特許6114312タンパク質を含有する化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物

発明の名称　タンパク質を含有する化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物

出願人　ビーエーエスエフ　ソシエタス・ヨーロピア　（識別番号 508020155）

　　　　特許公開件数ランキング 119 位（255件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 216 位（133件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6114312

公報発行日　2017年4月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6114312

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