特許 6189208 ウエーハの加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6189208

(24)【登録日】2017年8月10日

(45)【発行日】2017年8月30日

(54)【発明の名称】ウエーハの加工方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20170821BHJP

   B23K 26/364 20140101ALI20170821BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 Q

   H01L21/78 B

   H01L21/78 X

   B23K26/364

【請求項の数】3

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-268612(P2013-268612)

(22)【出願日】2013年12月26日

(65)【公開番号】特開2015-126054(P2015-126054A)

(43)【公開日】2015年7月6日

【審査請求日】2016年10月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100186897

【弁理士】

【氏名又は名称】平川 さやか

(72)【発明者】

【氏名】内田 文雄

(72)【発明者】

【氏名】堤 義弘

【審査官】 梶尾 誠哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−１７３４７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−８８２５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平９−１７１９７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２８９７７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２３Ｋ ２６／３６４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の表面に積層された機能層に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハを構成する機能層に形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより機能層をアブレーション加工し、機能層を分割予定ラインに沿って切断するレーザー加工溝を形成する機能層切断工程と、
該機能層切断工程が実施されたウエーハを構成する機能層の表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
該保護部材貼着工程が実施されたウエーハの該保護部材側をチャックテーブルに保持し、ウエーハを構成する基板の裏面側から分割予定ラインと対応する領域に切削ブレードを位置付けて機能層に至らない切削溝を形成する切削溝形成工程と、
該切削溝形成工程が実施されたウエーハを構成する基板の裏面にダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するとともに、該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施されたウエーハを構成する基板の裏面が貼着されたダイシングテープを拡張してデバイス間を広げるテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。

【請求項2】

該切削溝形成工程においては機能層を切断した該レーザー加工溝の底に達しない該切削溝を形成し、該拡張工程においてはダイシングテープを拡張してウエーハを個々のデバイスに分割する、請求項１記載のウエーハの加工方法。

【請求項3】

該切削溝形成工程においては機能層を切断した該レーザー加工溝の底に達する該切削溝を形成することにより、ウエーハを個々のデバイスに分割する、請求項１記載のウエーハの加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の表面に積層された機能層に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法に関する。

【背景技術】

【0002】

当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、シリコン等の基板の表面に絶縁膜と機能膜が積層された機能層によって複数のＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスをマトリックス状に形成した半導体ウエーハが形成される。このように形成された半導体ウエーハは上記デバイスが格子状に形成された分割予定ラインによって区画されており、この分割予定ラインに沿って分割することによって個々の半導体デバイスを製造している。

【0003】

近時においては、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体デバイスの処理能力を向上するために、シリコン等の基板の表面にＳｉＯＦ、ＢＳＧ（ＳｉＯＢ）等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体被膜（Ｌｏｗ−ｋ膜）が積層された機能層によって半導体デバイスを形成せしめた形態の半導体ウエーハが実用化されている。

【0004】

このような半導体ウエーハの分割予定ラインに沿った分割は、通常、ダイサーと呼ばれている切削装置によって行われている。この切削装置は、被加工物である半導体ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる移動手段とを具備している。切削手段は、高速回転せしめられる回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードを含んでいる。切削ブレードは円盤状の基台と該基台の側面外周部に装着された環状の切れ刃からなっており、切れ刃は例えば粒径３μｍ程度のダイヤモンド砥粒を電鋳によって固定して３０μm程の厚さに形成されている。

【0005】

しかるに、上述したＬｏｗ−ｋ膜は、切削ブレードによって切削することが困難である。即ち、Ｌｏｗ−ｋ膜は雲母のように非常に脆いことから、切削ブレードにより分割予定ラインに沿って切削すると、Ｌｏｗ−ｋ膜が剥離し、この剥離が回路にまで達しデバイスに致命的な損傷を与えるという問題がある。

【0006】

上記問題を解消するために、半導体ウエーハに形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射し、分割予定ラインに沿ってレーザー加工溝を形成して機能層を分断し、このレーザー加工溝に切削ブレードを位置付けて切削ブレードと半導体ウエーハを相対移動することにより、半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断するウエーハの分割方法が下記特許文献１に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００５−６４２３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

