特許 6184845 開閉扉の全閉防止機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6184845

(24)【登録日】2017年8月4日

(45)【発行日】2017年8月23日

(54)【発明の名称】開閉扉の全閉防止機構

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170814BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

【請求項の数】1

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2013-242201(P2013-242201)

(22)【出願日】2013年11月22日

(65)【公開番号】特開2015-103621(P2015-103621A)

(43)【公開日】2015年6月4日

【審査請求日】2016年9月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100132067

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 喜雅

(74)【代理人】

【識別番号】100137903

【弁理士】

【氏名又は名称】菅野 亨

(74)【代理人】

【識別番号】100150304

【弁理士】

【氏名又は名称】溝口 勉

(72)【発明者】

【氏名】力石 利康

【審査官】 儀同 孝信

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１４０８９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１９８９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実公昭５６−０４７３３５（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】 特開２０１３−１６７０５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５７−０８４２６１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭５９−１５２０７４（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｅ０５Ｃ １７／６０

Ｅ６５Ｂ ６５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部屋に出入りする開閉扉の全閉を防止する開閉扉の全閉防止機構であって、
該部屋に配設され、該開閉扉の全閉を防止する全閉防止手段と、該開閉扉に配設され該開閉扉を閉じる事で該全閉防止手段に作用する作用手段と、で構成され、
該全閉防止手段は、棒状で上部にヘッド部を有する防止バーと、該防止バーの該ヘッド部を２段で載置させる上段の上段載置部と下段の下段載置部とを備えた載置部材と、該上段載置部と該下段載置部とを連通させる連通路とを備え、
該作用手段は、該開閉扉を閉じる事で該ヘッド部を該上段載置部から該下段載置部に落下させる作用部と、該作用部によって該上段載置部から該下段載置部に該連通路に沿って落下する該ヘッド部が該下段載置部に載置される前に該防止バーを受け止める受け止めプレートと、を備え、
該上段載置部に該ヘッド部を載置させた時には該開閉扉が全閉を可能とし、該下段載置部に該ヘッド部を載置させた時に該防止バーの下部に該受け止めプレートが接触し該開閉扉の全閉を防止することを特徴とする開閉扉の全閉防止機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、開閉扉の全閉防止機構に関し、例えば、半導体ウェーハを搬送する搬送室などの部屋に作業者が出入りする開閉扉の全閉を防止する開閉扉の全閉防止機構に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造工程においては、ウェーハの表面に格子状に分割予定ラインが形成されており、分割予定ラインにより区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路が形成されている。ウェーハは研削装置によって裏面が研削されて所定の厚さに形成された後、切削装置やレーザー加工装置等の加工装置に搬入され、分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割される。このようにして分割されたデバイスは、携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。

【0003】

従来、このようなウェーハを保持するウェーハホルダに塵埃などの異物が付着するのを防止すべく、外部とウェーハステージ室との間に搬送室を設け、搬送室に配置された搬送ロボットによりウェーハホルダを搬送する搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この搬送装置によれば、搬送室を介して外部からウェーハステージ室内に大気中の塵等が浸入するのを抑制した状態で搬送ロボットによりウェーハホルダの搬送を行うことができ、ウェーハホルダを常に清浄な状態に維持することが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３−１６３２５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、搬送室に配置される搬送ロボットにおいては、定期的に又は何らかの問題が発生したタイミングによりメンテナンスを行う必要がある。このようなメンテナンス作業は、作業者が搬送室内に入室して行われる。したがって、搬送室においては、開閉扉の開閉状態に応じて搬送ロボット等への電源供給を制御することが一般的である。この制御においては、開閉扉が開状態とされると、自動的に搬送ロボット等への電源供給が停止される。

【0006】

しかしながら、作業者が入室している状態において、搬送室内の作業者や搬送室外の作業者の誤操作に伴って開閉扉が閉状態とされる事態も想定される。このように開閉扉が閉状態にされると、作業者が入室しているにも関わらず、搬送ロボット等への電源供給が自動的に復帰する可能性がある。この場合には、作業者に対する搬送ロボットの一部（例えば、搬送アーム）の接触等が想定される。

【0007】

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、搬送室等の部屋内に作業者が入室している場合に開閉扉が全閉状態となるのを制限することができる開閉扉の全閉防止機構を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の開閉扉の全閉防止機構は、部屋に出入りする開閉扉の全閉を防止する開閉扉の全閉防止機構であって、部屋に配設され、開閉扉の全閉を防止する全閉防止手段と、開閉扉に配設され開閉扉を閉じる事で全閉防止手段に作用する作用手段と、で構成され、全閉防止手段は、棒状で上部にヘッド部を有する防止バーと、防止バーのヘッド部を２段で載置させる上段の上段載置部と下段の下段載置部とを備えた載置部材と、上段載置部と下段載置部とを連通させる連通路とを備え、作用手段は、開閉扉を閉じる事でヘッド部を上段載置部から下段載置部に落下させる作用部と、作用部によって上段載置部から下段載置部に連通路に沿って落下するヘッド部が下段載置部に載置される前に防止バーを受け止める受け止めプレートと、を備え、上段載置部にヘッド部を載置させた時には開閉扉が全閉を可能とし、下段載置部にヘッド部を載置させた時に防止バーの下部に受け止めプレートが接触し開閉扉の全閉を防止することを特徴とする。

