特許 6182806 欠陥検査システム及びフィルムの製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6182806

(24)【登録日】2017年8月4日

(45)【発行日】2017年8月23日

(54)【発明の名称】欠陥検査システム及びフィルムの製造装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/892 20060101AFI20170814BHJP

   G01B 11/30 20060101ALI20170814BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/892 A

   G01B11/30 A

【請求項の数】4

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-117947(P2013-117947)

(22)【出願日】2013年6月4日

(65)【公開番号】特開2014-235123(P2014-235123A)

(43)【公開日】2014年12月15日

【審査請求日】2016年5月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002093

【氏名又は名称】住友化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100148884

【弁理士】

【氏名又は名称】▲廣▼保 直純

(74)【代理人】

【識別番号】100163496

【弁理士】

【氏名又は名称】荒 則彦

(74)【代理人】

【識別番号】100153763

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 広之

(74)【代理人】

【識別番号】100126882

【弁理士】

【氏名又は名称】五十嵐 光永

(72)【発明者】

【氏名】井村 圭太

【審査官】 小野寺 麻美子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２４３９１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２８６５２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／１４８７９０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１３−００７６８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−８５６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−６２１６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１６２８６５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８４ − Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／３０

ＪＳＴＰｌｕｓ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＪＳＴＣｈｉｎａ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１フィルムと、前記第１フィルムに剥離可能に積層された第２フィルムと、を有する帯状のフィルムの欠陥検査システムであって、
前記第１フィルムと前記第２フィルムとを貼合して前記フィルムを形成する貼合ロールと、
前記貼合ロールの下流側において前記フィルムが搬送される搬送ラインと、
前記搬送ラインに設けられた欠陥検査装置と、
前記欠陥検査装置よりも下流側の前記搬送ラインに設けられ、前記欠陥検査装置によって検出された欠陥に関する欠陥情報を前記フィルムに記録する記録装置と、を含み、
前記欠陥検査装置は、前記貼合ロール以外で、前記第２フィルムの前記第１フィルムとは反対側の面に最初に接するロールよりも上流側の前記搬送ラインに配置されている欠陥検査システム。

【請求項2】

前記欠陥検査装置は、
前記フィルムの前記第１フィルムの側に配置され、前記フィルムに光を照射する光源と、
前記フィルムの前記第２フィルムの側に配置され、前記フィルムの透過光像を撮像する撮像装置と、
前記光源と前記フィルムとの間の光路上に配置され、第１の吸収軸を有する第１偏光フィルターと、
前記撮像装置と前記フィルムとの間の光路上に配置され、前記第１の吸収軸と直交する第２の吸収軸を有する第２偏光フィルターと、
を含む請求項１に記載の欠陥検査システム。

【請求項3】

前記第１フィルムは偏光子であり、
前記欠陥検査装置は、
前記フィルムの前記偏光子の側に配置され、前記フィルムに光を照射する光源と、
前記フィルムの前記第２フィルムの側に配置され、前記フィルムの透過光像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置と前記フィルムとの間の光路上に配置され、前記偏光子の吸収軸と直交する吸収軸を有する偏光フィルターと、
を含む請求項１に記載の欠陥検査システム。

【請求項4】

請求項１から３までのいずれか一項に記載の欠陥検査システムを含むフィルムの製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、欠陥検査システム及びフィルムの製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

帯状のフィルムの欠陥検査システムとして、特許文献１に記載の欠陥検査システムが知られている。特許文献１の欠陥検査システムは、フィルムの搬送ライン上に、欠陥検査装置と、欠陥情報をフィルムに記録する記録装置と、を備えている。
一方、フィルムの製造装置として、特許文献２に記載のフィルムの製造装置が知られている。特許文献２のフィルムの製造装置は、第１フィルムと第２フィルムとを貼合してフィルムを形成する貼合ロールと、貼合ロールの下流側においてフィルムが搬送される搬送ラインと、搬送ラインに設けられた欠陥検査装置と、を備えている。

【0003】

例えば、フィルムの製造ラインでは、第１フィルムと第２フィルムとを貼合し、ロール状に巻き取ってフィルムの原反ロールを製造する。第１フィルムと第２フィルムとを貼合する際には、第１フィルムと第２フィルムとの間に気泡等の噛み込み異物の混入が生じることがある。欠陥検査装置は、第１フィルムと第２フィルムとの間の異物欠陥等の有無を検査する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１−７７７９号公報