而して、上記特許文献１に記載されたように半導体ウエーハに形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより分割予定ラインに沿ってレーザー加工溝を形成して機能層を分断し、このレーザー加工溝に切削ブレードを位置付けて半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断するウエーハの分割方法は、次のような問題がある。
（１）レーザー加工溝の幅が十分であってもレーザー加工溝の側面に付着した溶融物に切削ブレードが接触して突発的にデバイスの外周に欠けが生ずる。
（２）レーザー加工溝を形成する際に機能層の除去が不十分であると切削ブレードのズレや倒れが発生してデバイスの機能層に剥離が生じる。
（３）切削ブレードの幅を超える範囲でレーザー加工溝を形成するために、分割予定ラインの幅を広くする必要があり、ウエーハに形成されるデバイスの数が減少する。

【0009】

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、基板の表面に積層された機能層に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハを、上記問題を解消して個々のデバイスに分割することができるウエーハの加工方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記主たる技術的課題を解決するため、本発明によれば、基板の表面に積層された機能層に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハを構成する機能層に形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより機能層をアブレーション加工し、機能層を分割予定ラインに沿って切断するレーザー加工溝を形成する機能層切断工程と、
該機能層切断工程が実施されたウエーハを構成する機能層の表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
該保護部材貼着工程が実施されたウエーハの該保護部材側をチャックテーブルに保持し、ウエーハを構成する基板の裏面側から分割予定ラインと対応する領域に切削ブレードを位置付けて機能層に至らない切削溝を形成する切削溝形成工程と、
該切削溝形成工程が実施されたウエーハを構成する基板の裏面にダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するとともに、該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施されたウエーハを構成する基板の裏面が貼着されたダイシングテープを拡張してデバイス間を広げるテープ拡張工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。

【0011】

上記切削溝形成工程においては機能層を切断したレーザー加工溝の底に達しない切削溝を形成し、上記拡張工程においてはダイシングテープを拡張してウエーハを個々のデバイスに分割する。
また、上記切削溝形成工程においては機能層を切断したレーザー加工溝の底に達する切削溝を形成することにより、ウエーハを個々のデバイスに分割する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によるウエーハの加工方法においては、ウエーハを構成する機能層に形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより機能層をアブレーション加工し、機能層を分割予定ラインに沿って切断するレーザー加工溝を形成する機能層切断工程と、機能層切断工程が実施されたウエーハを構成する機能層の表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、保護部材貼着工程が実施されたウエーハの該保護部材側をチャックテーブルに保持し、ウエーハを構成する基板の裏面側から分割予定ラインと対応する領域に切削ブレードを位置付けて機能層に至らない切削溝を形成する切削溝形成工程と、切削溝形成工程が実施されたウエーハを構成する基板の裏面にダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するとともに、保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、ウエーハ支持工程が実施されたウエーハを構成する基板の裏面が貼着されたダイシングテープを拡張してデバイス間を広げるテープ拡張工程とを含んでいるので、次の作用効果が得られる。
（１）レーザー加工工程によるアブレーション加工によって機能層に形成されるレーザー加工溝の側面に溶融物が付着しても、レーザー加工溝を切削ブレードで切削しないので、切削ブレードの接触によって突発的にデバイスの外周に欠けが生じるという問題が解消する。
（２）レーザー加工工程によるアブレーション加工における機能層の除去が不十分であっても、基板の裏面側から形成された切削溝にレーザー加工溝が達すればウエーハを個々のデバイスに分割することができ、レーザー加工溝を切削ブレードで切削しないので、機能層に剥離が生じるという問題が解消する。
（３）切削ブレードの幅を超える幅のレーザー加工溝を形成する必要がないので、分割予定ラインの幅を狭くすることができ、ウエーハに形成することができるデバイスの数を増大することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明によるウエーハの加工方法によって分割される半導体ウエーハを示す斜視図および要部拡大断面図。