【0009】

上記開閉扉の全閉防止機構によれば、全閉状態では上段載置部に載置されたヘッド部が作用部によって落下され、防止バーの下端部が受け止めプレートによって受け止められている。そして、全閉状態から開閉扉を開放すると、ヘッド部が下段載置部に載置される位置まで防止バーが落下する。この状態においては、防止バーのヘッド部が上段載置部に載置されない限り、開閉扉を閉じようとしても受け止めプレートが防止バーの下部に接触して全閉することができない。このため、部屋に入室した作業者が意図的に防止バーのヘッド部を上段載置部に載置しない限り、開閉扉が全閉状態となるのを防止できる。この結果、搬送室等の部屋内に作業者が入室している場合に開閉扉が全閉状態となるのを制限することが可能となる。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、搬送室等の部屋内に作業者が入室している場合に開閉扉が全閉状態となるのを制限することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施の形態に係る開閉扉の全閉防止機構が適用されるウェーハ加工装置の平面模式図である。

【図2】本実施の形態に係る開閉扉による開放部近傍の拡大図である。

【図3】本実施の形態に係る開閉扉の全閉防止機構の構成の説明図である。

【図4】本実施の形態に係る全閉防止機構の全閉防止手段の断面を示す模式図である。

【図5】本実施の形態に係る全閉防止機構の構成する全閉防止手段と作用手段との位置関係を説明するための模式図である。

【図6】本実施の形態に係る開閉扉の閉動作に伴う全閉防止機構の動作を説明するための模式図である。

【図7】本実施の形態に係る開閉扉の閉動作に伴う全閉防止機構の動作を説明するための模式図である。

【図8】本実施の形態に係る開閉扉としての旋回扉による開放部近傍の拡大図である。

【図9】本実施の形態に係る開閉扉としての旋回扉の閉動作に伴う全閉防止機構の動作を説明するための模式図である。

【図10】本実施の形態に係る開閉扉として旋回扉の全閉を防止する全閉防止手段の構成の説明図である。

【図11】本実施の形態に係る開閉扉としての旋回扉の閉動作に伴う全閉防止機構の動作を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。以下においては、本実施の形態に係る開閉扉の全閉防止機構がウェーハ加工装置に適用された場合について説明する。しかしながら、本実施の形態に係る開閉扉の全閉防止機構が適用される対象装置は、ウェーハ加工装置に限定されるものではなく適宜変更が可能である。例えば、メンテナンス等の作業に伴って作業者等が入室した状態で開閉扉が全閉状態となるのを防止する各種装置に適用することができる。

【0013】

図１は、本実施の形態に係る開閉扉の全閉防止機構が適用されるウェーハ加工装置の平面模式図である。図１においては、粗研削加工、仕上げ研削加工、研磨加工、レーザー加工を実施する複数の加工モジュールを備えたウェーハ加工装置について説明するが、この構成に限定されない。ウェーハ加工装置における加工モジュールの加工内容は特に限定されず、ユーザの要望に合わせた多種類の加工モジュールを備えていればよい。また、図１では、説明の便宜上、操作モジュールを除いて各モジュールのハウジングを省略して記載している。

【0014】

図１に示すように、ウェーハ加工装置１０は、フルオートタイプの加工装置であり、ウェーハＷに対する搬送処理、研削処理、研磨処理、レーザー加工処理、洗浄処理からなる一連の作業を全自動で実施するように構成されている。ウェーハＷは、円板状に形成されており、表面側には保護テープ（不図示）が貼着されている。なお、ウェーハＷは、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体ウェーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ等でもよい。なお、ウェーハＷは、保護テープを介して環状フレームに貼着された状態で搬入されてもよい。

【0015】

ウェーハ加工装置１０は、装置手前側に複数のカセットＣが載置されたカセットモジュール１１が配置されている。カセットモジュール１１の隣には、装置各部への指示を受け付ける操作モジュール１２が配置されている。カセットモジュール１１の後方には、複数のモジュール間でウェーハＷを搬送する搬送モジュール１３が装置手前側から装置奥側に向かって直線状に延在している。搬送モジュール１３の図示左側には、粗研削モジュール１４、レーザー加工モジュール１５が配置されている。また、搬送モジュール１３の図示右側には、仕上げ研削モジュール１６、研磨モジュール１７が配置されている。

