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特許6139986エッチング方法
発明の名称 エッチング方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 26 位（170件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 23 位（169件）（共同出願を含む）
出願人 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード （識別番号 591036572）
特許公開件数ランキング 610 位（10件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 466 位（13件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6139986
公報発行日 2017年5月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6139986
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