【図2】本発明によるウエーハの加工方法における機能層切断工程を実施するためのレーザー加工装置の要部斜視図。

【図3】本発明によるウエーハの加工方法における機能層切断工程の説明図。

【図4】本発明によるウエーハの加工方法における機能層切断工程の他の実施形態が実施されたウエーハの要部拡大断面図。

【図5】本発明によるウエーハの加工方法における保護部材貼着工程の説明図。

【図6】本発明によるウエーハの加工方法における切削溝形成工程を実施するための切削装置の要部斜視図。

【図7】本発明によるウエーハの加工方法における切削溝形成工程の説明図。

【図8】本発明によるウエーハの加工方法における切削溝形成工程の他の実施形態が実施されたウエーハの要部拡大断面図。

【図9】本発明によるウエーハの加工方法におけるウエーハ支持工程を示す説明図。

【図10】本発明によるウエーハの加工方法におけるテープ拡張工程を実施するためのテープ拡張装置の斜視図。

【図11】本発明によるウエーハの加工方法におけるテープ拡張工程の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明によるウエーハの加工方法について添付図面を参照して、更に詳細に説明する。

【0015】

図１の（a）および(b)には、本発明によるウエーハの加工方法によって個々のデバイスに分割される半導体ウエーハの斜視図および要部拡大断面図が示されている。図１の（a）および(b)に示す半導体ウエーハ２は、厚みが例えば１４０μmのシリコン等の基板２０の表面２０aに絶縁膜と回路を形成する機能膜が積層された機能層２１が形成されており、この機能層２１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２２によって区画された複数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス２３が形成されている。なお、図示の実施形態においては、機能層２１を形成する絶縁膜は、ＳｉＯ２膜または、ＳｉＯＦ、ＢＳＧ（ＳｉＯＢ）等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体被膜（Ｌｏｗ−ｋ膜）からなっており、厚みが１０μmに設定されている。

【0016】

上述した半導体ウエーハ２を分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法について説明する。
先ず、半導体ウエーハ２を構成する機能層２１に形成された分割予定ライン２２に沿ってレーザー光線を照射することにより機能層２１をアブレーション加工し、機能層２１を分割予定ライ２２に沿って切断するレーザー加工溝を形成する機能層切断工程を実施する。この機能層切断工程は、図２に示すレーザー加工装置３を用いて実施する。図２に示すレーザー加工装置３は、被加工物を保持するチャックテーブル３１と、該チャックテーブル３１上に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段３２と、チャックテーブル３１上に保持された被加工物を撮像する撮像手段３３を具備している。チャックテーブル３１は、被加工物を吸引保持するように構成されており、図示しない加工送り手段によって図２において矢印Ｘで示す加工送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない割り出し送り手段によって図２において矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられるようになっている。

【0017】

上記レーザー光線照射手段３２は、実質上水平に配置された円筒形状のケーシング３２１を含んでいる。ケーシング３２１内には図示しないパルスレーザー光線発振器や繰り返し周波数設定手段を備えたパルスレーザー光線発振手段が配設されている。上記ケーシング３２１の先端部には、パルスレーザー光線発振手段から発振されたパルスレーザー光線を集光するための集光器３２２が装着されている。なお、レーザー光線照射手段３２は、集光器３２２によって集光されるパルスレーザー光線の集光点位置を調整するための集光点位置調整手段（図示せず）を備えている。

【0018】

上記レーザー光線照射手段３２を構成するケーシング３２１の先端部に装着された撮像手段３３は、被加工物を照明する照明手段と、該照明手段によって照明された領域を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた像を撮像する撮像素子（ＣＣＤ）等を備え、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。

【0019】

上述したレーザー加工装置３を用いて、半導体ウエーハ２を構成する機能層２１に形成された分割予定ライン２２に沿ってレーザー光線を照射することにより機能層２１をアブレーション加工し、機能層２１を分割予定ライ２２に沿って切断するレーザー加工溝を形成する機能層切断工程について、図２および図３を参照して説明する。
先ず、上述した図２に示すレーザー加工装置３のチャックテーブル３１上に半導体ウエーハ２を構成する基板２０の裏面２０b側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハ２をチャックテーブル３１上に保持する（ウエーハ保持工程）。従って、チャックテーブル３１に保持された半導体ウエーハ２は、機能層２１の表面２１aが上側となる。このようにして、半導体ウエーハ２を吸引保持したチャックテーブル３１は、図示しない加工送り手段によって撮像手段３３の直下に位置付けられる。