【特許文献2】特開２００８−４９６０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

欠陥検査装置は、通常、搬送ラインの下流側に設けられる。欠陥検査装置を搬送ラインの上流側に設けるよりも搬送ラインの下流側に設けたほうが、搬送中にフィルムに生じるキズ等の欠陥をまとめて検査することができるからである。例えば、欠陥検査装置は、フィルムが１０〜２０のロールに接した後に、フィルムの欠陥の有無を検査する。

【0006】

一方、最終製品において第２フィルムが第１フィルムから剥離される場合には、第２フィルムの表面のキズは問題とはならない。例えば、第２フィルムの表面にキズが生じていても、第１フィルムと第２フィルムとの間に異物欠陥等が存在しない場合には、フィルムを最終製品として問題無く使用することができる。

【0007】

しかしながら、フィルムの搬送中に第２フィルムの表面にキズが生じていると、本来問題とはならない第２フィルムの表面のキズが欠陥として誤検出される場合がある。この場合、最終製品として使用可能なフィルムが欠陥品として認識されてしまう。

【0008】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、キズの検出による虚報欠陥を抑制することが可能な欠陥検査システム及びフィルムの製造装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
（１）すなわち、本発明の第一の態様に係る欠陥検査システムは、第１フィルムと、前記第１フィルムに剥離可能に積層された第２フィルムと、を有する帯状のフィルムの欠陥検査システムであって、前記第１フィルムと前記第２フィルムとを貼合して前記フィルムを形成する貼合ロールと、前記貼合ロールの下流側において前記フィルムが搬送される搬送ラインと、前記搬送ラインに設けられた欠陥検査装置と、前記欠陥検査装置よりも下流側の前記搬送ラインに設けられ、前記欠陥検査装置によって検出された欠陥に関する欠陥情報を前記フィルムに記録する記録装置と、を含み、前記欠陥検査装置は、前記貼合ロール以外で、前記第２フィルムの前記第１フィルムとは反対側の面に最初に接するロールよりも上流側の前記搬送ラインに配置されていることを特徴とする。

【0010】

（２）上記（１）に記載の欠陥検査システムでは、前記欠陥検査装置は、前記フィルムの前記第１フィルムの側に配置され、前記フィルムに光を照射する光源と、前記フィルムの前記第２フィルムの側に配置され、前記フィルムの透過光像を撮像する撮像装置と、前記光源と前記フィルムとの間の光路上に配置され、第１の吸収軸を有する第１偏光フィルターと、前記撮像装置と前記フィルムとの間の光路上に配置され、前記第１の吸収軸と直交する第２の吸収軸を有する第２偏光フィルターと、を含んでいてもよい。

【0011】

（３）本発明の第一の態様に係る欠陥検査システムは、前記第１フィルムは偏光子であり、前記欠陥検査装置は、前記フィルムの前記偏光子の側に配置され、前記フィルムに光を照射する光源と、前記フィルムの前記第２フィルムの側に配置され、前記フィルムの透過光像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置と前記フィルムとの間の光路上に配置され、前記偏光子の吸収軸と直交する吸収軸を有する偏光フィルターと、を含んでいてもよい。

【0012】

（４）本発明の第一の態様に係るフィルムの製造装置は、上記（１）から（３）までのいずれか一項に記載の欠陥検査システムを含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、キズの検出による虚報欠陥を抑制することが可能な欠陥検査システム及びフィルムの製造装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１実施形態に係るフィルムの製造装置を示す側面図である。

【図2】第１偏光フィルターの第１の吸収軸と第２偏光フィルターの第２の吸収軸との配置関係を説明するための図である。

【図3】第１実施形態に係る欠陥検査装置の平面図である。

【図4】比較例１に係る欠陥検査システムによるフィルムの欠陥検査を説明するための図である。

【図5】第１実施形態に係る欠陥検査システムによるフィルムの欠陥検査を説明するための図である。

【図6】第２実施形態に係るフィルムの製造装置を示す側面図である。

【図7】偏光子の吸収軸と偏光フィルターの吸収軸との配置関係を説明するための図である。

【図8】比較例２に係る欠陥検査システムによるフィルムの欠陥検査を説明するための図である。

【図9】第２実施形態に係る欠陥検査システムによるフィルムの欠陥検査を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。

