特許 6192595 半導体製造用処理液配管継手

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6192595

(24)【登録日】2017年8月18日

(45)【発行日】2017年9月6日

(54)【発明の名称】半導体製造用処理液配管継手

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20170828BHJP

   F16L 19/00 20060101ALI20170828BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/30 564Z

   F16L19/00

   H01L21/30 569A

【請求項の数】6

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-113996(P2014-113996)

(22)【出願日】2014年6月2日

(65)【公開番号】特開2015-228437(P2015-228437A)

(43)【公開日】2015年12月17日

【審査請求日】2016年5月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096389

【弁理士】

【氏名又は名称】金本 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100095957

【弁理士】

【氏名又は名称】亀谷 美明

(74)【代理人】

【識別番号】100101557

【弁理士】

【氏名又は名称】萩原 康司

(74)【代理人】

【識別番号】100167634

【弁理士】

【氏名又は名称】扇田 尚紀

(72)【発明者】

【氏名】中島 常長

(72)【発明者】

【氏名】西田 雄一

【審査官】 田口 孝明

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０３−１０６７２９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１０−３１８４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−００２４６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０６４４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−２４３５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０８１６４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６０−１３１６１６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭６３−１４０６２３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００３−３４３７７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−９２２３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２５５７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２３３７８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

ＩＰＣ Ｈ０１Ｌ ２１／０２７、

Ｆ１６Ｌ １９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部を流れる半導体製造用の処理液が正圧となる配管に用いられ、前記配管が挿入される本体部と、前記本体部と螺合することで前記本体部に挿入される配管を締め付けて当該本体部と当該配管を接続するナット部と、を備えた半導体製造用処理液配管継手であって、
前記ナット部の外径は、前記本体部に挿入される配管の外径の２倍以上であり、
前記ナット部の外周面には、前記配管の長さ方向に沿って形成された凸状の突起部と凹状の窪み部により形成されたグリップ部が、少なくとも一箇所以上に形成され、
前記半導体製造用処理液配管継手は、前記ナット部の外周面に対して、前記ナット部を挿通する配管の長さ方向から嵌合自在に形成された円環形状のアダプタ部を更に備え、
前記アダプタ部は、前記配管の長さ方向に沿って、前記配管の直径より大きな幅を有する切り欠きが形成され、前記配管に対して着脱自在であることを特徴とする、半導体製造用処理液配管継手。

【請求項2】

前記本体部と前記ナット部には、前記ナット部の締め付け完了時に、作業者に締め付け完了を報知する締め付け確認機構が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の半導体製造用処理液配管継手。

【請求項3】

前記締め付け確認機構は、前記本体部における前記ナット部と対向する面、及び前記ナット部における前記本体部と対向する面にそれぞれ形成された、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に嵌合する凹凸部であることを特徴とする、請求項２に記載の半導体製造用処理液配管継手。

【請求項4】

前記締め付け確認機構は、前記本体部における前記ナット部と対向する面、又は前記ナット部における前記本体部と対向する面の少なくともいずれかに内蔵された、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に破裂するマイクロカプセル顔料であり、
前記ナット部は、透明な材料により形成されていることを特徴とする、請求項２に記載の半導体製造用処理液配管継手。

【請求項5】

前記本体部と前記ナット部との間に設けられ、前記ナット部の締め付け完了時に、作業者に締め付け完了を報知する締め付け確認機構を備え、
該締め付け確認機構は、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に前記本体部と前記ナット部との間で回らなくなる厚みで形成されている環状部材であることを特徴とする、請求項１に記載の半導体製造用処理液配管継手。

【請求項6】

前記ナット部及び前記本体部は、多条ねじにより螺合されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体製造用処理液配管継手。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばレジスト液などの処理液を供給する配管を接続する継手、特に半導体製造用の処理液の配管接続に用いられる継手に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば半導体デバイスの製造工程におけるフォトリソグラフィー工程では、ウェハ上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成したり、現像液を供給してレジスト膜を現像処理したりするために、様々な液処理が行われる。

【0003】

このような液処理における処理液の供給は、例えば特許文献１に示されるように、処理液を貯留した容器内を窒素等により加圧することにより行われる。図１１に示すように、容器２００の開口部には供給管２０１と一体に形成されたキャップ２０２が取り付けられ、キャップ２０２を介して容器２００内が加圧できるようになっている。そして、加圧することで容器２００から圧送された処理液は、継手２０４を介してキャップ２０２に接続された配管２０３を通じて塗布ノズルからウェハ上に供給される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１−２３３７８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、フォトリソグラフィー工程においては、上述の液処理の他に、熱処理や露光処理などの各種処理が行われる。そのため、通常のフォトリソグラフィー工程には、これら一連の処理を実行する処理ユニットや、各処理ユニット間でウェハを搬送する搬送ユニットなどを搭載した塗布現像処理システムが用いられる。