【0016】

カセットモジュール１１と粗研削モジュール１４の間には、ウェーハＷのセンタリングを行うセンタリングモジュール１８が配置されている。また、粗研削モジュール１４とレーザー加工モジュール１５との間には、加工済みのウェーハＷを洗浄する洗浄モジュール１９が配置されている。このようにウェーハ加工装置１０は、後述する搬送ロボット６１の走行方向（Ｙ軸方向）に平行に複数のモジュールが配設されて構成されている。操作モジュール１２では、正面に設けられたタッチパネル式の表示モニタ（不図示）により、ウェーハ加工装置１０の各種設定等が実施される。表示モニタには、ウェーハ加工装置１０の各種処理に関する設定画像等が表示されている。

【0017】

搬送モジュール１３では、搬送ロボット６１によって複数の加工モジュール間のウェーハＷの搬送が行われる。搬送ロボット６１の搬送ロボット位置付け手段６２によりＹ軸方向に移動される。搬送ロボット６１は、多節リンクからなるアーム部６３の先端にエッジクランプ式の保持部６４を設けて構成される。

【0018】

このように構成されたウェーハ加工装置１０では、カセットＣ内のウェーハＷがカセットロボット２２によって仮置きテーブル２７に搬送されてウェーハＷがセンタリングされる。次に、搬送モジュール１３によって粗研削モジュール１４、仕上げ研削モジュール１６、研磨モジュール１７、レーザー加工モジュール１５の順にウェーハＷが投入され、各加工モジュールでウェーハＷが加工される。次に、洗浄モジュール１９においてウェーハＷが洗浄された後に、再び仮置きテーブル２７にウェーハＷが搬送される。そして、カセットロボット２２によって仮置きテーブル２７からカセットＣ内にウェーハＷが収容される。

【0019】

搬送モジュール１３は、ウェーハＷに塵埃などの異物が付着するのを防止するために搬送室１３０に収容される。これにより、外部から搬送室１３０内に大気中の塵等が浸入するのを抑制した状態で搬送ロボット６１によりウェーハＷを搬送することができる。搬送室１３０には、開閉扉１３１が設けられる。開閉扉１３１は、作業者が搬送室１３０へ出入りするため、すなわち、搬送室１３０内へ入室し、或いは、搬送室１３０から退室するために開閉される。例えば、作業者は、搬送ロボット６１のメンテナンスのために搬送室１３０内に入室する。

【0020】

開閉扉１３１には、例えば、スライド扉や旋回扉が適用可能である。図１に示すウェーハ加工装置１０では、開閉扉１３１として、スライド扉１３２が設けられる場合について示している。なお、図１においては、スライド扉１３２が最大限に開放された状態（全開状態）である場合について示している。スライド扉１３２は、搬送室１３０の壁面に固定されたスライドレール１３３に沿ってＹ軸方向にスライド移動可能に構成されている。搬送室１３０内であって、開閉扉１３１（スライド扉１３２）による開放部の近傍には、開閉扉１３１の全閉を防止する全閉防止機構１００が設けられている。

【0021】

以下、図２及び図３を参照しながら、本実施の形態に係る開閉扉１３１の全閉防止機構１００の構成について説明する。図２は、本実施の形態に係る開閉扉１３１による開放部近傍の拡大図である。図３は、本実施の形態に係る開閉扉１３１の全閉防止機構１００の構成の説明図である。図３Ａ及び図３Ｂにおいては、それぞれ全閉防止手段１０１を構成する載置部材１０２及び防止バー１０６を示している。なお、図２と図３とは、説明の便宜上、全閉防止機構１００の向きを変更している。

【0022】

図２に示すように、全閉防止機構１００は、開閉扉１３１が全閉状態になるのを防止する全閉防止手段１０１と、開閉扉１３１が閉じることで全閉防止手段１０１に作用する作用手段１１０とを含んで構成される。全閉防止手段１０１は、搬送室１３０に配設され、搬送室１３０の壁面の一部に固定される。作用手段１１０は、開閉扉１３１に配設され、開閉扉１３１の内側（搬送室１３０の室内側）の先端部に固定される。以下においては、全閉防止手段１０１における搬送室１３０の壁面への固定端側を基端部側と呼び、基端部側の反対側を先端部側と呼ぶものとする。

【0023】

全閉防止手段１０１は、図３に示すように、載置部材１０２及び防止バー１０６を有する。これらの載置部材１０２及び防止バー１０６は、例えば、金属材料に機械加工を施すことで形成されるが、これに限定されない。載置部材１０２及び防止バー１０６を複数部品で構成し、これらを溶接等により接合してもよい。また、載置部材１０２及び防止バー１０６の一方又は双方を、剛性を有する樹脂材料で構成することもできる。

【0024】

載置部材１０２は、図３Ａに示すように、概して直方体形状を有している。載置部材１０２には、上下方向に貫通して貫通孔１０３が形成されると共に、円形状の凹部１０４が載置部材１０２の上方から貫通孔１０３に接続して載置部材１０２の高さの略半分の深さで形成されている。貫通孔１０３は、全閉防止手段１０１の先端部側に配置され、凹部１０４は、全閉防止手段１０１の基端部側に配置される。貫通孔１０３は、全閉防止手段１０１の基端部側から先端部側へ延在する形状（すなわち、上面視にてスリット形状）を有する。貫通孔１０３と凹部１０４とは、上面視にてだるま穴形状を構成している。

