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サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー

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  2024年 特許取得件数ランキング    第866位 24件 上昇2023年:第1078位 20件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7574344 スペクトルフィーチャ制御装置 2024年10月28日
特許 7572545 レーザチャンバの封止機構のための電磁シールド 2024年10月23日
特許 7558370 ガス制御方法及びそれに関連した使用 2024年 9月30日
特許 7547624 深紫外線光源のための光学コンポーネント 2024年 9月 9日
特許 7538346 波長間隔が広い多焦点イメージング 2024年 8月21日
特許 7530407 リソグラフィシステム帯域幅制御 2024年 8月 7日
特許 7529805 光源の制御装置 2024年 8月 6日
特許 7528178 レーザチャンバにおける放電性能を調整する装置 2024年 8月 5日
特許 7524339 導管システム、放射源、リソグラフィ装置、及びそれらの方法 2024年 7月29日
特許 7523587 中心波長を制御するためのシステム及び方法 2024年 7月26日
特許 7515001 予測的に較正をスケジュール設定する装置及び方法 2024年 7月11日
特許 7511744 フッ素測定装置及びフッ素測定方法 2024年 7月 5日
特許 7472274 スペックル低減のための一連のスタックされた共焦点パルスストレッチャ 2024年 4月22日
特許 7434382 ウェーハベースの光源パラメータ制御 2024年 2月20日
特許 7430748 エキシマ光源におけるスペックルの低減 2024年 2月13日

24 件中 1-15 件を表示

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7574344 7572545 7558370 7547624 7538346 7530407 7529805 7528178 7524339 7523587 7515001 7511744 7472274 7434382 7430748

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