特許 6182535 改善された摩擦測定を使用する基板研磨終点検出のためのシステムおよび方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6182535

(24)【登録日】2017年7月28日

(45)【発行日】2017年8月16日

(54)【発明の名称】改善された摩擦測定を使用する基板研磨終点検出のためのシステムおよび方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 37/34 20120101AFI20170807BHJP

   B24B 37/013 20120101ALI20170807BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20170807BHJP

   B24B 41/047 20060101ALI20170807BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20170807BHJP

【ＦＩ】

   B24B37/34

   B24B37/013

   B24B49/10

   B24B41/047

   H01L21/304 622S

【請求項の数】15

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2014-542418(P2014-542418)

(86)(22)【出願日】2012年11月14日

(65)【公表番号】特表2014-533610(P2014-533610A)

(43)【公表日】2014年12月15日

(86)【国際出願番号】US2012065127

(87)【国際公開番号】WO2013074706

(87)【国際公開日】20130523

【審査請求日】2015年11月10日

(31)【優先権主張番号】61/560,793

(32)【優先日】2011年11月16日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】13/459,071

(32)【優先日】2012年4月27日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

(74)【代理人】

【識別番号】100109726

【弁理士】

【氏名又は名称】園田 吉隆

(74)【代理人】

【識別番号】100101199

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 義教

(72)【発明者】

【氏名】チャン， シュー−ソン

(72)【発明者】

【氏名】チェン， ハン チー

(72)【発明者】

【氏名】カルピア， ラクシュマナン

(72)【発明者】

【氏名】バターフィールド， ポール ディー．

(72)【発明者】

【氏名】ロンダム， エリック エス．

【審査官】 須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２００１／００１２７５０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特表２００７−５１０１６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００１／００２４８８０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００４−２０９５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−３５８１０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５５９７３４１（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ３／００−３／６０

Ｂ２４Ｂ２１／００−５１／００

Ｈ０１Ｌ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上部プラテンと、
前記上部プラテンに結合されたトルク／ひずみ測定器具と、
前記トルク／ひずみ測定器具に結合され、前記上部プラテンを駆動して前記トルク／ひずみ測定器具を介して回転させるように適合された下部プラテンと
を備え、
前記トルク／ひずみ測定器具は複数の屈曲部の配置を含み、少なくとも一つの屈曲部がそれに結合したひずみゲージを含み、前記複数の屈曲部は長手方向が前記上部プラテン及び前記下部プラテンの回転軸と交差するよう配置されている、基板を研磨するための装置。

【請求項2】

前記屈曲部が前記下部プラテン上に前記上部プラテンを支持する支持体として機能する、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記屈曲部のフレキシブルな方向が前記上部プラテン及び前記下部プラテンの回転方向に対して接線方向であるように各屈曲部が配置されている、請求項１に記載の装置。

【請求項4】

各屈曲部がＩビーム形状を有する、請求項１に記載の装置。

【請求項5】

前記トルク／ひずみ測定器具がトルクセンサを含む、請求項１に記載の装置。

【請求項6】

前記トルク／ひずみ測定器具がロードセルを含む、請求項１に記載の装置。

【請求項7】

基板を保持するように適合された研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッド内に保持される前記基板に対して研磨パッドを保持および回転させるように適合された研磨パッド支持体と
を備え、前記研磨パッド支持体が、
上部プラテンと、
前記上部プラテンに結合されたトルク／ひずみ測定器具と、
前記トルク／ひずみ測定器具に結合され、前記上部プラテンを駆動して前記トルク／ひずみ測定器具を介して回転させるように適合された下部プラテンと
を含み、
前記トルク／ひずみ測定器具は複数の屈曲部の配置を含み、少なくとも一つの屈曲部がそれに結合したひずみゲージを含み、前記複数の屈曲部は長手方向が前記上部プラテン及び前記下部プラテンの回転軸と交差するよう配置されている、基板の化学機械平坦化処理のためのシステム。

【請求項8】

前記屈曲部が前記下部プラテン上に前記上部プラテンを支持する支持体として機能する、請求項７に記載のシステム。

【請求項9】

前記トルク／ひずみ測定器具が、前記支持体と、印加されるトルクの表示として相対的な回転または直線変位を測定するように適合された変位測定器具とを備える、請求項８に記載のシステム。

【請求項10】

下部プラテンを上部プラテンにトルク／ひずみ測定器具を介して結合することであって、前記上部プラテンが研磨パッドを保持するように適合され、前記トルク／ひずみ測定器具は長手方向が前記上部プラテン及び前記下部プラテンの回転軸と交差するよう配置されている複数の屈曲部の配置を含むことと、
前記下部プラテンを回転させて前記上部プラテンを駆動することと、
基板を保持する研磨ヘッドを前記上部プラテン上の前記研磨パッドに適用することと、
前記基板が研磨されるときに前記上部プラテンを回転させるのに必要なトルクの量を測定することと
を含む、基板を研磨する方法。

【請求項11】

閾値に対して、前記測定されたトルクまたはひずみの量の変化を検出することに基づいて、研磨終点を検出することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

前記測定されたトルクまたはひずみの量の変化を検出することに基づいて、研磨プロセスの１つまたは複数のステージを検出することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。

【請求項13】

印加される前記トルクの表示として相対的な回転または直線変位を測定することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。

【請求項14】

経時的に測定されたトルク変化の量がトルク変化閾値以上であるかどうかを決定することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。

【請求項15】

前記トルクの量を測定することが、屈曲部を変位することと、印加される前記トルクの表示として相対的な回転または直線変位を測定することとを含む、請求項１０に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、２０１１年１１月１６日に出願された「ＳＹＳＴＥＭＳ ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ ＰＯＬＩＳＨＩＮＧ ＥＮＤ ＰＯＩＮＴ ＤＥＴＥＣＴＩＯＮ ＵＳＩＮＧ ＩＭＰＲＯＶＥＤ ＦＲＩＣＴＩＯＮ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ」と題する米国仮特許出願第６１／５６０，７９３号、および２０１２年４月２７日に出願された米国特許出願第１３／４５９，０７１号に関し、優先権を主張するものであり、両出願の各々の全体は、参照により本明細書に組み込まれる。