【0025】

貫通孔１０３は、後述する防止バー１０６の軸部１０７を収容する寸法を有し、防止バー１０６の軸部１０７を載置部材１０２の貫通孔１０３から凹部１０４に向かう方向に移動可能な寸法を有する。凹部１０４は、後述する防止バー１０６のヘッド部１０８を収容可能な寸法を有し、ヘッド部１０８の外径寸法よりも僅かに大きな内径寸法で、ヘッド部１０８を収容可能な高さ寸法を有する。

【0026】

載置部材１０２には、後述する防止バー１０６のヘッド部１０８を２段で載置させる上段の上段載置部１０５ａ及び下段の下段載置部１０５ｂを有し、これらの上段載置部１０５ａと下段の下段載置部１０５ｂとを連通させる。上段載置部１０５ａは、載置部材１０２の上面で、先端部側に配置される貫通孔１０３の周囲を示す。下段載置部１０５ｂは、凹部１０４の底面部で構成される。連通路１０５ｃは、凹部１０４内に形成された通路（空間）により形成される。上段載置部１０５ａと下段載置部１０５ｂとは、後述する防止バー１０６のヘッド部１０８の高さ寸法に相当する高低差を有する（図４参照）。

【0027】

防止バー１０６は、概して棒状に構成され、図３Ｂに示すように、鉛直方向に延在する軸部１０７と、この軸部１０７の上に設けられるヘッド部１０８と下に設けられるストッパ部１０９とを有する。軸部１０７は、貫通孔１０３に収容可能な外径寸法を有し、載置部材１０２の高さ寸法よりも僅かに長い寸法を有している。ヘッド部１０８は、概して円柱形状を有し、貫通孔１０３に収容されない外径寸法で、載置部材１０２の凹部１０４に収容可能な外径寸法を有している。ストッパ部１０９は、概して円盤形状を有し、その上面部中央にて軸部１０７の下端に連結されている。

【0028】

図４は、本実施の形態に係る全閉防止機構１００の全閉防止手段１０１の断面を示す模式図である。図４においては、載置部材１０２の貫通孔１０３の中心を通過する断面を模式的に示している。図４Ａにおいては、防止バー１０６のヘッド部１０８が載置部材１０２の上段載置部１０５ａに載置された状態を示している。図４Ｂにおいては、防止バー１０６のヘッド部１０８が載置部材１０２の下段載置部１０５ｂに載置された状態を示している。

【0029】

図４に示すように、全閉防止手段１０１においては、載置部材１０２の貫通孔１０３に防止バー１０６の軸部１０７が収容されている。図４Ａに示すように、防止バー１０６のヘッド部１０８が上段載置部１０５ａに載置された状態において、ストッパ部１０９は、載置部材１０２の下面近傍に配置されている。一方、図４Ｂに示すように、防止バー１０６のヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置された状態において、ストッパ部１０９は、載置部材１０２の下面より下方側に突出する位置に配置されている。

【0030】

図２に戻り、本実施の形態に係る全閉防止機構１００を構成する作用手段１１０の構成について説明する。図２に示すように、作用手段１１０は、平板形状を有する基部１１１と、この基部１１１の上端中央に設けられる作用部１１２及び基部１１１の下端に設けられる受け止めプレート１１３とを有する。作用手段１１０は、例えば、金属板材に打ち抜き加工及び折り曲げ加工を施して形成される。

【0031】

基部１１１は、開閉扉１３１の内壁面の所定位置に固定される。より具体的には、基部１１１は、作用部１１２が全閉防止手段１０１の載置部材１０２の上面よりも上方側に配置される一方、受け止めプレート１１３が載置部材１０２の下面よりも下方側に配置される位置に固定される。なお、基部１１１は、開閉扉１３１の開閉動作に伴って載置部材１０２と干渉しない厚さ寸法に構成されている。

【0032】

作用部１１２は、基部１１１の上端部から上方側に延出するネック部１１２ａと、このネック部１１２ａの上端から開閉扉１３１の内側に屈曲して設けられる接触部１１２ｂとを有する。接触部１１２ｂは、全閉防止手段１０１の載置部材１０２の上面よりも僅かに上方側の位置を、開閉扉１３１の内側に水平に延びている。例えば、接触部１１２ｂは、全閉防止手段１０１の載置部材１０２の奥行き寸法（図２に示す紙面奥行き方向の寸法）と同程度の長さを有する。詳細について後述するように、作用部１１２は、開閉扉１３１を閉じることで、防止バー１０６のヘッド部１０８を上段載置部１０５ａから下段載置部１０５ｂに落下させる役割を果たす。

