特許 6099343 樹脂剥がし方法及び樹脂剥がし装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6099343

(24)【登録日】2017年3月3日

(45)【発行日】2017年3月22日

(54)【発明の名称】樹脂剥がし方法及び樹脂剥がし装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20170313BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/304 622P

【請求項の数】2

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-208164(P2012-208164)

(22)【出願日】2012年9月21日

(65)【公開番号】特開2014-63882(P2014-63882A)

(43)【公開日】2014年4月10日

【審査請求日】2015年9月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100132067

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 喜雅

(74)【代理人】

【識別番号】100137903

【弁理士】

【氏名又は名称】菅野 亨

(74)【代理人】

【識別番号】100150304

【弁理士】

【氏名又は名称】溝口 勉

(72)【発明者】

【氏名】現王園 二郎

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭５９−１７４６７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１５１２７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１１４２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１１８５８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／００１７２４８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

樹脂が円形の板状ワークの上面および外周からはみ出して貼付けられていて、板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転動作部と、該保持テーブルに保持された該板状ワークの外周からはみ出した該樹脂を掴むクランプ部と、該クランプ部から所定の距離を離間して配設され該樹脂を上から押す押付けローラと、該クランプ部を略上方向に上昇させる上昇移動部と、該保持テーブルを水平方向に移動させる水平移動部と、該回転動作部の回転角度を指定する角度指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径以内の値で指定する第１の距離指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径より大きな値で指定する第２の距離指定部と、を少なくとも備える樹脂剥がし装置を用いた樹脂剥がし方法であって、
該押付けローラで該樹脂の上面を押さえ、該クランプ部が該樹脂を掴み、該クランプ部に該上昇移動部で上方向の力を付与させ、該保持テーブルを該水平移動部で該第１の距離指定部の指定する距離を移動させ、該保持テーブルの移動によって該上昇移動部で該クランプ部が上昇して板状ワークの外周部分の該樹脂を剥がす動作を行い、該角度指定部で指定された角度に該保持テーブルを回転させた後、板状ワークの外周部分の該樹脂を剥がす動作を繰返す外周剥がし工程と、
該押付けローラで該樹脂の上面を押さえ、該クランプ部が該樹脂を掴み、該クランプ部に該上昇移動部で上方向に力を付与させ、該保持テーブルを該水平移動部で該第２の距離指定部が指定する距離を移動させ、板状ワークに貼付けられた樹脂を剥がす動作を行う全体剥がし工程とを有する樹脂剥がし方法。

【請求項2】

円形の板状ワークの上面および外周からはみ出して貼付けられた樹脂を剥がす樹脂剥がし装置であって、
板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、
該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転動作部と、
該保持テーブルに保持された該板状ワークの外周からはみ出した該樹脂を掴むクランプ部と、
該クランプ部から所定の距離を離間して配設され該樹脂を上から押す押付けローラと、
該クランプ部を略上方向に上昇させる上昇移動部と、
該保持テーブルを水平方向に移動させる水平移動部と、
該回転動作部の回転角度を指定する角度指定部と、
該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径以内の値で指定する第１の距離指定部と、
該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径より大きな値で指定する第２の距離指定部と、を少なくとも備えていて、
該角度指定部が指定する角度で該保持テーブルを回転させ、該クランプ部が該樹脂を掴む位置を位置づけられて該クランプ部が該樹脂を掴み、該押付けローラが該樹脂の上面を押付け、該クランプ部を該上昇移動部で上方向に力を付与させ、該第１の距離指定部が指定する距離で該保持テーブルを水平方向に移動させ、該保持テーブルが移動される事で該上昇移動部によって該クランプ部が上昇して、板状ワークに貼付けられた該樹脂の外周を剥がし、該第２の距離指定部が指定する距離で該保持テーブルを水平方向に移動させ、該保持テーブルが移動させる事で該上昇移動部によって該クランプ部が上昇し板状ワークに貼付けられた樹脂を剥がす樹脂剥がし装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インゴットから切り出された板状ワークの片面に塗布された樹脂を、板状ワークの研削後に剥がす樹脂剥がし方法及び樹脂剥がし装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ワークの製造工程では、例えば、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤソーによってスライスされて板状ワークが形成される。スライスされた板状ワークには、研削加工等が施されることによってスライス時に発生したうねりや反り等が除去されて平坦に形成される。従来、板状ワークからうねりや反り等を除去する加工方法として、板状ワークの一方の面に樹脂を塗布して硬化させた後、この一方の面を研削時の基準面として板状ワークの他方の面を研削する加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１に記載の加工方法では、樹脂を塗布したシート上に板状ワークを載置し、板状ワークをシートに押付けている。このとき、シートと板状ワークとに挟まれた樹脂が板状ワークの外縁からはみ出るまで板状ワークが押付けられることで、板状ワークの全面に樹脂が押し広げられている。板状ワークは、樹脂が硬化した後、樹脂が塗布された一方の面を基準として他方の面が研削され、さらに樹脂を剥がして一方の面を研削することで平坦に形成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−１４８８６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記した加工方法では、板状ワークから樹脂を剥がす際に板状ワークが割れるおそれがあった。特に、板状ワークの外縁からはみ出た樹脂が板状ワークの外周部分に強く貼り付いており、樹脂剥がし時に板状ワークの外周部分から欠けや剥がし残しが生じ易いという問題があった。

