特許 6204416 フィルム検査装置、フィルム検査方法、およびフィルム製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6204416

(24)【登録日】2017年9月8日

(45)【発行日】2017年9月27日

(54)【発明の名称】フィルム検査装置、フィルム検査方法、およびフィルム製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/892 20060101AFI20170914BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/892 A

【請求項の数】13

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2015-143382(P2015-143382)

(22)【出願日】2015年7月17日

(65)【公開番号】特開2017-26390(P2017-26390A)

(43)【公開日】2017年2月2日

【審査請求日】2016年11月1日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000002093

【氏名又は名称】住友化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100127498

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100146329

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 健太郎

(72)【発明者】

【氏名】田鍋 祐司

(72)【発明者】

【氏名】片岡 達哉

(72)【発明者】

【氏名】西方 源次郎

【審査官】 立澤 正樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−１９２３０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１０５８１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２３１６６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−３１３４５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−００３２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０３２０３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２２１７２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２６４７４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１５７０３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０８５２０９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８９２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する受光装置と、
上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する第１ローラーと、
を備え、
上記受光装置は、上記信号として、上記フィルムを介して戻ってきた光の強度に対応する強度の信号を生成し、
上記フィルムに欠陥が含まれている場合、
上記受光装置が生成する信号の強度のうち、上記フィルムにおける上記欠陥が含まれている箇所を介して戻ってきた光に対応する上記信号の強度は、上記フィルムにおける上記欠陥が含まれていない箇所を介して戻ってきた光に対応する上記信号の強度より小さく、
さらに、上記フィルムに対して可視光を照射する第１光源と、上記フィルムに対して紫外光または赤外光を照射する第２光源とを備え、
上記受光装置は、上記可視光と、上記紫外光または赤外光とを、上記フィルムを介して戻ってきた光として受光し、
上記受光した、上記可視光と、上記紫外光または赤外光とを比較することで上記欠陥の種類を特定することを特徴とするフィルム検査装置。

【請求項2】

フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する受光装置と、
上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する第１ローラーと、
を備え、
さらに、上記フィルムに対して可視光を照射する第１光源と、上記フィルムに対して紫外光または赤外光を照射する第２光源とを備え、
上記受光装置は、上記可視光と、上記紫外光または赤外光とを、上記フィルムを介して戻ってきた光として受光し、
上記受光した、上記可視光と、上記紫外光または赤外光とを比較することで上記欠陥の種類を特定することを特徴とするフィルム検査装置。

【請求項3】

上記第１ローラーは、上記フィルムにおける、上記受光装置の光軸が通る部分を支持していることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム検査装置。

【請求項4】

上記第１ローラーは、上記受光装置に対して上記フィルムを介して対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のフィルム検査装置。

【請求項5】

上記受光装置が受光する光は、上記フィルムを透過し上記第１ローラーによって反射または散乱され再度上記フィルムを透過して戻ってきた光を含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。

【請求項6】

上記第１ローラーの上記フィルムに接する外周面は、白色であることを特徴とする請求項５に記載のフィルム検査装置。

【請求項7】

上記フィルムの搬送経路にそった上記第１ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第１ローラーと同じ側に配置された第２ローラーをさらに備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。

【請求項8】

上記フィルムの搬送経路にそった上記第１ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第１ローラーとは反対側に配置された第２ローラーをさらに備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。

【請求項9】

上記第２ローラーは、
上記フィルムの搬送経路にそった上記第１ローラーの直前の位置に配置されており、
上記フィルムを上記第２ローラーの回転軸方向に伸ばす形状または機構を有する、
ことを特徴とする請求項７または８に記載のフィルム検査装置。

【請求項10】

上記第１ローラーは、上記フィルムを上記第１ローラーの回転軸方向に伸ばす形状を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。

【請求項11】

フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光装置によって受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、
上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含み、
上記信号を生成する工程においては、上記信号として、上記フィルムを介して戻ってきた光の強度に対応する強度の信号を生成し、
上記フィルムに欠陥が含まれている場合、
上記信号を生成する工程において生成する信号の強度のうち、上記フィルムにおける上記欠陥が含まれている箇所を介して戻ってきた光に対応する上記信号の強度は、上記フィルムにおける上記欠陥が含まれていない箇所を介して戻ってきた光に対応する上記信号の強度より小さく、
また、上記受光装置は、第１光源から上記フィルムに対して照射した可視光と、第２光源から上記フィルムに対して照射した紫外光または赤外光とを、上記フィルムを介して戻ってきた光として受光し、
上記受光した、上記可視光と、上記紫外光または赤外光とを比較することで上記欠陥の種類を特定することを特徴とするフィルム検査方法。

【請求項12】

フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光装置によって受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、
上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含み、
また、上記受光装置は、第１光源から上記フィルムに対して照射した可視光と、第２光源から上記フィルムに対して照射した紫外光または赤外光とを、上記フィルムを介して戻ってきた光として受光し、
上記受光した、上記可視光と、上記紫外光または赤外光とを比較することで上記欠陥の種類を特定することを特徴とするフィルム検査方法。

【請求項13】

請求項１１又は１２に記載のフィルム検査方法が含む各工程と、
上記生成する工程において生成された信号に基づき検査した上記フィルムの欠陥部位を除去する工程と、
を含むことを特徴とするフィルム製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送中のフィルムの欠陥検査に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送中のフィルムの欠陥検査には、光学的な手法が用いられることが多い。特許文献１には、光源からフィルムなどの被検査物に対して可視光と不可視光とを照射し、被検査物が反射するこれらの光を受光することにより、被検査物の欠陥を検査する欠陥検査が開示されている。特許文献２には、フィルム両面に照射した光をカメラで撮像し、その画像を画像処理する欠陥検査を用いることが記載されている。光の反射を用いたフィルムの欠陥検査では、光源と受光装置とをフィルムに対して同じ側へ配置し、光源からフィルムへ照射されて異物などの欠陥によって反射された光を受光装置に集光している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４−２０９１０号公報（2014年2月3日公開）