【0006】

塗布現像処理システムには、複数の液処理ユニットが設けられるため、各液処理ユニットに処理液を供給する容器も複数設置される。図１２に、塗布現像処理システムに容器２００を複数設置する場合の一例を示す。図１２に示すように、容器２００は、例えば載置ラック２１０の上下方向に多段に設けられた棚２１１上に、複数並べて設けられている。

【0007】

ところで、配管２０３には加圧された状態の処理液が流れるため、継手２０４は所定の締め付けトルクで締め付ける必要がある。そのため、高トルクで締め付けたり、トルク管理を行ったりするために、所定の工具を用いて継手２０４の分解が行われる。しかしながら、塗布現像処理システムのフットプリントを最小化するために、載置ラック２１０は最小限の大きさに構成されるのが一般的であり、工具を用いて作業をするスペースが準備されていない。

【0008】

そのため、容器２００内が空になり、当該容器２００の交換を行う際には、例えば図１２に示すように、載置ラック２１０に交換用トレイ２２０を設置し、空になった容器２００や交換用の容器２００を一旦交換用トレイ２２０に仮置きして作業を行う必要がある。したがって、容器２００の交換作業には、交換用トレイ２２０の着脱や容器２００の仮置きといった付帯作業が発生してしまい多大な時間を要してしまっていた。

【0009】

また、例えばクリーンルームのグレーチング上で作業を行う場合、容器２００の交換に用いる工具等が落下すると、グレーチング下方の機器や作業員などに工具がぶつかる恐れもある。そのため、容器２００の交換にあたっては、例えば工具を用いない交換手法の開発が望まれている。

【0010】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、処理液貯留用の容器の交換作業を、工具等を用いることなく短時間で行うことを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0011】

前記の目的を達成するため、本発明は、内部を流れる半導体製造用の処理液が正圧となる配管に用いられ、前記配管が挿入される本体部と、前記本体部と螺合することで前記本体部に挿入される配管を締め付けて当該本体部と当該配管を接続するナット部と、を備えた半導体製造用処理液配管継手であって、前記ナット部の外径は、前記本体部に挿入される配管の外径の２倍以上であり、前記ナット部の外周面には、前記配管の長さ方向に沿って形成された凸状の突起部と凹状の窪み部により形成されたグリップ部が、少なくとも一箇所以上に形成され、前記半導体製造用処理液配管継手は、前記ナット部の外周面に対して、前記ナット部を挿通する配管の長さ方向から嵌合自在に形成された円環形状のアダプタ部を更に備え、前記アダプタ部は、前記配管の長さ方向に沿って、前記配管の直径より大きな幅を有する切り欠きが形成され、前記配管に対して着脱自在であることを特徴としている。

【0012】

本発明者によれば、従来の塗布現像処理システムなどにおいて、配管と処理液貯留用の容器とを接続する継手の施工に工具を用いていたのは、配管の設計圧の決定に際して大きな安全率を見込んでおり、その結果、工具による強い締め付けトルクが必要であったからである。しかしながら、容器内を加圧する窒素などの圧力は、配管の設計圧に比べてかなり小さいため、当該設計圧を低くしてもよいことが確認されている。そこで本発明者は、配管の設計圧を従来よりも下げることで継手の締め付けに必要なトルクを低減すると共に、工具を用いずとも高いトルクで締め付けできるような継手を用いれば、処理液貯留用の容器の交換作業を、工具等を用いることなく短時間で行うことができると考えた。

【0013】

本発明は、上記のような着想に基づくものであり、本発明によれば、継手の本体部と螺合するナット部の外周部にグリップ部を形成すると共に、当該ナット部の外径を配管の外径の２倍以上とすることで、素手でナット部を締め付ける際の作業性を向上させ、素手であっても所望の締め付けトルクを発生することができる。したがって、処理液貯留用の容器と配管の接続に本発明の継手を用いることで、容器の交換にあたって工具を用いる必要がなくなり、短時間で作業を行うことが可能となる。また、容器の交換作業に工具が不要となるため、工具の落下によるグレーチング下方の機器や作業員への工具の衝突も防止することができる。

