特許 6101567 ワーク搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6101567

(24)【登録日】2017年3月3日

(45)【発行日】2017年3月22日

(54)【発明の名称】ワーク搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170313BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20170313BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20170313BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   H01L21/68 F

   H01L21/304 631

   H01L21/304 622L

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2013-111729(P2013-111729)

(22)【出願日】2013年5月28日

(65)【公開番号】特開2014-232757(P2014-232757A)

(43)【公開日】2014年12月11日

【審査請求日】2016年3月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】特許業務法人東京アルパ特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100087099

【弁理士】

【氏名又は名称】川村 恭子

(74)【代理人】

【識別番号】100063174

【弁理士】

【氏名又は名称】佐々木 功

(74)【代理人】

【識別番号】100124338

【弁理士】

【氏名又は名称】久保 健

(72)【発明者】

【氏名】福士 暢之

(72)【発明者】

【氏名】久保 徹雄

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−２１０８２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１４７１３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０４０６３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１８６８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１２１０９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−３１７９８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１７５１４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状ワークを水平方向に移動させる第１の移動機構と、板状ワークを該水平方向に交わる水平方向に移動させる第２の移動機構と、板状ワークを仮置きする仮置き手段と、板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段と、から少なくとも構成される研削装置において、該第１の移動機構及び第２の移動機構を用いて該仮置きテーブルから該保持テーブルに板状ワークを搬送するワーク搬送方法であって、
該仮置き手段は、板状ワークを吸引保持して回転可能な仮置きテーブルと、該仮置きテーブルに吸引保持される該板状ワークの外周の所定位置を測定するとともに該板状ワークの外周部に備えた結晶方位を示すマークを検出する測定部とを含んで構成され、
該研削手段を用いて該保持テーブルに保持される板状ワークの中央部分を研削して凹部を形成し、該凹部の周囲に凸部を形成する研削工程と、
該研削工程で研削された板状ワークを該仮置きテーブルが吸引保持し、該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの外周の３カ所の位置から該板状ワークの中心を算出する板状ワーク中心算出工程と、
該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの該凹部と該凸部との境界の３カ所の位置から該凹部の中心を算出する凹部中心算出工程と、
該板状ワーク中心算出工程で算出された板状ワークの中心と、該凹部中心算出工程で算出された板状ワークの凹部中心とから、搬送補正量と搬送補正方向とを算出し、該第１の移動機構の移動量についての第１の補正量と、該第２の移動機構の移動量についての第２の補正量とを算出する搬送補正量算出工程と、
該搬送補正量算出工程により算出された該第１の補正量と該第２の補正量とによって、該第１の移動機構及び第２の移動機構による該仮置きテーブルから該保持テーブルへの搬送量を補正し、該保持テーブルの中心と該板状ワークの中心とを一致させて該板状ワークを搬送する搬送工程と、
を備えるワーク搬送方法。

【請求項2】

前記第１の移動機構または第２の移動機構のいずれか一方を仮置き手段が備え、前記搬送工程では、該第１の移動機構及び該第２の移動機構によって板状ワークが搬送される
請求項１に記載のワーク搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状ワークを研削して円形凹部を形成する研削装置において板状ワークを搬送するワーク搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

表面にデバイスが形成されたウェーハなど円板状の板状ワークの裏面を研削して薄化するに当たり、板状ワークの外周部分を残し、中央部分だけを薄化して円形凹部を形成することにより、板状ワークの強度を保つ技術がある。例えば、特許文献１には、板状ワークを保持テーブルで保持し、保持テーブルを回転させながら板状ワークを研削することにより、円形凹部を形成する技術が記載されている。

【0003】

このようにして形成された円形凹部の中心は、保持テーブルの回転軸上に位置する。したがって、板状ワークの中心と保持テーブルの回転軸とがずれた状態で保持テーブルが板状ワークを保持した場合、板状ワークの中心と円形凹部の中心とがずれるという問題がある。そこで、特許文献２には、板状ワークの中心と円形凹部の中心とがずれている場合でも正常に加工をするため、円形凹部を形成した後の工程において、円形凹部の中心位置を測定して位置合わせをすることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７−１９４６１号公報