【0006】

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、板状ワークの割れを起こすことなく、板状ワークの全面から確実に樹脂を剥がすことができる樹脂剥がし方法及び樹脂剥がし装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の樹脂剥がし方法は、樹脂が円形の板状ワークの上面および外周からはみ出して貼付けられていて、板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転動作部と、該保持テーブルに保持された該板状ワークの外周からはみ出した該樹脂を掴むクランプ部と、該クランプ部から所定の距離を離間して配設され該樹脂を上から押す押付けローラと、該クランプ部を略上方向に上昇させる上昇移動部と、該保持テーブルを水平方向に移動させる水平移動部と、該回転動作部の回転角度を指定する角度指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径以内の値で指定する第１の距離指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径より大きな値で指定する第２の距離指定部と、を少なくとも備える樹脂剥がし装置を用いた樹脂剥がし方法であって、該押付けローラで該樹脂の上面を押さえ、該クランプ部が該樹脂を掴み、該クランプ部に該上昇移動部で上方向の力を付与させ、該保持テーブルを該水平移動部で該第１の距離指定部の指定する距離を移動させ、該保持テーブルの移動によって該上昇移動部で該クランプ部が上昇して板状ワークの外周部分の該樹脂を剥がす動作を行い、該角度指定部で指定された角度に該保持テーブルを回転させた後、板状ワークの外周部分の該樹脂を剥がす動作を繰返す外周剥がし工程と、該押付けローラで該樹脂の上面を押さえ、該クランプ部が該樹脂を掴み、該クランプ部に該上昇移動部で上方向に力を付与させ、該保持テーブルを該水平移動部で該第２の距離指定部が指定する距離を移動させ、板状ワークに貼付けられた樹脂を剥がす動作を行う全体剥がし工程とを有している。

【0008】

本発明の樹脂剥がし装置は、円形の板状ワークの上面および外周からはみ出して貼付けられた樹脂を剥がす樹脂剥がし装置であって、板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転動作部と、該保持テーブルに保持された該板状ワークの外周からはみ出した該樹脂を掴むクランプ部と、該クランプ部から所定の距離を離間して配設され該樹脂を上から押す押付けローラと、該クランプ部を略上方向に上昇させる上昇移動部と、該保持テーブルを水平方向に移動させる水平移動部と、該回転動作部の回転角度を指定する角度指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径以内の値で指定する第１の距離指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径より大きな値で指定する第２の距離指定部と、を少なくとも備えていて、該角度指定部が指定する角度で該保持テーブルを回転させ、該クランプ部が該樹脂を掴む位置を位置づけられて該クランプ部が該樹脂を掴み、該押付けローラが該樹脂の上面を押付け、該クランプ部を該上昇移動部で上方向に力を付与させ、該第１の距離指定部が指定する距離で該保持テーブルを水平方向に移動させ、該保持テーブルが移動される事で該上昇移動部によって該クランプ部が上昇して、板状ワークに貼付けられた該樹脂の外周を剥がし、該第２の距離指定部が指定する距離で該保持テーブルを水平方向に移動させ、該保持テーブルが移動させる事で該上昇移動部によって該クランプ部が上昇し板状ワークに貼付けられた樹脂を剥がしている。