【特許文献2】特開２００８−１１６４３７号公報（2008年5月22日公開）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

搬送中のフィルムはフィルム面に垂直な方向へ変位する、いわゆる「バタつく」ことが多い。フィルムの長手方向に張力をかけることで、この変位をある程度抑制できる。しかし、この張力は、大きくなるほど搬送中のフィルムが伸びる、または破断する虞も大きくなるため、ある程度以下にとどめなければならない。そして、フィルムがバタつくと、受光装置に集光される反射光の強度がフィルム欠陥とは無関係に変動するため、正確な検査結果を得られなくなる。特に、フィルムが機械的強度の低い多孔質の二次電池用セパレータなどであるときには、この傾向は顕著である。特許文献１および２の従来技術では、この問題が考慮されていない。本発明は、以上の問題に鑑み、搬送中のフィルムの欠陥を正確に測定することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の課題を解決するために、本発明のフィルム検査装置は、フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する受光装置と、上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する第１ローラーとを備える。

【0006】

上記構成によれば、受光装置は、フィルムに対して照射され、フィルムを介して戻ってきた光を受光する。このフィルムは、受光装置の視野内において受光装置とは反対側から第１ローラーにより支持されつつ搬送されている。

【0007】

そのため、受光装置が受光する光には、フィルムのうち、第１ローラーによって支持された部分、すなわち、受光装置に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介して戻ってきた光が含まれることになる。その結果、上記構成によれば、第１ローラーを備えない構成と比較して、受光装置が受光する光において、フィルム欠陥とは無関係な光強度の変動が起こりにくくなる。よって、このフィルム検査装置では、第１ローラーを備えない従来のフィルム検査装置と比較して、受光装置が、より正確にフィルムの欠陥を反映した信号を出力できる。

【0008】

したがって、上記フィルム検査装置は、従来よりも正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0009】

なお、上記「フィルムを介して戻ってきた光」には、フィルムの表面または内部において反射されることにより戻ってきた光、フィルムの表面または内部において散乱されることにより戻ってきた光、フィルムを透過し第１ローラーによって反射または散乱され再度フィルムを透過して戻ってきた光などが該当する。

【0010】

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第１ローラーは、上記フィルムにおける、上記受光装置の光軸が通る部分を支持していることが望ましい。

【0011】

上記構成によれば、受光装置が受光する光において、フィルムのうち、受光装置に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介して戻ってきた光の割合が大きくなる。そのため、上記フィルム欠陥とは無関係な光強度の変動がより起こりにくくなる。

【0012】

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第１ローラーは、上記受光装置に対して上記フィルムを介して対向する位置に配置されていることが望ましい。

【0013】

上記構成によれば、受光装置が受光する光において、フィルムのうち、受光装置に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介して戻ってきた光の割合がさらに大きくなる。そのため、上記フィルム欠陥とは無関係な光強度の変動がさらにより起こりにくくなる。

【0014】

また、本発明のフィルム検査装置では、上記受光装置が受光する光は、上記フィルムを透過し上記第１ローラーによって反射または散乱され再度上記フィルムを透過して戻ってきた光を含むことが望ましい。

【0015】

上記構成によれば、上記第１ローラーを反射ローラーとして機能させることができる。そのため、上記第１ローラーの上記フィルムに接する外周面の特性（色、表面粗さ等）を調整することにより、受光装置が受光する光において、フィルムの正常部分と欠陥部分とのコントラストを高めたり、当該光に含まれるノイズ成分を低減したりすることができる。その結果、上記フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0016】

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第１ローラーの上記フィルムに接する外周面は、白色であることが望ましい。

【0017】

フィルムの異物は、暗い色であることが多い。上記構成によれば、上述したコントラストを高めることができるため、上記フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0018】

また、本発明のフィルム検査装置は、上記フィルムの搬送経路にそった上記第１ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第１ローラーと同じ側に配置された第２ローラーをさらに備えることが望ましい。

【0019】

上記構成によれば、第１ローラーと第２ローラーとが、フィルムに対して同じ側に配置される。このため、受光装置を設ける空間を広く確保できる。よって、上記フィルム検査装置では、受光装置を設けるときの自由度が高まる。

【0020】

また、本発明のフィルム検査装置は、上記フィルムの搬送経路にそった上記第１ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第１ローラーとは反対側に配置された第２ローラーをさらに備えることが望ましい。

【0021】

上記構成によれば、第２ローラーはフィルムを第１ローラーに押し付けるように作用するので、フィルムの受光装置に対する位置および姿勢の変化がより抑制される。よって、上記フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0022】

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第２ローラーは、上記フィルムの搬送経路にそった上記第１ローラーの直前の位置に配置されており、上記フィルムを上記第２ローラーの回転軸方向に伸ばす形状または機構を有することが望ましい。

【0023】

上記構成によれば、フィルムが第１ローラーまで搬送される前に、第２ローラーによって確実にフィルムのしわなどが伸ばされる。ゆえに、このフィルム検査装置では、確実に、フィルムの欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0024】

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第１ローラーは、上記フィルムを上記第１ローラーの回転軸方向に伸ばす形状を有することが望ましい。

【0025】

上記構成によれば、第１ローラーは、搬送中にフィルムに生じたしわなどを伸ばすことができる。その結果、フィルムにおけるしわなどの発生を抑制し、表面状態をより一定に近づけることができる。よって、上記フィルム検査装置では、フィルムの欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0026】

本発明のフィルム検査方法は、フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光装置によって受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含む。

【0027】

上記方法によれば、従来よりも正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0028】

本発明のフィルム製造方法は、上述のフィルム検査方法が含む各工程と、上記生成する工程において生成された信号に基づき検査した上記フィルムの欠陥部位を除去する工程とを含む。