【特許文献2】特開２０１０−１４７１３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献２に記載された加工方法は、円形凹部が既に形成された板状ワークに対して加工をするものである。しかし、円形凹部を形成する際に、中心位置がずれないように形成すれば、以後の工程において、中心位置がずれている場合を考慮する必要がないので、処理を簡略化できるなど、コストを削減することができる。

【0006】

本発明は、板状ワークに円形凹部を形成する際に、板状ワークの中心が保持テーブルの回転軸に一致して保持されるよう板状ワークを搬送することにより、円形凹部の中心と板状ワークの中心とを一致させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係るワーク搬送方法は、板状ワークを水平方向に移動させる第１の移動機構と、板状ワークを該水平方向に交わる水平方向に移動させる第２の移動機構と、板状ワークを仮置きする仮置き手段と、板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段と、から少なくとも構成される研削装置において、該第１の移動機構及び第２の移動機構を用いて該仮置きテーブルから該保持テーブルに板状ワークを搬送するワーク搬送方法であって、該仮置き手段は、板状ワークを吸引保持して回転可能な仮置きテーブルと、該仮置きテーブルに吸引保持される該板状ワークの外周の所定位置を測定するとともに該板状ワークの外周部に備えた結晶方位を示すマークを検出する測定部とを含んで構成され、該研削手段を用いて該保持テーブルに保持される板状ワークの中央部分を研削して凹部を形成し、該凹部の周囲に凸部を形成する研削工程と、該研削工程で研削された板状ワークを該仮置きテーブルが吸引保持し、該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの外周の３カ所の位置から該板状ワークの中心を算出する板状ワーク中心算出工程と、該仮置きテーブルを回転させ該測定部によって検出されたマークの位置を測定開始位置とし、該仮置きテーブルを回転させ該測定部が該板状ワークの該凹部と該凸部との境界の３カ所の位置から該凹部の中心を算出する凹部中心算出工程と、該板状ワーク中心算出工程で算出された板状ワークの中心と、該凹部中心算出工程で算出された板状ワークの凹部中心とから、搬送補正量と搬送補正方向とを算出し、該第１の移動機構の移動量についての第１の補正量と、該第２の移動機構の移動量についての第２の補正量とを算出する搬送補正量算出工程と、該搬送補正量算出工程により算出された該第１の補正量と該第２の補正量とによって、該第１の移動機構及び第２の移動機構による該仮置きテーブルから該保持テーブルへの搬送量を補正し、該保持テーブルの中心と該板状ワークの中心とを一致させて該板状ワークを搬送する搬送工程とを備える。

【0008】

前記第１の移動機構または第２の移動機構のいずれか一方を仮置き手段が備えることもあり、その場合も、前記搬送工程では、該第１の移動機構及び該第２の移動機構によって板状ワークが搬送される。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、円形凹部の中心位置と、板状ワークの中心位置とのずれを計測し、計測したずれに基づいて、板状ワークの搬送量を補正するので、板状ワークの中心位置を保持テーブルの回転軸に一致させることができる。これにより、板状ワークに形成される円形凹部の中心位置を、板状ワークの中心位置に一致させることができる。このため、以後の工程で、中心位置がずれている場合を考慮する必要がなくなる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】研削装置を示す斜視図。

【図2】搬送手段を示す平面図。

【図3】円形凹部が形成された板状ワークを示す斜視図。

【図4】中心位置の算出方式を示す平面図。

【図5】中心位置の算出方式を示す平面図。

【図6】板状ワークの中心と円形凹部の中心とのずれを示す平面図。

【図7】別の搬送手段を示す平面図。

【図8】更に別の搬送手段を示す平面図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

図１に示す研削装置１０は、本体１１と、本体１１の前方に載置されたカセット３０ａ，３０ｂに対して板状ワークを搬出入する搬出入手段１２と、搬出入手段１２によってカセット３０ａから搬出された板状ワークを仮置きする仮置き手段１３と、仮置き手段１３から板状ワークを搬送する搬送手段１４と、搬送手段１４によって搬送された板状ワークを保持する保持手段１５と、保持手段１５によって保持された板状ワークを研削する２つの研削手段１６ａ，１６ｂと、板状ワークを洗浄する洗浄手段１８と、研削後の板状ワークを保持手段１５から洗浄手段１８に搬送する搬送手段１７と、研削装置１０全体を制御する制御部１９とを備えている。

