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特許6185139誘導自己組織化用途向け溶媒アニーリング処理
発明の名称 誘導自己組織化用途向け溶媒アニーリング処理
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 29 位（234件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25 位（239件）（共同出願を含む）
出願人 トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド （識別番号 514028776）
特許公開件数ランキング 14682 位（11件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6185139
公報発行日 2017年8月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6185139
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