特許 6138568 荷電粒子ビーム描画装置、フォーマット検査装置及びフォーマット検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6138568

(24)【登録日】2017年5月12日

(45)【発行日】2017年5月31日

(54)【発明の名称】荷電粒子ビーム描画装置、フォーマット検査装置及びフォーマット検査方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20170522BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20170522BHJP

   H01J 37/305 20060101ALI20170522BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/30 541Q

   G03F7/20 504

   H01J37/305 B

【請求項の数】5

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2013-95032(P2013-95032)

(22)【出願日】2013年4月30日

(65)【公開番号】特開2014-216593(P2014-216593A)

(43)【公開日】2014年11月17日

【審査請求日】2016年1月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】504162958

【氏名又は名称】株式会社ニューフレアテクノロジー

(74)【代理人】

【識別番号】100107582

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 毅

(74)【代理人】

【識別番号】100117787

【弁理士】

【氏名又は名称】勝沼 宏仁

(74)【代理人】

【識別番号】100118843

【弁理士】

【氏名又は名称】赤岡 明

(74)【代理人】

【識別番号】100088720

【弁理士】

【氏名又は名称】小川 眞一

(74)【代理人】

【識別番号】100118430

【弁理士】

【氏名又は名称】中原 文彦

(72)【発明者】

【氏名】安井 健一

【審査官】 田口 孝明

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−３２９９２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０８８３１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００８／００４６７８７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

ＩＰＣ Ｈ０１Ｌ ２１／０２７、

Ｈ０１Ｊ ３７／３０５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

階層構造を有する描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を行うフォーマット検査部と、
前記描画データが前記フォーマット検査部による検査に合格した場合、前記描画データに関する符号化情報及び前記フォーマット検査に関する第１検査情報を生成する情報生成部と、
前記情報生成部により生成された前記符号化情報及び前記第１検査情報を記憶する情報記憶部と、
前記描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を再度行う場合、前記情報記憶部により記憶された前記符号化情報を用いて前記描画データを検査する符号検査部と、
前記描画データが前記符号検査部による検査に合格した場合、前記第１検査情報と前記再度行われるフォーマット検査における第２検査情報とを比較して、前記情報記憶部により記憶された前記第１検査情報を検査する情報検査部と、
前記情報検査部による検査結果に応じて前記フォーマット検査の処理内容を変えて検査を行う検査実行部と、を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。

【請求項2】

前記情報生成部は、前記第１および第２検査情報として前記検査内容に関する検査情報を生成し、
前記検査実行部は、前記情報検査部により前記第１検査情報の検査内容と前記第２検査情報の検査内容との間に変更が検出された場合、その変更された検査内容に対応する検査を行うことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム描画装置。

【請求項3】

前記情報生成部は、前記第１検査情報として前記フォーマット検査による検査対象情報を生成し、
前記検査実行部は、前記情報検査部により前記第２検査情報の検査内容に含まれる検査対象に対応する前記検査対象情報の存在が検出された場合、前記情報記憶部により記憶された前記検査対象情報を用いて、その検査対象情報に対応する検査を行うことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム描画装置。

【請求項4】

階層構造を有する描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を行うフォーマット検査部と、
前記描画データが前記フォーマット検査部による検査に合格した場合、前記描画データに関する符号化情報及び前記フォーマット検査に関する第１検査情報を生成する情報生成部と、
前記情報生成部により生成された前記符号化情報及び前記第１検査情報を記憶する情報記憶部と、
前記描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を再度行う場合、前記情報記憶部により記憶された前記符号化情報を用いて前記描画データを検査する符号検査部と、
前記描画データが前記符号検査部による検査に合格した場合、前記第１検査情報と前記再度行われるフォーマット検査における第２検査情報とを比較して、前記情報記憶部により記憶された前記第１検査情報を検査する情報検査部と、
前記情報検査部による検査結果に応じて前記フォーマット検査の処理内容を変えて検査を行う検査実行部と、を備えることを特徴とするフォーマット検査装置。

【請求項5】

階層構造を有する描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を行うステップと、
前記描画データが前記フォーマット検査に合格した場合、前記描画データに関する符号化情報及び前記フォーマット検査に関する第１検査情報を生成するステップと、
生成した前記符号化情報及び前記第１検査情報を記憶するステップと、
前記描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を再度行う場合、記憶した前記符号化情報を用いて前記描画データを検査するステップと、
前記描画データが前記符号化情報を用いた検査に合格した場合、前記第１検査情報と前記再度行われるフォーマット検査における第２検査情報とを比較して、記憶した前記第１検査情報を検査するステップと、
前記第１検査情報に対する検査による検査結果に応じて前記フォーマット検査の処理内容を変えて検査を行うステップと、を有することを特徴とするフォーマット検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、荷電粒子ビーム描画装置、フォーマット検査装置及びフォーマット検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年の大規模集積回路（ＬＳＩ）の高集積化及び大容量化に伴って、半導体デバイスに要求される回路線幅は益々微小になってきている。半導体デバイスに所望の回路パターンを形成するためには、リソグラフィ技術が用いられており、このリソグラフィ技術では、マスク（レチクル）と称される原画パターンを用いたパターン転写が行われている。このパターン転写に用いる高精度なマスクを製造するためには、優れた解像度を有する荷電粒子ビーム描画装置が用いられている。

【0003】

通常、荷電粒子ビーム描画装置では、描画データに対してそのフォーマットを検査するフォーマット検査が行われている（例えば、特許文献１参照）。このフォーマット検査はデータ転送やデータ複製時などのタイミングで実行される。また、フォーマット検査は同じ描画データに対して異なる検査条件（検査内容）で実行されることもある。なお、描画データは、例えば、チップ階層、フレーム階層、ブロック階層、セル階層及び図形階層というような階層構造を有するデータである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８−３４４３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、前述のような階層構造を有する描画データのデータ量は大きく、その描画データのフォーマット検査には長い時間を要してしまう。また、その検査時間の短縮のために不用意にフォーマット検査の一部を省略すると、正確な検査を行うことができなくなってしまう。

