特許 6199729 ウエーハ収容カセット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6199729

(24)【登録日】2017年9月1日

(45)【発行日】2017年9月20日

(54)【発明の名称】ウエーハ収容カセット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20170911BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 V

【請求項の数】1

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2013-261166(P2013-261166)

(22)【出願日】2013年12月18日

(65)【公開番号】特開2015-119026(P2015-119026A)

(43)【公開日】2015年6月25日

【審査請求日】2016年10月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100186897

【弁理士】

【氏名又は名称】平川 さやか

(72)【発明者】

【氏名】台井 暁治

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 実開昭６０−１０１７４８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０６−１２２４８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０６−００７２９０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０９−３０１４８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００５−５２１６００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５６−１３４７３９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０４−１３０４３４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実公昭５６−０１７３０１（ＪＰ，Ｙ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられた第１の側板と、内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられ該第１の側板と所定の間隔をおいて平行に配設される第２の側板と、該第１の側板の下端と該第２の側板の下端を連結する底板と、該第１の側板の上端と該第２の側板の上端を連結する天板と、該天板の後端と該底板の後端との間に配設される背板と、該第１の側板と該第２の側板と該底板と該天板の前端側に設けられる出入開口と、を具備するウエーハ収容カセットであって、
該第１の側板の下端部と該底板の一方の側部および該第２の側板の下端部と該底板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該第１の側板の上端部と該天板の一方の側部および該第２の側板の上端部と該天板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の一方は該天板の後端部または該底板の後端部の一方と回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の他方は該天板の後端部または該底板の後端部の他方と着脱可能に連結される、
ことを特徴とするウエーハ収容カセット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエーハ等のウエーハを収容するためのウエーハ収容カセットに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置やレーザー加工装置等の加工装置によってダイシングすることにより個々の半導体デバイスを製造している。

【0003】

切削装置やレーザー加工装置等の加工装置は、環状のフレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に環状のフレームに装着された保護テープを介して保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、被加工物保持手段と加工手段とを相対的に加工送り方向に加工送りする加工送り手段と、環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを複数収容するカセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台に載置されたカセットに収容されている環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを搬出して被加工物保持手段に搬送する搬送手段を具備している（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

また、環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを複数収容するカセットは、所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側壁および第２の側壁の内面にそれぞれ複数の支持溝が対向して設けられており、互いに対向する支持溝に保護テープを介してウエーハを支持する環状のフレームの両側部を挿入し、支持溝を形成する底面に環状のフレームの側部を載置することによりウエーハを収容する（例えば、特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０００−７７３６２号公報

【特許文献2】特開平９−２７９４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

近年、半導体デバイス製造における生産性を向上させるために、ウエーハの径が４５０mm、６００mmと大口径化の傾向があり、このためウエーハを収容するカセットも大きくなり保管場所に苦慮するという問題がある。
特に、切削装置やレーザー加工装置においては、ウエーハは環状のフレームに装着された保護テープに貼着して支持されることから、カセットは更に大きくなり保管場所の問題は深刻となる。

【0007】

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、ウエーハを収容しないときは折り畳むことができるウエーハ収容カセットを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられた第１の側板と、内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられ該第１の側板と所定の間隔をおいて平行に配設される第２の側板と、該第１の側板の下端と該第２の側板の下端を連結する底板と、該第１の側板の上端と該第２の側板の上端を連結する天板と、該天板の後端と該底板の後端との間に配設される背板と、該第１の側板と該第２の側板と該底板と該天板の前端側に設けられる出入開口と、を具備するウエーハ収容カセットであって、
該第１の側板の下端部と該底板の一方の側部および該第２の側板の下端部と該底板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該第１の側板の上端部と該天板の一方の側部および該第２の側板の上端部と該天板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の一方は該天板の後端部または該底板の後端部の一方と回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の他方は該天板の後端部または該底板の後端部の他方と着脱可能に連結される、
ことを特徴とするウエーハ収容カセットが提供される。

【発明の効果】

【0009】

本発明によるウエーハ収容カセットは、内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられた第１の側板と、内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられ第１の側板と所定の間隔をおいて平行に配設される第２の側板と、第１の側板の下端と第２の側板の下端を連結する底板と、第１の側板の上端と第２の側板の上端を連結する天板と、天板の後端と底板の後端との間に配設される背板と、第１の側板と該第２の側板と底板と天板の前端側に設けられる出入開口とを具備し、第１の側板の下端部と底板の一方の側部および第２の側板の下端部と底板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、第１の側板の上端部と天板の一方の側部および第２の側板の上端部と天板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、背板の上端部または下端部の一方は天板の後端部または底板の後端部の一方と回動可能にヒンジ結合され、背板の上端部または下端部の他方は天板の後端部または底板の後端部の他方と着脱可能に連結されるので、組み立てられたウエーハ収容カセットを保管する際には、背板と天板または底板との連結を解除し、第２の側板側または第１の側板側から第１の側板側または第２の側板側に全体を倒すことにより、各部材を折り畳むことができる。このようにして折り畳まれたウエーハ収容カセットは、全体の高さが第１の側板と、第２の側板と、底板と、天板の厚みの総和程度となるため、保管スペースを小さくすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明に従って構成されたウエーハ収容カセットの組み立てた状態の斜視図。