【0002】

本発明は、一般に電子デバイスの製造に関し、より詳細には、半導体基板研磨システムおよび方法を対象とする。

【背景技術】

【0003】

基板研磨終点検出法は、十分な基板材料がいつ除去されたかを決定するために、研磨ヘッド内に保持された基板に対して研磨パッドを回転するのに必要なトルクの推定を使用することができる。既存の基板研磨システムは、典型的には、基板に対してパッドを回転させるために必要なトルクの量を推定するために、アクチュエータからの電気信号（例えば、モータ電流）を使用する。本発明の発明者は、終点にいつ到達したのかを安定して決定するのに、そのような方法がいくつかの環境では十分に正確でない可能性があることを決定した。したがって、基板研磨終点検出の分野で、改善が必要である。

【発明の概要】

【0004】

本発明の方法および装置は、基板を研磨することを可能にする。いくつかの実施形態では、装置は、上部プラテンと、上部プラテンにフレキシブルに結合されたトルク／ひずみ測定器具と、トルク／ひずみ測定器具に結合された下部プラテンとを含む。上部プラテンは、アクチュエータにより駆動される下部プラテンによって、トルク／ひずみ測定器具を介して駆動される。

【0005】

いくつかの他の実施形態では、基板の化学機械平坦化処理のためのシステムが提供される。システムは、上部プラテンに取り付けられた研磨パッドと、研磨パッドに対して、基板を保持および回転させるように適合された基板キャリアとを含む。研磨プラテンアセンブリは、上部プラテンと、上部プラテンにフレキシブルに結合されたトルク／ひずみ測定器具と、トルク／ひずみ測定器具に結合され、上部プラテンを駆動するようにトルク／ひずみ測定器具を介して回転させるように適合された下部プラテンとを含む。

【0006】

さらに他の実施形態では、基板を研磨する方法が提供される。方法は、下部プラテンを上部プラテンにトルク／ひずみ測定器具を介して結合することであって、上部プラテンが研磨パッドを保持するように適合されることと、下部プラテンを回転させて上部プラテンを駆動することと、基板を保持する研磨ヘッドを上部プラテン上の研磨パッドに適用することと、基板が研磨されるときに上部プラテンを回転させるのに必要なトルクの量を測定することとを含む。

【0007】

さらに他の実施形態では、基板を研磨するために、装置が提供される。装置は、上部キャリッジと、上部キャリッジに結合された横力測定器具と、横力測定器具に結合されて、研磨ヘッドを支持するように適合された下部キャリッジとを含む。

【0008】

いくつかの他の実施形態では、基板の化学機械平坦化処理のためのシステムが提供される。システムは、基板を保持するように適合された研磨ヘッドアセンブリと、研磨ヘッド内に保持される基板に対して研磨パッドを保持および回転させるように適合された研磨パッド支持体とを含み、研磨ヘッドアセンブリが、上部キャリッジと、上部キャリッジに結合された横力測定器具と、横力測定器具に結合された下部キャリッジと、下部キャリッジに結合され、基板を保持するように適合された研磨ヘッドとを含む。

【0009】

さらに他の実施形態では、基板を研磨する方法が提供される。方法は、研磨パッドを支持するプラテンを回転させることと、上部キャリッジを下部キャリッジに横力測定器具を介して結合することであって、下部キャリッジが基板を保持するように適合された研磨ヘッドを支持するように適合されることと、基板を保持する研磨ヘッドをプラテン上の研磨パッドに適用することと、基板が研磨されるときに基板上の横力の量を測定することとを含む。

【0010】

他の実施形態では、基板を研磨するために、装置が提供される。装置は、上部キャリッジと、上部キャリッジに結合された変位測定器具と、変位測定器具に結合されて、研磨ヘッドを支持するように適合された下部キャリッジとを含む。

【0011】

多くの他の態様が提供される。本発明の他の特徴および態様は、以下の詳細な説明、添付される請求項、および付随する図面から、より十分に明らかとなるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態にしたがう基板研磨システムのプラテン回転部の側面図である。

【図2A】本発明の第１の実施形態にしたがう基板研磨システムのプラテン回転部の部分の断面図である。

【図2B】本発明の第２の実施形態にしたがう基板研磨システムのプラテン回転部の部分の断面図である。

【図3A】本発明の第３の実施形態にしたがう基板研磨システムのプラテン回転部の部分の断面図である。

【図3B】本発明の第４の実施形態にしたがう基板研磨システムのプラテン回転部の部分の断面図である。

【図3C】本発明の第５の実施形態にしたがう基板研磨システムのプラテン回転部の部分の断面図である。

【図4】本発明の第３、第４、および第５の実施形態にしたがう、屈曲部により支持される上部プラテンの上面図である。

【図5】本発明の第３、第４、および第５の実施形態にしたがう、屈曲部の例示的な実施形態の斜視図である。

【図6】本発明のいくつかの実施形態にしたがう、基板を研磨する例示的な方法を図示する流れ図である。

【図7】本発明の実施形態にしたがう基板研磨システムの実施形態を使用して基板が研磨されるときの、経時的なトルク測定の実験結果のグラフである。

【図8A】本発明の横力測定の実施形態にしたがう基板研磨システムの、例示的な研磨ヘッドアセンブリの側面図である。

【図8B】本発明の実施形態にしたがった、パッドの回転および基板上の横力を示す、研磨期間に研磨パッド上に位置する基板の上面図である。

【図9A】本発明の実施形態にしたがう代替基板研磨システムの、例示的な研磨ヘッド部の側面図である。

【図9B】本発明の実施形態にしたがった、パッドの回転および基板上の横力を示す、研磨期間に研磨パッド上に位置する２つの基板の上面図である。

【図10A】本発明の第２の横力測定の実施形態にしたがう基板研磨システムの、研磨ヘッドアセンブリの断面図である。

【図10B】本発明の第３の横力測定の実施形態にしたがう基板研磨システムの、研磨ヘッドアセンブリの断面図である。

【図10C】本発明の第４の横力測定の実施形態にしたがう基板研磨システムの、研磨ヘッドアセンブリの断面図である。

【図11】本発明のいくつかの実施形態にしたがう、基板を研磨する代替の例示的な方法を図示する流れ図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

