固定状態は、生成される光ビームの帯域幅を第１の帯域幅範囲から第２の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での第１の帯域幅作動システムの状態の関数から判断することができる。

【0054】

第１の帯域幅作動システム１２２が固定状態にある場合であっても、第１の帯域幅作動システム１２２が光ビーム１０４の帯域幅に影響を及ぼすことは可能である。従って、２つ又はそれよりも多くの帯域幅作動システムが、いずれかの一時点で光ビーム１０４に影響を及ぼすことができるが、いずれかの一時点において１つの帯域幅作動システムしか能動的に制御されない。いずれか１つの特定の時点において、帯域幅作動システムのうちの１つが有する特定の帯域幅範囲の帯域幅を制御するのにその１つの帯域幅作動システムしか使用されないとしても、光ビーム１０４の実際の帯域幅は、常にアクチュエータの状態の全ての関数である。例えば、制御システム１１２は、段階６２５において第２の帯域幅作動システムを能動的に制御するが、この間に更に第１の帯域幅作動システムを固定状態に維持し、光ビーム１０４の帯域幅は、帯域幅作動システムの状態の両方のものに依存する。例えば、第２の帯域幅作動システムを「大まかな」帯域幅範囲を制御及び選択するのに使用することができ、それに対して第１の帯域幅作動システムを「細かい」方式で帯域幅を制御及び選択するのに使用することができる。

【0055】

更に制御システム１１２は、第１の帯域幅範囲の測定により適切に調整された第１の組の所定の較正変数を使用する第１の構成から第２の帯域幅範囲の測定により適切に調整された第２の組の所定の較正変数を使用する第２の構成に切り換える信号を帯域幅測定システム１１１に送る（段階８１５）。

【0056】

制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システム１２４を移行モードで動作させる（段階８２０）。このモードでは、制御システム１１２は、帯域幅測定システム１１１から測定帯域幅情報４１５（例えば、測定帯域幅）を受け取り（段階８２１）、測定帯域幅情報４１５がターゲットモニタ帯域幅情報４１０に適合するか否かを判断する（段階８２２）。段階７０５に関して上述のように、制御システム１１２は、適合を判断するのにあらゆる適切な方法を使用することができる。一部の実施では、制御システム１１２は、図４で上述したように、ノイズフィルタリングと閾値論理との組合せを用いて適合判断を行う。従って、例えば、ノイズ４２０は、制御システム１１２によって受け取られる前に測定帯域幅情報４１５からフィルタリングされる。更に、制御システム１１２は、この判断を行う上で基本的な閾値論理を使用することができる。従って、制御システム１１２は、誤差信号４００（すなわち、測定帯域幅情報４１５とターゲット帯域幅情報４１０の間の絶対差）が所定の閾値よりも小さいか否かを判断することができる。

【0057】

制御システム１１２が、いずれの適合も存在しないと判断した場合は（段階８２２）、制御システム１１２は、ターゲット帯域幅情報４１０（例えば、ターゲット帯域幅）により近い新しい帯域幅情報（新しい帯域幅等）を選択する新しい位置に光学特徴部１３４を移動する方向に第２の帯域幅作動システム１２４を調節する（段階８３０）。この段階中に、第１の帯域幅作動システム１２２（及び帯域幅作動システム１２４を除く他の帯域幅作動システム）は固定状態にある。更に、制御システム１１２に供給されるフィードバックの利得は、移行モード中には非常に高く（段階８２０）、第２の帯域幅作動システム１２４を第２の範囲の通常モード５２５で動作させる段階への移行のより迅速な完了を可能にする。

【0058】

制御システム１１２が、適合が存在すると判断した場合は（段階８２２）、制御システム１１２は、それ自体が他のシステムの状態を把握して、それを新しい動作状態に設定することを可能にする一連のリセット機能を起動する比較的短期間のリセットモードで動作する（段階８２５）。リセットモードは、帯域幅アクチュエータの調節が、他のレーザパラメータ（例えば、エネルギ、レーザ利得等）を帯域幅アクチュエータの制御システムが許容可能なレベルで機能しない程大きく変更する可能性があることから含まれる。基本的にリセットモードは、これらの他の制御システムが新しいレーザパラメータを「把握」し、これらに適合するための時間を与える。一般的にリセットは、いずれかの帯域幅範囲からいずれかの他の帯域幅範囲へのあらゆるスイッチに対して必要なものとすることができる。更に、移行の各種類は、その独自の固有リセット機能を有することができる。制御システム１１２は、リセットモードが完了したと判断した場合に（段階８３０）、第２の帯域幅作動システムをその第２の範囲の通常モード５２５で動作させる（段階６２５）。