【0006】

本発明が解決しようとする課題は、検査時間の短縮及び正確な検査を実現することができる荷電粒子ビーム描画装置、フォーマット検査装置及びフォーマット検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の実施形態に係る荷電粒子ビーム描画装置は、階層構造を有する描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を行うフォーマット検査部と、描画データがフォーマット検査部による検査に合格した場合、描画データに関する符号化情報及びフォーマット検査に関する第１検査情報を生成する情報生成部と、情報生成部により生成された符号化情報及び第１検査情報を記憶する情報記憶部と、描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を再度行う場合、情報記憶部により記憶された符号化情報を用いて描画データを検査する符号検査部と、描画データが符号検査部による検査に合格した場合、第１検査情報と再度行われるフォーマット検査における第２検査情報とを比較して、情報記憶部により記憶された第１検査情報を検査する情報検査部と、情報検査部による検査結果に応じてフォーマット検査の処理内容を変えて検査を行う検査実行部と、を備える。

【0008】

また、上記荷電粒子ビーム描画装置において、情報生成部は、第１および第２検査情報として検査内容に関する検査情報を生成し、検査実行部は、情報検査部により第１検査情報の検査内容と第２検査情報の検査内容との間に変更が検出された場合、その変更された検査情報の変更内容に対応する検査を行うことが望ましい。

【0009】

また、上記荷電粒子ビーム描画装置において、情報生成部は、第１検査情報としてフォーマット検査による検査対象情報を生成し、検査実行部は、情報検査部により第２検査情報の検査内容に含まれる検査対象に対応する検査対象情報の存在が検出された場合、情報記憶部により記憶された検査対象情報を用いて、その検査対象情報に対応する検査を行うことが望ましい。

【0010】

本発明の実施形態に係るフォーマット検査装置は、階層構造を有する描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を行うフォーマット検査部と、描画データがフォーマット検査部による検査に合格した場合、描画データに関する符号化情報及びフォーマット検査に関する第１検査情報を生成する情報生成部と、情報生成部により生成された符号化情報及び第１検査情報を記憶する情報記憶部と、描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を再度行う場合、情報記憶部により記憶された符号化情報を用いて描画データを検査する符号検査部と、描画データが符号検査部による検査に合格した場合、第１検査情報と再度行われるフォーマット検査における第２検査情報とを比較して、情報記憶部により記憶された第１検査情報を検査する情報検査部と、情報検査部による検査結果に応じてフォーマット検査の処理内容を変えて検査を行う検査実行部と、を備える。

【0011】

本発明の実施形態に係るフォーマット検査方法は、階層構造を有する描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を行うステップと、描画データがフォーマット検査に合格した場合、描画データに関する符号化情報及びフォーマット検査に関する第１検査情報を生成するステップと、生成した符号化情報及び第１検査情報を記憶するステップと、描画データに対して検査内容に基づくフォーマット検査を再度行う場合、記憶した符号化情報を用いて描画データを検査するステップと、描画データが符号化情報を用いた検査に合格した場合、第１検査情報と再度行われるフォーマット検査における第２検査情報とを比較して、記憶した第１検査情報を検査するステップと、第１検査情報に対する検査による検査結果に応じてフォーマット検査の処理内容を変えて検査を行うステップとを有する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、検査時間の短縮及び正確な検査を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第１の実施形態に係る荷電粒子ビーム描画装置の概略構成を示す図である。

【図2】第１の実施形態に係る描画データを説明するための説明図である。

【図3】第１の実施形態に係るフォーマット検査及び情報生成を説明するための説明図である。

【図4】第１の実施形態に係る検査内容に応じた処理内容を説明するための説明図である。

【図5】第１の実施形態に係る検査処理の流れを示すフローチャートである。

【図6】第１の実施形態に係る検査情報ファイルの更新の一例を説明するための説明図である。

【図7】第１の実施形態に係るフォーマット検査及び情報生成の他の一例を説明するための説明図である。

【図8】第１の実施形態に係る検査内容に応じた処理内容の他の一例を説明するための説明図である。

【図9】第２の実施形態に係るフォーマット検査及び情報生成を説明するための説明図である。

【図10】第２の実施形態に係る検査内容に応じた処理内容を説明するための説明図である。

【図11】第２の実施形態に係るフォーマット検査及び情報生成の他の一例を説明するための説明図である。

【図12】第２の実施形態に係る検査内容に応じた処理内容の他の一例を説明するための説明図である。

【図13】第３の実施形態に係るパターン検査装置の概略構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（第１の実施形態）
第１の実施形態について図１ないし図８を参照して説明する。

【0015】

図１に示すように、第１の実施形態に係る荷電粒子ビーム描画装置１は、荷電粒子ビームによる描画を行う描画部２と、その描画部２を制御する制御部３とを備えている。この荷電粒子ビーム描画装置１は、荷電粒子ビームとして例えば電子ビームを用いた可変成形型の描画装置の一例である。なお、荷電粒子ビームは電子ビームに限られるものではなく、イオンビームなどの他の荷電粒子ビームであっても良い。