【0029】

上記製造方法によれば、従来よりも欠陥の少ないフィルムを製造できる。

【発明の効果】

【0030】

本発明は、従来よりも正確にフィルムの欠陥を検査できるという効果を奏する。また、本発明は、従来よりも欠陥の少ないフィルムを製造できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】実施形態１のフィルム検査装置の構成を示す側面図・断面図である。

【図2】図１に示されるフィルム検査装置の受光装置が出力する電気信号のグラフである。

【図3】図１に示されるフィルム検査装置の受光装置と反射ローラーとがとり得る配置・姿勢を説明する側面図である。

【図4】実施形態２のフィルム検査装置の構成を示す側面図である。

【図5】実施形態３のフィルム検査装置の構成を示す断面図である。

【図6】図１に示されるフィルム検査装置の変形例を示す側面図である。

【図7】図１に示されるフィルム検査装置の他の変形例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0032】

〔実施形態１〕
《フィルム検査装置１の構成》
図１は、本実施形態のフィルム検査装置１の構成を示す図であって、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は（ａ）の受光装置１２と反射ローラー１３（第１ローラー）とを含む面の断面図である。なお、図１に示されるＸＹＺ軸は、他の図に示されるＸＹＺ軸に対応している。

【0033】

フィルム検査装置１は、Ｙ軸正方向側に搬送中のフィルム２の欠陥を検査する装置である。図１の（ａ）（ｂ）に示されるように、フィルム検査装置１は、光源１１ａ・１１ｂと、受光装置１２と、反射ローラー１３と、検査部１４と、搬送ローラー３ａ・３ｂ（第２ローラー）とを備える。なお、図１の（ｂ）では、図を簡潔にするために、光源１１ａ・１１ｂは破線で示されており、搬送ローラー３ａ・３ｂは省略されている。

【0034】

（フィルム２）
フィルム２は、二次電池用セパレータに加工する前の無孔フィルムである。なお、二次電池用セパレータとは、例えばリチウムイオン二次電池の正極と負極との間を分離しつつ、これらの間におけるリチウムイオンの移動を可能にする多孔質フィルムである。

【0035】

具体的には、フィルム２は、超高分子量ポリエチレンと、無機充填剤（フィラー：例えば、炭酸カルシウム、シリカ）または可塑剤（例えば、低分子量ポリオレフィン、流動パラフィン）とを混練して得たポリエチレン樹脂組成物を成形したフィルムである。このポリエチレン樹脂組成物は、例えば、超高分子量ポリエチレン１００重量部と、無機充填剤１００〜４００重量部と、重量平均分子量１万以下の低分子量ポリオレフィン５〜２００重量部とを混練して得る。

【0036】

なお、フィルム検査装置１の検査対象は、上述のフィルム２に限定されず、以下に列挙するものであってもよい。検査対象は、光をある程度透過するものが望ましい。この場合、後述する「反射ローラー１３の外周面の色・表面粗さの影響」の項において説明する反射ローラー１３による効果（検査光に対応する電気信号において、フィルム２の正常部分と欠陥部分とのコントラストを高めたり、ノイズ成分を低減したりすることができる効果）が奏される。ただし、検査対象は、ある程度の厚みを有する金属フィルム等、全く光を透過しないフィルムであってもよい。この場合にも、フィルム２が検査領域において受光装置１２に対する位置および姿勢の変化が抑制されるという効果は奏される。
・上述のポリエチレン樹脂組成物を成形したフィルムから無機充填剤または可塑剤を除去したフィルム
・このフィルムを一軸または二軸延伸した延伸フィルム
・延伸フィルムにアラミドを含む溶液を塗布したフィルム、および、当該溶液から溶媒を除くことによりアラミド耐熱層を片面または両面に形成した積層フィルム
・延伸フィルムにアルミナ／カルボキシメチルセルロースを含む溶液を塗布したフィルム、および、当該溶液から溶媒を除くことによりアルミナ耐熱層を片面または両面に形成した積層フィルム
・延伸フィルムにポリフッ化ビニリデンを含む溶液を塗布したフィルム、および、当該溶液から溶媒を除くことにより接着層を片面または両面に形成した積層フィルム
・光学フィルム
・布、紙、パルプ、セルロース
上記の延伸フィルムおよび積層フィルムは二次電池用セパレータとして使用される。近年、二次電池の高容量化に伴い、二次電池用セパレータには一層の薄膜化が求められている。具体的には、膜厚５〜１０μｍの二次電池用セパレータが求められている。このようなフィルムは特に強度が低いため、搬送中にバタつく、伸びる、または破断する虞が特に大きくなる。すなわち、このような二次電池用セパレータの検査において、本発明は特に後述する優れた効果を奏する。

【0037】

（フィルム２の欠陥）
フィルム検査装置１が検査するフィルム２の欠陥は、例えばフィルム２に混入した以下に列挙する異物である。
・金属（鉄・ステンレス鋼・アルミニウム・銅・亜鉛・真鍮など）
・ゲル（超高分子量ポリエチレンなど）
・フィラー（炭酸カルシウムなど）凝集物
・油滴
・ローラー研磨材
・金属酸化物（酸化アルミ、酸化クロムなど）
・焼付き防止剤（金属塩）
以上のように、フィルム検査装置１が検査するフィルム２の異物は、フィルム２とは光学的特性が異なるものである。なお、フィルム２の穴・しわ・むらなども、フィルム検査装置１が検査するフィルム２の欠陥に含まれる。

【0038】

（搬送ローラー３ａ・３ｂ）
搬送ローラー３ａ・３ｂは、フィルム２に接しかつ回転することにより、フィルム２をＹ軸方向側に搬送するローラーである。図１の（ａ）に示されるように、搬送ローラー３ａ・３ｂは、円柱形状であり、回転可能に支持されている。外部の搬送装置がフィルム２を搬送しているときには、フィルム検査装置１は、搬送ローラー３ａ・３ｂを備えていなくてもよい。なお、搬送ローラー３ａは、自身に嵌められた円筒形状のコアに巻きつけられたフィルム２を巻き出すための巻出ローラーであってもよい。また、搬送ローラー３ｂは、自身に嵌められた円筒形状のコアにフィルム２を巻き取るための巻取ローラーであってもよい。