【0014】

前記本体部と前記ナット部には、前記ナット部の締め付け完了時に、作業者に締め付け完了を報知する締め付け確認機構が形成されていてもよい。

【0015】

前記締め付け確認機構は、前記本体部における前記ナット部と対向する面、及び前記ナット部における前記本体部と対向する面にそれぞれ形成された、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に嵌合する凹凸部であってもよい。

【0016】

前記締め付け確認機構は、前記本体部における前記ナット部と対向する面、又は前記ナット部における前記本体部と対向する面の少なくともいずれかに内蔵された、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に破裂するマイクロカプセル顔料であり、前記ナット部は、透明な材料により形成されていてもよい。

【0017】

前記本体部と前記ナット部との間に設けられ、前記ナット部の締め付け完了時に、作業者に締め付け完了を報知する締め付け確認機構を備え、該締め付け確認機構は、前記ナット部を締め付け完了位置まで締め込んだ際に前記本体部と前記ナット部との間で回らなくなる厚みで形成されている環状部材であってもよい。

【0019】

前記ナット部及び前記本体部は、多条ねじにより螺合されてもよい。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、処理液貯留用の容器の交換作業を、工具等を用いることなく短時間で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本実施の形態にかかる配管用継手が適用される処理液供給装置の配管系統の一例を示す配管系統図である。

【図2】本実施の形態にかかる配管用継手の構成の概略を示す斜視図である。

【図3】本体部及びナット部近傍の構成を示す拡大図である。

【図4】配管用継手を介して容器と配管が接続された状態を示す側面の説明図である。

【図5】配管用継手を容器から取り外した状態を示す側面の説明図である。

【図6】配管用継手から配管を取り外した状態を示す側面の説明図である。

【図7】他の実施の形態にかかる配管用継手の構成の概略を示す斜視図である。

【図8】他の実施の形態にかかる本体部及びナット部近傍の構成を示す拡大図である。

【図9】本実施の形態にかかるナット部を弁に対して適用した場合の説明図である。

【図10】他の実施の形態にかかる配管用継手の構成の概略を示す斜視図である。

【図11】容器に供給管が接続された状態を示す側面の説明図である。

【図12】処理液貯留用の容器が載置ラックに載置された状態を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、例えば本実施の形態にかかる配管用継手１が適用される処理液供給装置１０の配管系統の一例を示す配管系統図である。処理液供給装置１０は、例えば半導体製造用の処理液を供給するものであり、本実施の形態にかかる配管用継手１は、半導体製造用処理液の配管に用いられる継手である。

【0023】

処理液供給装置１０は、内部に処理液を貯留する容器１１と、ウェハに対して処理液を供給する供給ノズル１２と、供給ノズル１２に処理液を圧送するポンプ１３を有している。容器１１とポンプ１３との間には、処理液を一旦貯留させておくリザーバタンク１４が設けられている。リザーバタンク１４は、バッファタンクとしての役割を果たしており、容器１１から供給されるレジスト液が無くなった場合でも、リザーバタンク１４内に貯留されている処理液を供給ノズル１２に供給することができる。容器１１には、図示しないガス供給源が接続されており、当該ガス供給源から容器１１内に例えば窒素ガスを供給して加圧することで、容器１１内の処理液がリザーバタンク１４内に供給される。なお、容器１１内を加圧する際の最大圧力は、概ね１．５ＭＰａである。

【0024】

容器１１とリザーバタンク１４との間は、配管用継手１を介して配管２０、２１により接続されている。また、ポンプ１３と供給ノズル１２との間は、配管２２により接続されている。配管用継手１や配管２０、２１は、容器１１内を加圧する際の最大圧力である１．５ＭＰａに耐えられるように設計されている。

【0025】

ポンプ１３と供給ノズル１２との間には、例えばフィルタ２３が設けられており、処理液はこのフィルタ２３により濾過されて供給ノズル１２に供給される。

【0026】

配管２１における、例えばポンプ１３とリザーバタンク１４との間には、バルブ２４が設けられており、容器１１を交換する際にポンプ１３と容器１１との間を遮断することができる。また、配管２２におけるポンプと供給ノズル１２の間には、同様に系統遮断用のバルブ２５が設けられている。

【0027】

次に、本実施の形態に係る配管用継手１の構成について説明する。図２は、例えば容器１１とリザーバタンク１４との間の配管２０、２１に用いられる配管用継手１の構成の概略の一例を示す斜視図である。