【0033】

受け止めプレート１１３は、基部１１１の下端部から開閉扉１３１の内側に突出して設けられている。受け止めプレート１１３は、載置部材１０２の下面よりも僅かに下方側の位置を、開閉扉１３１の内側に水平に延びて載置部材１０２の奥行き寸法（図２に示す紙面奥行き方向の寸法）と同程度の長さを有する。詳細について後述するように、受け止めプレート１１３は、作用部１１２によって上段載置部１０５ａから下段載置部１０５ｂに落下する防止バー１０６のヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置される前に防止バー１０６を受け止める役割を果たす。

【0034】

図５は、本実施の形態に係る全閉防止機構１００の全閉防止手段１０１と作用手段１１０との位置関係を説明するための模式図である。図５においては、全閉防止手段１０１と作用手段１１０とが離間した状態を示している。また、図５においては、全閉防止手段１０１において、防止バー１０６のヘッド部１０８が載置部材１０２の上段載置部１０５ａに載置された状態について示している。

【0035】

図５に示すように、作用手段１１０を構成する作用部１１２（より具体的には、接触部１１２ｂ）は、上段載置部１０５ａに載置された防止バー１０６のヘッド部１０８に接触する高さに配置されている。一方、作用手段１１０を構成する受け止めプレート１１３は、ヘッド部１０８が上段載置部１０５ａに載置された状態の防止バー１０６におけるストッパ部１０９よりも下方側に位置する高さに配置されている。

【0036】

以下、本実施の形態に係る開閉扉１３１の閉動作に伴う全閉防止機構１００の動作について、図５〜図７を参照しながら説明する。図６及び図７は、本実施の形態に係る開閉扉１３１の閉動作に伴う全閉防止機構１００の動作を説明するための模式図である。図６においては、防止バー１０６のヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置される前に受け止めプレート１１３に受け止められた状態を示している。図７においては、防止バー１０６が下段載置部１０５ｂに載置された状態を示している。

【0037】

図５に示す状態（作用手段１１０が全閉防止手段１０１から離間した状態）から開閉扉１３１（スライド扉１３２）が閉方向にスライド操作されると、作用手段１１０の作用部１１２を構成する接触部１１２ｂが防止バー１０６のヘッド部１０８に接触する。なお、この場合、受け止めプレート１１３は、ストッパ部１０９よりも下方側に位置するため、ストッパ部１０９に接触することはない。

【0038】

接触部１１２ｂがヘッド部１０８に接触すると、防止バー１０６が移動される。図６に示すように、スライド扉１３２が全閉状態とされると、ヘッド部１０８が凹部１０４に収容され、ヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置される前にストッパ部１０９を受け止めプレート１１３により受け止められた状態となる。

【0039】

一方で、図６に示すような全閉状態からスライド扉１３２が開方向にスライド移動されると、受け止めプレート１１３が防止バー１０６（ストッパ部１０９）を受け止められなくなり、防止バー１０６は、ストッパ部１０９が載置部材１０２の下面から下方側に突出した状態となり、ヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置される位置まで落下する（図７参照）。

【0040】

このようにヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置された状態（ストッパ部１０９が載置部材１０２の下面から突出した状態）において、スライド扉１３２が閉方向（図１に示すＹ軸方向）にスライド移動されると、図７に示すように、受け止めプレート１１３の先端部（図７に示す左端部）がストッパ部１０９に接触（干渉）する。これにより、スライド扉１３２は、これ以上閉方向にスライド移動ができなくなる。すなわち、スライド扉１３２の閉動作が制限され、全閉状態となることが防止される。

【0041】

開閉扉１３１を全閉状態とする場合には、防止バー１０６を持ち上げてヘッド部１０８を上段載置部１０５ａに載置させることが必要となる。すなわち、本実施の形態に係る開閉扉１３１の全閉防止機構１００においては、開閉扉１３１の全閉を行う作業者が意図的に防止バー１０６を引き上げ上段載置部１０５ａにヘッド部１０８を載置させなくてはならない。このため、作業者等が意図することなく開閉扉１３１が全閉状態となることが防止される。

【0042】

以上の説明においては、開閉扉１３１がスライド扉１３２で構成される場合について説明している。しかしながら、本発明に係る開閉扉１３１の全閉防止機構１００に適用される開閉扉１３１については、スライド扉１３２に限定されるものではなく適宜変更が可能である。例えば、蝶番で旋回する旋回扉にも適用することができる。

【0043】

以下、本実施の形態に係る開閉扉１３１の全閉防止機構１００が、開閉扉１３１として旋回扉を有する搬送室１３０に適用される場合について説明する。図８は、本実施の形態に係る開閉扉１３１としての旋回扉による開放部近傍の拡大図である。なお、図８に示す態様において、上述した実施形態と共通の機能を有する構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。