【0020】

チャックテーブル３１が撮像手段３３の直下に位置付けられると、撮像手段３３および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ２のレーザー加工すべき加工領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段３３および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ２の所定方向に形成されている分割予定ライン２２と、該分割予定ライン２２に沿ってレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段３２の集光器３２２との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、レーザー光線照射位置のアライメントを遂行する（アライメント工程）。また、半導体ウエーハ２に上記所定方向と直交する方向に形成された分割予定ライン２２に対しても、同様にレーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。

【0021】

上述したアライメント工程を実施したならば、図３の（ａ）で示すようにチャックテーブル３１をレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段３２の集光器３２２が位置するレーザー光線照射領域に移動し、所定の分割予定ライン２２を集光器３２２の直下に位置付ける。このとき、図３の（ａ）で示すように半導体ウエーハ２は、分割予定ライン２２の一端(図３の（ａ）において左端)が集光器３２２の直下に位置するように位置付けられる。次に、レーザー光線照射手段３２の集光器３２２からパルスレーザー光線LBを照射しつつチャックテーブル３１を図３の（ａ）において矢印Ｘ１で示す方向に所定の加工送り速度で移動せしめる。そして、図３の（ｂ）で示すように分割予定ライン２２の他端（図３の（ｂ）において右端）が集光器３２２の直下位置に達したら、パルスレーザー光線の照射を停止するとともにチャックテーブル３１の移動を停止する。このレーザー加工溝形成工程においては、パルスレーザー光線の集光点Ｐを分割予定ライン２２の表面付近に合わせる。

【0022】

次に、チャックテーブル３１を紙面に垂直な方向（割り出し送り方向）に分割予定ライン２２の間隔だけ移動する。そして、レーザー光線照射手段３２の集光器３２２からパルスレーザー光線を照射しつつチャックテーブル３１を図３の（ｂ）において矢印Ｘ２で示す方向に所定の加工送り速度で移動せしめ、図３の（ａ）に示す位置に達したらパルスレーザー光線の照射を停止するとともにチャックテーブル３１の移動を停止する。

【0023】

上述した機能層切断工程を実施することにより、図３の（c）に示すように半導体ウエーハ２には機能層２１を切断したレーザー加工溝２１０が形成される。そして、上述した機能層切断工程を半導体ウエーハ２に形成された全ての分割予定ライン２２に沿って実施する。

【0024】

なお、上記機能層切断工程は、例えば以下の加工条件で行われる。
レーザー光線の波長 ：３５５ｎｍ
繰り返し周波数 ：２００ｋＨｚ
出力 ：２W
集光スポット径 ：φ６μｍ
加工送り速度 ：５００ｍｍ／秒

【0025】

次に、上記機能層切断工程の他の実施形態について、図４を参照して説明する。
図４に示す実施形態は、上記機能層切断工程を実施することによって形成されたレーザー加工溝２１０が、半導体ウエーハ２を構成する機能層２１を分断するとともに基板２０の表面２０aを僅かに超えて形成された例である。

【0026】

上述した機能層切断工程を実施したならば、半導体ウエーハ２を構成する機能層２１の表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程を実施する。即ち、図５の（a）および(b)に示すように半導体ウエーハ２を構成する機能層２１の表面２１aに、デバイス２３を保護するため保護部材４を貼着する（保護部材貼着工程）。なお、保護部材４は、ポリエチレンフィルム等の樹脂シートやガラス基板等の剛性を有するハードプレートを用いることができる。

【0027】

次に、上記保護部材貼着工程が実施された半導体ウエーハ２の保護部材４側をチャックテーブルに保持し、半導体ウエーハ２を構成する基板２０の裏面側から分割予定ライン２２と対応する領域に切削ブレードを位置付けて機能層２１に至らない切削溝を形成する切削溝形成工程を実施する。この切削溝形成工程は、図６に示す切削装置５を用いて実施する。図６に示す切削装置５は、被加工物を保持するチャックテーブル５１と、該チャックテーブル５１に保持された被加工物を切削する切削手段５２と、該チャックテーブル５１に保持された被加工物を撮像する撮像手段５３を具備している。チャックテーブル５１は、被加工物を吸引保持するように構成されており、図示しない加工送り手段によって図６において矢印Ｘで示す加工送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない割り出し送り手段によって矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられるようになっている。