【0009】

これらの構成によれば、板状ワークの外周からはみ出した樹脂が板状ワークの外周部分から複数回に分けて剥がされた後に、板状ワークの全体から樹脂が剥がされる。この場合、板状ワークの全体から樹脂を剥がす際に、板状ワークの外周部分に強く貼り付いた樹脂が事前に剥がされているため、板状ワークの割れを防止すると共に、板状ワークの外周部分の樹脂の剥がし残しをなくして、板状ワークから樹脂を確実に剥がすことができる。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、複数回に分けて板状ワークの外周部分から樹脂を剥がした後に、板状ワークの全体から樹脂を剥がすことで、板状ワークの割れを起こすことなく、板状ワークの全面から確実に樹脂を剥がすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施の形態に係る樹脂剥がし装置の模式図である。

【図2】本実施の形態に係る引き剥がし方向と樹脂の粘着力との関係の説明図である。

【図3】本実施の形態に係る外周剥がし工程の説明図である。

【図4】本実施の形態に係る全体剥がし工程の説明図である。

【図5】本実施の形態に係る樹脂剥がし動作のバリエーションを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る樹脂剥がし装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る樹脂剥がし装置の模式図である。なお、樹脂剥がし装置は、図１に示す構成に限定されない。樹脂剥がし装置は、複数回に分けて板状ワークの外周部分から樹脂を剥がした後に、板状ワークの全体から樹脂を剥がす構成であれば、どのような構成でもよい。

【0013】

図１に示すように、樹脂剥がし装置１は、円形の板状ワークＷの上面８１に貼り付けられた樹脂８５を剥がすように構成されている。この樹脂剥がし装置１は、保持テーブル３上に板状ワークＷが保持されており、板状ワークＷの外周からはみ出した樹脂８５の端部８２を掴んで、板状ワークＷの上面８１から樹脂８５を引き剥がすように動作する。樹脂剥がし装置１は、保持テーブル３を回転させてクランプ位置を変え、複数回に分けて板状ワークＷの外周部分から樹脂８５を剥がした後、板状ワークＷの全体から樹脂８５を引き剥がしている。

【0014】

板状ワークＷは、デバイスパターンが形成される前のものであり、円柱状のインゴットをワイヤソーで切断することにより得られる。板状ワークＷは、切断時に生じたうねりや反り等を除去するために、一方の面（上面８１）に樹脂８５を塗布した後に他方の面（下面８３）を研削した状態で樹脂剥がし装置１に搬入される。樹脂８５の表面には、板状ワークＷに対する樹脂８５の塗布時に使用されるシート８７（図２参照）が貼り付けられている。また、板状ワークＷの上面８１に外周からはみ出すように樹脂８５が塗布されることで、板状ワークＷの全面が樹脂８５によって被覆されている。

【0015】

なお、板状ワークＷは、シリコン（Ｓｉ）、ガリウムヒソ（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等のワークに限定されるものではない。例えば、セラミック、ガラス、サファイヤ（Ａｌ₂Ｏ₃）系の無機材料基板、板状金属や樹脂の延性材料、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダの平坦度（TTV: Total Thickness Variation）が要求される各種加工材料を板状ワークＷとしてもよい。なお、ここでいう平坦度とは、板状ワークＷの被研削面を基準面として厚み方向を測定した高さのうち、最大値と最小値との差を示している。

【0016】

樹脂剥がし装置１は、板状ワークＷを保持した保持テーブル３を水平移動させて、樹脂８５の端部８２を掴んだクランプ部５を上昇移動させることによって、樹脂８５の引き剥がし動作を実施している。樹脂剥がし装置１は、基台２を有しており、基台２には保持テーブル３を水平方向に移動させる水平移動部４が設けられている。水平移動部４は、基台２上に配置された一対のガイドレール４１（１つのみ図示）と、一対のガイドレール４１にスライド可能に設置されたモータ駆動のスライドテーブル４２とを有している。

【0017】

スライドテーブル４２上にはテーブル支持台４５を介して保持テーブル３が回転可能に支持されている。スライドテーブル４２の背面には、ナット部４３が設けられており、このナット部４３に基台２内に配置されたボールネジ４４が螺合されている。そして、ボールネジ４４の一端部に連結された駆動モータ４９が回転駆動されることで、保持テーブル３がガイドレール４１に沿って水平方向に移動される。なお、水平方向とは、重力方向に対して完全に直交する方向に限らず、重力方向に対して実質的に直交と見なせる程度に傾斜する方向を含んでいる。