研磨ヘッド内に保持される基板に対して研磨パッドを回転させるために必要なトルクの量を推定するために、研磨パッド支持プラテンを駆動するために使用されるモータから取られる電気信号（例えば、電流、電圧、電力など）を使用する既存の基板研磨システム（例えば、化学機械平坦化（ＣＭＰ）システム）は、いくつかの誤差源に起因していくつかの環境では不正確となる可能性がある。これらの誤差源のいくつかとしては、アクチュエータ固有特性ばらつき（例えば、巻線および磁石内のばらつき）、伝動構成要素許容差（例えば、ギヤボックス、ベルト、プーリなど）、ベアリング摩擦、および温度ばらつきが挙げられる。

【0014】

本発明は、研磨システムの研磨ヘッド内に保持される基板に対して研磨パッドを回転させるときに遭遇する摩擦を正確に決定するための、改善された方法および装置を提供する。本発明は、研磨パッドを支持するプラテンに沿って、かつ／または隣接して、直接トルクおよび／またはひずみ測定器具を加えることにより、上記の誤差源を最小化または回避する方法を提供する。インライントルク／ひずみ測定器具は、研磨ヘッド内に保持される基板に対して研磨パッドを回転させるのに必要な物理量（例えば、回転力またはひずみの量）を直接測定する。研磨パッド支持プラテンに沿って、かつ／または隣接して、直接測定点を動かすことによって、駆動トレーン内の構成要素からの誤差を最小化する。

【0015】

いくつかの実施形態では、１つまたは複数の支持体が追加され、下部プラテン（例えば、アクチュエータに堅固に結合された駆動構成要素）と上部プラテン（例えば、研磨パッドを保持する被駆動構成要素）とを結合する。これらの支持体は、上部プラテンを駆動するために下部プラテンを回転させることにより生み出される、推力荷重、径方向荷重、およびモーメント荷重を担持し、しかも、上部プラテンが下部プラテンに対して動くただ１つの自由度（例えば、回転）を可能にするように適合される。アクチュエータの駆動トルクは、トルク／ひずみ測定器具を介して（下部プラテンを駆動することから）上部プラテンに渡される。研磨ヘッドの荷重が上部プラテン上に保持される研磨パッドに印加されるとき、トルク／ひずみ測定器具を使用して、研磨ヘッド荷重を克服するのに必要な追加トルクを測定し、上部プラテンの回転を維持することができる。

【0016】

支持体は、上部プラテンおよび下部プラテンに印加される可能性があるトルクの差の量を制限することにより、ひずみ測定デバイスへの保護としての役割も果たす。いくつかの実施形態では、支持体は、例えば、以下のタイプのベアリング、すなわち空気ベアリング、流体ベアリング、磁気ベアリング、深溝ベアリング、アンギュラコンタクトベアリング、ローラベアリング、および／またはテーパクロスローラベアリングの任意の組合せであってよい。いくつかの実施形態では、支持体は、代替的に、例えば屈曲部でできたピボットであってよい。いくつかの実施形態では、ひずみ測定デバイスは、例えば、トルクセンサ、インラインロッドエンドロードセル、またはピボット／屈曲部上のひずみゲージであってよい。一般的に、任意の好適で実際的な支持体および／またはひずみ測定デバイスを使用することができる。

【0017】

いくつかの実施形態では、研磨パッドを支持するプラテンに沿って、かつ／または隣接して、トルクおよび／またはひずみを測定することの代わりに、本発明は、研磨ヘッド内の基板に印加される横力を測定する方法および装置を提供する。横力測定器具は、研磨ヘッドを支持する上部キャリッジと下部キャリッジとの間に配設することができる。研磨パッドが研磨ヘッド内の基板を押すとき、横力測定器具は、基板と研磨パッドとの間の摩擦に比例する力を直接測定することができる。前の実施形態のように、１つの方向への限られた動きだけが可能な支持体を使用して、基板を回転する研磨パッドに押すことにより生み出される推力荷重、径方向荷重、およびモーメント荷重を担持することができる。支持体は、横への動きの量を制限することにより、横力測定器具を保護することもできる。

【0018】

前の実施形態のように、横力測定の実施形態のための支持体は、例えば、以下のタイプのベアリング、すなわち空気ベアリング、流体ベアリング、磁気ベアリング、深溝ベアリング、アンギュラコンタクトベアリング、ローラベアリング、および／またはテーパクロスローラベアリングの任意の組合せであってよい。いくつかの実施形態では、支持体は、代替的に、例えば屈曲部でできたピボットであってよい。いくつかの実施形態では、ひずみ測定デバイスは、例えば、トルクセンサ、インラインロッドエンドロードセル、またはピボット／屈曲部上のひずみゲージであってよい。一般的に、任意の好適で実際的な支持体および／またはひずみ測定デバイスを使用することができる。

【0019】

摩擦の相対的な量の変化に基づいて、研磨ヘッド内の基板上の横力を測定し監視して、研磨終点を決定することは、研磨パッドを支持するプラテンのトルクを監視すること以上に有利な可能性がある。例えば、１つの研磨パッドを使用して異なる研磨ヘッド内の２つ以上の基板を同時に研磨するＣＭＰシステムでは、各基板上の横力を監視することによって、研磨終点に到達したときの独立した決定が可能となる。