【0016】

描画部２は、描画対象となる試料Ｗを収容する描画室２ａと、その描画室２ａに連通する光学鏡筒２ｂとを有している。描画室２ａ内には、試料Ｗを支持するステージ１１が設けられている。このステージ１１は水平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向に移動可能に形成されており、そのステージ１１の載置面上には、例えばマスクやブランクなどの試料Ｗが載置される。また、光学鏡筒２ｂ内には、電子ビームＢを出射する電子銃２１と、その電子ビームＢを集光する照明レンズ２２と、ビーム成形用の第１のアパーチャ２３と、投影用の投影レンズ２４と、ビーム成形用の第１の偏向器２５と、ビーム成形用の第２のアパーチャ２６と、試料Ｗ上にビーム焦点を結ぶ対物レンズ２７と、試料Ｗに対するビームショット位置を制御するための第２の偏向器２８とが配置されている。

【0017】

この描画部２では、電子ビームＢが電子銃２１から出射され、照明レンズ２２により第１のアパーチャ２３に照射される。この第１のアパーチャ２３は例えば矩形状の開口を有している。これにより、電子ビームＢが第１のアパーチャ２３を通過すると、その電子ビームの断面形状は矩形状に成形され、投影レンズ２４により第２のアパーチャ２６に投影される。なお、この投影位置は第１の偏向器２５により偏向可能であり、投影位置の変更により電子ビームＢの形状と寸法を制御することが可能である。その後、第２のアパーチャ２６を通過した電子ビームＢは、その焦点が対物レンズ２７によりステージ１１上の試料Ｗに合わされて照射される。このとき、ステージ１１上の試料Ｗに対する電子ビームＢのショット位置は第２の偏向器２８により制御される。

【0018】

制御部３は、入力される描画データを描画装置用フォーマットに変換する描画データ変換部３ａと、変換済みの描画データを記憶する描画データ記憶部３ｂと、その変換済みの描画データのフォーマットを検査するフォーマット検査装置３ｃと、検査済の描画データに基づいて描画部２を制御する描画制御部３ｄとを備えている。

【0019】

描画データ変換部３ａは、例えば半導体集積回路などのレイアウトデータ（設計データやＣＡＤデータなど）を変換することで得られたデータである描画データを描画装置用フォーマットに変換する。なお、描画データは、その描画データを保管するデータベースなどの記憶装置（図示せず）から例えば有線又は無線のネットワークを介して描画データ変換部３ａに入力される。

【0020】

描画データ記憶部３ｂは、描画データ変換部３ａにより変換された描画装置用フォーマットの描画データを記憶する記憶部である。この描画データ記憶部３ｂとしては、例えば、磁気ディスク装置や半導体ディスク装置（フラッシュメモリ）などを用いることが可能である。

【0021】

フォーマット検査装置３ｃは、データ転送時などに描画データ記憶部３ｂから描画装置用フォーマットの描画データを読み出し、その描画データのフォーマットを検査する（詳しくは、後述する）。なお、フォーマット検査装置３ｃは、描画データが検査に合格すると、その合格した描画データを次段の描画制御部３ｄに送信するが、描画データが不合格になった場合にはエラーを立てる（エラーの通知）。

【0022】

描画制御部３ｄは、フォーマット検査装置３ｃから送られた描画装置用フォーマットの描画データに基づいて描画部２を制御する。詳述すると、描画制御部３ｄは、検査に合格した描画データに基づき、試料Ｗが載置されたステージ１１を例えばＸ方向に移動させつつ、電子ビームＢを偏向によりステージ１１上の試料Ｗの各所定位置にショットする図形描画を行い、その後、ステージ１１をＹ方向にステップ移動させてから前述と同様に図形描画を行い、これを繰り返して試料Ｗの描画領域に電子ビームＢによる描画を行う（描画動作の一例）。

【0023】

ここで、前述の描画データは、図２に示すように、チップ階層ＣＰ、そのチップ階層ＣＰよりも下位のフレーム階層ＦＲ、そのフレーム階層ＦＲよりも下位のブロック階層ＢＬ、そのブロック階層ＢＬよりも下位のセル階層ＣＬ、そのセル階層ＣＬよりも下位の図形階層ＦＧに階層化されている（階層構造）。なお、変換前後の描画データの両方が階層化されている。このような描画データにおいて、ある階層が第１階層であるとすると、その第１階層の下階層が第２階層となり、その第２階層の下階層が第３階層となる。

【0024】

図２の例では、チップ階層ＣＰの要素群（チップ群）の一部であるチップＣＰ１が、フレーム階層ＦＲの要素群（フレーム群）の一部である三個のフレームＦＲ１〜ＦＲ３に対応している。また、フレーム階層ＦＲの要素群の一部であるフレームＦＲ２が、ブロック階層ＢＬの要素群（ブロック群）の一部である十八個のブロックＢＬ１〜ＢＬ１８に対応している。ブロック階層ＢＬの要素群の一部であるブロックＢＬ９が、セル階層ＣＬの要素群（セル群）の一部である四個のセルＣＬ１〜ＣＬ４に対応している。セル階層ＣＬの要素群の一部であるＣＬ１が図形階層ＦＧの要素群（図形群）の一部である複数の図形ＦＧ１、ＦＧ２に対応している。

【0025】

次に、前述のフォーマット検査装置３ｃについて詳しく説明する。

【0026】

図１に示すように、フォーマット検査装置３ｃは、１回目の検査で描画データに対してフォーマット検査を行うフォーマット検査部３１と、フォーマット検査に合格した描画データに関する符号化情報及びフォーマット検査に関する検査情報を生成する情報生成部３２と、その生成した符号化情報及び検査情報を記憶する情報記憶部３３と、２回目以降の検査で符号化情報を用いて前述の描画データを検査する符号検査部３４と、検査情報を検査する情報検査部３５と、その検査結果に応じてフォーマット検査の処理内容を変えて検査を実行する検査実行部３６と、情報記憶部３３内の検査情報を更新する情報更新部３７とを備えている。

