特許第6139011号(P6139011)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ 東京エレクトロン株式会社の特許一覧 ▶ トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッドの特許一覧

特許6139011誘導自己組織化用途における中立層オーバーコートのトポグラフィの最小化