【0018】

テーブル支持台４５は、中央に開口４８が形成された板状部４６の周囲に複数の脚部４７をネジ止めして構成されている。板状部４６の開口４８には、保持テーブル３の下面から突出する駆動軸３１が挿通されている。また、テーブル支持台４５の内側には、保持テーブル３を回転させるベルト駆動式の回転動作部３５が設けられている。回転動作部３５は、駆動モータ３６の出力軸３７と保持テーブル３の駆動軸３１とに無端ベルト３８を掛け渡して構成される。回転動作部３５は、駆動モータ３６の出力を無端ベルト３８を介して駆動軸３１に伝達することで、保持テーブル３を保持面３２の中心を軸に回転させている。

【0019】

保持テーブル３は、円盤状に形成されており、板状ワークＷの下面８３を吸引保持する保持面３２が形成されている。保持面３２は、ポーラスセラミック材により形成されており、不図示の流路を通じて吸引源に接続されている。保持テーブル３の下面には、上記したように円柱状の駆動軸３１が設けられている。駆動軸３１は、板状部４６の開口４８に挿通され、エアベアリングによってテーブル支持台４５に対して回転可能に支持されている。

【0020】

クランプ部５は、保持テーブル３の外周付近に位置付けられ、板状ワークＷの外周からはみ出した樹脂８５及びシート８７（図２参照）を掴むように構成されている。クランプ部５の先端には、樹脂８５の端部８２と共にシート８７を挟み込む挟持部５１が設けられている。クランプ部５の基端には、上昇移動部５５のシリンダ５７内に収容されたピストン５６が設けられている。上昇移動部５５は、クランプ部５を略上方向に移動可能に支持している。上昇移動部５５のシリンダ５７は、鉛直姿勢に対して引き剥がし方向に僅かに傾けられている。

【0021】

シリンダ５７の下端側には、ピストン５６の下方空間にエアを取り込む吸気口５８が形成され、シリンダ５７の上端側には、ピストン５６の上方空間からエアを排気する排気口５９が形成されている。ピストン５６は、シリンダ５７内を仕切るように配置されており、シリンダ５７の下端側の吸気口５８からエアが供給されることで、ピストン５６が略上方に押し上げられる。これにより、ピストン５６に連結されたクランプ部５が樹脂８５の端部８２を掴んだ状態で略上方向に移動される。このとき、シリンダ５７が引き剥がし方向に僅かに傾けられているため、クランプ部５の上昇に応じて樹脂８５を引き剥がし易くしている。

【0022】

なお、略上方向とは、鉛直上方よりも僅かに斜めに傾いた方向に限られず、板状ワークＷに対して上方と見なせる方向含んでいる。したがって、略上方向とは、板状ワークＷの表面に完全に垂直な鉛直上方向であってもよい。この場合、シリンダ５７は、保持テーブル３の保持面３２に対して鉛直姿勢で設置される。

【0023】

また、保持テーブル３の上方には、樹脂８５を板状ワークＷに押付ける押付けローラ６が設けられている。押付けローラ６は、板状ワークＷの径方向においてクランプ部５に対向しており、クランプ部５から所定の距離だけ板状ワークＷの径方向内側に離間して配設されている。押付けローラ６は、押付けシリンダ６１によって板状ワークＷに対して離接可能に駆動される。押付けローラ６は、保持テーブル３の移動方向に対して直交する方向に延在しており、板状ワークＷの直径よりも長く形成されている。これにより、押付けローラ６は、板状ワークＷの全体を押付け可能となっている。押付けローラ６は、押付けシリンダ６１のピストン（不図示）に回転可能に連結されている。

【0024】

板状ワークＷは、押付けローラ６の押付け力と保持テーブル３の保持力により保持面３２に保持されている。この押付け力と保持力との合力は、クランプ部５の上昇力よりも強く調整されている。また、クランプ部５の上昇力は、樹脂８５の粘着力よりも強く調整されている。したがって、クランプ部５の上昇によって、板状ワークＷが保持テーブル３の保持面３２から外れることがなく、板状ワークＷから樹脂８５だけを剥がすことが可能となっている。