【0027】

フォーマット検査部３１は、１回目のフォーマット検査を行う場合、図３に示すように、描画データ記憶部３ｂから描画データであるデータ１を読み出し、そのデータ１に対して検査内容に基づいたフォーマット検査を行う。このときの検査内容としては、例えば、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ≦１２８」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ なし」及び「０≦ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ≦７」が設定されている。

【0028】

情報生成部３２は、図３に示すように、フォーマット検査部３１から検査に合格したデータ１の符号（コード）やフォーマット検査（検査内容）に関する情報を取得し、データ１の符号化情報ファイル及び検査情報ファイルを生成する。

【0029】

ここで、データ１の初回のフォーマット検査合格時には、例えば、符号化情報ファイルにデータ１の符号が「“ｆｉｌｅ ｎａｍｅ”＝“符号１”」というように記述される。さらに、検査情報ファイルには、［検査項目］として「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝“ＯＮ”」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝“ＯＦＦ”」及び「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝“ＯＮ”」が記述され、［検査パラメータ］として「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１２８」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝ｎｏｎ（なし）」及び「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝０−７（０以上から７以下の範囲）」が記述される。そして最後に、符号化情報ファイルに検査情報ファイルの符号が「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ＝“符号２”」というように書き込まれる。なお、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」とはセルの最大サイズであり、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」とはセルのレベル（数値が大きい方がレベルが高い）であり、「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ」とはデータのタイプ（種類）である。

【0030】

図１に戻り、情報記憶部３３は、情報生成部３２から送られたデータ１の符号化情報ファイル及び検査情報ファイルを記憶する。この情報記憶部３３としては、例えば、磁気ディスク装置や半導体ディスク装置（フラッシュメモリ）などを用いることが可能である。

【0031】

符号検査部３４は、２回目以降のフォーマット検査を行う場合、前述の描画データ記憶部３ｂから描画データであるデータ１を読み込むと共に、情報記憶部３３からデータ１の符号化情報ファイルを読み込み、その符号化情報ファイルを用いてデータ１の誤り検査（符号検査）、すなわちデータ１の値と符号化情報ファイルの「ｆｉｌｅ ｎａｍｅ」の符号１の値が一致するか否かを検査する。さらに、符号検査部３４は、符号化情報ファイルを用いて検査情報ファイルの誤り検査（符号検査）、すなわち検査情報ファイルの値と符号化情報ファイルの「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号２の値が一致するか否かも検査する。

【0032】

なお、データ１及び検査情報ファイルの誤りが無かった場合、すなわちデータ１及び検査情報ファイルが検査に合格した場合には、データ１に対するフォーマット検査（検査内容の全検査項目に対する検査）が省略される。一方、データ１又は検査情報ファイルが検査に不合格になった場合には、エラーが通知され、その後、データ１に対するフォーマット検査（検査内容の全検査項目に対する検査）が実行されることになる。

【0033】

情報検査部３５は、データ１及び検査情報ファイルが検査に合格した場合、その検査情報ファイルを検査して検査情報ファイルの変更、すなわちその検査情報ファイル内の検査内容と今回の検査内容とを比較して検査内容の変更を検出する（検査情報ファイル検査）。この情報検査部３５は、検査情報ファイル内の検査内容の変更を検出すると、その変更の検出通知及び変更内容に関する変更情報を検査実行部３６に送る。

【0034】

検査実行部３６は、情報検査部３５からの検出通知を受け、さらに、情報検査部３５から送られた変更情報に基づき、検査情報ファイルの変更内容、すなわち変更された検査内容（検査項目）に対応するフォーマット検査を追加して実行する。

【0035】

情報更新部３７は、前述の変更情報に基づいて変更内容を検査情報ファイルに適用し、検査情報ファイルを更新する（検査情報ファイル更新）。さらに、情報更新部３７は符号化情報ファイルの「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号を書きかえ、符号化情報ファイルを更新する（符号化情報ファイル更新）。

【0036】

ここで、２回目以降の検査時には、例えば、図４に示すように、検査内容の変更が無い場合、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」のみとなる。一方、検査項目の変更（追加）がある場合、すなわち「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「なし」から「３」に変更された場合、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」に加え、「３．ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ検査」、「４．検査情報ファイル更新」及び「５．符号化情報ファイル更新」となる。また、検査パラメータの変更がある場合、すなわち「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」が「１２８」から「６４」に変更された場合、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」に加え、「３．ｃｅｌｌ＿ｍａｘ検査」、「４．検査情報ファイル更新」及び「５．符号化情報ファイル更新」となる。このように検査内容に応じて処理内容が変わることになる。

【0037】

前述の符号検査では、データ１と「ｆｉｌｅ ｎａｍｅ」の符号１との値が一致するか否かが検査される。それらの値が一致した場合、検査情報ファイルと「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号２との値が一致するか否かが検査される。それらの値が一致すると、前述の検査情報ファイル検査では、検査情報ファイルの内容から検査項目の変更の有無が判定され、今回の検査で変更（追加も含む）されている検査項目があれば、その検査項目に対する検査が実行される。最後に、検査対象となった検査項目や検査パラメータなどが検査情報ファイルに記述されて検査情報ファイルが更新され、その更新に応じて符号化情報ファイルの「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号も更新される。

【0038】

なお、前述のフォーマット検査部３１や情報生成部３２、情報記憶部３３、符号検査部３４、情報検査部３５、検査実行部３６、情報更新部３７などは、電気回路などのハードウエア、あるいは、各機能を実行するプログラムなどのソフトウエアにより構成されても良く、さらに、それらの両方の組合せにより構成されても良い。また、前述の検査処理は、逐次処理（順次処理）であっても並列処理であっても構わない。さらに、前述のように、１つの描画データに対して一組の符号化情報ファイル及び検査情報ファイルを生成しているが、これに限るものではなく、例えば、描画データ内のチップ毎に符号化情報ファイル及び検査情報ファイルを生成するようにしても良い。