【0044】

図８に示す搬送室１３０においては、作業者が入退室する開閉扉１３１として旋回扉１３４が設けられている。旋回扉１３４は、基端部（図８に示す下端部）に設けられた蝶番１３４ａにより先端部（図８に示す上端部）を旋回可能に搬送室１３０の壁部に連結されている。旋回扉１３４の先端部には、作用手段１１０が設けられている。また、搬送室１３０の壁部のうち、旋回扉１３４の作用手段１１０に対応する位置には、全閉防止手段１０１が設けられている。この全閉防止手段１０１の近傍には、旋回扉１３４の旋回を一定位置で規制するための規制片１３５が設けられている。規制片１３５は、旋回扉１３４が全閉状態となった場合にその旋回を規制する。

【0045】

ここで、旋回扉１３４を旋回した場合における全閉防止機構１００の動作について説明する。図９は、開閉扉１３１としての旋回扉１３４の閉動作に伴う全閉防止機構１００の動作を説明するための模式図である。なお、図９Ａ〜図９Ｃにおいては、いずれも全閉防止機構１００を上方側から示している。図９Ａ〜図９Ｃにおいて、全閉防止機構１００を構成する全閉防止手段１０１の構成要素と作用手段１１０の構成要素との高さ方向及び開閉扉１３１の開閉方向の相対位置関係は、それぞれ図５〜図７と同一である。

【0046】

図９Ａにおいては、全閉防止手段１０１と作用手段１１０とが離間した状態を示している。図９Ｂにおいては、防止バー１０６が下段載置部１０５ｂに載置される前に受け止めプレート１１３に受け止められた状態を示している。図９Ｃにおいては、防止バー１０６が下段載置部１０５ｂに載置された状態を示している。

【0047】

開閉扉１３１として旋回扉１３４を有する場合においても、全閉防止機構１００を構成する全閉防止手段１０１及び作用手段１１０の動作については、基本的に同一である。図９Ａに示す状態（作用手段１１０が全閉防止手段１０１から離間した状態）から旋回扉１３４が閉方向に旋回操作されると、作用手段１１０の作用部１１２を構成する接触部１１２ｂが防止バー１０６のヘッド部１０８に接触する。なお、この場合、受け止めプレート１１３は、ストッパ部１０９よりも下方側に位置するため、ストッパ部１０９に接触することはない（図５参照）。

【0048】

接触部１１２ｂがヘッド部１０８に接触すると、防止バー１０６は、載置部材１０２に形成されたスリット状の貫通孔１０３に沿って凹部１０４側に移動されヘッド部１０８が凹部１０４内（下段載置部１０５ｂ）に落下される。

【0049】

図９Ｂに示すように、ヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置される前に防止バー１０８（より具体的には、ストッパ部１０９）が受け止めプレート１１３により受け止められた状態となる。

【0050】

一方で、図９Ｂに示すような全閉状態から旋回扉１３４が開方向に旋回操作されると、受け止めプレート１１３が搬送室１３０の外側（図９Ｂに示す左方側）に移動する。これに伴い、受け止めプレート１１３が防止バー１０６（ストッパ部１０９）を受け止められなくなり、防止バー１０６は、ヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置される位置まで落下する。この場合、防止バー１０６のストッパ部１０９は、載置部材１０２の下面から下方側に突出した状態となる（図７参照）。

【0051】

このようにヘッド部１０８が下段載置部１０５ｂに載置された状態（ストッパ部１０９が載置部材１０２の下面から突出した状態）において、旋回扉１３４が閉方向に旋回操作されると、図９Ｃに示すように、受け止めプレート１１３の先端部（図９Ｃに示す右端部）がストッパ部１０９に接触する。これにより、旋回扉１３４は、これ以上閉方向に旋回動作ができなくなる。すなわち、旋回扉１３４が全閉状態となることが防止される。

【0052】

したがって、開閉扉１３１として旋回扉１３４を搬送室１３０に備える場合においても、旋回扉１３４を全閉状態とする場合には、防止バー１０６を持ち上げてヘッド部１０８を上段載置部１０５ａに載置させることが必要となる。すなわち、旋回扉１３４の全閉を行う作業者が意図的に防止バー１０６を引き上げなくてはならない。このため、作業者等が意図することなく旋回扉１３４が全閉状態となることが防止される。

【0053】

また、開閉扉１３１として旋回扉１３４に適用される場合においては、旋回扉１３４の閉動作に伴って防止バー１０６を回転させることで上段載置部１０５ａから下段載置部１０５ｂに落下させる構成としても良い。この場合には、載置部材１０２において、防止バー１０６をスライド移動させる必要がなくなり、載置部材１０２（引いては全閉防止機構１００）を小型化することが可能となる。

【0054】

図１０は、本実施の形態に係る開閉扉１３１として旋回扉１３４の全閉を防止する全閉防止手段の構成の説明図である。なお、図１０に示す全閉防止手段１０１ａにおいて、上述した実施形態と共通の機能を有する構成については、同一の符号を付すと共に符号の末尾に付与する文字を適宜付与（変更）してその詳細な説明を省略する。図１０Ａ及び図１０Ｂにおいては、それぞれ全閉防止手段１０１ａを構成する載置部材１０２ａ及び防止バー１０６ａを示している。