【0025】

また、押付けローラ６が板状ワークＷの外周部分に位置付けられている状態では、押付けローラ６によってクランプ部５の上昇が抑えられている。これは、押付けローラ６の押付け位置とクランプ部５のクランプ位置とが近いため、樹脂８５を介して押付けローラ６によってクランプ部５の上昇が規制されるからである。樹脂剥がし時には、保持テーブル３の水平移動によって押付けローラ６の押付け位置が板状ワークＷの外周部分から移動される。これにより、押付けローラ６によって抑え込まれていたクランプ部５の上昇が開放され、押付けローラ６の移動距離に応じて樹脂８５が引き剥がされる。

【0026】

このように、樹脂剥がし装置１は、保持テーブル３の水平方向の移動によって、板状ワークＷ上の押付けローラ６の押付け位置が移動することで、板状ワークＷから樹脂８５を剥がしている。この場合、樹脂剥がし装置１は、保持テーブル３の移動量を小さくすることによって、板状ワークＷの外周部分の樹脂８５を剥がすように動作する。また、樹脂剥がし装置１は、保持テーブル３の移動量を大きくすることによって、板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がすように動作する。なお、樹脂剥がし装置１の樹脂剥がし動作の詳細については後述する。

【0027】

また、樹脂剥がし装置１には、装置各部を統括制御する制御部７が設けられている。制御部７は、回転動作部３５の回転角度を指定する角度指定部７１と、水平移動部４の移動距離を板状ワークＷの半径内の値で指定する第１の距離指定部７２と、水平移動部４の移動距離を板状ワークＷの半径よりも大きな値で指定する第２の距離指定部７３とを有している。制御部７は、角度指定部７１で指定された回転角度に保持テーブル３を回転させ、板状ワークＷの外周部分の所定位置をクランプ部５に掴ませる。すなわち、角度指定部７１には、クランプ部５によって樹脂８５を掴ませるクランプ位置が指定される。

【0028】

制御部７は、水平移動部４を制御して、第１、第２の距離指定部７２、７３で指定された距離だけ保持テーブル３を移動させる。上記したように、樹脂８５は、保持テーブル３の移動量に応じて板状ワークＷから引き剥がされる。すなわち、第１の距離指定部７２には、板状ワークＷの半径内の値で、外周剥がし工程における板状ワークＷからの樹脂８５の引き剥がし量が指定される。また、第２の距離指定部７３には、板状ワークＷの半径よりも大きな値で、全体剥がし工程における板状ワークＷからの樹脂８５の引き剥がし量が指定される。

【0029】

なお、回転角度の指定は、特に指定方法は限定されない。回転角度の指定は、クランプ部５に掴ませたい角度位置が直接指定されてもよいし、回転間隔や剥がし動作の動作回数の１つ又は複数の組み合わせで指定されてもよい。回転間隔のみで指定される場合には、３６０°を回転間隔で除算して回転角度を指定できる。例えば、回転間隔として６０°を設定すれば、６０°間隔で６つの回転角度（角度位置）を指定することが可能である。また、剥がし動作の動作回数のみで指定される場合には、３６０°を動作回数で除算して回転角度を指定できる。例えば、剥がし動作の動作回数を６回に設定すれば、６０°間隔で６つの回転角度（角度位置）を指定することができる。この場合、剥がし動作の動作回数から１を減算したものを外周剥がし工程の動作回数とし、剥がし動作の動作回数から外周剥がし工程の動作回数を減算したものを全体剥がし工程の動作回数とする。すなわち、外周剥がし工程の動作回数と全体剥がし工程の動作回数との合計を動作回数としている。また、所定の角度範囲（例えば、１８０°）内で回転角度を指定することも可能である。

【0030】

制御部７は、樹脂剥がし装置１の各処理を実行するプロセッサやメモリ等によって構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ(Read Only Memory)、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。すなわち、角度指定部７１、第１、第２の距離指定部７２、７３による各処理は、プロセッサやメモリ等のハードウェア資源を用いて実現されている。

【0031】

このように構成された樹脂剥がし装置１は、板状ワークＷの外周部分の樹脂８５を剥がす外周剥がし工程と、板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がす全体剥がし工程とを組み合わせることで、板状ワークＷから樹脂８５を剥がしている。外周剥がし工程では、角度指定部７１に指定された回転角度に保持テーブル３を回転させてクランプ位置を変え、複数回に分けて板状ワークＷの外周部分から樹脂８５を剥がしている。全体剥がし工程では、外周剥がし工程で剥がれされていないクランプ位置を掴み、保持テーブル３を大きく水平移動させることで板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がしている。このとき、板状ワークＷの外周部分に強く貼り付いた樹脂８５が事前に剥がされているため、板状ワークＷの全体から樹脂８５が剥がし易くなっている。

