特許6151138荷電粒子顕微鏡内において試料の断層撮像を実行する方法

発明の名称　荷電粒子顕微鏡内において試料の断層撮像を実行する方法

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 425 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 997 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6151138

公報発行日　2017年6月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6151138

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