【0059】

図９を参照すると、制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２４等）を第２の範囲の通常モード５２５で動作させるための例示的な手順６２５を実施する。手順６２５中に、制御システム１１２は、帯域幅測定システム１１１から測定帯域幅情報４１５を受け取る（段階９００）。この場合、制御システム１１２は第２の範囲の通常モード５２５で動作しているので、帯域幅測定システム１１１は、光ビーム１０４の一部分の帯域幅情報を推定するのに第２の組の所定の較正変数を用いている。例えば、帯域幅測定システム１１１は、光ビーム１０４の帯域幅を推定するのに、ＥＸ測定基準（全エネルギのいずれかの百分率又は分率（例えば、９５％）の幅である）のような測定基準を使用することができる。制御システム１１２は、測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合するか否かを判断する（段階９０５）。段階７０５に関して上述したように、制御システム１１２は、適合を判断するのにあらゆる適切な方法を使用することができる。一部の実施では、測度帯域幅情報４１５は、測度帯域幅情報４１５とターゲット帯域幅情報４１０の間の差の絶対値４００が所定の閾値よりも小さい場合にターゲット帯域幅情報４１０に適合する。測度帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合する場合は（段階９０５）、制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システム１２４をその現在の状態に維持する（段階９１０）。測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合しない場合には、制御システム１１２は、ターゲット帯域幅情報（例えば、ターゲット帯域幅）により近い新しい帯域幅情報（新しい帯域幅等）を選択する新しい位置に光学特徴部１３４を移動する方向に第２の帯域幅作動システム１２４を調節する（段階９１５）。

【0060】

一部の実施では、光学特徴部１３４は、回折格子のような分散光学システムであり、第２の範囲の通常モード５２５では、制御システム１１２は、測定帯域幅情報４１５をターゲット帯域幅情報４１０の近くに維持するために、線狭化モジュール１０８内の回折格子に印加される１つ又はそれよりも多くの力を調節する。そのような第２の範囲の通常モード５２５は、上記に解説した’３０６出願に説明されている。更に、第２の範囲の通常モード５２５では、第１の帯域幅作動システム１２２がその固定状態に維持されることから（段階８１０）、第１の光学特徴部１３２は固定状態に維持される。

【0061】

一部の実施では、制御システム１１２は、光源１０２のある一定の動作条件の下においてのみ、例えば、光源１０２の繰返し数が所定の適切な範囲に維持される場合に、第２の帯域幅作動システム１２４の能動制御を実施することができる（段階９０５〜９１５）。従って、光源１０２が所定の適切な範囲外で発光する場合には、制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システム１２４をその現在の状態に維持し、実質的に開ループモードで動作する。

【0062】

図１０を参照すると、制御システム１１２は、第１の範囲切換モード５３５で第２の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２４等）の能動制御から第１の帯域幅作動システム（例えば、帯域幅作動システム１２２等）の能動制御に切り換えるための手順６３５を実施する。制御システム１１２は、第１の帯域幅作動システム１２２を移行モードで動作させる（段階１０００）。一部の実施では、移行モード（段階１０００）において、第１の帯域幅作動システム１２２は、段階８００において格納された状態に指令される。

【0063】

次に、制御システム１１２は、第２の帯域幅作動システム１２４を固定状態に設定する（段階１００５）。例えば、第２の帯域幅作動システム１２４内のアクチュエータの各々が、それぞれの固定状態に設定される。一部の実施では、固定状態は、生成される光ビームの帯域幅を第２の帯域幅範囲から第１の帯域幅範囲に変更する要求が受け取られた時点での第２の帯域幅作動システムの状態とすることができる。他の実施では、固定状態は、較正中に判断される所定の状態である。

【0064】

制御システム１１２は、第２の帯域幅範囲の測定により適切に調整された第２の組の所定の較正変数を使用する第２の構成から第１の帯域幅範囲の測定により適切に調整された第１の組の所定の較正変数を使用する第１の構成に切り換える信号を帯域幅測定システム１１１に送る（段階１０１０）。更に、制御システム１１２は、それ自体が第１の範囲切換モード５３５にあるという通知をこの通知を出力デバイス１１６への信号として出力することによって供給する（段階１０１５）。