【0032】

ここで、図２を参照して引き剥がし方向と樹脂の粘着力との関係について説明する。図２は、本実施の形態に係る引き剥がし方向と樹脂の粘着力との関係の説明図である。なお、図２Ａは、板状ワークの上面図を示し、図２Ｂは、板状ワークのＡ―Ａ線に沿う断面図、図２Ｃは、板状ワークのＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図２Ａでは、説明の便宜上シートを省略している。

【0033】

図２Ａから図２Ｃに示すように、板状ワークＷには、上面８１を覆うように樹脂８５が貼り付けられている。樹脂８５は、板状ワークＷの外周からはみ出しており、板状ワークＷの上面８１だけでなく外周面８４にも貼り付けられている。このため、板状ワークＷの外周からはみ出た樹脂８５が板状ワークＷの外周面８４に強く貼り付いており、板状ワークＷの外周部分から樹脂８５が剥がれ難くなっている。樹脂８５は、板状ワークＷの外周から中央方向に向かって引き剥がされる。このとき、図２Ａに示すように、樹脂剥がしの開始位置では、板状ワークＷの外周面８４と樹脂８５の端部８２とが引き剥がし方向に直交する面で貼着されている。この板状ワークＷの外周面８４と樹脂８５の端部８２との貼着面は、樹脂剥がしの開始位置から中央に近付くにつれて、引き剥がし方向に平行な方向に向けられる。

【0034】

図２Ｂに示すように、樹脂剥がしの開始位置において板状ワークＷから樹脂８５が捲り上げられると、樹脂８５の端部８２には粘着力に対して逆向きに引張力が作用する。このため、樹脂剥がしの開始位置では、板状ワークＷの外周面８４から樹脂８５の端部８２を引き離す方向に力が作用し、板状ワークＷから樹脂８５を剥がし易くなっている。図２Ｃに示すように、板状ワークＷの中央付近において板状ワークＷから樹脂８５が捲り上げられると、樹脂８５の端部８２には粘着力に対して直交する上方向に引張力が作用する。このため、板状ワークＷの中央付近では、板状ワークＷの外周面８４に対して樹脂８５の端部８２をスライドさせる方向に力が作用し、板状ワークＷから樹脂８５を剥がし難くなっている。

【0035】

このため、本実施の形態では、板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がす前に、板状ワークＷの外周部分から樹脂８５を剥がすようにしている。これにより、板状ワークＷの外周面８４に対する樹脂８５の端部８２の貼り付きによって、樹脂剥がし動作が阻害されることがない。よって、板状ワークＷの割れを起こすことなく、樹脂８５の剥がし残しをなくして、板状ワークＷから樹脂８５を良好に剥がすことが可能となっている。

【0036】

図３及び図４を参照して、樹脂剥がし装置による樹脂剥がし動作について説明する。図３は、本実施の形態に係る外周剥がし工程の説明図である。図４は、本実施の形態に係る全体剥がし工程の説明図である。なお、図３及び図４においては、説明の便宜上、水平移動部４の一部の構成を省略して記載している。

【0037】

まず、外周剥がし工程について説明する。図３Ａに示すように、板状ワークＷが保持された保持テーブル３が初期位置Ｐに位置付けられている。この初期位置Ｐにおいて、板状ワークＷに貼り付けられた樹脂８５の端部８２（クランプ位置）がシート８７（図２参照）共にクランプ部５に掴まれる。このとき、上昇移動部５５によってクランプ部５に樹脂８５の粘着力よりも強い上昇力が付与されているが、押付けローラ６の押付け力によって板状ワークＷからの樹脂８５の引き剥がしが抑えられている。よって、クランプ部５の上昇が押付けローラ６によって、保持テーブル３よりも僅かに高い位置で規制されている。

【0038】

図３Ｂに示すように、水平移動部４によって、第１の距離指定部７２（図１参照）に指定された距離Ｌ１だけ保持テーブル３が初期位置Ｐから移動される。これにより、押付けローラ６の押付け位置が、板状ワークＷの外周から中央に向かって距離Ｌ１だけ移動する。この押付けローラ６の押圧位置の移動によって、押付けローラ６に規制されていたクランプ部５の上昇が開放されて、板状ワークＷの外周部分の樹脂８５が剥がされる。板状ワークＷの外周部分の樹脂８５が剥がされると、クランプ部５から樹脂８５が放されて、保持テーブル３が初期位置Ｐに戻される。