【0020】

図１を参照すると、基板研磨システム１００のプラテン回転部が示される。上部プラテン１０２は、研磨パッド１０１を支持する一方ＣＭＰ処理の期間回転されるように適合される。上部プラテン１０２は、処理の期間に研磨パッド１０１をしっかりと保持するために、チャック、接着剤、または他の機構を含むことができる。上部プラテン１０２は、ベースプレート１０６により支持される下部プラテン１０４にフレキシブルに結合されて駆動される。ベースプレート１０６は、下で議論されるシステム１００の他の部分も支持する。プーリ１０８Ａは、下部プラテン１０４に結合され、ベルト１１０を介してプーリ１０８Ｂに結合される。プーリ１０８Ｂはギヤボックス１１２に結合され、ギヤボックス１１２はブラケット１１４により支持され、ブラケット１１４はベースプレート１０６に結合されて支持される。アクチュエータ１１６（例えばモータ）も、ギヤボックス１１２に結合される。アクチュエータ１１６は、コントローラ１１８に電気的に結合される。したがって、下部プラテン１０４は、ギヤボックス１１２、プーリ１０８Ａ、１０８Ｂ、およびベルト１１０を介してアクチュエータ１１６に結合され、そのため、アクチュエータ１１６は、コントローラ１１８の制御の下でシステム１００を駆動することができる。いくつかの実施形態では、アクチュエータ１１６および基板１２２を保持する研磨ヘッド１２０（想像線で示す）は、プログラムされた汎用コンピュータプロセッサおよび／または専用組込コントローラであってよい、コントローラ１１８の制御下で、動作および機能の両方を行うことができる。

【0021】

アクチュエータ１１６と下部プラテン１０４との間に示されるリンケージは単に例示であることに、当業者なら留意するであろう。示される構成要素について、多くの異なる配置を代用することができる。例えば、アクチュエータ１１６は、下部プラテン１０４に直接結合された直接駆動モータであってよい。ギヤボックス１１２は、プーリ１０８Ｂがアクチュエータ１１６により回転される速度（例えば、毎分回転数（ＲＰＭ））を、ＣＭＰプロセスにとって好適な速度に調整するのに有益であるが、いくつかの実施形態では、アクチュエータは、好適な速度で動作するように適合済みのものを選択することができる。したがって、下部プラテン１０４を駆動する任意の実際的な手段を採用することができる。

【0022】

動作において、アクチュエータ１１６は、システムマネージャ（例えば、ソフトウェア命令を実行するコントローラ１１８、コンピュータプロセッサなど）の制御下で、下部プラテン１０４を駆動して、ＣＭＰプロセスに好適な所望の速度で回転させる。下により詳細に記載されるように、下部プラテン１０４の回転によって、２つのプラテン間のフレキシブルな結合に起因して、上部プラテン１０２の回転を引き起こす。上部プラテン１０２上の研磨パッド１０１は、研磨パッド１０１上に下向きの力を印加する研磨ヘッド１２０（点線で示す）に保持される基板１２２に対して回転される。研磨ヘッド１２０の下向きの力は、上部プラテン１０２の回転に対し抵抗を生じる。抵抗は、下部プラテン１０４を回転させるアクチュエータ１１６により克服される。研磨ヘッド１２０により引き起こされる抵抗を克服するのに必要なトルクの量は、トルク／ひずみ測定器具（図１では見えず、図２を参照）を使用して測定される。基板１２２が研磨され材料が除去されると、回転に対する抵抗の量が変わる。異なる材料は異なる摩擦係数を有する可能性があり、研磨される材料層に依存して、プラテン１０２、１０４を回転させるのに必要なトルクの量が変化する可能性がある。研磨が止められる終点は、トルク／ひずみ測定器具で測定される、所定の量のトルクまたはトルクの変化に対応することができる。いくつかの実施形態では、プラテン１０２、１０４を回転させるのに必要なトルクの量の変化の閾値の量が、研磨プロセスの終点を表すことができる。材料に依存して、終点閾値変化量は、必要なトルクの量の増加またはトルクの量の減少のいずれかとなる可能性があることに留意されたい。時間の関数としてのトルク変化の例が、図８を参照して下で記載される。

【0023】

図２Ａを参照すると、基板研磨システム２００Ａの実施形態の部分の断面図が示される。上部プラテン１０２は、支持体２０２により下部プラテン１０４の上に支持される。上部プラテン１０２は、また、図２Ａの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働くトルクセンサ２０６に、結合部２０４を介して結合される。下部プラテン１０４は、ベースプレート１０６上で、ベアリング２０８に支持され、ベアリング２０８上で回転するように適合される。プーリ１０８Ａは、ベースプレート１０６を通って延びるシャフト２１０を介して下部プラテン１０４に結合される。いくつかの実施形態では、支持体２０２およびベアリング２０８は、空気ベアリング、流体ベアリング、磁気ベアリング、深溝ベアリング、アンギュラコンタクトベアリング、ローラベアリング、および／またはクロスローラベアリングの任意の実際的な組合せとして実装することができる。例えば、日本、東京のＴＨＫ Ｃｏ．，ＬＴＤ．により製造されるＲＢシリーズのクロスローラタイプベアリングを使用することができる。ミシガン州、Ａｎｎ ＡｒｂｏｒのＮＳＫ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎは、使用することができる、ダブルテーパローラベアリングを製造する。ブランド名ＩＮＡにおいて、ドイツ、ＨｅｒｚｏｇｅｎａｕｒａｃｈのＳｃｈａｅｆｆｌｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＧｍｂＨ＆Ｃｏ．ＫＧにより製造されるＸＳＵシリーズのクロスローラタイプベアリングを使用することができる。任意の好適で実際的なベアリングを採用することができる。

【0024】

動作において、支持体２０２は、基板／キャリアとパッド／上部プラテンとの間のダイナミックな相互作用により生み出される、推力荷重、径方向荷重、およびオーバハングしているモーメント荷重を担持し、しかも、上部プラテン１０２が下部プラテン１０４に対して動くただ１つの自由度（例えば、回転）を可能にするように適合される。アクチュエータ１１６（図１）の駆動トルクは、トルク／ひずみ測定器具（この場合、トルクセンサ２０６）を介して、上部プラテン１０２に渡される。研磨ヘッドの荷重が上部プラテン１０２上の研磨パッドに印加されると、トルクセンサ２０６は、研磨ヘッド荷重を克服するのに必要な追加トルクを測定し、上部プラテン１０２を駆動させるように適合される。

