特許6139947成膜装置及び成膜方法

発明の名称　成膜装置及び成膜方法

出願人　三井造船株式会社　（識別番号 5902）

　　　　特許公開件数ランキング 622 位（39件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 579 位（37件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6139947

公報発行日　2017年5月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6139947

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