【図2】図１に示すウエーハ収容カセットを折り畳んだ状態の正面図。

【図3】図１に示すウエーハ収容カセットの構成部材を分解して示す斜視図。

【図4】図１に示すウエーハ収容カセットを構成する背板と天板との連結状態を示す要部側面図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に従って構成されたウエーハ収容カセットの好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

【0012】

図１には本発明に従って構成されたウエーハ収容カセットの組み立てた状態の斜視図が示されており、図２には図１に示すウエーハ収容カセットを折り畳んだ状態の正面図が示されており、図３には図１に示すウエーハ収容カセットの構成部材を分解して示す斜視図が示されている。図示の実施形態におけるウエーハ収容カセットは、図１に示す組み立てた状態において全体として直方体形状であり、図１に示す組み立てた状態において所定の間隔をおいて平行に配設される第１の側板２および第２の側板３と、該第１の側板２の下端と第２の側板３の下端を連結する底板４と、第１の側板２の上端と第２の側板３の上端を連結する天板５と、底板４の後端と天板５の後端との間に配設される背板６(図３参照)とを具備している。このようにウエーハ収容カセットを構成する第１の側板２と第２の側板３と底板４と天板５の前端側には、図１に示すように環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWを出し入れするための出入開口７が設けられている。

【0013】

ウエーハ収容カセットを構成する第１の側板２と第２の側板３は矩形状に形成され、その内面にはそれぞれ環状のフレームFの側部を収容するための前後方向に平行に延びる複数の支持溝２１と３１が対向して設けられている。第１の側板２および第２の側板３の下端中央部には、図３に示すようにそれぞれ連結凹部２２および３２が形成されている。このように下端中央部に連結凹部２２および３２が形成された第１の側板２および第２の側板３の下端部には、連結凹部２２および３２の両側にそれぞれ連結支持部２３、２４および３３、３４が設けられている。このようにして第１の側板２および第２の側板３の下端部にそれぞれ設けられた連結支持部２３、２４および３３、３４には、それぞれ連結ピン挿入穴２３１、２４１および３３１、３４１が形成されている。また、第１の側板２および第２の側板３の上端中央部には、それぞれ連結凹部２５および３５が形成されている。このように上端中央部に連結凹部２５および３５が形成された第１の側板２および第２の側板３の上端部には、連結凹部２５および３５の両側にそれぞれ連結支持部２６、２７および３６、３７が設けられている。このようにして第１の側板２および第２の側板３の上端部にそれぞれ設けられた連結支持部２６、２７および３６、３７には、それぞれ連結ピン挿入穴２６１、２７１および３６１、３７１が形成されている。

【0014】

上記底板４は矩形状に形成され、図３に示すように一方の側部（第１の側板２と対応する側部）における中央部には、第１の側板２の下端中央部に形成された連結凹部２２に嵌合する連結凸部４１が上方に突出して設けられている。この連結凸部４１には、連結ピン挿入穴４１１が形成されている。また、底板４の他方側部（第２の側板３と対応する側部）には、全長に渡って上方に突出する支持部４２が設けられている。この支持部４２における中央部には、第２の側板３の下端中央部に形成された連結凹部３２に嵌合する連結凸部４３が上方に突出して設けられている。この連結凸部４３には、連結ピン挿入穴４３１が形成されている。また、底板４の後端部（背板６と対応する端部）の中央部には、所定の間隔（底板４の横幅に対応する間隔）を持って一対の連結支持部４４、４５が上方に突出して設けられている。この連結支持部４４、４５には、それぞれ連結ピン挿入穴４４１および４５１が形成されている。このように形成された底板４の連結凸部４１に第１の側板２の下端中央部に設けられた連結凹部２２を嵌合し、連結凸部４１に形成された連結ピン挿入穴４１１および第１の側板２に設けられた連結支持部２３、２４に形成された連結ピン挿入穴２３１、２４１に連結ピン８１を嵌挿することにより、第１の側板２に設けられた連結支持部２３、２４と底板４に設けられた連結凸部４１は回動可能にヒンジ結合される。また、底板４の連結凸部４３に第２の側板３の下端中央部に設けられた連結凹部３２を嵌合し、連結凸部４３に形成された連結ピン挿入穴４３１および第２の側板３に設けられた連結支持部３３、３４に形成された連結ピン挿入穴３３１、３４１に連結ピン８２を嵌挿することにより、第２の側板３に設けられた連結支持部３３、３４と底板４に設けられた連結凸部４３は回動可能にヒンジ結合される。