【0016】

尚、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【0017】

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るフィルムの製造装置１を示す側面図である。図１において、符号Ｓｆ１はフィルムＦの上面であり、第１フィルムＦ１側の面である。符号Ｓｆ２はフィルムＦの下面であり、第２フィルムＦ２側の面である。

【0018】

以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、帯状のフィルムの搬送方向をＸ方向としており、フィルムの面内においてＸ方向に直交する方向（長尺のフィルムの幅方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。

【0019】

図１に示すように、フィルムの製造装置１は、第１フィルムＦ１を供給する第１供給部７と、第２フィルムＦ２を供給する第２供給部８と、フィルムＦの有無の欠陥の有無を検査する欠陥検査システム２と、フィルムＦの搬送経路を形成する複数のロール（例えば、本実施形態では、第１ガイドロール１０、第２ガイドロール１１及び第３ガイドロール１２）と、フィルムＦを巻き取る巻き取り部９と、を備えている。

【0020】

尚、本実施形態では、フィルムＦの搬送経路を形成する複数のロールとして、第１ガイドロール１０、第２ガイドロール１１及び第３ガイドロール１２の３つのガイドロールが設けられているが、これに限らない。例えば、フィルムＦの搬送経路を形成する複数のロールとして、４つ以上のガイドレールが設けられていてもよいし、ガイドロールの他にもニップロールやダンサロールが設けられていてもよい。また、このような接触ロール以外に、エアーバー等の非接触ロールが設けられていてもよい。

【0021】

フィルムＦは、第１フィルムＦ１と、第１フィルムＦ１に剥離可能に積層された第２フィルムＦ２と、を有する帯状のフィルムである。本実施形態で使用されるフィルムＦは、例えば、最終製品として使用されるフィルムである第１フィルムＦ１の一面が、セパレータフィルムである第２フィルムＦ２によって覆われた構造である。

【0022】

第１フィルムＦ１としては、例えば、ＴＡＣ（Triacetylcellulose）フィルム、位相差フィルム、輝度向上フィルム、視野角拡大フィルムなどのフィルムが用いられる。第２フィルムＦ２としては、例えば、離型フィルム付き粘着材フィルムが用いられる。
尚、フィルムＦは、第１フィルムＦ１の他面に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等の複数の光学フィルムを積層したものでもよい。

【0023】

また、フィルムＦにおいて第２フィルムＦ２を第１フィルムＦ１から剥離する場合には、第２フィルムＦ２全体を第１フィルムＦ１から剥離するのではない。例えば、フィルムＦのうちの第２フィルムＦ２の一部（離型フィルム）を剥離して、剥離後のフィルム（第１フィルムＦ１及び粘着材）が粘着材の側からパネル等に貼合される。すなわち、第２フィルムＦ２の一部を剥離した後、第１フィルムＦ１の一面には第２フィルムＦ２の残りの部分（粘着材）が配置されている。

【0024】

第１供給部７は、帯状の第１フィルムＦ１を巻回した原反ロールＲ１を保持すると共に第１フィルムＦ１をその長手方向に沿って繰り出す。第１供給部７は、フィルムＦの供給経路の一方側（図１に示す＋Ｚ方向側）に配置されている。

【0025】

第２供給部８は、帯状の第２フィルムＦ２を巻回した原反ロールＲ２を保持すると共に第２フィルムＦ２をその長手方向に沿って繰り出す。第２供給部８は、フィルムＦの供給経路の他方側（図１に示す−Ｚ方向側）に配置されている。

【0026】

尚、第１供給部７及び第２供給部８の配置構成は、これに限らない。例えば、第１供給部７がフィルムＦの供給経路の他方側（図１に示す−Ｚ方向側）に配置され、且つ、第２供給部８がフィルムＦの供給経路の一方側（図１に示す＋Ｚ方向側）に配置されていてもよい。

【0027】

欠陥検査システム２は、第１フィルムＦ１及び第２フィルムＦ２の２枚のフィルムを貼合して１枚のフィルムＦを形成する貼合ロール３と、貼合ロール３の下流側においてフィルムＦが搬送される搬送ライン４と、搬送ライン４に設けられた欠陥検査装置５と、欠陥検査装置５よりも下流側の搬送ライン４に設けられた記録装置６と、を備えている。

【0028】

貼合ロール３は、互いに軸方向を平行にして配置された一対のニップロール３ａ，３ｂを有する。一対のニップロール３ａ，３ｂの間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２との貼合位置となる。間隙内には、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２とが重なり合って導入される。第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２とが、ニップロール３ａ，３ｂによって挟圧されつつ下流側に送り出される。これにより、第１フィルムＦ１の一方の面に第２フィルムＦ２が貼合される。