【0012】

カセット３０ａには、加工前の板状ワークが収容される。一方、カセット３０ｂには、加工及び洗浄が終了した板状ワークが収容される。

【0013】

搬出入手段１２は、ロボットアームを備え、カセット３０ａに収容された板状ワークを保持し、その板状ワークを搬出して仮置き手段１３に仮置きする。また、搬出入手段１２は、洗浄が終わった板状ワークを洗浄手段１８から搬送して、カセット３０ｂに収容する。

【0014】

仮置き手段１３は、載置された板状ワークを保持する仮置きテーブル１３１と、仮置きテーブル１３１に保持された板状ワークなどの外周位置を測定する測定部１３２と、測定部１３２を支持する測定支持部１３３とを有する。仮置きテーブル１３１は、例えば載置された板状ワークを吸引源（不図示）で吸引することにより、板状ワークを保持する。また、仮置きテーブル１３１は、±Ｚ方向（鉛直方向）に平行な回転軸を中心として回転可能となっている。測定部１３２は、例えば撮像手段であり、仮置きテーブル１３１が保持した板状ワークの外周や板状ワークの外周部に備えた結晶方位を示すマークを検出し、その位置を測定する。測定支持部１３３は、±Ｙ方向に移動可能となっており、測定支持部１３３の移動に伴って測定部１３２の測定範囲が変化するとともに、仮置きテーブル１３１の回転に伴って板状ワークの被測定範囲が変化する。これにより、測定部１３２は、板状ワーク上の任意の位置を測定することができる。

【0015】

保持手段１５は、±Ｚ方向と平行な回転軸を中心として回転するターンテーブル１５１と、ターンテーブル１５１上に配置された３つの保持テーブル１５２とを有する。保持テーブル１５２は、例えばチャックテーブルであり、載置された板状ワークを吸引源（不図示）で吸引することにより、板状ワークを保持する。また、保持テーブル１５２は、±Ｚ方向（鉛直方向）に平行な回転軸を中心として回転可能となっている。３つの保持テーブル１５２は、ターンテーブル１５１の回転軸から等距離の位置に、正三角形状に配置されている。ターンテーブル１５１が１２０度ずつ回転することにより、保持テーブル１５２は、搬送手段１４，１７との間で板状ワークを受け渡しする受渡位置と、研削手段１６ａが板状ワークを研削する第一研削位置と、研削手段１６ｂが板状ワークを研削する第二研削位置との間を移動する。

【0016】

図２に示すように、搬送手段１４は、板状ワーク２０を保持する搬送パッド１４１と、搬送パッド１４１を支持する回動アーム１４２と、回動アーム１４２を支持する基部１４３と、基部１４３を移動させる移動手段１４４とを有する。回動アーム１４２は、±Ｚ方向に平行な回転軸１４９を中心として回動するとともに、±Ｚ方向に昇降して、搬送パッド１４１を移動させる。基部１４３は、回動アーム１４２の回転軸１４９を支持する。移動手段１４４は、例えばボールねじ機構を有し、基部１４３を±Ｘ方向に移動させる。これにより、回動アーム１４２の回転軸１４９は、±Ｘ方向に平行な直線１４８上を移動する。回動アーム１４２は、搬送パッド１４１に保持された板状ワークを水平方向に回動させる第１の移動機構として機能し、移動手段１４４は、回動アーム１４２に対して水平方向に交わる直線方向（±Ｘ方向）に板状ワーク２０を移動させる第２の移動機構として機能する。回動アーム１４１の回転軸１４９と仮置きテーブル１３１の回転軸１３９との±Ｙ方向の距離は、Ｙ１である。