【0028】

配管用継手１は、例えばその内部に配管２０、２１が挿入される本体部３０と、本体部３０の外周面に形成されたねじ３０ａと螺合する略円環状のナット部４０、４１を有している。本体部３０に挿入される配管２０、２１と本体部３０との間には、外周面がテーパ形状の、いわゆるフェルールと呼ばれる略円環状の部材が介在しており、本体部３０のねじ部３０ａにナット部４０、４１を締め込むことで、フェルールを介して本体部３０と配管２０、２１が接続されるように構成されている。なお、本体部３０のねじ部３０ａにナット部４０、４１を締め込むことで本体部３０と配管２０、２１を締め込む機構については、公知の配管継手に用いられる種々の機構を用いることができ、本実施の形態の内容に限定されるものではない。

【0029】

ナット部４０の外周面には、本体部３０に挿入される配管２０、２１の長さ方向（延伸する方向）に沿って形成された凸状の突起部４０ａと、同じく配管２０、２１の長さ方向に沿って形成された凹状の窪み部４０ｂが隣り合って設けられている。この突起部４０ａと窪み部４０ｂによりグリップ部４０ｃが形成されている。なお、図２では、グリップ部４０ｃが等間隔で５か所に設けられた状態を描図しているが、グリップ部４０ｃはナット部４０の外周面の少なくとも一箇所以上に設けられていればよい。

【0030】

ナット部４０の外径は、例えば本体部３０に挿入される配管２０の外径の例えば２倍以上に設定されており、本実施の形態では、配管２０の外径は６ｍｍであり、ナット部４０の外径は配管の外径の約２倍である１２ｍｍに設定されている。このように、ナット部４０の外周部にグリップ部４０ｃが設けられ且つナット部４０の外径を１２ｍｍ程度確保することで、作業員がしっかりとナット部４０を握りこむことができる。そのため、素手であっても所望の締め付けトルクでナット部４０を締め込むことができる。換言すれば、ナット部４０の締め付けトルクは、例えばナット部４０の回転半径と作業者がナット部４０を回す力の積により定まる。そのため、作業者がナット部４０を回す力が同じであった場合、ナット部４０の回転半径、即ちナット部４０の外径を大きくすることで、より大きなトルクを得ることができる。なお、ここでいうナット部４０の外径とは、例えば突起部４０ａの頂点を結んだ円の直径を指すのではなく、ナット部４０を作業員が握って締め付ける際に当該ナット部４０に接触する部位の直径を意味している。したがって、グリップ部４０ｃの形状や設置するグリップ部４０ｃの数によりナット部４０の外径は適宜変化するものである。即ち、例えば図２に示されるような形状のナット部４０においては、「外径」は突起部４０ａの頂点を結んだ円の直径であってもよいし、例えば図２に示されるグリップ部４０ｃが一箇所にのみ設けられた他のナット部においては、グリップ部４０ｃの付け根部分の直径、即ち窪み部４０ｂを通る円の直径であってもよい。

【0031】

ナット部４１の外周面には、例えば図２に示すように、略歯車状のグリップ部４１ａが当該ナット部４１の全周にわたって形成されている。ナット部４１の外径も、例えば本体部３０に挿入される配管２１の外径の例えば２倍以上に設定されており、本実施の形態では、配管２１の外径は６ｍｍであり、ナット部４１の外径は配管の外径の約２倍である１２ｍｍに設定されている。なお、ナット部４１における「外径」の定義についてもナット部４０と同様であり、例えば図２に示すように、細かなピッチのグリップ部４１ａが形成されている場合は、概ねグリップ部４１の頂点を結んだ円の直径が「外径」に相当する。

【0032】

本体部３０における、例えばナット部４１と対向する面には突起部３０ｂが形成されている。突起部３０ｂは、図２、図３に示すように、配管２１の長さ方向に所定の高さで突出して形成されている。また、図３に示すように、ナット部４１における本体部３０と対向する面には、突起部３０ｂと嵌合する窪み部４１ｂが形成されている。この、突起部３０ｂと窪み部４１ｂにより構成される凹凸部は、ナット部４１を本体部３０に締め込んでいき、締め付け完了となる位置までナット部４１を締め込んだ際に、突起部３０ｂと窪み部４１ｂとが嵌合するようにそれぞれ本体部３０とナット部４１に配置されている。これにより、ナット部４１を締め付け完了となる位置まで締め込むと、突起部３０ｂと窪み部４１ｂとが嵌合して、音や振動が発生する。したがって、突起部３０ｂと窪み部４１ｂは、ナット部４１の締め付け完了時に、音や振動によって作業者に対して締め付け完了を報知する締め付け確認機構として機能する。なお、図２、図３では突起部３０ｂが本体部３０に、窪み部４１ｂがナット部４１に設けられた状態を描図しているが、突起部３０ｂがナット部４１に、窪み部４１ｂが本体部３０に設けられていてもよい。また、ナット部４０にも突起部３０ｂまたは窪み部４１ｂを設け、本体部３０におけるナット部４０と対向する面に窪み部４１ｂまたは突起部３０ｂを設けてもよい。

