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特許6145658前室局所クリーン化搬送機構
発明の名称 前室局所クリーン化搬送機構
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所 （識別番号 301021533）
特許公開件数ランキング 187 位（258件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 141 位（269件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ナノテック （識別番号 596167918）
特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社三明 （識別番号 591285549）
特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6145658
公報発行日 2017年6月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6145658
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