【0017】

図１に示す研削手段１６ａは、回転可能な粗研削用の研削砥石１６０ａを備えており、送り手段１６１によって駆動されて全体が±Ｚ方向に移動可能であり、いずれかの保持テーブル１５２が保持した板状ワークに、研削砥石１６０ａを回転させながら押し当てて粗研削を行う。一方、研削手段１６ｂは、回転可能な仕上げ研削用の研削砥石１６０ｂを備えており、送り手段１６１によって駆動されて全体が±Ｚ方向に移動可能であり、研削砥石１６０ｂを回転させながら、いずれかの保持テーブル１５２に保持され粗研削された板状ワークに押し当てて仕上げ研削を行う。研削砥石１６０ａ、１６０ｂの回転軌道の最外周の直径は、ともに板状ワークの半径より若干大きい程度であり、板状ワークの外周付近は研削せず、中央部分だけを研削することにより、図３に示すように、円板状の板状ワーク２０に、保持テーブル１５２の回転軸を中心とする円形凹部２２が形成される。板状ワーク２０には、結晶方位を示すノッチからなるマーク２１が形成されている。なお、マークとして、ノッチに代えてオリエンテーションフラットが形成されていることもある。

【0018】

搬送手段１７は、仕上げ研削後の板状ワークを保持して旋回することにより、受渡位置にある保持テーブル１５２と、洗浄手段１８との間で板状ワークを搬送する。

【0019】

洗浄手段１８は、例えばスピンナ洗浄装置であり、研削が終わった板状ワークを回転させるとともに、回転する板状ワークに向けて洗浄液を噴出することにより、板状ワークを洗浄して研削屑等を除去する。

【0020】

制御部１９は、例えばコンピュータであり、プログラムやデータを記憶し、プログラムを実行してデータを処理することにより、測定部１３２の測定結果などの情報を外部から入力したり、様々な演算をしたり、搬送手段１４などを制御する制御信号を外部に出力したりして、研削装置１０を制御する。制御部１９は、本体１１が内蔵する構成であってもよいし、本体１１の外に配置し、本体１１と接続する構成であってもよい。

【0021】

以下では、図１に示した研削装置１０を用いて板状ワークを搬送する方法について説明する。

【0022】

（１）仮置き工程
仮置き工程においては、搬出入手段１２が、カセット３０ａから板状ワーク２０を搬出して仮置きテーブル１３１に載置（仮置き）する。仮置きテーブル１３１は、載置された板状ワーク２０を保持する。

【0023】

（２）研削工程
次に、搬送手段１４が仮置きテーブル１３１から受渡位置に位置するいずれかの保持テーブル１５２に板状ワーク２０を搬送し、ターンテーブル１５１が回転して板状ワーク２０が研削手段１６ａの下方に移動する。そして、研削手段１６ａが降下して回転する研削砥石１６０ａが板状ワーク２０の上面中央部分に接触して粗研削が行われ、図３に示したように、保持テーブル１５２の回転軸を中心とする円形凹部２２が形成される。円形凹部２２の周囲には凸部２３が形成される。

【0024】

また、ターンテーブル１５１が回転して粗研削後の板状ワーク２０が研削手段１６ｂの下方に移動し、研削手段１６ｂが降下して回転する研削砥石１６０ｂが板状ワーク２０の上面に接触して仕上げ研削が行われ、円形凹部２２が仕上げ研削される。

【0025】

仕上げ研削された板状ワーク２０は、ターンテーブル１５１が回転することにより受渡位置に移動する。そして、搬送手段１７によって板状ワーク２０が洗浄手段１８に搬送され洗浄された後、搬出入手段１２によってカセット３０ａまたは３０ｂに収容される。

【0026】

（３）板状ワーク中心算出工程
研削工程によって円形凹部２２が形成された板状ワーク２０は、搬出入手段１２によってカセット３０ａまたは３０ｂから搬出され、再び仮置き手段１３に搬送され仮置きテーブル１３１に吸引保持される。そして、測定部１３２の測定範囲１３８に板状ワーク２０の外周がおさまるように測定支持部１３３が測定部１３２を移動させるとともに、仮置きテーブル１３１を回転させ、板状ワーク２０に形成されたマーク２１を測定部１３２が検出する。マーク２１は、仮置きテーブル１３１を回転させながら、測定部１３２から板状ワーク２０の外周に向けて測定光を投光し、その反射光を受光することにより検出することができる。