【0028】

上記切削手段５２は、実質上水平に配置されたスピンドルハウジング５２１と、該スピンドルハウジング５２１に回転自在に支持された回転スピンドル５２２と、該回転スピンドル５２２の先端部に装着された切削ブレード５２３を含んでおり、回転スピンドル５２２がスピンドルハウジング５２１内に配設された図示しないサーボモータによって矢印５２３aで示す方向に回転せしめられるようになっている。切削ブレード５２３は、アルミニウムによって形成された円盤状の基台５２４と、該基台５２４の側面外周部に装着された環状の切れ刃５２５とからなっている。環状の切れ刃５２５は、基台５２４の側面外周部に粒径が３〜４μｍのダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固めた電鋳ブレードからなっており、図示の実施形態においては厚みが４０μｍで外径が５２mmに形成されている。

【0029】

上記撮像手段５３は、スピンドルハウジング５２１の先端部に装着されており、図示の実施形態においては可視光線によって撮像する通常の撮像素子（ＣＣＤ）の外に、被加工物に赤外線を照射する赤外線照明手段と、該赤外線照明手段によって照射された赤外線を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成されており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。

【0030】

上述した切削装置５を用いて切削溝形成工程を実施するには、図６に示すようにチャックテーブル５１上に上記保護部材貼着工程が実施され半導体ウエーハ２に貼着された保護部材４側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、保護部材４を介して半導体ウエーハ２をチャックテーブル５１上に保持する（ウエーハ保持工程）。従って、チャックテーブル５１に保持された半導体ウエーハ２は、基板２０の裏面２０bが上側となる。このようにして、半導体ウエーハ２を吸引保持したチャックテーブル５１は、図示しない加工送り手段によって撮像手段５３の直下に位置付けられる。

【0031】

チャックテーブル５１が撮像手段５３の直下に位置付けられると、撮像手段５３および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ２の切削すべき領域を検出するアライメント工程を実行する。即ち、撮像手段５３および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ２の所定方向に形成されている分割予定ライン２２と対応する領域と、切削ブレード５２３との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、切削ブレード５２３による切削領域のアライメントを遂行する（アライメント工程）。また、半導体ウエーハ２に上記所定方向と直交する方向に形成された分割予定ライン２２と対応する領域に対しても、同様に切削ブレード５２３による切削位置のアライメントが遂行される。このとき、半導体ウエーハ２の分割予定ライン２２が形成されている機能層２１の表面２１aは下側に位置しているが、撮像手段５３が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成された撮像手段を備えているので、ウエーハを構成する基板２０の裏面２０bから透かして分割予定ライン２２を撮像することができる。

【0032】

以上のようにしてチャックテーブル５１上に保持されている半導体ウエーハ２の分割予定ライン２２と対応する領域を検出し、切削領域のアライメントが行われたならば、半導体ウエーハ２を保持したチャックテーブル５１を切削領域の切削開始位置に移動する。このとき、図７の（ａ）で示すように半導体ウエーハ２は切削すべき分割予定ライン２２と対応する領域の一端（図７の（ａ）において左端）が切削ブレード５２３の直下より所定量右側に位置するように位置付けられる。

【0033】

このようにしてチャックテーブル５１即ち半導体ウエーハ２が切削加工領域の切削開始位置に位置付けられたならば、切削ブレード５２３を図７（ａ）において２点鎖線で示す待機位置から矢印Z１で示すように下方に切り込み送りし、図７の（ａ）において実線で示すように所定の切り込み送り位置に位置付ける。この切り込み送り位置は、図７の（ａ）および図７の（ｃ）に示すように切削ブレード５２３の下端が半導体ウエーハ２を構成する機能層２１に至らない位置（例えば、機能層２１が積層されている基板２０の表面２０aから裏面２０b側に５〜１０μｍの位置）に設定されている。

【0034】

次に、切削ブレード５２３を図７の（ａ）において矢印５２３aで示す方向に所定の回転速度で回転せしめ、チャックテーブル５１を図７の（ａ）において矢印Ｘ１で示す方向に所定の切削送り速度で移動せしめる。そして、チャックテーブル５１が図７の（ｂ）で示すように分割予定ライン２２に対応する位置の他端（図７の（ｂ）において右端）が切削ブレード５２３の直下より所定量左側に位置するまで達したら、チャックテーブル５１の移動を停止する。このようにチャックテーブル５１を切削送りすることにより、図７の（d）で示すように半導体ウエーハ２の基板２０には裏面２０bから表面２０a側に一部２０１を残して切削溝２２０が形成される(切削溝形成工程)。即ち、この実施形態においては、切削溝２２０は機能層２１を切断したレーザー加工溝２１０の底に達していない。