【0039】

（光源１１ａ・１１ｂ）
光源１１ａ・１１ｂは、フィルム２へ光を照射するものである。光源１１ａが照射する光は、可視光である。光源１１ｂが照射する光は、紫外光または赤外光である。

【0040】

図１の（ｂ）に示されるように、光源１１ａ・１１ｂは、フィルム２のＸ軸方向のおおむね全体に光を照射する。なお、Ｘ軸方向は、フィルム２の長手方向と厚み方向とに垂直な方向である。また、光源１１ａ・１１ｂは、フィルム２の同一箇所に光を照射する。以上のように光を照射するために、光源１１ａ・１１ｂは、例えば、Ｘ軸方向に並ぶ複数の発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）、他の発光素子、またはＬＥＤもしくは他の発光素子と拡散板もしくは波長フィルタとを組み合わせたものを備える。

【0041】

なお、フィルム２を照射する光として、フィルム検査装置１の外部からフィルム２へ照射される光を利用可能な場合は、フィルム検査装置１としては光源１１ａ・１１ｂを備える必要はない。

【0042】

（受光装置１２）
受光装置１２は、光源１１ａ・１１ｂによってフィルム２に対して照射され、フィルム２を介してＺ軸正方向側に戻ってきた光を受光することにより、フィルム２に含まれる欠陥を検出するための信号を生成する装置である。

【0043】

なお、フィルム２から戻ってきた光には、フィルム２の表面または内部において反射された光、フィルム２の表面または内部において散乱された光、フィルム２を透過し反射ローラー１３によって反射または散乱され再度フィルム２を透過した光が含まれている。これらの光を、以下では「検査光」と称することとする。

【0044】

受光装置１２は、検査光を集光するレンズを備えており、図１の（ｂ）に示されるようにフィルム２のＸ軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。このレンズの被写界深度は、反射ローラー１３上のフィルム２の表面および裏面をおおむね含むように設定されている。

【0045】

また、受光装置１２は、２つの電荷結合素子（ＣＣＤ：Charge Coupled Device）と、これらに対応する２つの光学フィルターとをさらに備える。２つのＣＣＤは、それぞれ集光した検査光を電気信号に変換する。２つの光学フィルターは、上記２つのＣＣＤごとに備えられており、一方のＣＣＤが光源１１ａからの光成分を電気信号に変換でき、他方のＣＣＤが光源１１ｂからの光成分を電気信号に変換できるように、それぞれ特定の光のみを透過する。これにより、受光装置１２は、集光した検査光を、光源１１ａからの光の成分と、光源１１ｂからの光の成分とに分け、各成分を電気信号に変換できる。

【0046】

（反射ローラー１３）
図１の（ａ）（ｂ）に示されるように、反射ローラー１３は、受光装置１２に対してフィルム２を介して対向する位置に配置され、フィルム２のＺ軸負方向側の一面に接してフィルム２を支持し、かつフィルム２を搬送する方向へ回転している。

【0047】

そのため、受光装置１２が受光する検査光は、フィルム２のうち、反射ローラー１３によって一面から支持された部分、すなわち、受光装置１２に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介した検査光となる。

【0048】

なお、フィルム２を搬送する搬送ローラー３ａ・３ｂは、フィルム２に対して反射ローラー１３と同じ側、かつフィルム２の搬送経路にそった反射ローラー１３の直前および直後の位置にそれぞれ配置されている。

【0049】

反射ローラー１３は、光源１１ａ・１１ｂによってフィルム２に照射された光のうち、フィルム２を透過した光を反射又は散乱するものである。この反射ローラー１３におけるフィルム２に接する外周面は、つや消し処理されていない白色の塩化ビニルからなっている。具体的には、マンセル表色系で表したときに、この外周面の色相は５Ｙであり、明度は９であり、彩度は０．５である。

【0050】

（検査部１４）
図１の（ａ）（ｂ）に示されるように、検査部１４は、受光装置１２に接続されており、受光装置１２が変換した電子信号を受けとる。この電気信号は、受光装置１２がフィルム２のＸ軸方向のおおむね全体から受光した検査光の強度を反映している。検査部１４は、この電気信号から、フィルム２の欠陥を検査する。なお、フィルム検査装置１は、検査部１４と同等の機能をもつ外部の検査部に接続されてもよい。このとき、フィルム検査装置１は、検査部１４を備えなくてもよい。

【0051】

検査部１４は、集積回路（ＩＣチップ）などに形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。

【0052】

後者の場合、検査部１４は、その機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上述のプログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上述のプログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上述のプログラムを上述の記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上述の記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上述のプログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波など）を介して上述のコンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上述のプログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

【0053】

《フィルム検査装置１の動作》
（欠陥の有無の検査）
検査部１４が受光装置１２から受けとる電気信号の強度は、フィルム２からの検査光の強度に対応する。そして、フィルム２に欠陥があるときには、検査光の強度が変化する。よって、検査部１４は、あらかじめ取得した欠陥のないフィルム２からの検査光の強度に対応する電気信号を基準値として保持しておき、この基準値と、欠陥の有無を検査したいフィルム２からの検査光の強度に対応する被検査電気信号とを比較することにより、フィルム２の欠陥の有無を検査できる。例えば、検査部１４は、被検査電気信号を基準値で除算した値がある値よりも小さくなることをもって「欠陥が存在する」と欠陥の有無を検査できる。

【0054】

なお、検査部１４は、受光装置１２から複数回にわたって複数の電気信号を受けとり、これらの電気信号の平均を上述の基準値または被検査電気信号としてもよい。ここで、電気信号は、フィルム２に欠陥がないときにもフィルム２の表面状態を反映して変動する。検査部１４は、複数の電気信号を平均することにより、この変動が抑制された電気信号を得ることができる。