【0027】

次に、マーク２１を測定開始位置として仮置きテーブル１３１を回転させながら、板状ワーク２０の外周の３箇所の位置を求め、その３箇所の位置情報から板状ワーク２０の中心位置を算出する。具体的には、図４に示すように、板状ワーク２０の外周上の３点ｄ，ｅ，ｆの位置を測定し、３点ｄ，ｅ，ｆを頂点とする三角形の外心を算出することにより、板状ワーク２０の中心２９の位置を算出する。この計算は、制御部１９が行う。

【0028】

（４）凹部中心算出工程
同様に、図４に示すように、マーク２１を測定開始位置として仮置きテーブル１３１を回転させながら、円形凹部２２と凸部２３との境界の３箇所の位置を求め、その３箇所の位置情報から板状ワーク２０の中心位置を算出する。具体的には、円形凹部２２と凸部２３との境界の３点ａ，ｂ，ｃの位置を測定し、３点ａ，ｂ，ｃを頂点とする三角形の外心（３つの辺の垂直二等分線の交点）を算出する。三角形の外心は外接円の中心であるから、これにより、円形凹部２２の中心２８の位置を算出できる。この計算は、制御部１９が行う。

【0029】

なお、板状ワーク中心算出工程及び凹部中心算出工程で測定する３点は、マーク２１の位置以外であればよいが、図５に示すように、測定する３点が形成する三角形ａｂｃ，ｄｅｆが鈍角三角形であると、各辺の垂直二等分線がなす角が小さくなり、測定誤差の影響が出やすくなる。このため、例えば仮置きテーブル１３１を１２０度回転させるごとに測定するなどして、３点がなるべく均等に散らばるようにしたほうがよい。

【0030】

（５）搬送補正量算出工程
次に、板状ワーク中心算出工程で算出された板状ワーク２０の中心と、凹部中心算出工程で算出された板状ワーク２０の凹部２２の中心とから、板状ワークを仮置きテーブル１３１から保持テーブル１５２に搬送する際の搬送補正量を算出する。

【0031】

制御部１９は、計測した中心位置に基づいて、板状ワーク２０の中心位置と、円形凹部の中心位置との間のずれを算出する。図６に示すように、Δｘは、所定の方向（例えば板状ワーク２０の中心２９に対して＋Ｙ方向）にマーク２１を向けた状態における円形凹部の中心２８と板状ワーク２０の中心２９との間の±Ｘ方向のずれ、Δｙは、そのときの円形凹部の中心２８と板状ワーク２０の中心２９との間の±Ｙ方向のずれを表す。この誤差の分、板状ワーク２０の搬送量を調整すれば、板状ワーク２０の中心２９を、保持テーブル１５２の回転軸１５９に合致させることができる。Δｘ及びΔｙの値は、板状ワーク中心算出工程で求めた板状ワーク２０の中心２９のＸ座標及びＹ座標の値と、凹部中心算出工程で求めた円形凹部２２の中心２８のＸ座標及びＹ座標の値との差をとることによって求められる。

【0032】

Δｘ及びΔｙのうち、一方の値は、仮置きテーブル１３１に保持された板状ワークＷを搬送パッド１４１が保持する際に基部１４３を移動させる移動量（第２の移動機構の移動量）の補正量とする。この値として、制御部１９はΔｘを記憶する。他方の値は、搬送パッド１４１に保持された板状ワークＷを保持テーブル１５２に載置して保持させる際に移動手段１４４が基部１４３を移動させる移動量（第１の移動機構の移動量）の補正量とする。この値として、制御部１９はΔｙを記憶する。

【0033】

（６）搬送工程
次に、搬送手段１４が、板状ワーク２０を、仮置きテーブル１３１から受渡位置で待機する保持テーブル１５２に搬送する。搬送工程は、図２に示した搬送パッド１４１が仮置きテーブル１３１から板状ワークを受け取る受取段階と、搬送パッド１４１が保持した板状ワークを保持テーブル１５２に引き渡す引渡段階とに分けられる。

【0034】

受取段階においては、図２に示した移動手段１４４が基部１４３を移動させ、回動アーム１４２の回転軸１４９を、板状ワーク２０の中心２９から図６に示したΔｘだけずらした位置に移動させる。これにより、回転軸１４９のＸ座標と板状ワーク２０の中心２９のＸ座標とが等しくなる。