【0025】

図２Ｂを参照すると、基板研磨システム２００Ｂの、第２の実施形態の部分の断面図が示される。この実施形態は、結合部２０４およびトルクセンサ２０６の代わりにロードセル２１２が使用されて、上部プラテン１０２と下部プラテン１０４とを連結させること、およびトルク／ひずみ測定器具として働くことの両方以外は、図２Ａのシステム２００Ａと同様である。市販されていて、いくつかの実施形態で使用することが可能なロードセル２１２の例は、オハイオ州ＣｏｌｕｍｂｕｓのＨｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｉｎｃ．によって製造されるＩｎ−Ｌｉｎｅ Ｌｏａｄ Ｃｅｌｌモデルである。他の実際的なロードセルを使用することができる。例えば、ロードセルアレイを、いくつかの実施形態で使用することができる。いくつかの実施形態では、プラテン１０２とプラテン１０４との間に配設された複数のロードセル２１２を使用することができる。

【0026】

図３Ａを参照すると、基板研磨システム３００Ａの、第３の代替実施形態のプラテン回転部の断面図が図示される。上部プラテン１０２は、支持体（例えば屈曲部３０２）により下部プラテン１０４の上に支持される。上部プラテン１０２は、また、下部プラテン１０４に結合されて図３Ａの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働くトルクセンサ２０６に、結合部２０４を介して結合される。いくつかの実施形態では、支持体は、例えば屈曲部３０２でできたピボットとして実装することができる。本発明の実施形態にしたがう屈曲部３０２は、図４および図５に関して下で詳細に記載される。

【0027】

図３Ｂを参照すると、基板研磨システム３００Ｂの、第４の代替実施形態のプラテン回転部の断面図が図示される。上部プラテン１０２は、支持体（例えば屈曲部３０２）により、下部プラテン１０４の上に支持され、結合される。しかし、トルクセンサ２０６の代わりに、支持体（例えば屈曲部３０２）に結合されたひずみゲージ３０４が、図３Ｂの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働く。いくつかの実施形態で使用することができる、市販されているひずみゲージ３０４の例は、コネチカット州、ＳｔａｍｆｏｒｄのＯｍｅｇａにより製造されるＫＦＧシリーズひずみゲージである。他の実際的なひずみゲージを使用することができる。図３Ａの実施形態のように、いくつかの実施形態では、支持体は、例えば屈曲部３０２でできたピボットとして実装することができる。本発明の実施形態にしたがう屈曲部３０２は、図４および図５に関して下で詳細に記載される。

【0028】

図３Ｃを参照すると、基板研磨システム３００Ｃの、第５の代替実施形態のプラテン回転部の断面図が図示される。上部プラテン１０２は、支持体（例えば屈曲部３０２）により、下部プラテン１０４の上に支持され、結合される。しかし、ひずみゲージ３０４の代わりに、プラテン１０２、１０４に結合されたロードセル２１２が、図３Ｃの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働く。上記のように、いくつかの実施形態で使用することが可能な市販されているロードセル２１２の例は、オハイオ州ＣｏｌｕｍｂｕｓのＨｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｉｎｃ．によって製造されるＩｎ−Ｌｉｎｅ Ｌｏａｄ Ｃｅｌｌである。いくつかの実施形態では、ロードセルアレイを使用することができる。他の実際的なロードセルを使用することができる。図３Ａの実施形態のように、いくつかの実施形態では、支持体は、例えば屈曲部３０２でできたピボットとして実装することができる。本発明の実施形態にしたがう屈曲部３０２は、図４および図５に関して下で詳細に記載される。

【0029】

図４を参照すると、上部プラテン１０２の上面図が示されており、下から上部プラテン１０２を支持するのは、想像線で示される４つの屈曲部３０２の例示的な配置である。屈曲部は、それぞれ、その長手軸が位置合わせされて配設され、上部プラテン１０２の回転中心で交差することに留意されたい。４つの屈曲部３０２が図示されているが、より少ない数（例えば、３）またはより多い数（例えば、５、６、７など）を使用することができることにさらに留意されたい。

【0030】

図５を参照すると、屈曲部３０２の例示的な実施形態が、斜視図で示される。例示的な屈曲部３０２の断面は、Ｉビーム形状を有する。屈曲部３０２の比較的広い（Ｘ次元）頂部および底部は、それぞれ、上部プラテン１０２および下部プラテン１０４への取り付けのためのクランプ機構または締結機構を含むことができる。より一般的には、本発明で使用するために好適な屈曲部は、１つの方向または次元にはフレキシブルであるが、他の全ての方向または次元には剛性である長さの材料を含むことができる。例えば、図５において図示されたＩビーム形状の屈曲部３０２は、より広い頂部領域と底部領域との間の細い高さの次元（Ｚ次元）に沿って曲げられるが、他の全ての次元ではフレキシブルでなくてよい。言い換えると、屈曲部は、（カルテシアン基準フレームにより表されると）Ｘ方向および−Ｘ方向には曲げられるが、Ｙ方向、−Ｙ方向、Ｚ方向、または−Ｚ方向には曲げられない。

【0031】

各屈曲部３０２は、フレキシブルな次元が、プラテン１０２、１０４の回転方向に対し接線方向に（すなわち、半径に垂直に）位置合わせされるように配設することができる。言い換えると、屈曲部３０２の（例えば、Ｙ軸に沿った）長手次元は、図５に示されるように、プラテン１０２、１０４の回転軸で交差するように位置合わせされる。したがって、プラテン１０２、１０４を一緒に結合する屈曲部３０２は、屈曲部３０２が曲がる範囲で、プラテン１０２、１０４が互いに対してわずかに動くことを可能にする。