【0035】

次に、切削ブレード５２３を図７の（ｂ）において矢印Z2で示すように上昇させて２点鎖線で示す待機位置に位置付け、チャックテーブル５１を図７の（ｂ）において矢印Ｘ２で示す方向に移動して、図７の（ａ）に示す位置に戻す。そして、チャックテーブル５１を紙面に垂直な方向（割り出し送り方向）に分割予定ライン２２の間隔に相当する量だけ割り出し送りし、次に切削すべき分割予定ライン２２に対応する領域を切削ブレード５２３と対応する位置に位置付ける。このようにして、次に切削すべき分割予定ライン２２に対応する領域を切削ブレード５２３と対応する位置に位置付けたならば、上述した切削溝形成工程を実施する。

【0036】

なお、上記切削溝形成工程は、例えば以下の加工条件で行われる。
切削ブレード ：外径５２ｍｍ、厚さ４０μｍ
切削ブレードの回転速度：３００００ｒｐｍ
切削送り速度 ：５０ｍｍ／秒

【0037】

上述した切削溝形成工程を半導体ウエーハ２に形成された全ての分割予定ライン２２に対応する領域に実施する。

【0038】

次に、上記切削溝形成工程の他の実施形態について、図８を参照して説明する。
図８に示す実施形態は、上記図４に示すようにレーザー加工溝２１０が機能層２１を切断するとともに基板２０の表面２０aを僅かに超えて形成された半導体ウエーハ２に対して上記切削溝形成工程を実施した例であり、レーザー加工溝２１０の底に達する切削溝２２０が形成される。従って、半導体ウエーハ２は個々のデバイス２３に分割される。

【0039】

次に、切削溝形成工程が実施された半導体ウエーハ２を構成する基板２０の裏面２０bにダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するとともに、保護部材４を剥離するウエーハ支持工程を実施する。このウエーハ支持工程について、図９を参照して説明する。図９に示すウエーハ支持工程は、上記切削溝形成工程が実施されたチャックテーブル５１上において実施する。即ち、図９の(a)および(b)に示すようにウエーハを収容する大きさの開口部６１を備えた環状のフレーム６の裏面に開口部６１を覆うように外周部が装着されたダイシングテープ６０の表面６０a（粘着層が設けられ粘着面が形成されている）を切削溝形成工程が実施されたチャックテーブル５１に保持されている半導体ウエーハ２を構成する基板２０の裏面２０bに貼着する。そして、図９の (c)に示すように半導体ウエーハ２を構成する機能層２１の表面に貼着されている保護部材４を剥離する。

【0040】

上述したようにウエーハ支持工程を実施したならば、半導体ウエーハ２を構成する基板２０の裏面が貼着されたダイシングテープ６０を拡張してデバイス間を広げるテープ拡張工程を実施する。このテープ拡張工程は、図１０に示すテープ拡張装置７を用いて実施する。図１０に示すテープ拡張装置７は、上記環状のフレーム６を保持するフレーム保持手段７１と、該フレーム保持手段７１に保持された環状のフレーム６に装着されたダイシングテープ６０を拡張するテープ拡張手段７２と、ピックアップコレット７３を具備している。フレーム保持手段７１は、環状のフレーム保持部材７１１と、該フレーム保持部材７１１の外周に配設された固定手段としての複数のクランプ７１２とからなっている。フレーム保持部材７１１の上面は環状のフレーム６を載置する載置面７１１ａを形成しており、この載置面７１１ａ上に環状のフレーム６が載置される。そして、載置面７１１ａ上に載置された環状のフレーム６は、クランプ７１２によってフレーム保持部材７１１に固定される。このように構成されたフレーム保持手段７１は、テープ拡張手段７２によって上下方向に進退可能に支持されている。