【0055】

（欠陥の位置の検査）
図２は、図１に示されるフィルム検査装置１の受光装置１２が出力する電気信号のグラフであって、（ａ）〜（ｄ）は表面の色または処理方法が異なる反射ローラー１３を用いたときのグラフである。これらのグラフの横軸「検査幅」は、フィルム２のＸ軸方向の位置に対応する。グラフの縦軸「信号強度」は、横軸に対応するフィルム２のＸ軸方向の位置において反射されて受光装置１２によって受光された検査光の強度に対応する。縦軸の原点の値は、受光装置１２が出力可能な電気信号の下限値である。

【0056】

図２の（ａ）に示されるように、フィルム２のＸ軸方向の中央部からの検査光の強度は、フィルム２のＸ軸方向の端部からの検査光の強度よりも小さい。よって、検査部１４は、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号を受けとり「検査光の光量を減少させる欠陥が、フィルム２のＸ軸方向の中央部に存在する」と欠陥の位置を検査できる。

【0057】

（欠陥の寸法の検査）
フィルム２の欠陥がＸ軸方向に大きくなるほど、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号の強度が小さくなる範囲は広がる。ゆえに、検査部１４は、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号の波形に基づいて欠陥のＸ軸方向の寸法を検査できる。具体的には、検査部１４は、電気信号の強度がある値よりも小さくなる検査幅の範囲を求め、受光装置１２のレンズの倍率を乗算してフィルム２のＸ軸方向の長さに変換することにより、フィルム２のＸ軸方向の寸法を検査できる。

【0058】

また、フィルム２の欠陥がＹ軸方向に大きくなるほど、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号の強度が小さくなる期間は長くなる。ゆえに、検査部１４は、連続的に受けとった図２の（ａ）のグラフに示される電気信号の波形に基づいて欠陥のＹ軸方向の寸法を検査できる。具体的には、検査部１４は、電気信号の強度がある値よりも小さくなる期間を求め、フィルム２の搬送速度を乗算してフィルム２のＹ軸方向の長さに変換することにより、フィルム２のＹ軸方向の寸法を検査できる。

【0059】

以上のように、検査部１４は、フィルム２のＸ・Ｙ軸方向の寸法を検査できる。

【0060】

（欠陥の種類の検査）
フィルム２の欠陥の種類が異なれば、光源１１ａからの可視光に対応する検査光の強度（以下「第１強度」）と、光源１１ｂからの赤外光または紫外光に対応する検査光の強度（以下「第２強度」）との間で、欠陥の有無による強度変化の度合に違いが生じる。フィルム２の欠陥が例えば金属であるときには、第１強度と第２強度とは同程度に変化することになる。一方、この欠陥が例えば油であるときには、第１強度に対して第２強度の方が変化の割合が大きくなる。よって、光源１１ａが照射する可視光の第１強度と、光源１１ｂが照射する赤外光または紫外光の第２強度とを受光装置１２が同時に測定し、検査部１４がこれらを比較することにより、フィルム２の欠陥の種類を特定できる。

【0061】

なお、この欠陥の種類の検査を行わないときには、フィルム検査装置１は、二つの光源を備えるのではなく、一つの光源を備えていればよい。

【0062】

《フィルム検査装置１の効果》
図１の（ａ）（ｂ）に示されるように、フィルム検査装置１が反射ローラー１３を備えることにより、フィルム２は、本フィルム検査装置１における検査領域において、受光装置１２に対する位置および姿勢の変化が抑制される。よって、フィルム検査装置１では、反射ローラー１３を備えない従来のフィルム検査装置と比較して、受光装置１２は、より正確にフィルム２の欠陥を反映した電気信号を出力することができる。

【0063】

したがって、フィルム検査装置１は、従来よりも正確にフィルム２の欠陥を検査できるという効果を奏する。なお、この効果は、受光装置１２と反射ローラー１３とを、図１に示されるように配置したときにのみ奏されるわけではない。

【0064】

（受光装置１２の視野と反射ローラー１３の配置との関係）
図３は、図１の（ａ）に示されるフィルム検査装置１の受光装置１２と反射ローラー１３とがとり得る配置・姿勢を説明する側面図である。なお、図３では、図を簡潔にするために、光源１１ａ・１１ｂと検査部１４と搬送ローラー３ａ・３ｂとは省略されている。

【0065】

受光装置１２は、図３において破線で示されるように、受光装置１２のレンズがＣＣＤに検査光を集光できる範囲である視野Ｖから検査光を集光する。この視野Ｖ内のフィルム２は、そのＹ軸方向中央部において、反射ローラー１３によって受光装置１２とは反対側から支持されつつ搬送されている。

【0066】

ただし、受光装置１２の視野Ｖと反射ローラー１３の配置との関係は、上記に限定されるものではなく、受光装置１２の視野内においてフィルム２が受光装置１２とは反対側から支持されつつ搬送されるようになっておればよい。

【0067】

例えば、受光装置１２を位置１２ａに移動させてもよい。この場合、視野Ｖは視野Ｖａに変化するが、視野Ｖａ内のフィルム２は、そのＹ軸方向端部において、反射ローラー１３によって受光装置１２とは反対側から支持されつつ搬送されている。なお、図３における位置１２ａは、受光装置１２に対して、Ｙ軸負方向側に移動しているが、Ｙ軸正方向側に移動させてもよい。

【0068】

また、受光装置１２を位置１２ｂに移動させるとともに姿勢を傾斜させてもよい。この場合も、視野Ｖは視野Ｖａに変化するが、上述のとおり、視野Ｖａ内のフィルム２は、そのＹ軸方向端部において、反射ローラー１３によって受光装置１２とは反対側から支持されつつ搬送されている。なお、図３における位置１２ｂは、受光装置１２に対して、Ｙ軸正方向側に移動しているが、Ｙ軸負方向側に移動させてもよい。