【0032】

いくつかの実施形態では、屈曲部３０２は、ステンレス鋼、または塑性的に変形することなく撓曲することができる任意の実際的な材料から作ることができる。好適な屈曲部３０２の例示的な寸法は、高さ（Ｚ次元）で約０．２ｃｍから約１０ｃｍ、長さ（Ｙ次元）で約１ｃｍから約３０ｃｍ、ならびに中央の細い領域では幅（Ｘ次元）で約０．１ｃｍから約２ｃｍ、および頂部および底部の広い領域では幅（Ｘ次元）で約０．１ｃｍから約５ｃｍであってよい。いくつかの実施形態では、屈曲部３０２は、図５に示されるように、屈曲部の広い寸法と狭い寸法との間に、丸みをつけられたまたは丸くされた継手３０５を含むことができる。これらの丸みをつけられた継手３０５は、屈曲部３０２が、継手３０５において疲労から故障することを回避することができる。いくつかの実施形態では、継手３０５の半径は、約０．１ｃｍから約２ｃｍであってよい。他の屈曲材料および／または寸法を使用することができる。

【0033】

上に示されたように、いくつかの実施形態では、ひずみゲージ３０４を屈曲部３０２のうちの１つまたは複数の上に配置することができ、プラテン１０２とプラテン１０４との間のトルク荷重は、トルクセンサ／ロードセル構成を介することに加えて、またはその代わりに屈曲部３０２を使用して測定することができる。そのような実施形態では、上部プラテン１０２と下部プラテン１０４との間の結合のみが屈曲部３０２であってよい。

【0034】

いくつかの実施形態では、ピボットは、代替的に、上部プラテン１０２と下部プラテン１０４とを一緒に結合する、弾性発泡体または接着剤を使用して実装することができる。

【0035】

図３Ａ〜図３Ｃに戻って参照すると、動作では、屈曲部３０２を支持体として使用して、屈曲部３０２が、上部プラテン１０２を駆動するために下部プラテン１０４を回転することにより生み出される推力荷重、径方向荷重、およびモーメント荷重を担持し、しかも、上部プラテン１０２が下部プラテン１０４に対して動くただ１つの自由度（例えば、回転）を可能にするように適合される。上で説明したように、１つの自由度は、屈曲部３０２により制限できることに留意されたい。アクチュエータ１１６（図１）の駆動トルクは、トルク／ひずみ測定器具（図３Ａではトルクセンサ２０６、図３Ｂではひずみゲージ３０４、図３Ｃではロードセル２１２）を介して上部プラテン１０２に渡される。研磨ヘッドの荷重が上部プラテン１０２上の研磨パッドに印加されるとき、トルク／ひずみ測定器具（図３Ａではトルクセンサ２０６、図３Ｂではひずみゲージ３０４、図３Ｃではロードセル２１２）は、研磨ヘッド荷重を克服するのに必要な追加トルクを測定し、上部プラテン１０２の回転を維持するように適合される。

【0036】

図６を参照すると、本発明のいくつかの実施形態にしたがう、基板を研磨する例示的な方法６００を図示する流れ図が提供される。下で記載される例示的な方法６００は、コンピュータプロセッサまたはコントローラ１１８の制御の下で、上に記載されたＣＭＰシステムの実施形態のいずれかを使用して実装することができる。いくつかの実施形態では、コントローラまたは一般的なコンピュータプロセッサ上で実行するソフトウェア命令を使用して、以下の方法６００で記載される論理を実装することができる。いくつかの実施形態では、方法６００の論理は、完全にハードウェアに実装することができる。

【0037】

ステップ６０２では、アクチュエータ１１６は、基板を研磨するために、下部プラテン１０４を回転させ、研磨パッドを保持している上部プラテン１０２を駆動する。ステップ６０４では、基板を保持している研磨ヘッドが、上部プラテン１０２上の研磨パッドに適用される。研磨パッドを用いた材料除去の期間に、基板を保持している研磨ヘッドの下向きの力が、プラテン１０２、１０４の回転に対し抵抗を生じる。ステップ６０６では、アクチュエータ１１６は、追加トルクを印加して抵抗を克服し、プラテン１０２、１０４は、互いに対して定常状態の回転に達する。ステップ６０８では、追加トルクが、トルク／ひずみ測定器具を使用して測定される。いくつかの実施形態では、例えば屈曲部３０２が支持体として使用される場合、相対的な回転または直線変位を、印加される追加トルクの表示として測定することができる。この実施形態では、相対的な回転または直線変位測定と組み合わせた屈曲部３０２は、印加されるトルクの表示を提供することができる。決定ステップ６１０では、トルク変化閾値が測定されたトルクと比較される。経時的に測定されたトルクの量がトルク変化閾値よりも少なく変化する場合、システム１００は研磨／材料除去を継続し、フローは、トルクが再び測定されるステップ６０８に戻る。経時的に測定されたトルク変化の量がトルク変化閾値以上である場合、システム１００は研磨終点に到達したと決定する。他の実施形態では、ひずみまたは変位を測定し、１つまたは複数の閾値に対して比較することができる。したがって、いくつかの実施形態では、経時的なトルク、ひずみ、または変位の測定量の変化を検出することに基づいて、研磨プロセスの１つまたは複数のステージを検出することができる。いくつかの実施形態では、研磨ヘッド内の基板は、上部プラテン１０２上の研磨パッドから持ち上げられる。いくつかの実施形態では、検出された終点は、単に、１つの材料の層から第２の材料の層への移行を表し、ステップ６１２で最終的な終点に到達するまで研磨が継続することができる。

【0038】

図７を参照すると、研磨プロセス期間の、時間の関数としてプロットされたトルクの例示的なグラフ７００が提供される。グラフは、本発明の実施形態を使用して達成された実験結果を図示する。特定の形状が示されるが、形状は、単に例示であり、任意のやり方に発明の範囲を制限する意図はない。