【0029】

貼合ロール３により、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２とが貼合され、１枚のフィルムＦが形成される。フィルムＦは、欠陥検査装置５に向けて搬送される。

【0030】

欠陥検査装置５は、フィルムＦの第１フィルムＦ１の側（図１に示す＋Ｚ方向側）に配置された光源２０と、フィルムＦの第２フィルムＦ２の側（図１に示す−Ｚ方向側）に配置された撮像装置２２と、光源２０とフィルムＦとの間の光路上に配置された第１偏光フィルター２１と、撮像装置２２とフィルムＦとの間の光路上に配置された第２偏光フィルター２３と、を備えている。

【0031】

欠陥検査装置５は、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の第１フィルムＦ１とは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロールよりも上流側の搬送ライン４に配置されている。本実施形態に係る欠陥検査装置５は、貼合ロール３の下流側であって第１ガイドロール１０よりも上流側の搬送ライン４に配置されている。

【0032】

光源２０の光射出面２０ａの中心と撮像装置２２の受光面２２ａの中心とは、同軸（光軸ＣＬ上）に配置されている。

【0033】

図２は、第１偏光フィルター２１の第１の吸収軸Ｖ１と第２偏光フィルター２３の第２の吸収軸Ｖ２との配置関係を説明するための図である。

【0034】

図２に示すように、第１偏光フィルター２１は、第１の吸収軸Ｖ１を有する。第２偏光フィルター２３は、第１の吸収軸Ｖ１と直交する第２の吸収軸Ｖ２を有する。第１偏光フィルター２１は、光源２０と撮像装置２２との間の光路上において、第１偏光フィルター２１の第１の吸収軸Ｖ１と第２偏光フィルター２３の第２の吸収軸Ｖ２とが互いに直交して配置（クロスニコル配置）される。

【0035】

本実施形態の場合、フィルムＦ（図１参照）は、第１偏光フィルター２１を透過した光に対して位相差を付与しないフィルムとなっている。そのため、第１偏光フィルター２１の第１の吸収軸Ｖ１と第２偏光フィルター２３の第２の吸収軸Ｖ２とをクロスニコル配置させると、第１偏光フィルター２１と第２偏光フィルター２３との重なり部分ＳＶにおいては光を透過しない。そのため、撮像装置２２によって重なり部分ＳＶを撮像すると、第１偏光フィルター２１と第２偏光フィルター２３との間に位相差を有する欠陥等の偏光状態を乱すものが配置されていない限り、暗視野に見える。

【0036】

なお、フィルムＦが、第１偏光フィルター２１を透過した光に対して位相差を付与するフィルムである場合には、その位相差を相殺するような位相補償フィルムを第１偏光フィルター２１と第２偏光フィルター２３との間に配置してもよい。位相補償フィルムを配置しない場合には、第１偏光フィルター２１の透過軸と第２偏光フィルター２３の透過軸とを９０°から所定角度ずれた角度に配置し、異物欠陥等の欠陥がない状態で、撮像装置２２における受光強度が最小（暗視野）となるようにしてもよい。

【0037】

図３は、欠陥検査装置５の平面図である。図３では、便宜上、フィルムＦを図示している。

【0038】

図３に示すように、欠陥検査装置５を構成する光源２０の光射出面２０ａは、長方形であり、Ｙ方向に沿って長手を有している。本実施形態において、光源２０の光射出面２０ａは、フィルムＦの搬送方向と直交する幅方向に沿って長手を有している。光源２０の光射出面２０ａは、フィルムＦに対して幅方向に跨って形成されている。例えば、光源２０としては、ＬＥＤライン光源を用いることができる。

【0039】

第１偏光フィルター２１は、光源２０の光射出面２０ａの外周部と重なるように配置されている。第１偏光フィルター２１は、光源２０の光射出面２０ａと同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。第１偏光フィルター２１は、Ｘ方向及びＹ方向の各々において光源２０の光射出面２０ａよりも長くなっている。

【0040】

これにより、第１偏光フィルター２１が光源２０とフィルムＦとの間の光路上に配置された場合において、光源２０から射出された光はすべて第１偏光フィルター２１に入射する。

【0041】

撮像装置２２も、光源２０の光射出面２０ａと同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。例えば、撮像装置２２としては、ラインカメラを用いることができる。