【0039】

次に、前述のフォーマット検査装置３ｃが行う検査処理の流れについて図５を参照して説明する。

【0040】

図５に示すように、検査が１回目であるか否かが判断され（ステップＳ１）、検査が１回目であると判断されると（ステップＳ１のＹＥＳ）、描画データ記憶部３ｂからデータが読み込まれ、そのデータに対するフォーマット検査がフォーマット検査部３１により実行される（ステップＳ２）。その後、データがフォーマット検査に合格したか否かが判断され（ステップＳ３）、データがフォーマット検査に合格しなかった、すなわち不合格であったと判断されると（ステップＳ３のＮＯ）、その旨を示すエラーが通知され（ステップＳ４）、処理がステップＳ１に戻される。一方、データがフォーマット検査に合格したと判断された場合には（ステップＳ３のＹＥＳ）、データの符号化情報ファイル及び検査情報ファイルが情報生成部３２により生成され、それらのファイルが情報記憶部３３に保存される（ステップＳ５）。

【0041】

ここで、例えば、図３に示すように、検査内容が「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ≦１２８」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ なし」及び「０≦ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ≦７」である場合、データ１が初回のフォーマット検査に合格すると、符号化情報ファイルにデータ１の符号１が書き込まれる。さらに、検査情報ファイルには、［検査項目］として、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝“ＯＮ”」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝“ＯＦＦ”」及び「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝“ＯＮ２”」が書き込まれ、さらに、［検査パラメータ］として、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１２８」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝ｎｏｎ」及び「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝０−７」が書き込まれる。その後、符号化情報ファイルには、検査情報ファイルの符号２が書き込まれる。

【0042】

前述のステップＳ１において、検査が一回目ではない、すなわち二回目以降であると判断されると（ステップＳ１のＮＯ）、描画データ記憶部３ｂからデータが読み込まれると共に、情報記憶部３３から検査情報ファイルが読み込まれ、それらのデータ及び検査情報ファイルに対する符号検査が符号検査部３４により実行される（ステップＳ６）。その後、データ及び検査情報ファイルが符号検査に合格したか否かが判断され（ステップＳ７）、データ及び検査情報ファイルが符号検査に合格しなかった、すなわち不合格であったと判断されると（ステップＳ７のＮＯ）、その旨を示すエラーが通知され（ステップＳ８）、処理がステップＳ１に戻される。なお、ステップＳ４又はステップＳ８において、エラーが通知されると、データに対する全検査項目のフォーマット検査が実行されることになる。

【0043】

一方、前述のステップＳ７において、データ及び検査情報ファイルが符号検査に合格したと判断された場合には（ステップＳ７のＹＥＳ）、検査情報ファイルの検査が情報検査部３５により実行され（ステップＳ９）、検査内容が変更されているか否かが判断される（ステップＳ１０）。その後、検査内容が変更されていないと判断されると（ステップＳ１０のＮＯ）、処理がステップＳ１に戻され、一方、検査内容が変更されていると判断されると（ステップＳ１０のＹＥＳ）、変更された検査項目のフォーマット検査のみが検査実行部３６により追加実行される（ステップＳ１１）。次いで、検査情報ファイル及び符号化情報ファイルの更新が情報更新部３７により行われ（ステップＳ１２）、処理がステップＳ１に戻される。

【0044】

ここで、例えば、図４に示すように、検査項目の変更（「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」の追加）がある場合には、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ検査」が追加実行される。また、検査パラメータの変更（「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」の変更）がある場合には、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ検査」が追加実行される。なお、検査内容の変更の有無に関わらず、符号検査及び検査情報ファイル検査は実行される。このように、検査内容の変更がない場合には、符合検査の実行によって、全検査項目を検査するフォーマット検査を省略することが可能となるため、検査時間を短縮することができる。また、検査内容の変更があった場合には、全検査項目を検査するフォーマット検査を省略しつつも、変更された検査項目に対するフォーマット検査を行う。このため、検査時間の短縮を達成しつつ、正確な検査を行うことが可能となる。このようにして、検査の厳密化及び処理の効率化を両立することができる。

【0045】

以上説明したように、第１の実施形態によれば、描画データに対して再度フォーマット検査を行う場合、記憶した符号化情報を用いて描画データを検査し、その描画データが検査に合格すると、記憶した検査情報を検査してその検査結果に応じてフォーマット検査の処理内容を変えてフォーマット検査を行う。このように符号化情報を用いた検査の実行によって、全検査項目を検査するフォーマット検査を省略することが可能となるので、検査時間の短縮を実現することができる。さらに、検査情報に対する検査結果に応じてフォーマット検査の処理内容が変更されて検査が実行されるため、検査結果に対応する処理内容の検査を実行することが可能となり、正確な検査を実現することができる。例えば、検査情報に対する検査により検査情報の変更が検出された場合には、その変更内容に対応する検査を行うことが可能であり、正確な検査を達成することができる。

【0046】

なお、前述のように、検査条件（検査内容）の変更の度にその変更内容を検査情報ファイルに反映させて検査情報ファイルを更新しているが、これに限るものではなく、例えば、同じデータに対して異なる検査条件で複数回検査を行った場合には、複数回検査した値のうち、最も制約が厳しい値を検査情報ファイルの値として採用し、検査情報ファイルを更新するようにしても良い。これにより、検査条件が厳しい検査情報ファイルを用いることになるため、より正確な検査を実現することができる。

【0047】

ここで、例えば、図６に示すように、検査内容が１回目から２回目のように変更され、すなわち「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」が「１２８」から「６４」に変更され、さらに、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「なし」から「３」に変更されると、検査情報ファイルの検査項目の「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「ＯＦＦ」から「ＯＮ」となり、検査パラメータの「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」が「１２８」から「６４」となり、さらに、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「ｎｏｎ」から「３」となる。