【0039】

例示的な研磨プロセスの期間に、研磨ヘッド荷重が上部プラテン１０２上の研磨パッドに印加される。下部プラテン１０４は、上部プラテン１０２を駆動して荷重の抵抗を克服する。第１の材料は、研磨期間に基板から定常的に除去され、プラテン１０４を駆動するトルクの傾向は、比較的一定のままとなる。第１の材料がなくなり、第１の材料の下にある第２の材料の研磨が始まると、上部プラテンを回転させるのに必要なトルクの傾向に、比較的急激な変化７０２が検出される。第１の材料を取り除く期間のトルクの傾向における変化の大きさは、第１の材料および第２の材料の相対的な堅さおよび／もしくは密度、ならびに／またはスラリとの化学反応などのいくつかの要因に依存することになり、第２の材料の研磨期間に必要なトルクは、第１の材料の研磨期間に必要なトルクよりも小さい、または大きい可能性がある。システム１００は、基板上の第１の材料と第２の材料との間の移行のときの、上部プラテン１０４を回転させるのに必要なトルクの変化７０２を識別することができ、（第１の材料を除去し、第２の材料を残すことが目的なら）研磨を止めることができる。いくつかの実施形態では、異なる材料層間で取り除く期間の例示的なトルクの値または変化のデータベースが、テスト基板で測定され、製造処理期間に参照するためコントローラ１１８内に記憶することができる。

【0040】

ここで図８Ａおよび図８Ｂを参照すると、本発明の代替実施形態にしたがう基板研磨システム８００の、例示的な研磨ヘッドアセンブリが示される。図８Ｂは、パッド１０１の回転８１２および基板１２２上の横力８１４を示す、研磨期間に研磨パッド１０１上に位置する基板１２２の上面図である。図８Ａに見られるように、研磨パッド１０１は、基板１２２を保持する研磨ヘッド１２０の下のプラテン１０２、１０４により支持および回転される。研磨ヘッド１２０は、下部キャリッジ８０４に結合されたスピンドル８０２により支持される。下部キャリッジ８０４は、支持体８０８により上部キャリッジ８０６に結合される。

【0041】

いくつかの実施形態では、支持体８０８は、屈曲部３０２（図５）または様々なタイプのベアリング（例えば、転動体ベアリングなどの線形ベアリング、流体ベアリング、磁気ベアリングなど）を使用して実装することができる。下部キャリッジ８０４および上部キャリッジ８０６は、横力測定器具８１０、例えばロードセルまたはフィードバック回路を備えたアクチュエータとも一緒に結合することができる。いくつかの実施形態では、変位測定器具を、横力測定器具８１０の代わりに（または横力測定器具８１０に加えて）使用することができる。変位測定器具としては、容量性距離センサ、誘導性距離センサ、渦電流距離センサ、レーザ距離センサなど、任意のタイプの距離センサが挙げられる。したがって、下部キャリッジ８０４および上部キャリッジ８０６は、フレキシブルに結合されて、１つの方向（例えば、１つの自由度）で互いに対し相対的に動くことを可能にする。例えば、支持体８０８は、基板１２２が研磨パッド１０１に対して押し下げられると、図８Ｂ内の横力８１４の向きにわずかに動くことが可能となるように配置することができる。したがって、基板１２２が研磨パッド１０１に対して押されるときに研磨パッド１０１の回転８１２によって研磨ヘッド１２０内に保持される基板１２２に印加される力は、横力測定器具８１０によって測定すること（または、変位測定器具を使用して決定すること）ができる。

【0042】

いくつかの実施形態では、上部キャリッジ８０６および下部キャリッジ８０４に結合されたアクチュエータ（例えば、線形アクチュエータ）は、研磨パッド１０１に対して基板１２２を押し下げることにより生成される横力を相殺するように適合することができる。上に議論されたセンサからの、変位、荷重、またはひずみ信号を監視するフィードバック回路を使用して、キャリッジ８０６、８０４の相対位置を維持するためアクチュエータによって費やされるエネルギを使用して、任意の所与の瞬間に印加される横力の量を決定することができる。パッドと基板との間の摩擦が変化すると、キャリッジの相対位置を維持するのに必要なエネルギが変化する。アクチュエータからのフィードバック信号（例えば、キャリッジの相対位置を維持するために引き込まれる電流の量）を使用して、費やされたエネルギを決定することができる。したがって、いくつかの実施形態では、横力測定器具８１０または変位測定器具の代わりに、フィードバック回路および基本的なセンサを備えるアクチュエータを使用して、基板と研磨パッドとの間の摩擦の量を決定することができる。

【0043】

上部プラテンと下部プラテンとの間のトルクを測定する実施形態（例えば、図２Ａ〜図３Ｃ）では、プラテン間に結合された、フィードバック回路を備えるアクチュエータ（例えば、回転アクチュエータ）が、トルク測定デバイスの代わりに使用できることにも留意されたい。アクチュエータおよびフィードバック回路を使用して、プラテンの相対位置を維持することができ、そうするために費やされるエネルギを使用して、基板と研磨パッドとの間の摩擦の量を決定することができる。

【0044】

同様に、上部プラテンと下部プラテンとの間のトルクを測定する実施形態（例えば、図２Ａ〜図３Ｃ）では、トルク測定の代わりまたはトルクを測定に加えて、相対的な変位を測定することができる。キャリッジ間変位測定の実施形態と同様に、プラテン間変位測定器具としては、容量性距離センサ、誘導性距離センサ、渦電流距離センサ、レーザ距離センサなど、任意のタイプの距離センサが挙げられる。

【0045】

いくつかの実施形態では、緩衝モジュールを使用して振動を減少させることができる。緩衝モジュールは、本発明の、（キャリッジ間の）横力測定の実施形態および（プラテン間の）トルク測定の実施形態の両方で使用することができる。いくつかの実施形態では、キャリッジ間（およびプラテン間）の相対運動の範囲を制限する堅い留め具を採用して、検知／測定器具を保護し、構造的な安全性を可能にすることができる。