【0055】

載置部材１０２ａは、図１０Ａに示すように、概して直方体形状を有している。載置部材１０２ａには、上下方向に貫通して貫通孔１０３ａが形成されると共に、立方体形状の凹部１０４ａが形成されている。貫通孔１０３ａは、載置部材１０２ａの中央に配置され、載置部材１０２ａを上下に貫通して設けられる。凹部１０４ａは、載置部材１０２ａの上面の中央に配置されている。凹部１０４ａは、載置部材１０２ａの高さ寸法の略半分の高さ寸法（深さ寸法）を有する。貫通孔１０３ａは、凹部１０４ａの底面部に接続されている。すなわち、貫通孔１０３ａの上方側の一部は、凹部１０４ａとオーバーラップして形成され、凹部１０４ａの一部を構成している。

【0056】

貫通孔１０３ａは、後述する防止バー１０６ａの軸部１０７ａを収容する寸法を有する。凹部１０４ａは、後述する防止バー１０６ａのヘッド部１０８ａを収容可能な寸法を有する。より具体的には、防止バー１０６ａのヘッド部１０８ａの外形寸法よりも僅かに大きな内形寸法を有すると共に、ヘッド部１０８を収容可能な高さ寸法を有する。

【0057】

載置部材１０２ａには、後述する防止バー１０６ａのヘッド部１０８ａを２段で載置させる上段の上段載置部１０５ａ及び下段の下段載置部１０５ｂを有し、これらの上段載置部１０５ａと下段の下段載置部１０５ｂとを連通させる。上段載置部１０５ａは、載置部材１０２ａの上面で凹部１０４ａの周辺で構成される。下段載置部１０５ｂは、凹部１０４ａの底面部で構成される。連通路１０５ｃは、凹部１０４ａ内に形成された通路（空間）により形成される。上段載置部１０５ａと下段載置部１０５ｂとは、後述する防止バー１０６ａのヘッド部１０８ａの高さ寸法に相当する高低差を有する。

【0058】

防止バー１０６ａは、図１０Ｂに示すように、鉛直方向（全閉防止手段１０１ａの上下方向）に延在する軸部１０７ａと、この軸部１０７ａの上、下に設けられるヘッド部１０８ａ、ストッパ部１０９ａとを有する。軸部１０７ａは、貫通孔１０３ａに収容可能な外径寸法を有し、載置部材１０２ａ（貫通孔１０３ａ）の高さ寸法よりも僅かに長い寸法を有している。ヘッド部１０８ａは、概して立方体形状を有し、その下面部中央が軸部１０７ａの上端に連結されている。ヘッド部１０８ａは、載置部材１０２ａの凹部１０４ａに収容可能な外形寸法を有している。ストッパ部１０９ａは、概して円盤形状を有し、その上面部中央が軸部１０７ａの下端に連結されている。

【0059】

図１０に示す防止バー１０６ａは、後述する作用手段１１０ａの接触部１１２ｃの接触に伴って、軸部１０７ａの軸心を中心として回転し、上段載置部１０５ａから下段載置部１０５ｂに落下する点で図４に示す防止バー１０６と相違する。

【0060】

作用手段１１０ａは、旋回扉１３４の閉動作に伴って防止バー１０６ａを回転させる点で、図９に示す防止バー１０６をスライド移動させる作用手段１１０と異なる。

【0061】

以下、図１０に示す全閉防止手段１０１ａを有する全閉防止機構１００の動作について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、開閉扉１３１としての旋回扉１３４の閉動作に伴う全閉防止機構１００の動作を説明するための模式図である。なお、図１１Ａ〜図１１Ｃにおいては、いずれも全閉防止機構１００を上方側から示している。図１１Ａ〜図１１Ｃにおいて、全閉防止機構１００を構成する全閉防止手段１０１の構成要素と作用手段１１０の構成要素との高さ方向の相対位置関係は、それぞれ図５〜図７と同一である。

【0062】

図１１Ａにおいては、全閉防止手段１０１ａと作用手段１１０ａとが離間した状態を示している。図１１Ｂにおいては、防止バー１０６ａが下段載置部１０５ｂに載置される前に受け止めプレート１１３ａに受け止められた状態を示している。図１１Ｃにおいては、防止バー１０６ａが下段載置部１０５ｂに載置された状態を示している。なお、全閉防止手段１０１ａと作用手段１１０ａとが離間した状態において、防止バー１０６ａは、図１１Ａに示すように、ヘッド部１０８ａの四隅部と凹部１０４ａの四隅部とがずれるように配置される。

