特許6104695非対称溝形状ウェーハカセット

発明の名称　非対称溝形状ウェーハカセット

出願人　ミライアル株式会社　（識別番号 140890）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　日亜化学工業株式会社　（識別番号 226057）

　　　　特許公開件数ランキング 331 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 73 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6104695

公報発行日　2017年3月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6104695

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