【0046】

研磨ヘッド１２０上の横力８１４の変化を監視することにより、研磨終点を決定することは、プラテン１０２、１０４上のトルクの変化を測定することの、望ましい代替となることができる。このことは、図９Ａおよび図９Ｂに図示されるような、同じ研磨パッド１０１に同時に２つ以上の研磨ヘッドを使用するＣＭＰシステム８００’に関して、特に当てはまる。例えば、同時に研磨される２つの基板１２２、１２２’は異なる場合があり、したがって同じＣＭＰシステム８００’上でさえ異なる速度で研磨される場合があるので、各基板１２２、１２２’の研磨の進行を（例えば、摩擦変化の観点で）別個に監視できることが望ましい。

【0047】

ここで図１０Ａ、図１０Ｂ、および図１０Ｃを参照すると、横力測定を使用する、研磨ヘッドアセンブリ１０００、１０１０、１０２０の、３つの追加の代替実施形態が図示される。各実施形態では、横力測定器具の代わりに、変位測定器具を使用することができる。図１０Ａでは、支持体は、図５に図示されたものと同様の３つの屈曲部３０２を使用して実装される。より多いまたはより少ない屈曲部３０２を使用することができる。この実施形態では、横力測定器具は、屈曲部３０２上に取り付けられるひずみゲージ１００２を使用して実装される。図１０Ａでは、３つのひずみゲージ１００２が、各屈曲部３０２に１つずつ使用される。より少ないひずみゲージ１００２を使用できることに留意されたい。

【0048】

図１０Ｂでは、支持体は、３つのベアリング１００４（例えば、ロッド上の線形ボールブッシュベアリング）を使用して実装される。より多いまたはより少ないベアリング１００４を使用することができる。この実施形態では、横力測定器具は、ベアリング１００４上に取り付けられるひずみゲージ１００２を使用して実装される。図１０Ｂでは、３つのひずみゲージ１００２が、各ベアリング１００４に１つずつ使用される。より少ないひずみゲージ１００２を使用できることに留意されたい。

【0049】

図１０Ｃでは、支持体は、３つのベアリング１００４（例えば、ロッド上の線形ボールブッシュベアリング）を使用して実装される。より多いまたはより少ないベアリング１００４を使用することができる。この実施形態では、横力測定器具は、上部キャリッジ８０６と下部キャリッジ８０４との間に取り付けられるロードセル１００６を使用して実装される。図１０Ｃの実施形態では、１つのロードセル１００６が使用される。より多くのロードセル１００６を使用できることに留意されたい。市販されていて、いくつかの実施形態で使用することが可能なロードセル１００６の例は、オハイオ州ＣｏｌｕｍｂｕｓのＨｏｎｅｙｗｅｌｌ Ｉｎｃ．によって製造されるＩｎ−Ｌｉｎｅ Ｌｏａｄ Ｃｅｌｌモデルである。他の実際的なロードセルを使用することができる。例えば、ロードセルアレイを、いくつかの実施形態で使用することができる。いくつかの実施形態では、キャリッジ８０４とキャリッジ８０６との間に複数のロードセル１００６を配設することができる。上の実施形態では、以下のタイプのベアリング、すなわち空気ベアリング、流体ベアリング、磁気ベアリング、深溝ベアリング、アンギュラコンタクトベアリング、ローラベアリング、線形ベアリング、および／またはテーパクロスローラベアリングの任意の組合せを使用できることに留意されたい。任意の他の実際的なタイプのベアリングを、追加で、または代替的に使用することができる。

【0050】

図１１を参照すると、本発明のいくつかの実施形態にしたがった、基板を研磨する例示的な方法１１００を図示する流れ図が提供される。下で記載される例示的な方法１１００は、コンピュータプロセッサまたはコントローラ１１８の制御の下で、上に記載されたＣＭＰシステムの実施形態のいずれかを使用して実装することができる。いくつかの実施形態では、コントローラまたは一般的なコンピュータプロセッサ上で実行するソフトウェア命令を使用して、以下の方法１１００で記載される論理を実装することができる。他の実施形態では、方法１１００の論理は、完全にハードウェアに実装することができる。

【0051】

ステップ１１０２では、アクチュエータは、基板を研磨するために、研磨パッドを保持しているプラテンを回転させる。ステップ１１０４では、基板を保持している研磨ヘッドが、プラテン上の研磨パッドに適用される。研磨パッドを用いた材料除去の期間に、基板を保持している研磨ヘッドの下向きの力が、プラテンの回転に対し抵抗（例えば、摩擦）を生じる。ステップ１１０６では、アクチュエータは、追加トルクを印加して抵抗を克服し、システムは、定常状態の回転に達する。ステップ１１０８では、上部キャリッジと下部キャリッジとの間に配設された横力測定器具を使用して、摩擦が横力の観点から測定される。いくつかの実施形態では、例えば屈曲部が支持体として使用される場合、相対的な変位を、印加される横力の表示として測定することができる。決定ステップ１１１０では、横力変化閾値が測定された横力と比較される。経時的に測定された横力の量が横力変化閾値よりも少なく変化する場合、システムは研磨／材料除去を継続し、フローは、横力が再び測定されるステップ１１０８に戻る。経時的に測定された横力変化の量が横力変化閾値以上である場合、システムは、ステップ１１１２で、研磨終点に到達したと決定する。

【0052】

いくつかの実施形態では、ステップ１１１２で一度終点に到達したら、研磨ヘッド内の基板は、プラテン上の研磨パッドから持ち上げられる。いくつかの実施形態では、検出された終点は、単に、１つの材料の層から第２の材料の層への移行を表し、最終的な終点に到達するまで研磨が継続することができる。複数の研磨ヘッドを備えるいくつかの実施形態では、上に記載したステップ（１１０４〜１１１２）は、異なる研磨ヘッドによって同時に、しかし独立に実行することができる。言い換えると、第１の研磨ヘッドが終点に到達し新しい基板をロードすることができる一方、第２の研磨ヘッドは、変化閾値に到達するのを待って横力の監視を継続する。

【0053】

したがって、本発明は、その好ましい実施形態に関連して開示されたが、他の実施形態が、以下の請求項に規定されるような、発明の趣旨および範囲に入る場合があることを理解されたい。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図9A】

【図9B】

【図10A】

【図10B】

【図10C】

【図11】