【0015】

上記天板５は上記底板４に対応した矩形状に形成され、図３に示すように一方の側部（第１の側板２と対応する側部）には、全長に渡って下方に突出する支持部５１が設けられている。この支持部５１における中央部には、第１の側板２の上端中央部に形成された連結凹部２５に嵌合する連結凸部５２が下方に突出して設けられている。この連結凸部５２には、連結ピン挿入穴５２１が形成されている。また、天板５の他方の側部（第２の側板３と対応する側部）における中央部には、第２の側板３の上端中央部に形成された連結凹部３５に嵌合する連結凸部５３が下方に突出して設けられている。この連結凸部５３には、連結ピン挿入穴５３１が形成されている。また、天板５の後端には、図４に示すように内側(図４において右側)に突出して形成された係合凸部５４が設けられている。また、天板５の上面中央部には、所定の間隔を持って一対の連結支持部５５、５６が上方に突出して設けられている。この連結支持部５５、５６には、それぞれ連結ピン挿入穴が形成されている。この一対の連結支持部５５、５６間に把持部材５７に配設される。把持部材５７の両端部にはそれぞれ形成された連結ピン挿入穴が設けられており、この連結ピン挿入穴と上記連結支持部５５、５６に設けられた連結ピン挿入穴にそれぞれ連結ピン５７１、５７２を嵌挿することによって、把持部材５７は一対の連結支持部５５、５６に回動可能に支持される。このように形成された天板５の連結凸部５２を第１の側板２の上端中央部に設けられた連結凹部２５を嵌合し、連結凸部５２に形成された連結ピン挿入穴５２１および第１の側板２に設けられた連結支持部２６、２７に形成された連結ピン挿入穴２６１、２７１に連結ピン８３を嵌挿することにより、第１の側板２に設けられた連結支持部２６、２７と天板５に設けられた連結凸部５２は回動可能にヒンジ結合される。また、天板５の連結凸部５３を第２の側板３の上端中央部に設けられた連結凹部３５を嵌合し、連結凸部５３に形成された連結ピン挿入穴５３１および第２の側板３に設けられた連結支持部３６、３７に形成された連結ピン挿入穴３６１、３７１に連結ピン８４を嵌挿することにより、第２の側板３に設けられた連結支持部３６、３７と天板５に設けられた連結凸部５３は回動可能にヒンジ結合される。

【0016】

上記背板６は、図３に示すように下端部に連結ピン挿入穴６１を備えているとともに、上端部に上記天板５の後端に設けられた係合凸部５４と着脱可能に係合する係合凹部６２を備えている。このように形成された背板６は、下端部を底板４の後端部に配設された一対の連結支持部４４、４５間に位置付け、下端部に形成された連結ピン挿入穴６１および一対の連結支持部４４、４５に形成された連結ピン挿入穴４４１、４５１に連結ピン８５を嵌挿することにより、一対の連結支持部４４、４５に回動可能にヒンジ結合される。そして、背板６を連結ピン８５を中心として上方に回動し、上端部に設けられた係合凹部６２を天板５の後端に設けられた係合凸部５４に着脱可能に係合することにより、図１に示すようにウエーハ収容カセットを組み立てることができる。そして、出入開口７を通して環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWを出し入れすることができる。

【0017】

上述したように組み立てられたウエーハ収容カセットを保管する際には、背板６を連結ピン８５を中心として係合凹部６２が天板５の後端に設けられた係合凸部５４との係合を解除する方向に回動するとともに、第２の側板３側から第１の側板２側に全体を倒すことにより、図２に示すように各部材を折り畳むことができる。このようにして折り畳まれたウエーハ収容カセットは、全体の高さが第１の側板２と、第２の側板３と、底板４と、天板５の厚みの総和程度となるため、保管スペースを小さくすることが可能となる。

【0018】

なお、上述した実施形態においては、背板６は下端部を底板４にヒンジ結合し上端部を天板５に着脱可能に連結した例を示したが、背板６は上端部を天板５にヒンジ結合し下端部を底板４に着脱可能に連結するように構成してもよい。

【符号の説明】

【0019】

２：第１の側板
２１：支持溝
３：第２の側板
３１：支持溝
４：底板
５：天板
６：背板
７：出入開口
８１、８２、８３、８４、８５：連結ピン
Ｆ：環状の支持フレーム
Ｔ：保護テープ
Ｗ：ウエーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】