【0035】

そして、搬送手段１４は、回動アーム１４２を回動させることにより回動アーム１４２の先端をＹ方向に向け、搬送パッド１４１を下降させて、板状ワーク２０を保持する。

【0036】

次に、引渡段階においては、移動手段１４４が基部１４３を移動させ、回動アーム１４２を回動させて、その先端を＋Ｘ方向へ向ける。そして、回動アーム１４２の回転軸１４９を、受渡位置にある保持テーブル１５２の回転軸１５９から図２に示したＹ１に図６に示したΔｙを足した分だけ離れた位置に移動させる。そうすると、搬送パッド１４１が保持した板状ワーク２０の中心２９と保持テーブル１５２の回転軸１５９とが一致するため、その位置で、搬送パッド１４１を下降させて、板状ワーク２０を保持テーブル１５２に引き渡す。保持テーブル１５２は、載置された板状ワーク２０を保持する。

【0037】

その後、上記研削工程を行うと、保持テーブル１５２の回転軸１５９と板状ワーク２０の中心２９とが合致しているため、板状ワーク２０の中心と、研削工程で形成される円形凹部２２の中心２８とが合致する。

【0038】

（７）洗浄工程
洗浄工程においては、搬送手段１７が、受渡位置にある保持テーブル１５２に載置された板状ワーク２０を保持して搬送し、洗浄手段１８に載置する。洗浄手段１８は、載置された板状ワーク２０を保持して、板状ワーク２０を回転させるとともに洗浄液を噴出して板状ワークを洗浄する。

【0039】

（８）収容工程
収容工程においては、搬出入手段１２が、洗浄が終わった板状ワーク２０を洗浄手段１８から搬送して、カセット３０ｂに収納する。

【0040】

このように、板状ワーク２０を研削して円形凹部２２を形成し、実際に形成された円形凹部２２の中心２８の位置と、板状ワーク２０の中心２９の位置との間のずれを計測し、計測したずれに基づいて算出した補正量に基づいて、搬送手段１４の搬送量を補正することにより、板状ワーク２０の中心２９の位置が保持テーブル１５２の回転軸１５９に一致する。これにより、研削工程において形成される円形凹部２２の中心２８の位置を、板状ワーク２０の中心２９の位置と一致させることができる。

【0041】

なお、搬送手段は、図２に示した搬送手段１４の構成に限らず、他の構成であってもよい。搬送補正量算出工程において求める搬送補正量は、搬送手段１４の構成により異なるので、別の例をいくつか説明する。

【0042】

図７に示す搬送手段１４Ａは、図２に示した移動手段１４４に相当するものを有さず、基部１４３が、図１に示した本体１１に固定されている。その代わりに、回動アーム１４２は、搬送パッド１４１と回転軸１４９との間の距離を所定の範囲内で変動させる伸縮手段１４５を有する。回動アーム１４２の回転軸１４９は、仮置きテーブル１３１の回転軸１３９から見て＋Ｙ方向に距離Ｒだけ離れて配置されるとともに、受渡位置にある保持テーブル１５２の回転軸１５９から見て−Ｘ方向に同じく距離Ｒだけ離れて配置されている。以下では、図６に示したように、板状ワーク２０の中心２９と円形凹部２２の中心２８とがΔｘ、Δｙだけずれている場合について説明する。

【0043】

搬送工程の受取段階において、搬送手段１４Ａは、回動アーム１４２を回動させて、回動アーム１４２を−Ｙ方向からｔａｎ^−１（Δｘ／Ｒ）だけずらした方向に向ける。そして、伸縮手段１４５は、回動アーム１４２を伸縮させて、搬送パッド１４１の中心と回転軸１４９との間の距離をＲ＋Δｙにする。

【0044】

次に、引渡段階において、搬送手段１４Ａは、回動アーム１４２を回動させて＋Ｘ方向に向け、伸縮手段１４５が回動アーム１４２を伸縮させて、搬送パッド１４１の中心と回転軸１４９との間の距離をＲにする。これにより、受渡位置にある保持テーブル１５２の回転軸１５９に、搬送パッド１４１の中心が位置合わせされ、板状ワーク２０の中心２９が、保持テーブル１５２の回転軸１５９に一致する。