【0039】

図３Ｃに示すように、角度指定部７１（図１参照）によって指定された回転角度に保持テーブル３が回転され、クランプ部５に対して新たなクランプ位置が位置付けられる。そして、上記したようにクランプ部５で樹脂８５を掴んだ状態で、保持テーブル３の水平方向の移動させることで、板状ワークＷから樹脂８５を剥がしている。このように、外周剥がし工程では、保持テーブル３を回転させてクランプ位置を変えて、複数回に分けて板状ワークＷの外周部分から樹脂８５を剥がしている。

【0040】

続いて、全体剥がし工程について説明する。図４Ａに示すように、初期位置Ｐにおいて角度指定部７１（図１参照）によって指定された回転角度に保持テーブル３が回転され、クランプ部５に対して全体剥がし用のクランプ位置が位置付けられる。これにより、外周剥がし工程で剥がされていない樹脂８５の端部８２がクランプ部５に位置付けられ、この樹脂８５の端部８２とシート８７（図２参照）がクランプ部５に掴まれる。このとき、全体剥がし工程においても外周剥がし工程と同様に、押付けローラ６の押付け力によって板状ワークＷからの樹脂８５の引き剥がしが抑えられ、クランプ部５の上昇が押付けローラ６によって規制される。

【0041】

図４Ｂに示すように、水平移動部４によって、第２の距離指定部７３（図１参照）に指定された距離Ｌ２だけ保持テーブル３が初期位置Ｐから移動される。これにより、押付けローラ６の押付け位置が、板状ワークＷの外周の一端側から他端に向かって距離Ｌ２だけ移動する。この押付けローラ６の押圧位置の移動によって、押付けローラ６に規制されていたクランプ部５の上昇が開放されて、板状ワークＷの樹脂８５が引き剥がされる。このとき、板状ワークＷの外周部分から樹脂８５が剥がされているため、板状ワークＷの割れや剥がし残しがない。

【0042】

ところで、樹脂８５の剥がし終わりでは、押付けローラ６の押付け状態で保持テーブル３が水平移動されると、板状ワークＷから樹脂８５が剥がれた反動で板状ワークＷが滑って、板状ワークＷが保持テーブル３上から離れる場合がある。そこで本実施の形態では、図４Ｃに示すように、樹脂８５の剥がし終わりの直前では、保持テーブル３が停止され、押付けローラ６が樹脂８５の表面から上方に離間される。これにより、クランプ部５の上昇力だけで板状ワークＷから樹脂８５が剥がされるため、板状ワークＷが保持テーブル３上から離れることがない。

【0043】

なお、本実施の形態では、樹脂８５の剥がし終わりの直前に、保持テーブル３が停止されると共に、押付けローラ６が樹脂８５の表面から離間される構成としたが、この構成に限定されない。半分以上の樹脂８５が板状ワークＷから離れていれば、クランプ部５の上昇力だけで板状ワークＷから樹脂８５を剥がすことが可能である。

【0044】

図５を参照して、樹脂剥がし動作のバリエーションについて説明する。図５は、本実施の形態に係る樹脂剥がし動作のバリエーションを示す図である。なお、以下に示す樹脂剥がし動作のバリエーションは一例に過ぎず、この構成に限定されない。

【0045】

図５Ａに示す例では、板状ワークＷの外周部分の樹脂８５を対向する２カ所で剥がした後、板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がしている。この場合、角度指定部７１（図１参照）には、外周剥がし工程の回転角度として０°、１８０°が指定され、全体剥がし工程の回転角度として９０°が指定される。外周剥がし工程では、保持テーブル３が０°位置及び１８０°位置に回転され、２回に分けて板状ワークＷの外周部分の樹脂８５が剥がされる。このように、板状ワークＷから樹脂８５が剥がれ難い部分が、全体剥がし工程の前に剥がされている。

【0046】

続いて、全体剥がし工程では、保持テーブル３（図１参照）の回転角度が９０°位置に位置付けられて、板状ワークＷの全体から樹脂８５が剥がされる。この場合、０°位置及び１８０°位置において板状ワークＷの外周部分に貼り付いた樹脂が事前に剥がされているため、板状ワークＷの全体から樹脂８５を良好に引き剥がすことができる。また、外周剥がし工程の繰り返し回数が少ないため、樹脂剥がし動作の処理時間を短縮できる。