【0048】

その後、検査内容が２回目から３回目のように変更され、すなわち「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」が「６４」から「１２８」に変更され、さらに、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「３」から「なし」に変更されると、検査情報ファイルの検査項目の「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「ＯＮ」から「ＯＦＦ」となり、検査パラメータの「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」が「６４」から「１２８」にとなり、さらに、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「３」から「ｎｏｎ」となるはずである。ところが、最も制約の厳しい値を採用するため、検査情報ファイルの検査項目の「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」は「ＯＮ」のままであり、検査パラメータの「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」も「６４」、さらに、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」も「３」のままである。

【0049】

次に、前述の検査処理の他の一例について説明する。前述の説明では、フォーマット検査装置３ｃから１台の描画部２に対してデータ転送を行っているが、これに限るものではなく、複数台、例えば２台の描画部２に対してデータ転送を行う場合の検査処理について説明する。ここで、２台の描画部２のうち第１の描画部を「Ｔｏｏｌ Ａ」とし、もう１台の描画部を「Ｔｏｏｌ Ｂ」とする。

【0050】

１回目の検査時には、図７に示すように、描画データ記憶部３ｂからデータ１がフォーマット検査部３１により読み出され、そのデータ１に対して検査内容に基づくフォーマット検査が行われる。このときの検査内容としては、例えば、［検査項目］として「ｂａｓｉｃ＿ｃｈｅｃｋ＝“ＯＮ”」、「Ｔｏｏｌ Ａ ｃｈｅｃｋ＝“ＯＮ”」及び「Ｔｏｏｌ Ｂ ｃｈｅｃｋ＝“ＯＦＦ”」が設定されており、［検査パラメータ］として「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１２８」や「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝５１２などが設定されている。この検査内容に基づいて、「Ｔｏｏｌ Ａ」のための検査として、「ｂａｓｉｃ＿ｃｈｅｃｋ」及び「Ｔｏｏｌ Ａ ｃｈｅｃｋ」が実行される。

【0051】

次に、データ１が前述のチェックに合格した場合、データ１の符号化情報ファイル及び検査情報ファイルが情報生成部３２により生成される。例えば、符号化情報ファイルにデータ１の符号が「“ｆｉｌｅ ｎａｍｅ”＝“ｃｈｅｃｋｓｕｍ１”」というように記述される。さらに、検査情報ファイルには、［検査項目］として「ｂａｓｉｃ＿ｃｈｅｃｋ＝“ＯＮ”」、「Ｔｏｏｌ Ａ ｃｈｅｃｋ＝“ＯＮ”」及び「Ｔｏｏｌ Ｂ ｃｈｅｃｋ＝“ＯＦＦ”」が記述され、［検査パラメータ］として「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１２８」や「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝５１２などが記述される。そして最後に、符号化情報ファイルには、検査情報ファイルの符号が「“ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ”＝“ｃｈｅｃｋｓｕｍ２”」というように書き込まれる。

【0052】

その後、２回目以降の検査時には、例えば、図８に示すように、検査内容の変更が無い場合（第１の描画部に対するデータ転送時）、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」のみとなる。一方、検査項目の変更がある場合（第２の描画部に対するデータ転送時）、すなわち「Ｔｏｏｌ Ａ ｃｈｅｃｋ」が「ＯＮ」から「ＯＦＦ」に変わり、「Ｔｏｏｌ Ｂ ｃｈｅｃｋ」が「ＯＦＦ」から「ＯＮ」に変わる場合には、処理内容は、「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」に加え、「３．Ｔｏｏｌ Ｂ 検査」、「４．検査情報ファイル更新」及び「５．符号化情報ファイル更新」となる。

【0053】

前述の符号検査では、データ１と「ｃｈｅｃｋｓｕｍ１」との値が一致するか否かが検査され、それらの値が一致した場合には、検査情報ファイルと「ｃｈｅｃｋｓｕｍ２」との値が一致するか否かが検査される。それらの値が一致すると、検査情報ファイル検査では、検査情報ファイルの内容から「ｂａｓｉｃ＿ｃｈｅｃｋ」が行われているか否かが判定され、そのチェックが行われていると判定されると、「Ｔｏｏｌ Ｂ」のための検査として、「Ｔｏｏｌ Ｂ ｃｈｅｃｋ」が追加実行される。その後、検査情報ファイルに「Ｔｏｏｌ Ｂ ｃｈｅｃｋ＝“ＯＮ”」が記述されて検査情報ファイルが更新され、その更新に応じて符号化情報ファイルの「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号も更新される。このように、検査内容の変更があった場合には、全検査項目を検査するフォーマット検査を省略しつつも、変更された検査項目に対するフォーマット検査を行うので、検査時間の短縮を達成しつつ、正確な検査を行うことが可能となる。

【0054】

（第２の実施形態）
第２の実施形態について図９ないし図１２を参照して説明する。

【0055】

第２の実施形態は基本的に第１の実施形態と同様である。第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。

【0056】

第２の実施形態では、情報生成部３２は、フォーマット検査に合格したデータの検査情報として、検査項目や検査パラメータなどの検査内容の情報ではなく、フォーマット検査による検査対象情報、すなわちデータ１の実際の検査対象情報を生成する。情報記憶部３３は、そのフォーマット検査による検査対象情報を記憶する。情報検査部３５は、その情報記憶部３３内の検査対象情報の有無を検出する。検査実行部３６は、情報検査部３５により検査対象情報の存在が検出されると、情報記憶部３３内の検査対象情報を用いて、その検査対象情報に対応する検査、すなわち検査対象情報が存在する検査項目に対する検査を行う。一方、情報検査部３５により検査対象情報の存在が検出されなかった場合、すなわち検査対象情報が存在しない検査項目に関しては、データ１のフォーマット検査を通常通り行う。