【0033】

次に、本実施の形態にかかる配管用継手１を、図４に示すように、容器１１に設けられたキャップ２０２に接続された配管２０と、リザーバタンク１４に連通する配管２１の接続に用いた場合における、載置ラック２１０上の容器１１の交換作業について説明する。

【0034】

容器１１の交換にあたっては、配管２０または配管２１を配管用継手１から取り外す。例えば配管２０を取り外す場合は、作業員が素手でナット部４０を緩め、本体部３０から配管２０を引き抜く。これにより、例えば図５に示すように、配管用継手１と共に、配管２１が容器１１から取り外される。この際、ナット部４０にはグリップ部４０ｃが設けられ、且つナット部４０の外径を１２ｍｍ程度確保しているので、素手であっても容易にナット部４０を高トルクで回すことができ、容易にナット部４０を取り外すことができる。

【0035】

配管２１を容器１１から取り外すことで容器１１が移動自在となるので、例えば載置ラック２１０から、配管２１を外した容器１１を、例えばキャップ２０２及び配管２０と共に、新たな容器１１と入れ替える。そして、新たな容器１１の配管２０と配管用継手１を接続する。この場合、配管２０を本体部３０に挿入し、その後、ナット部４０を本体部３０に締め込むことで、配管用継手１と配管２０とが接続される。この際も、素手によりナット部４０を高トルクで締め込むことができるので、工具を用いることなく容易に作業を行うことができる。これにより、配管用継手１を介して配管２０と配管２１が接続され、容器１１の交換作業が終了する。

【0036】

以上の実施の形態によれば、ナット部４０にグリップ部４０ｃが設けられ、且つナット部４０の外径を１２ｍｍ程度確保しているので、作業員がしっかりとナット部４０を握りこむことができる。そのため、素手であっても所望の締め付けトルクでナット部４０を締め込むことが可能となり、配管用継手１による配管２０の着脱を素手で行うことができる。したがって、容器１１の交換にあたり、従来のように工具を用いて作業を行う必要がなくなる。その結果、容器１１の交換にかかる全ての作業を、容器１１を載置ラック２１０に載置した状態で行うことができる。したがって、本発明の配管用継手１を用いることで、従来のように交換用トレイ２２０の着脱を行ったり、容器１１を交換用トレイ２２０に仮置きしたりする必要がなくなり、容器１１の交換作業を短時間で行うことができる。

【0037】

また、素手で作業を行うことにより、工具が不要となるので、例えば工具の落下等のトラブルにより、クリーンルームのグレーチングの下方の機器や作業員に工具が衝突するような事態も避けることができる。

【0038】

なお、図５では、容器１１の交換にあたり配管用継手１を配管２０から取り外した状態を示しているが、容器１１の交換の際に、ナット部４０またはナット部４１のいずれを緩める（取り外す）かは、作業環境などを考慮して任意に決定されるものであり、本実施の形態の内容に限定されるものではない。したがって、容器１１の交換においては、例えば図６に示すように、容器１１側に配管用継手１を残し、配管用継手１から配管２１を取り外すようにしてもよい。かかる場合、例えばナット部４１を緩めて本体部３０から配管２１を引き抜き、容器１１を移動自在な状態とする。

【0039】

なお、上記実施の形態に示すナット部４０、４１の形状は一例に過ぎず、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。また、以上の実施の形態では、ナット部４０及びナット部４１は異なる形状であったが、当然に、ナット部４０、４１は同一の形状であってもよい。

【0040】

以上の実施の形態では、ナット部４０、４１を直接素手で回していたが、例えばナット部４０、４１を回す際の作業性を向上させ、より高トルクを発生させるために、例えば図７に示すようなアダプタ５０を用いてもよい。