【0042】

第２偏光フィルター２３は、撮像装置２２の受光面２２ａの外周部と重なるように配置されている。第２偏光フィルター２３は、撮像装置２２の受光面２２ａと同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。第２偏光フィルター２３は、Ｘ方向及びＹ方向の各々において撮像装置２２の受光面２２ａよりも長くなっている。

【0043】

図１に戻り、記録装置６は、第３ガイドロール１２よりも下流側の搬送ライン４に設けられている。記録装置６は、欠陥検査装置５によって検出された欠陥に関する欠陥情報をフィルムＦ（例えば本実施形態では第１フィルムＦ１）に記録する。欠陥情報には、欠陥の位置や種類に関する情報等が含まれる。

【0044】

記録装置６は、例えば、欠陥情報を識別コード（一次元バーコード、二次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）など）の形式で第１フィルムＦ１の幅方向端部に記録する。識別コードには、例えば、欠陥検査装置５によって検出された欠陥が、バーコードが付された位置からフィルム幅方向に沿ってどれだけの距離だけ離れた位置に存在するかを示す情報（欠陥の位置に関する情報）が含まれる。識別コードには、検出された欠陥の種類に関する情報が含まれていてもよい。

【0045】

記録装置６は、第１フィルムＦ１の欠陥箇所に、欠陥を包含するような大きさのドット状、ライン状もしくは枠状のマークを付すことによって、欠陥の位置を第１フィルムＦ１上に直接表示（マーキング）してもよい。この際、前記マークとともに欠陥の種類を示す記号や模様を欠陥箇所に付すことによって、欠陥の種類に関する情報を記録してもよい。

【0046】

記録装置６によって欠陥情報が記録されたフィルムＦは、巻き取り部９に向けて搬送される。そして、巻き取り部９においてロール状に巻き取られ、フィルムＦのロール原反Ｒが製造される。

【0047】

ところで、欠陥検査装置は、通常、搬送ラインの下流側に設けられる。欠陥検査装置を搬送ラインの上流側に設けるよりも搬送ラインの下流側に設けたほうが、搬送中にフィルムに生じるキズ等の欠陥をまとめて検査することができるからである。例えば、欠陥検査装置は、フィルムが１０〜２０のロールに接した後に、フィルムの欠陥の有無を検査する。

【0048】

一方、最終製品において第２フィルムが第１フィルムから剥離される場合には、第２フィルムの表面のキズは問題とはならない。例えば、第２フィルムの表面にキズが生じていても、第１フィルムと第２フィルムとの間に異物欠陥等が存在しない場合には、フィルムを最終製品として問題無く使用することができる。

【0049】

しかしながら、フィルムの搬送中に第２フィルムの表面にキズが生じていると、本来問題とはならない第２フィルムの表面のキズが欠陥として誤検出される場合がある。この場合、最終製品として使用可能なフィルムが欠陥品として認識されてしまう。

【0050】

そこで本発明は、このような問題を解消するために、以下の構成を採用している。
本発明の第１実施形態に係る欠陥検査システム２は、第１フィルムＦ１と、第１フィルムＦ１に剥離可能に積層された第２フィルムＦ２と、を有する帯状のフィルムＦの欠陥検査システムであって、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２とを貼合してフィルムＦを形成する貼合ロール３と、貼合ロール３の下流側においてフィルムＦが搬送される搬送ライン４と、搬送ライン４に設けられた欠陥検査装置５と、欠陥検査装置５よりも下流側の搬送ライン４に設けられ、欠陥検査装置５によって検出された欠陥に関する欠陥情報をフィルムＦに記録する記録装置６と、を含み、欠陥検査装置５は、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の第１フィルムＦ１とは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロール１０よりも上流側の搬送ライン４に配置されていることを特徴とする。

【0051】

以下、図４及び図５を用いて本実施形態に係る欠陥検査システム２の作用効果について説明する。

【0052】

図４は、比較例１に係る欠陥検査システムによるフィルムＦの欠陥検査を説明するための図である。
比較例１に係る欠陥検査システムにおいては、欠陥検査装置５が、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の第１フィルムＦ１とは反対側の面Ｓｆ２に接するロール（例えば複数のガイドロールのうち面Ｓｆ２に最後に接するガイドロール）よりも下流側の搬送ライン４に配置されている。図４は、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２とを貼合する際の気泡等の噛み込み等によりフィルムＦに欠陥Ｅ１が存在しており、且つ、フィルムＦの搬送中における第２フィルムＦ２とガイドロールとの摩擦により第２フィルムＦ２の表面にキズＥ２が生じている場合の図である。