【0057】

ここで、例えば、１回目の検査時には、図９に示すように、描画データ記憶部３ｂからデータ１がフォーマット検査部３１により読み出され、そのデータ１に対して検査内容に基づくフォーマット検査が行われる。このときの検査内容としては、例えば、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ≦１２８」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ なし」及び「０≦ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ≦７」が設定されている。

【0058】

次に、データ１が前述のチェックに合格すると、データ１の符号化情報ファイル及び検査情報ファイルが情報生成部３２により生成される。例えば、データ１の初回のフォーマット検査合格時には、符号化情報ファイルに、データ１の符号が「“ｆｉｌｅ ｎａｍｅ”＝“符号１”」というように記述される。さらに、検査情報ファイルには、［検査対象情報］として「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１００」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝ｎｏｎ」及び「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝１，２」が記述される。これらの情報は初回のフォーマット検査での検査対象情報であり、データ１に含まれるセルマックスの値１００やデータ１に含まれる実際の値１、２などの情報を含んでいる。最後に、符号化情報ファイルには、検査情報ファイルの符号が「“ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ”＝“符号２”」というように書き込まれる。

【0059】

その後、２回目以降の検査時には、例えば、図１０に示すように、検査内容の変更が無い場合、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」のみとなる。一方、検査項目の変更（追加）がある場合、すなわち「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ」が「なし」から「３」に変更された場合には、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」に加え、「３．ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ検査」、「４．検査情報ファイル更新」及び「５．符号化情報ファイル更新」となる。また、検査パラメータの変更がある場合、すなわち、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」が「１２８」から「６４」に変更された場合には、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」に加え、「３．ｃｅｌｌ＿ｍａｘ検査」となる。このように検査内容に応じて処理内容が変わることになる。

【0060】

前述の符号検査では、データ１と「ｆｉｌｅ ｎａｍｅ」の符号１との値が一致するか否かが検査される。それらの値が一致した場合、検査情報ファイルと「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号２との値が一致するか否かが検査される。それらの値が一致すると、検査情報ファイル検査では、検査情報ファイルの内容から今回の検査の検査対象情報の存在が判定され、その存在が検出された場合、存在する検査対象情報が用いられて検査が実行される。この検査対象情報の有無により検査内容の変更を把握することが可能である。なお、検査対象情報が存在しない検査項目に関しては、データ１の検査が通常通り実行される。最後に、データ１を読み込んで行った検査項目が検査対象情報として検査情報ファイルに追記され、さらに、符号化情報ファイルの「ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ」の符号も更新される。

【0061】

なお、前述の「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ検査」では、検査情報ファイル（図９参照）が「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝ｎｏｎ」となっており、検査対象情報が存在していないため、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ≦３」に基づくデータ１の検査が実行される。また、前述の「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ検査」では、検査情報ファイル（図９参照）が「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１００」となっており、検査対象情報が存在しているため、データ１の元情報ではなく、実際の検査対象情報が用いられて検査が行われる。ここでは、検査内容が「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ≦６４」であり、検査情報ファイル内の検査対象情報が「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１００」となっているため、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ」は６４以下とならず、検査は不合格となり、エラーが立てられる（エラー通知）。このとき、データ１の元情報（例えば、バイナリデータ）ではなく、検査情報ファイル内の実際の検査対象情報（例えば、テキストデータ）を用いて検査を行うので、描画データの元情報を用いる場合（バイナリデータを読みにいって処理を行う場合など）に比べ、処理時間を短縮することができる。

【0062】

以上説明したように、第２の実施形態によれば、前述の第１の実施形態と同様の効果を得ることが可能であり、検査時間の短縮及び正確な検査を実現することができる。さらに、実際の検査対象情報を用いて、その検査対象情報に対応する検査を行うことによって、描画データの元情報を用いる場合、例えばバイナリデータを読みにいって処理を行う場合などに比べ、処理時間を短縮することができる。

【0063】

ここで、前述の検査処理の他の一例について説明する。前述の説明では、検査内容のデータタイプを「０≦ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ≦７」というように設定しているが、これに限るものではなく、データタイプの範囲を規定するファイル（テキストファイル）を用いる場合の検査処理について説明する。

【0064】

１回目の検査時には、図１１に示すように、描画データ記憶部３ｂからデータ１がフォーマット検査部３１により読み出され、そのデータ１に対して検査内容に基づくフォーマット検査が行われる。このときの検査内容としては、例えば、「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ≦１２８」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ なし」及び「ａｕｘ＿ｃｈｅｃｋ あり」が設定されており、さらに、ａｕｘ．ｘｍｌファイルが入力される。このファイルは、データ１のデータタイプの範囲を決めている。この検査内容に基づいて、データ１及びａｕｘ．ｘｍｌファイルのための検査として、「ａｕｘ＿ｃｈｅｃｋ」が実行される。

【0065】

次に、データ１及びａｕｘ．ｘｍｌファイルが前述のチェックに合格した場合、符号化情報ファイル及び検査情報ファイルが情報生成部３２により生成される。例えば、データ１の初回のフォーマット検査合格時には、符号化情報ファイルに、データ１の符号が「“ｆｉｌｅ ｎａｍｅ”＝“ｃｈｅｃｋｓｕｍ１”」というように、加えて、ａｕｘ．ｘｍｌファイルの符号が「ａｕｘ＝“ｃｈｅｃｋｓｕｍ２”」というように記述される。さらに、検査情報ファイルには、［検査対象情報］として「ｃｅｌｌ＿ｍａｘ＝１００」、「ｃｅｌｌ＿ｌｅｖｅｌ＝ｎｏｎ」及び「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝１，２」が記述される。これらの情報は初回のフォーマット検査での検査対象情報であり、データ１に含まれるセルマックスの値１００やデータ１に含まれる実際の値１、２などの情報を含んでいる。最後に、符号化情報ファイルには、検査情報ファイルの符号が「“ｉｎｆ＿ｆｉｌｅ”＝“ｃｈｅｃｋｓｕｍ３”」というように書き込まれる。

