特許第6154388号(P6154388)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6154388下方電極アセンブリ、そのためのエッジシール、下方電極アセンブリの作成方法、及び、プラズマエッチングチャンバ
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