【0053】

図４に示すように、光源２０からフィルムＦに向けて射出された光Ｌ１は、第１偏光フィルター２１によって直線偏光Ｌ２とされる。第１偏光フィルター２１により得られた直線偏光Ｌ２は、第１フィルムＦ１に入射する。すると、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２との間に存在する欠陥Ｅ１により直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ３）が第２偏光フィルター２３を透過する。

【0054】

一方、第２フィルムＦ２の表面に存在するキズＥ２によっても直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ４）が第２偏光フィルタ−２３を透過する。

【0055】

その結果、第２偏光フィルター２３を透過した光Ｌ３と光Ｌ４とが撮像装置２２に入射し、撮像装置２２によって欠陥Ｅ１と欠陥Ｅ２とが輝点として明るく撮像される。

【0056】

また、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２との間に欠陥Ｅ１が存在しなくても、第２フィルムＦ２の表面にキズＥ２が存在する場合には、第２偏光フィルター２３を透過した光Ｌ４が撮像装置２２に入射し、撮像装置２２によって欠陥Ｅ２が輝点として明るく撮像される。

【0057】

このように、比較例１においては、フィルムＦの搬送中におけるガイドロールとの摩擦により第２フィルムＦ２の表面にキズＥ２が生じていると、最終製品において第２フィルムＦ２が第１フィルムＦ１から剥離される場合に本来問題とはならない第２フィルムＦ２の表面のキズが欠陥として誤検出されてしまう。

【0058】

図５は、本実施形態に係る欠陥検査システム２によるフィルムＦの欠陥検査を説明するための図である。
本実施形態に係る欠陥検査システム２においては、欠陥検査装置５が、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の第１フィルムＦ１とは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロール（例えば本実施形態では第１ガイドロール１０）よりも上流側の搬送ライン４に配置されている。図５は、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２とを貼合する際の気泡等の噛み込み等によりフィルムＦに欠陥Ｅ１が存在している場合の図である。尚、第２フィルムＦ２にキズが付く前にフィルムＦの欠陥が検査されるため、第２フィルムＦ２の表面にキズは生じていない。

【0059】

図５に示すように、光源２０からフィルムＦに向けて射出された光Ｌ１は、第１偏光フィルター２１によって直線偏光Ｌ２とされる。第１偏光フィルター２１により得られた直線偏光Ｌ２は、第１フィルムＦ１に入射する。すると、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２との間に存在する欠陥Ｅ１により直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ３）が第２偏光フィルター２３を透過する。その結果、第２偏光フィルター２３を透過した光Ｌ３が撮像装置２２に入射し、撮像装置２２によって欠陥Ｅ１が輝点として明るく撮像される。

【0060】

一方、第１フィルムＦ１と第２フィルムＦ２との間に欠陥Ｅ１が存在しない場合には、直線偏光Ｌ２は第２偏光フィルター２３を透過することができない。その結果、撮像装置２２には光が入射しないため、撮像装置２２では黒い画像が撮像される。

【0061】

このように、本実施形態においては、第２フィルムＦ２の表面にキズが生じていないため、第２フィルムＦ２の表面のキズが欠陥として誤検出されることがない。

【0062】

以上説明したように、本実施形態によれば、欠陥検査装置５が、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の第１フィルムＦ１とは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロール（例えば本実施形態では第１ガイドロール１０）よりも上流側の搬送ライン４に配置されているため、第２フィルムＦ２にキズが付く前にフィルムＦの欠陥が検査される。すなわち、フィルムＦの搬送中に、第２フィルムＦ２とガイドロールとの摩擦が生じないため、第２フィルムＦ２の表面にキズが生じない。従って、キズの検出による虚報欠陥を抑制することができる。

【0063】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図６〜図９を用いて説明する。
図６は、本発明の第２実施形態に係るフィルムの製造装置１０１を示す側面図である。
図６に示すように、本実施形態に係るフィルムの製造装置１０１は、第１フィルムＦ１ａが偏光子であり、欠陥検査装置１０５が、フィルムＦａの偏光子Ｆ１ａの側に配置された光源２０と、フィルムＦａの第２フィルムＦ２の側に配置された撮像装置２２と、撮像装置２２とフィルムＦａとの間の光路上に配置された偏光フィルター１２３と、を備えている点で、第１実施形態に係るフィルムの製造装置１と異なる。その他の第１実施形態と同一構成には同一符号を付し、詳細説明は省略する。