【0069】

これらの場合、受光装置１２が受光する検査光には、フィルム２のうち、反射ローラー１３によって支持された部分Ｐ、すなわち、受光装置１２に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分Ｐを介して戻ってきた検査光が含まれることになる。その結果、反射ローラー１３を備えない構成と比較して、受光装置１２が受光する検査光において、フィルム２の欠陥とは無関係な光強度の変動が起こりにくくなる。よって、フィルム検査装置１では、反射ローラー１３を備えない従来のフィルム検査装置と比較して、受光装置１２が、より正確にフィルム２の欠陥を反映した信号を出力できる。

【0070】

したがって、フィルム検査装置１は、従来よりも正確にフィルム２の欠陥を検査できるという効果を奏する。

【0071】

（受光装置１２の光軸と反射ローラー１３の配置との関係）
受光装置１２は、図３において一点鎖線で示されるように、受光装置１２のレンズの中心と焦点とを結んだ直線である光軸ＯＡを中心軸として検査光を集光する。この光軸ＯＡは、反射ローラー１３によって支持されたフィルム２の部分Ｐを通っている。

【0072】

また、光軸ＯＡは、反射ローラー１３の回転軸と垂直に交差する位置関係にあるが、受光装置１２を位置１２ｃに移動させるとともに姿勢を傾斜させ、光軸ＯＡが光軸ＯＡａに変化してもよい。なお、図３における位置１２ｃは、受光装置１２に対して、Ｙ軸正方向側に移動するとともにＸ軸を中心軸として右回転する方向に姿勢が傾斜しているが、Ｙ軸負方向側に移動させるとともにＸ軸を中心軸として左回転する方向に姿勢を傾斜させてもよい。

【0073】

これらの場合、受光装置１２が受光する検査光において、フィルム２のうち、受光装置１２に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分Ｐを介して戻ってきた検査光の割合が大きくなる。そのため、フィルム２の欠陥とは無関係な光強度の変動がより起こりにくくなる。

【0074】

なお、光軸ＯＡがフィルム２と反射ローラー１３との接触位置を通り、かつ反射ローラー１３の回転軸と垂直に交差する位置関係、すなわち、反射ローラー１３が受光装置１２に対してフィルム２を介して対向する位置関係にある場合、受光装置１２が受光する検査光において、フィルム２の部分Ｐを介して戻ってきた検査光の割合がさらに大きくなる。そのため、フィルム２の欠陥とは無関係な光強度の変動がさらにより起こりにくくなる。

【0075】

（反射ローラー１３の外周面の色・表面粗さの影響）
フィルム２が検査領域において受光装置１２に対する位置および姿勢の変化が抑制されるという効果は、検査光に、フィルム２を透過し反射ローラー１３によって反射または散乱され再度フィルム２を透過した光が含まれていない場合であっても、奏されるものである。

【0076】

一方、検査光に、フィルム２を透過し反射ローラー１３によって反射または散乱され再度フィルム２を透過した光が含まれている場合には、反射ローラー１３のフィルム２に接する外周面の特性（色、表面粗さ等）を調整することにより、図２の（ａ）のグラフに示されるように、検査光に対応する電気信号において、フィルム２の正常部分と欠陥部分とのコントラストを高めたり、ノイズ成分を低減したりすることができる。以下では、反射ローラー１３のフィルム２に接する外周面の特性の影響について説明する。

【0077】

上述のとおり、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号は、フィルム２に接する外周面が白色であり、つや消し処理されていない（表面粗さの小さい）反射ローラー１３を用いたときに、受光装置１２が出力する電気信号である。フィルム２の異物は、暗い色であることが多い。上記構成によれば、反射ローラー１３上で、このような異物とフィルム２とのコントラストが高まるため、フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。

【0078】

図２の（ｂ）のグラフに示される電気信号は、フィルム２に接する外周面が白色であり、つや消し処理されている反射ローラー１３を用いたときに、受光装置１２が出力する電気信号である。図２の（ｂ）のグラフに示されるように、この電気信号の波形は、検査幅の中央部では図２の（ａ）のグラフに示される電気信号の波形と同様であるものの、検査幅の端部ではノイズ成分により比較的大きく変動している。このとき、検査部１４は、上述の基準値と被検査電気信号とを比較しても、有意な差を検出できないことがある。よって、フィルム２の欠陥の検査においては、反射ローラー１３のフィルム２に接する外周面は、つや消し処理されていないことが望ましい傾向にある。

【0079】

図２の（ｃ）のグラフに示される電気信号は、フィルム２に接する外周面が灰色であり、つや消し処理されていない反射ローラー１３を用いたときに、受光装置１２が出力する電気信号である。図２の（ｃ）のグラフに示されるように、この電気信号の波形は、検査幅の中央部では「信号強度」が下限値に達している。そして「信号強度」は、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号の「信号強度」よりも、全体的に低い値である。このとき、検査部１４は、上述の基準値と被検査電気信号とを比較しても、有意な差を検出できないことがある。よって、フィルム２の欠陥の検査においては、反射ローラー１３のフィルム２に接する外周面は、白色であることが望ましい傾向にある。

【0080】

図２の（ｄ）のグラフに示される電気信号は、フィルム２に接する外周面が灰色であり、つや消し処理されている反射ローラー１３を用いたときに、受光装置１２が出力する電気信号である。図２の（ｄ）のグラフに示されるように、この電気信号の波形は、検査幅の中央部では図２の（ｃ）のグラフに示される電気信号の波形と同様であるものの、検査幅の端部では比較的大きく変動している。このとき、検査部１４は、上述の基準値と被検査電気信号とを比較しても、有意な差を検出できないことがある。よって、フィルム２の欠陥の検査においては、反射ローラー１３のフィルム２に接する外周面は、つや消し処理されていないとともに、白色であることが望ましい傾向にある。

