特許6153117結晶方位マーク付き処理基板、結晶方位検出方法及び結晶方位マーク読出装置

発明の名称　結晶方位マーク付き処理基板、結晶方位検出方法及び結晶方位マーク読出装置

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 187 位（258件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 141 位（269件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6153117

公報発行日　2017年6月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6153117

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6153117「結晶方位マーク付き処理基板、結晶方位検出方法及び結晶方位マーク読出装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録