【0065】

次に、制御システム１１２は、それ自体が他のシステム状態を把握して、それを新しい動作状態に設定することを可能にする一連のリセット機能を起動する比較的短期間のリセットモードで動作する（段階１０２０）。制御システム１１２は、リセットモードが完了したと判断した（段階１０２５）後に、第１の帯域幅作動システムを第１の範囲の通常モード５１０で動作させる（段階６１０）。

【0066】

更に図１１を参照すると、一部の実施において、段階１０００における移行モードは、制御システム１１２が帯域幅測定システム１１１から測定帯域幅情報４１５（例えば、測定帯域幅）を受け取り（段階１０２１）、測定帯域幅情報４１５がターゲット帯域幅情報４１０に適合するか否かを判断する（段階１０２２）閉ループ制御モードとすることができる。段階７０５に関して上述のように、制御システム１１２は、適合を判断するのにあらゆる適切な方法を使用することができる。例えば、制御システム１１２は、図４で上述したように、ノイズフィルタリングと閾値論理との組合せを用いて判断を行う。制御システム１１２が、いずれの適合も存在しないと判断した場合は（段階１０２２）、制御システム１１２は、ターゲット帯域幅情報４１０（例えば、ターゲット帯域幅）により近い新しい帯域幅情報（新しい帯域幅等）を選択する新しい位置に光学特徴部１３２を移動する方向に第１の帯域幅作動システム１２２を調節する（段階１０２３）。この段階中に、第２の帯域幅作動システム１２４（及び第１の帯域幅作動システム１２２以外のいずれかの帯域幅作動システム）は、そのそれぞれの固定状態に維持される。制御システム１１２が、適合が存在すると判断した場合は（段階１０２２）、制御システム１１２は、短期間のリセットモードで動作する（段階１０２５）。

【0067】

上述のように、光システム１００は、リソグラフィ機械１０６上で動作するレーザシステムとすることができる。この場合、レーザシステム１００は、２つ又はそれよりも多くの異なる帯域幅でレーザ源１０２を動作させて制御することができる。例えば、この実施では、第１の異なる帯域幅範囲を例えば約０．５ｐｍよりも小さい狭帯域幅範囲とすることができ、第２の異なる帯域幅範囲を例えば約０．５ｐｍと約１．７ｐｍの間の広帯域幅範囲とすることができる。そのような広帯域幅範囲は、ある一定のリソグラフィ工程（接触孔を作成する段階等）をより効率的で適切に実施することを可能にする集中穴あけのような用途において有利であるとすることができる。

【0068】

一部の実施では、光ビーム１０４の帯域幅を測定するのに使用することができる測定基準は、２００９年８月２５日出願の「レーザ光源の能動的スペクトル制御（Ａｃｔｉｖｅ Ｓｐｅｃｔｒａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ ｏｆ Ｌａｓｅｒ Ｌｉｇｈｔ Ｓｏｕｒｃｅ）」という名称の米国特許出願第６１／２３６，８４８号明細書に説明されている平均絶対非集束（ＭＡＤ）とすることができ、本出願は、その全体が引用によって本明細書に組み込まれている。

【0069】

制御システム１１２は、デジタル電子回路、コンピュータハードウエア、ファームウエア、及びソフトウエアのうちの１つ又はそれよりも多くを含むことができる。制御システム１１２は、適切な入出力デバイスと、コンピュータプロセッサと、プログラム可能プロセッサによる実行に向けて機械可読記憶デバイス内に有形的に具現化されたコンピュータプログラム製品とを含むことができる。本発明の技術（上記に解説した）を実施する手順は、入力データに対して動作して適切な出力を生成することによって望ましい機能を実施するための命令プログラムを実行するプログラム可能プロセッサによって実施することができる。一般的にプロセッサは、読取専用メモリ及び／又はランダムアクセスメモリから命令及びデータを受け取る。有形的にコンピュータプログラム命令及びデータを具現化するのに適する記憶デバイスは、一例として、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、及びフラッシュメモリデバイスのような固体メモリデバイスと、内部ハードディスク及び取外し可能ディスクのような磁気ディスクと、光磁気ディスクと、ＣＤ−ＲＯＭディスクとを含む全ての形態の不揮発性メモリを含む。上述のあらゆるものは、特別に設計されたＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）によって補足されるか又はこのＡＳＩＣ内に組み込むことができる。

【0070】

他の実施は、以下に続く特許請求の範囲内である。

【符号の説明】

【0071】

１０２ 光源
１０６ 装置
１１０ ビーム分析モジュール
１１２ 制御システム
１１６ 出力デバイス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】