【0041】

アダプタ５０は、例えば図７に示すように、配管２１の長さ方向に沿って、当該配管２１の外径より大きな幅Ｄを有する切り欠き５０ａが形成された略円環形状を有している。アダプタ５０は、この切り欠き５０ａを有していることにより、例えば配管用継手１に接続された状態の配管２１に対しても着脱自在となっている。

【0042】

アダプタ５０は、所定の凹凸形状を有するグリップ部５１と、ナット部４１の外周面、即ちナット部４１に形成されたグリップ部４１ａに対して、配管２１の長さ方向から嵌合自在な嵌合面５２が内周面に形成された接合部５３を有している。グリップ部５１は、ナット部４１の外径よりも大きな外径を有している。

【0043】

アダプタ５０を使用する際には、図７に示すように、切り欠き５０ａに配管２１を通し、例えばアダプタ５０の中心軸とナット部４１の中心軸を位置合わせして、アダプタ５０をナット部４１の方向に向けて押し込む。これにより、ナット部４１とアダプタ５０の接合部５３に設けられた嵌合面５２とが嵌合する。そして、アダプタ５０のグリップ部５１はナット部４１のグリップ部４１ａよりも大きな外径を有しているので、作業員がナット部４１とアダプタ５０とが嵌合した状態でアダプタ５０のグリップ部４１ａを握って回転させることで、ナット部４１を直接握る場合よりもさらに高い締め付けトルクを得ることができる。これにより、更に配管２０、２１接続の際の作業性が向上する。なお、アダプタ５０には、例えば図７に示すように、落下防止用のリシューコード５４などを設けてもよい。

【0044】

また、ナット部４０、４１を回す際の作業性を向上させるために、例えば本体部３０のねじ部３０ａ、及びナット部４０、４１には、二条ねじや三条ねじといった多条ねじを用いてもよい。多条ねじを用いることで、より少ない回転回数でナット部４０、４１を本体部３０に対して締め込むことができ、配管２０、２１の着脱にかかる作業をより効率的に行うことができる。

【0045】

以上の実施の形態では、締め付け確認機構として、音や振動によって作業者に対して締め付け完了を報知する突起部３０ｂと窪み部４１ｂをそれぞれ本体部３０とナット部４１に設けたが、締め付け完了を確認するための機構としては本実施の形態の内容に限定されない。例えば、マイクロカプセル顔料を、ナット部４１を締め付け完了位置まで締め込んだ際に破裂するように窪み部４１ｂの内部に配置すると共に、ナット部４１を例えばテフロン（登録商標）樹脂のような透明な部材で形成することで、ナット部４１の締め付け完了時に顔料が染みだし、ナット部４１内部やナット部４１周辺に着色するようにしてもよい。かかる場合、ナット部４１の締め付け完了を色の変化により視認できる。

【0046】

また、締め付け確認機構の他の例としては、例えば図８に示すように、ナット部４１と本体部３０との間に所定の厚みＨを有する円環状のスペーサ部材６０を挟み込むと共に、ナット部４１を所望のトルクで締め込んだ際に、スペーサ部材６０とナット部４１及び本体部３０との摩擦力により、当該スペーサ部材６０が回らなくなるように厚みＨを設定することが提案できる。かかる場合、例えばスペーサ部材６０の一部に突起部６０ａを設け、作業者が当該突起部６０ａが回るか否かを確認することで、ナット部４１の締め付け完了を確認できる。

【0047】

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。以上の実施の形態では、半導体ウェハに処理液を供給する配管系統に本発明にかかる配管用継手を用いた場合における例について説明したが、本発明は、例えば配管同士を接続する継手に限らず、例えば図９に示すように、半導体製造用の処理液の配管系統に用いられる小型の弁７０の両端部にナット部４０、４１を適用し、当該弁７０と配管２０、２１管を接続する際にも用いることができる。

【0048】

また、本実施の形態にかかる配管用継手１のナット部４０、４１等を回す作業にあたっては、工具の使用を否定するものではなく、例えば図１０に示すように、本体部３０やアダプタ５０などに、例えば六角棒スパナのような汎用の工具１００が挿入可能な開口１１０を形成し、当該開口１１０に挿入した工具１００を介してアダプタ５０を回したり、本体部３０を固定したりしてもよい。なお、当然に、開口１１０はナット部４０、４１に設けてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0049】

本発明は、処理液貯留用の容器の交換作業など、配管取り外しを伴う作業を行う際に有用である。

【符号の説明】

【0050】

１ 配管用継ぎ手
２０、２１ 配管
３０ 本体部
４０、４１ ナット部
４０ｃ グリップ部
５０ アダプタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】