【0045】

図８に示す搬送手段１４Ｂは、図２に示した移動手段１４４に相当するものを有さず、基部１４３が図１に示した本体１１に固定されている。また、回動アーム１４２は、図７に示した伸縮手段１４５に相当するものを有さず、伸縮しない。その代わりに、仮置き手段１３Ｂが、仮置きテーブル１３１を±Ｙ方向に移動させる移動手段１３４を有する。すなわち、仮置き手段１３Ｂが、第１の移動機構または第２の移動機構のいずれか一方を備えている。回動アーム１４２の回転軸１４９は、仮置きテーブル１３１の回転軸１３９から見て＋Ｙ方向に配置されるとともに、受渡位置にある保持テーブル１５２の回転軸１５９から見て−Ｘ方向に距離Ｘ２だけ離れて配置されている。

【0046】

搬送工程の受取段階において、移動手段１３４は、仮置きテーブル１３１を移動させて、仮置きテーブル１３１の回転軸１３９を、回動アーム１４２の回転軸１４９からＸ２−Δｘだけ離れた位置に移動させる。搬送手段１４Ｂは、回動アーム１４２を回動させて、回動アーム１４２を−Ｙ方向からｔａｎ^−１（Δｘ／Ｘ２）だけずらした方向に向け、搬送パッド１４１によって板状ワーク２０を保持する。

【0047】

次に、引渡段階において、搬送手段１４Ｂは、回動アーム１４２を回動させて＋Ｘ方向に向ける。これにより、受渡位置にある保持テーブル１５２の回転軸１５９と板状ワーク２０の中心２９とが合致し、その状態で搬送パッド１４１を下降させて板状ワークＷを保持テーブル１５２に保持させる。

【0048】

なお、上述した搬送手段の構成や、仮置き手段や受渡位置にある保持テーブル１５２との位置関係は、例示であり、これに限定されるものではない。例えば、仮置き手段１３は、仮置きテーブル１３１を±Ｙ方向に移動させる移動手段１３４のほかに、仮置きテーブル１３１を±Ｘ方向に移動させる移動手段を有し、仮置きテーブル１３１をＸＹ平面内で自在に移動させる構成であってもよい。

【0049】

以上のように、円形凹部２２の中心２８の位置と、板状ワーク２０の中心２９の位置とのずれを計測し、計測したずれに基づいて、板状ワーク２０の搬送量を補正するので、板状ワーク２０の中心２９の位置を、受渡位置にある保持テーブル１５２の回転軸１５９に一致させることができる。これにより、板状ワーク２０に形成される円形凹部２２の中心２８の位置を、板状ワーク２０の中心２９の位置に一致させることができる。このため、以後の工程で、中心位置がずれている場合を考慮する必要がなくなる。

【0050】

以上説明した実施形態は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、板状ワーク中心算出工程及び凹部中心算出工程は、仮置き手段１３で実行する必要はなく、別の位置で実行してもよい。そうすれば、研削工程で円形凹部２２が形成された板状ワーク２０を仮置き手段１３に戻す必要がなく、次の板状ワーク２０を仮置き手段１３上で待機させておくことができるので、流れがスムーズになり、生産性を高めることができる。

【符号の説明】

【0051】

１０ 研削装置、１１ 本体、１２ 搬出入手段、
１３ 仮置き手段、１３１ 仮置きテーブル、１３２ 測定部、１３３ 測定支持部、
１３４ 移動手段、１３９，１４９，１５９ 回転軸、
１４，１７ 搬送手段、１４１ 搬送パッド、
１４２ 回動アーム（第１の移動機構）、１４３ 基部、
１４４ 移動手段（第２の移動機構）、１４５ 伸縮手段、１４８ 直線、
１５ 保持手段、１５１ ターンテーブル、１５２ 保持テーブル、
１６ 研削手段、１８ 洗浄手段、１９ 制御部、
２０ 板状ワーク、２１ マーク、２２ 円形凹部、２８，２９ 中心、
３０ カセット、

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】