【0081】

（フィルム検査方法）
フィルム検査装置１が実行するフィルム検査方法も本発明に含まれる。このフィルム検査方法は、フィルム２に対して照射されフィルム２を介して戻ってきた検査光を受光装置１２によって受光することにより、フィルム２に含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、受光装置１２の視野ＶまたはＶａ内においてフィルム２を受光装置１２とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含む。

【0082】

生成する工程とは、図１の（ａ）（ｂ）に示されるように光源１１ａ・１１ｂがフィルム２に照射した光を、受光装置１２が受光し、図２の（ａ）のグラフに示される電気信号を生成する工程である。搬送する工程とは、図１の（ａ）に示されるように、搬送ローラー３ａ・３ｂが規定する軌道にそってフィルム２をＹ軸正方向側に搬送する工程である。

【0083】

以上のフィルム検査方法により、従来よりも正確にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0084】

（フィルム製造方法）
上述のフィルム検査方法を用いたフィルム製造方法も本発明に含まれる。このフィルム製造方法は、上述のフィルム検査方法が含む生成する工程・搬送する工程に加え、受光する工程の受光結果に基づきフィルムの欠陥部位を除去する工程を含む。

【0085】

除去する工程は、図１の（ａ）（ｂ）に示されるフィルム検査装置１のＹ軸正方向側で実施される工程である。この除去する工程では、受光する工程の受光結果に基づき検査したフィルム２の欠陥部位を切断して除去する。切断されたフィルムは、例えば他のフィルムに繋ぎ合わされる。

【0086】

以上のフィルム製造方法により、従来よりも欠陥の少ないフィルム２を製造できる。

【0087】

〔実施形態２〕
本実施形態では、上述の実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記しその説明を省略する。後述する他の実施形態についても同様である。

【0088】

《フィルム検査装置１Ａの構成》
図４は、本実施形態のフィルム検査装置１Ａの構成を示す側面図である。図４に示されるとおり、フィルム検査装置１Ａは、フィルム検査装置１が備える部材と同一の部材を備える。しかし、フィルム検査装置１Ａでは、フィルム検査装置１とは異なり、搬送ローラー３ａ・３ｂがフィルム２のＺ軸正方向側に接している。なお、Ｚ軸正方向側は、フィルム２に対して反射ローラー１３とは反対側である。

【0089】

《フィルム検査装置１Ａの動作および効果》
フィルム検査装置１Ａは、フィルム検査装置１と同様に動作し、従来よりも正確にフィルム２の欠陥を検査できる。さらに、フィルム検査装置１Ａでは、搬送ローラー３ａ・３ｂはフィルム２を反射ローラー１３に押し付けるように作用するので、フィルム２の受光装置１２に対する位置および姿勢の変化がより抑制される。よって、フィルム検査装置１Ａは、より正確にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0090】

ただし、フィルム検査装置１では、搬送ローラー３ａ・３ｂと反射ローラー１３とが、フィルム２に対して同じ側に配置される。このため、フィルム検査装置１では、光源１１ａ・１１ｂおよび受光装置１２を設ける空間を、フィルム検査装置１Ａよりも広く確保できる。よって、フィルム検査装置１では、光源１１ａ・１１ｂおよび受光装置１２を設けるときの自由度が高まる。

【0091】

なお、フィルム検査装置１Ａを用いて実施する上述のフィルム検査方法と、このフィルム検査方法を用いた上述のフィルム製造方法とも、本発明に含まれる。

【0092】

〔実施形態３〕
《フィルム検査装置１Ｂの構成》
図５は、本実施形態のフィルム検査装置１Ｂの構成を示す断面図である。図５は、図１の（ｂ）に対応している。図５に示されるとおり、フィルム検査装置１Ｂは、凹型反射ローラー１３Ａ（第１ローラー）を除いてフィルム検査装置１が備える部材と同一の部材を備える。

【0093】

凹型反射ローラー１３Ａは、反射ローラー１３とは異なり、その回転軸方向における中央部の直径が、両端部の直径よりも徐々に小さくなっている。このような形状のローラーは「逆クラウンローラー」と呼ばれることもある。このように、凹型反射ローラー１３Ａは、フィルム２を凹型反射ローラー１３Ａの回転軸方向に伸ばす形状を有している。

【0094】

凹型反射ローラー１３Ａの中央部の深さは、両端部の直径と中央部の直径との差を２で除算した値になる。そして、フィルム２の欠陥検査において最適なこの深さは、凹型反射ローラー１３Ａの回転軸方向の長さに依存する。例えば、この回転軸方向の長さが１０００ｍｍであれば、深さは１ｍｍ以下であることが望ましい。なお、凹型反射ローラー１３Ａのフィルム２に対向する外周面は、反射ローラー１３と同様に、つや消し処理されていない白色の塩化ビニルからなるローラーである。

【0095】

《フィルム検査装置１Ｂの動作および効果》
フィルム２は、凹型反射ローラー１３Ａの回転軸方向の両端部側の外周面に接触しながら搬送される。これにより、両端部側の外周面において搬送されるフィルム２が外側に伸ばされ、搬送中にフィルム２に生じたしわなどを伸ばすことができる。その結果、フィルム２におけるしわなどの発生を抑制し、表面状態をより一定に近づけることができる。よって、フィルム検査装置１Ｂでは、フィルム２の欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0096】

なお、フィルム検査装置１Ｂの反射ローラーが凸型反射ローラーであっても、フィルム２におけるしわなどの発生を抑制し、表面状態をより一定に近づけることができる。凸型反射ローラーとは、その回転軸方向における中央部の直径が、両端部の直径よりも徐々に大きくなっている反射ローラーである。フィルム検査装置１Ｂを用いて実施する上述のフィルム検査方法と、このフィルム検査方法を用いた上述のフィルム製造方法とも、本発明に含まれる。

