特許6118846複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた試料加工方法

発明の名称　複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた試料加工方法

出願人　株式会社日立ハイテクサイエンス　（識別番号 503460323）

　　　　特許公開件数ランキング 2282 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1347 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6118846

公報発行日　2017年4月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6118846

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6118846「複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた試料加工方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録