【0063】

図１１Ａに示す状態（作用手段１１０ａが全閉防止手段１０１ａから離間した状態）から旋回扉１３４が閉方向に旋回操作されると、作用手段１１０ａの作用部１１２ａを構成する接触部１１２ｃが防止バー１０６ａのヘッド部１０８ａに接触しヘッド部１０８ａを回転させる。なお、この場合、受け止めプレート１１３ａは、ストッパ部１０９ａよりも下方側に位置するため、ストッパ部１０９ａに接触することはない（図５参照）。

【0064】

ヘッド部１０８ａに対する接触部１１２ｃの接触によって防止バー１０６ａが軸心を中心に回転する。これにより上面視にてヘッド部１０８ａの四隅部と凹部１０４ａの四隅部とが一致する位置までヘッド部１０８ａが回転すると、ヘッド部１０８ａが凹部１０４ａ内（下段載置部１０５ｂ）に落下される。

【0065】

なお、この場合、防止バー１０６ａの下方側に受け止めプレート１１３ａが配置されていて、図１１Ｂに示すように、ヘッド部１０８ａが下段載置部１０５ｂに載置される前にストッパ部１０９ａが受け止めプレート１１３ａにより受け止められた状態となる。

【0066】

一方で、図１１Ｂに示すような全閉状態から旋回扉１３４が開方向に旋回操作されると、受け止めプレート１１３ａが防止バー１０６ａ（ストッパ部１０９ａ）を受け止めていた位置から退避する。これにより、防止バー１０６ａは、ヘッド部１０８ａが下段載置部１０５ｂに載置される位置まで落下し、防止バー１０６ａのストッパ部１０９ａは、載置部材１０２ａの下面から下方側に突出した状態となる（図７参照）。

【0067】

このようにヘッド部１０８ａが下段載置部１０５ｂに載置された状態（ストッパ部１０９ａが載置部材１０２ａの下面から突出した状態）において、旋回扉１３４が閉方向に旋回操作されると、図１１Ｃに示すように、受け止めプレート１１３ａの先端部（図１１Ｃに示す右端部）がストッパ部１０９ａに接触する。これにより、旋回扉１３４は、これ以上閉方向に旋回動作ができなくなる。すなわち、旋回扉１３４の閉動作が制限され、全閉状態となることが防止される。

【0068】

したがって、旋回扉１３４の閉動作に伴って防止バー１０６ａを回転させることで上段載置部１０５ａから下段載置部１０５ｂに落下させる場合においても、ストッパ部１０９ａが載置部材１０２ａの下面から突出した状態から、旋回扉１３４を全閉状態とする場合には、防止バー１０６ａを持ち上げてヘッド部１０８ａを上段載置部１０５ａに載置させることが必要となる。すなわち、旋回扉１３４の全閉を行う作業者が意図的に防止バー１０６ａを引き上げて上段載置部に載置させなくてはならない。このため、作業者等が意図することなく旋回扉１３４が全閉状態となることが防止される。

【0069】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0070】

例えば、上記実施の形態においては、ヘッド部１０８（１０８ａ）が下段載置部１０５ｂに載置された状態（ストッパ部１０９（１０９ａ）が載置部材１０２（１０２ａ）の下面から突出した状態）において、受け止めプレート１１３（１１３ａ）の先端部がストッパ部１０９（１０９ａ）に接触する場合について示しているが、受け止めプレート１１３（１１３ａ）が接触する対象は、防止バー１０６（１０６ａ）の下部の一部であれば、軸部１０７（１０７ａ）であってもよい。

【0071】

なお、上記実施の形態に係る防止バー１０６（１０６ａ）を構成するストッパ部１０９（１０９ａ）は、防止バー１０６（１０６ａ）を持ち上げた時の抜け防止の役割も担っている。

【産業上の利用可能性】

【0072】

以上説明したように、本発明によれば、搬送室等の部屋内に作業者が入室している場合に開閉扉が全閉状態となるのを制限することができるという効果を有し、特に、開閉扉の開閉状態に応じて搬送ロボット等への電源供給を制御する搬送室等の開閉扉の全閉防止機構に有用である。

【符号の説明】

【0073】

Ｗ ウェーハ
Ｃ カセット
１０ ウェーハ加工装置
１３ 搬送モジュール
１３０ 搬送室
１３１ 開閉扉
１３２ スライド扉
１３３ スライドレール
１３４ 旋回扉
１００ 全閉防止機構
１０１、１０１ａ 全閉防止手段
１０２、１０２ａ 載置部材
１０３、１０３ａ 貫通孔
１０４、１０４ａ 凹部
１０５ａ 上段載置部
１０５ｂ 下段載置部
１０６、１０６ａ 防止バー
１０７、１０７ａ 軸部
１０８、１０８ａ ヘッド部
１０９、１０９ａ ストッパ部
１１０、１１０ａ 作用手段
１１１ 基部
１１２ 作用部
１１２ａ ネック部
１１２ｂ、１１２ｃ 接触部
１１３、１１３ａ 受け止めプレート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】