【0066】

その後、２回目以降の検査時には、例えば、図１２に示すように、検査内容の変更が無い場合、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」のみとなる。一方、検査パラメータの変更がある場合、すなわちａｕｘ．ｘｍｌファイルが変更された場合には、処理内容は「１．符号検査」及び「２．検査情報ファイル検査」に加え、「３．ａｕｘ＿ｃｈｅｃｋ 検査」、「４．検査情報ファイル更新」及び「５．符号化情報ファイル更新」となる。

【0067】

前述の符号検査では、データ１と「ｃｈｅｃｋｓｕｍ１」との値が一致するか否か、さらに、ａｕｘ．ｘｍｌファイルと「ｃｈｅｃｋｓｕｍ２」との値が一致するか否かが検査される。データ１と「ｃｈｅｃｋｓｕｍ１」との値が一致し、ａｕｘ．ｘｍｌファイルと「ｃｈｅｃｋｓｕｍ２」との値が一致しない場合、検査情報ファイルと「ｃｈｅｃｋｓｕｍ３」との値が一致するか否かが検査される。それらの値が一致すると、検査情報ファイル検査では、検査情報ファイルの内容から「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ」が書き込まれているか否かが判定され、それが書き込まれていると判定されると、その「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ」を元とする「ａｕｘ＿ｃｈｅｃｋ」が実行される。このチェックにデータ１が合格すると、符号化情報ファイルの「ａｕｘ」の符号が更新される。

【0068】

なお、前述の「ａｕｘ＿ｃｈｅｃｋ」では、検査情報ファイル（図１１参照）が「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ＝１，２」となっており、検査対象情報が存在しているため、データ１の元情報ではなく、実際の検査対象情報が用いられて検査が行われる。ここでは、「ｄａｔｅ＿ｔｙｐｅ」の１、２という数値とａｕｘ．ｘｍｌファイルで規定されているデータタイプの範囲とを比較する検査が実行される。これにより、描画データの元情報を用いる場合、例えばバイナリデータを読みにいって処理を行う必要がある場合などに比べ、処理時間を短縮することができる。

【0069】

（第３の実施形態）
第３の実施形態について図１３を参照して説明する。

【0070】

第３の実施形態に係るパターン検査装置は、第１の実施形態に係るフォーマット検査装置を備えている。第３の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。なお、第１の実施形態に係るフォーマット検査装置にかえて第２の実施形態に係るフォーマット検査装置を用いるようにしても良い。

【0071】

図１３に示すように、第３の実施形態に係るパターン検査装置５１は、第１の実施形態に係るフォーマット検査装置３ｃと、パターンを検査するパターン検査部５２とを備えている。フォーマット検査装置３ｃには、例えば半導体集積回路などのレイアウトデータ（設計データやＣＡＤデータなど）を変換することで得られた第１データ（描画データ）が入力される。また、パターン検査部５２には、フォーマット検査装置３ｃによるフォーマット検査に合格した第１データ、さらに、荷電粒子ビーム描画装置１により試料Ｗ上に実際に描画されたパターンに基づいて作成された第２データ（描画データ）が入力される。

【0072】

第１データは、そのデータを保管するデータベースなどの記憶装置（図示せず）から有線又は無線のネットワークを介してフォーマット検査装置３ｃに入力され、フォーマット検査合格後、パターン検査部５２に入力される。また、第２データも同様にそのデータを保管するデータベースなどの記憶装置（図示せず）から有線又は無線のネットワークを介してパターン検査部５２に入力される。なお、これらのデータは第１の実施形態に係る描画データと同様に、例えば、チップ階層ＣＰ、フレーム階層ＦＲ、ブロック階層ＢＬ、セル階層ＣＬ及び図形階層ＦＧというように階層化されている（図２参照）。

【0073】

フォーマット検査装置３ｃは、入力された第１データのフォーマットを第１の実施形態と同じように検査する。なお、フォーマット検査装置３ｃは、第１データが検査に合格すると、その合格した第１データを次段のパターン検査部５２に送信するが、描画データが不合格になった場合にはエラーを立てる（エラーの通知）。

【0074】

パターン検査部５２は、入力された各データに基づいて、荷電粒子ビーム描画装置１により試料Ｗ上に実際に描画されたパターンなどを検査する。この検査では、例えば、実際に描画されたパターンと描画データとを比較するような検査が行われる。

【0075】

以上説明したように、第３の実施形態によれば、前述の第１の実施形態と同様の効果を得ることが可能であり、検査時間の短縮及び正確な検査を実現することができる。また、第１の実施形態に係るフォーマット検査装置３ｃにかえて第２の実施形態に係るフォーマット検査装置３ｃを用いた場合には、前述の第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0076】

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0077】

１ 荷電粒子ビーム描画装置
２ 描画部
２ａ 描画室
２ｂ 光学鏡筒
３ 制御部
３ａ 描画データ変換部
３ｂ 描画データ記憶部
３ｃ フォーマット検査装置
３ｄ 描画制御部
１１ ステージ
２１ 電子銃
２２ 照明レンズ
２３ 第１のアパーチャ
２４ 投影レンズ
２５ 第１の偏向器
２６ 第２のアパーチャ
２７ 対物レンズ
２８ 第２の偏向器
３１ フォーマット検査部
３２ 情報生成部
３３ 情報記憶部
３４ 符号検査部
３５ 情報検査部
３６ 検査実行部
３７ 情報更新部
５１ パターン検査装置
５２ パターン検査部
Ｂ 電子ビーム
Ｗ 試料

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】