【0047】

図５Ｂに示す例では、板状ワークＷの略半部において外周部分の樹脂８５を剥がした後、板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がしている。この場合、角度指定部７１には、外周剥がし工程の回転角度として０°、４５°、１３５°、１８０°が指定され、全体剥がし工程の回転角度として９０°が指定される。外周剥がし工程では、保持テーブル３が０°位置、４５°位置、１３５°位置、１８０°位置に回転され、４回に分けて板状ワークＷの外周部分の樹脂８５が剥がされる。

【0048】

続いて、全体剥がし工程では、保持テーブル３（図１参照）の回転角度が９０°位置に位置付けられて、板状ワークＷの全体から樹脂８５が剥がされる。この場合、引き剥がし方向の手前側は、引き剥がし方向の奥側よりも板状ワークＷの外周部分から樹脂８５が剥がれ難い。このため、引き剥がし方向の手前側の略半周部分において、板状ワークＷの外周部分に貼り付いた樹脂８５が事前に剥がれているため、板状ワークＷの全体から樹脂８５をより良好に引き剥がすことができる。

【0049】

図５Ｃに示す例では、板状ワークＷの全周にわたって外周部分の樹脂８５を剥がした後、板状ワークＷの全体から樹脂８５を剥がしている。この場合、角度指定部７１には、外周剥がし工程の回転角度として０°、４５°、１３５°、１８０°、２２５°、２７０°、３１５°が指定され、全体剥がし工程の回転角度として９０°が指定される。全体剥がし工程では、保持テーブル３が０°位置、４５°位置、１３５°位置、１８０°位置、２２５°位置、２７０°位置、３１５°位置に回転され、７回に分けて板状ワークＷの外周部分の樹脂８５が剥がされる。

【0050】

続いて、全体剥がし工程では、保持テーブル３（図１参照）の回転角度が９０°位置に位置付けられて、板状ワークＷの全体から樹脂８５が剥がされる。この場合、板状ワークＷの略全周にわたって外周部分の樹脂８５が事前に剥がれているため、板状ワークＷの全体から樹脂８５をさらに良好に引き剥がすことができる。

【0051】

以上のように、本実施の形態に係る樹脂剥がし装置１によれば、板状ワークＷの外周からはみ出した樹脂８５が板状ワークの外周部分から複数回に分けて剥がされた後に、板状ワークＷの全体から樹脂８５が剥がされる。この場合、板状ワークＷの全体から樹脂を剥がす際に、板状ワークＷの外周部分に強く貼り付いた樹脂８５が事前に剥がされているため、板状ワークＷの割れを防止すると共に、板状ワークＷの外周部分の樹脂の剥がし残しをなくして、板状ワークＷから樹脂８５を確実に剥がすことができる。

【0052】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0053】

例えば、上記した実施の形態においては、ボールネジ式の水平移動部４を例示したが、この構成に限定されない。水平移動部４は、保持テーブル３を水平方向に移動可能であれば、どのように構成されてもよい。

【0054】

また、上記した実施の形態においては、ベルト駆動式の回転動作部３５を例示したが、この構成に限定されない。回転動作部３５は、保持テーブル３を回転可能であれば、どのように構成されてもよい。

【0055】

また、上記した実施の形態においては、エアシリンダ式の上昇移動部５５を例示したが、この構成に限定されない。上昇移動部５５は、クランプ部５を上昇可能であれば、どのように構成されてもよい。
研磨装置にも適用可能

【産業上の利用可能性】

【0056】

以上説明したように、本発明は、板状ワークの割れを起こすことなく、板状ワークの全面から確実に樹脂を剥がすことができるという効果を有し、特に、インゴットから切り出された板状ワークの片面に塗布された樹脂を、板状ワークの研削後に剥がす樹脂剥がし方法及び樹脂剥がし装置に有用である。

【符号の説明】

【0057】

１ 樹脂剥がし装置
３ 保持テーブル
４ 水平移動部
５ クランプ部
６ 押付けローラ
３２ 保持面
３５ 回転動作部
５５ 上昇移動部
７１ 角度指定部
７２ 第１の距離指定部
７３ 第２の距離指定部
８１ 板状ワークの上面
８２ 樹脂の端部
８３ 板状ワークの下面
８５ 樹脂
Ｗ 板状ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】