【0064】

フィルムＦａは、偏光子Ｆ１ａと、偏光子Ｆ１ａに剥離可能に積層された第２フィルムＦ２と、を有する帯状のフィルムである。本実施形態で使用されるフィルムＦは、例えば、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等からなる偏光子Ｆ１ａの一面が、セパレータフィルムである第２フィルムＦ２によって覆われた構造である。

【0065】

尚、フィルムＦａは、偏光子Ｆ１ａの他面に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等の複数の光学フィルムを積層したものでもよい。

【0066】

本実施形態の場合、フィルムＦａは、偏光子Ｆ１ａを透過した光に対して位相差を付与しないフィルムとなっているが、フィルムＦａが、偏光子Ｆ１ａを透過した光に対して位相差を付与するフィルムである場合には、その位相差を相殺するような位相補償フィルムをフィルムＦａと偏光フィルター１２３との間に配置してもよい。位相補償フィルムを配置しない場合には、偏光子Ｆ１ａの透過軸と偏光フィルター１２３の透過軸とを９０°から所定角度ずれた角度に配置し、異物欠陥等の欠陥がない状態で、撮像装置２２における受光強度が最小（暗視野）となるようにしてもよい。

【0067】

欠陥検査装置１０５は、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の偏光子Ｆ１ａとは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロールよりも上流側の搬送ライン４に配置されている。本実施形態に係る欠陥検査装置１０５は、貼合ロール３の下流側であって第１ガイドロール１０よりも上流側の搬送ライン４に配置されている。

【0068】

図７は、偏光子Ｆ１ａの吸収軸Ｖａと偏光フィルター１２３の吸収軸Ｖとの配置関係を説明するための図である。

【0069】

図７に示すように、偏光子Ｆ１ａは、吸収軸Ｖａを有する。偏光フィルター１２３は、吸収軸Ｖａと直交する吸収軸Ｖを有する。偏光フィルター１２３は、光源２０と撮像装置２２との間の光路上において、偏光子Ｆ１ａの吸収軸Ｖａと偏光フィルター１２３の吸収軸Ｖとが互いに直交して配置（クロスニコル配置）される。

【0070】

偏光子Ｆ１ａの吸収軸Ｖａと偏光フィルター１２３の吸収軸Ｖとをクロスニコル配置させると、偏光子Ｆ１ａと偏光フィルター１２３との重なり部分ＳＶにおいては光を透過しない。そのため、撮像装置２２によって重なり部分ＳＶを撮像すると、偏光子Ｆ１ａと偏光フィルター１２３との間に位相差を有する欠陥等の偏光状態を乱すものが配置されていない限り、暗視野に見える。

【0071】

以下、図８及び図９を用いて本実施形態に係る欠陥検査システム１０２の作用効果について説明する。

【0072】

図８は、比較例２に係る欠陥検査システムによるフィルムＦａの欠陥検査を説明するための図である。
比較例２に係る欠陥検査システムにおいては、欠陥検査装置１０５が、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の偏光子Ｆ１ａとは反対側の面Ｓｆ２に接するロール（例えば複数のガイドロールのうち面Ｓｆ２に最後に接するガイドロール）よりも下流側の搬送ライン４に配置されている。図８は、偏光子Ｆ１ａと第２フィルムＦ２とを貼合する際の気泡等の噛み込み等によりフィルムＦａに欠陥Ｅ１が存在しており、且つ、フィルムＦａの搬送中における第２フィルムＦ２とガイドロールとの摩擦により第２フィルムＦ２の表面にキズＥ２が生じている場合の図である。

【0073】

図８に示すように、光源２０からフィルムＦａに向けて射出された光Ｌ１は、偏光子Ｆ１ａによって直線偏光Ｌ２とされる。偏光子Ｆ１ａにより得られた直線偏光Ｌ２は、第２フィルムＦ２に入射する。すると、偏光子Ｆ１ａと第２フィルムＦ２との間に存在する欠陥Ｅ１により直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ３）が偏光フィルター１２３を透過する。

【0074】

一方、第２フィルムＦ２の表面に存在するキズＥ２によっても直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ４）が偏光フィルタ−１２３を透過する。