【0041】

テープ拡張手段７２は、上記環状のフレーム保持部材７１１の内側に配設される拡張ドラム７２１を具備している。この拡張ドラム７２１は、環状のフレーム６の内径より小さく該環状のフレーム６に装着されたダイシングテープ６０に貼着される半導体ウエーハ２の外径より大きい内径および外径を有している。また、拡張ドラム７２１は、下端に支持フランジ７２２を備えている。図示の実施形態におけるテープ拡張手段７２は、上記環状のフレーム保持部材７１１を上下方向に進退可能な支持手段７２３を具備している。この支持手段７２３は、上記支持フランジ７２２上に配設された複数のエアシリンダ７２３aからなっており、そのピストンロッド７２３bが上記環状のフレーム保持部材７１１の下面に連結される。このように複数のエアシリンダ７２３aからなる支持手段７２３は、図１１の（ａ）に示すように環状のフレーム保持部材７１１を載置面７１１ａが拡張ドラム７２１の上端と略同一高さとなる基準位置と、図１１の（ｂ）に示すように拡張ドラム７２１の上端より所定量下方の拡張位置の間を上下方向に移動せしめる。

【0042】

以上のように構成されたテープ拡張装置７を用いて実施するテープ拡張工程について図１１を参照して説明する。即ち、半導体ウエーハ２が貼着されているダイシングテープ６０が装着された環状のフレーム６を、図１１の（ａ）に示すようにフレーム保持手段７１を構成するフレーム保持部材７１１の載置面７１１ａ上に載置し、クランプ７１２によってフレーム保持部材７１１に固定する（フレーム保持工程）。このとき、フレーム保持部材７１１は図１１の（ａ）に示す基準位置に位置付けられている。次に、テープ拡張手段７２を構成する支持手段７２３としての複数のエアシリンダ７２３ａを作動して、環状のフレーム保持部材７１１を図１１の（ｂ）に示す拡張位置に下降せしめる。従って、フレーム保持部材７１１の載置面７１１ａ上に固定されている環状のフレーム６も下降するため、図１１の（ｂ）に示すように環状のフレーム６に装着されたダイシングテープ６０は拡張ドラム７２１の上端縁に接して拡張せしめられる（テープ拡張工程）。この結果、ダイシングテープ６０に貼着されている半導体ウエーハ２には放射状に引張力が作用するため、図７の（d）で示すように半導体ウエーハ２の基板２０に裏面２０bから表面２０a側に一部２０１を残して切削溝２２０が形成されている場合には、残存した一部２０１が破断されるとともにデバイス間に間隔Sが形成される。また、図８に示すように半導体ウエーハ２を構成する機能層２１を分断するとともに基板２０の表面２０aを僅かに超えて形成されたレーザー加工溝２１０の底に達する切削溝２２０が形成され半導体ウエーハ２が個々のデバイス２３に分割されている場合には、個々のデバイス２３に分離されるとともにデバイス間に間隔Sが形成される。

【0043】

次に、図１１の（c）に示すようにピックアップコレット７３を作動してデバイス２３を吸着し、ダイシングテープ６０から剥離してピックアップし、図示しないトレーまたはダイボンディング工程に搬送する。なお、ピックアップ工程においては、上述したようにダイシングテープ６０に貼着されている個々のデバイス２３間の隙間Sが広げられているので、隣接するデバイス２３と接触することなく容易にピックアップすることができる。

【0044】

以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変形は可能である。上述した実施形態においてはウエーハを構成する機能層の表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程を実施した後に、ウエーハを構成する基板の裏面側から分割予定ラインと対応する領域に切削ブレードを位置付けて機能層に至らない切削溝を形成する切削溝形成工程を実施した例を示したが、保護部材貼着工程を実施した後、切削溝形成工程を実施する前にウエーハを構成する基板の裏面を研削してウエーハを所定の厚みに形成する裏面研削工程を実施してもよい。

【符号の説明】

【0045】

２：半導体ウエーハ
２０：基板
２１：機能層
２２：分割予定ライン
２３：デバイス
２１０：レーザー加工溝
２２０：切削溝
３：レーザー加工装置
３１：レーザー加工装置のチャックテーブル
３２：レーザー光線照射手段
３２２：集光器
４：保護部材
５：切削装置
５１：切削装置のチャックテーブル
５２：切削手段
５２３：切削ブレード
６：環状のフレーム
６０：ダイシングテープ
７：テープ拡張装置
７１：フレーム保持手段
７２：テープ拡張手段
７３：ピックアップコレット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】