【0075】

その結果、偏光フィルター１２３を透過した光Ｌ３と光Ｌ４とが撮像装置２２に入射し、撮像装置２２によって欠陥Ｅ１と欠陥Ｅ２とが輝点として明るく撮像される。

【0076】

また、偏光子Ｆ１ａと第２フィルムＦ２との間に欠陥Ｅ１が存在しなくても、第２フィルムＦ２の表面にキズＥ２が存在する場合には、偏光フィルター１２３を透過した光Ｌ４が撮像装置２２に入射し、撮像装置２２によって欠陥Ｅ２が輝点として明るく撮像される。

【0077】

このように、比較例２においては、フィルムＦａの搬送中におけるガイドロールとの摩擦により第２フィルムＦ２の表面にキズＥ２が生じていると、最終製品において第２フィルムＦ２が偏光子Ｆ１ａから剥離される場合に本来問題とはならない第２フィルムＦ２の表面のキズが欠陥として誤検出されてしまう。

【0078】

図９は、本実施形態に係る欠陥検査システム１０２によるフィルムＦａの欠陥検査を説明するための図である。
本実施形態に係る欠陥検査システム１０２においては、欠陥検査装置１０５が、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の偏光子Ｆ１ａとは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロール（例えば本実施形態では第１ガイドロール１０）よりも上流側の搬送ライン４に配置されている。図９は、偏光子Ｆ１ａと第２フィルムＦ２とを貼合する際の気泡等の噛み込み等によりフィルムＦａに欠陥Ｅ１が存在している場合の図である。尚、第２フィルムＦ２にキズが付く前にフィルムＦａの欠陥が検査されるため、第２フィルムＦ２の表面にキズは生じていない。

【0079】

図９に示すように、光源２０からフィルムＦａに向けて射出された光Ｌ１は、偏光子Ｆ１ａによって直線偏光Ｌ２とされる。偏光子Ｆ１ａにより得られた直線偏光Ｌ２は、第２フィルムＦ２に入射する。すると、偏光子Ｆ１ａと第２フィルムＦ２との間に存在する欠陥Ｅ１により直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ３）が偏光フィルター１２３を透過する。

【0080】

その結果、偏光フィルター１２３を透過した光Ｌ３が撮像装置２２に入射し、撮像装置２２によって欠陥Ｅ１が輝点として明るく撮像される。

【0081】

一方、偏光子Ｆ１ａと第２フィルムＦ２との間に欠陥Ｅ１が存在しない場合には、直線偏光Ｌ２は偏光フィルター１２３を透過することができない。その結果、撮像装置２２には光が入射しないため、撮像装置２２では黒い画像が撮像される。

【0082】

このように、本実施形態においては、第２フィルムＦ２の表面にキズが生じていないため、第２フィルムＦ２の表面のキズが欠陥として誤検出されることがない。

【0083】

以上説明したように、本実施形態によれば、欠陥検査装置１０５が、貼合ロール３以外で、第２フィルムＦ２の偏光子Ｆ１ａとは反対側の面Ｓｆ２に最初に接するロール（例えば本実施形態では第１ガイドロール１０）よりも上流側の搬送ライン４に配置されているため、第２フィルムＦ２にキズが付く前にフィルムＦａの欠陥が検査される。すなわち、フィルムＦａの搬送中に、第２フィルムＦ２とガイドロールとの摩擦が生じないため、第２フィルムＦ２の表面にキズが生じない。従って、キズの検出による虚報欠陥を抑制することができる。

【0084】

以上、添付図面を参照しながら本実施形態に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

【符号の説明】

【0085】

１…フィルムの製造装置、２，１０２…欠陥検査システム、３…貼合ロール、４…搬送ライン、５，１０５…欠陥検査装置、６…記録装置、１０…第１ガイドロール（第２フィルムの第１フィルムとは反対側の面に最初に接するロール）、２０…光源、２１…第１偏光フィルター、２２…撮像装置、２３…第２偏光フィルター、１２３…偏光フィルター、Ｆ…フィルム、Ｆ１…第１フィルム、Ｆ１ａ…偏光子、Ｆ２…第２フィルム、Ｓｆ２…第２フィルムの第１フィルムとは反対側の面、Ｖ１…第１の吸収軸、Ｖ２…第２の吸収軸、Ｖａ…偏光子の吸収軸、Ｖ…偏光フィルターの吸収軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】