【0097】

（搬送ローラー３ａの凹型ローラーなどへの置換）
図１の（ａ）に示されるフィルム検査装置１の搬送ローラー３ａを凹型ローラー、凸型ローラー（クラウンローラー）、またはエキスパンダーローラーに置換したフィルム検査装置も、本発明に含まれる。つまり、搬送ローラー３ａは、フィルム２の搬送経路にそった反射ローラー１３の直前の位置に配置されており、フィルム２を搬送ローラー３ａの回転軸方向に伸ばす形状または機構を有していてもよい。このフィルム検査装置では、フィルム２が反射ローラー１３まで搬送される前に、搬送ローラー３ａによって確実にフィルム２のしわなどが伸ばされる。ゆえに、このフィルム検査装置では、確実に、フィルム２の欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0098】

また、フィルム検査装置１Ｂの搬送ローラー３ａを凹型ローラー、凸型ローラー、またはエキスパンダーローラーに置換したフィルム検査装置も、本発明に含まれる。このフィルム検査装置では、さらに確実に、フィルム２の欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0099】

ただし、搬送ローラー３ａにおいてフィルム２のしわ伸ばし機能が十分に働く場合は、しわ伸ばし機能を有する凹型反射ローラー１３Ａではなく、通常の（外周面が円柱面状の）反射ローラー１３を用いた方がよい場合もある。なぜなら、凹型反射ローラー１３Ａを用いた場合、そのしわ伸ばし機能により、検査領域内においてフィルム２のしわが伸ばされ、それに伴い検査領域内において欠陥が僅かながら変位してしまい、その結果、検査部１４において計測される欠陥の位置や寸法に誤差が含まれる場合がある。一方、通常の反射ローラー１３を用いた場合には、上記誤差は発生しにくいためである。

【0100】

〔変形例１〕
図６は、図１に示されるフィルム検査装置１の変形例を示す側面図であって、（ａ）は搬送ローラー３ｂがフィルム２に対してＺ軸正方向側に配置されたフィルム検査装置１Ｃを示し、（ｂ）は搬送ローラー３ａがフィルム２に対してＺ軸正方向側に配置されたフィルム検査装置１Ｄを示す。図６の（ａ）（ｂ）に示されるように、搬送ローラー３ａ・３ｂの一方をフィルム２に対して反射ローラー１３側に配置し、他方をフィルム２に対して反射ローラー１３とは反対側に配置したフィルム検査装置１Ｃ・１Ｄも本発明に含まれる。フィルム検査装置１Ｃ・１Ｄは、フィルム検査装置１が奏する効果と、フィルム検査装置１Ａが奏する効果とを両立した効果を奏する。

【0101】

〔変形例２〕
（複数の受光装置を備えたフィルム検査装置）
図７は、図１に示されるフィルム検査装置１の他の変形例を示す断面図であって、（ａ）は複数の受光装置１２をＸ軸方向に並べた構成を示し、（ｂ）は検出する検査光の波長が異なる一組の受光装置１２Ａ・１２ＢをＸ軸方向に並べた構成を示し、（ｃ）は複数の（ｂ）に示される受光装置１２Ａ・１２Ｂの組をＸ軸方向に並べた構成を示す。なお、図７は、図１の（ｂ）に対応している。また、図７では、図を簡潔にするために、光源１１ａ・１１ｂと検査部１４と搬送ローラー３ａ・３ｂとは省略されている。

【0102】

図７の（ａ）に示されるように、フィルム検査装置１Ｅは、複数の受光装置１２を備える。フィルム検査装置１Ｅは、受光装置１２の個数が異なる点をのぞき、フィルム検査装置１と同一の構成を備える。個々の受光装置１２は、フィルム２のＸ軸方向の一部分から検査光を集光する。複数の受光装置１２は、Ｘ軸方向に並べられることにより、総体としてフィルム２のＸ軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。なお、検査部１４は、各受光装置１２に接続されている（非図示）。

【0103】

以上の構成により、個々の受光装置１２が検査光を集光するフィルム２の範囲をせばめ、例えば受光装置１２のレンズの直径を小さくすることができる。これにより、レンズの視野の歪みおよび色収差が抑制される。ゆえに、フィルム検査装置１Ｅは、一つの受光装置１２のみを備えるフィルム検査装置１・１Ａ〜１Ｄよりも、明瞭にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0104】

図７の（ｂ）に示されるように、フィルム検査装置１Ｆは、一組の受光装置１２Ａ・１２Ｂを備える。また、フィルム検査装置１Ｆは、受光装置１２をのぞき、フィルム検査装置１と同一の構成を備える。受光装置１２Ａ・１２Ｂは、検査光を集光するレンズを備えており、フィルム２のＸ軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。

【0105】

受光装置１２は、その内部に２組のＣＣＤとこれらに対応する２組の光学フィルターを備えるものであったが、受光装置１２Ａ・１２ＢはそれぞれがＣＣＤと光学フィルターとのペアを１つずつ備えている。そして、受光装置１２Ａの光学フィルターは、光源１１ａからの検査光のみを透過する。このため、受光装置１２Ａは、光源１１ａからの検査光のみを検出できる。受光装置１２Ｂの光学フィルターは、光源１１ｂからの検査光のみを透過する。このため、受光装置１２Ｂは、光源１１ｂからの検査光のみを検出できる。以上のように、受光装置１２Ａ・１２Ｂが受光する検査光の波長は、互いに異なる。なお、検査部１４は、受光装置１２Ａ・１２Ｂに接続されている（非図示）。

【0106】

図７の（ｃ）に示されるように、フィルム検査装置１Ｇは、複数の、図７の（ｂ）に示される受光装置１２Ａ・１２Ｂの組を備える。また、フィルム検査装置１Ｇは、受光装置１２をのぞきフィルム検査装置１と同一の構成を備える。個々の受光装置１２Ａ・１２Ｂの組は、フィルム２のＸ軸方向の一部分から検査光を集光している。複数のこの組は、Ｘ軸方向に並べられることにより、総体としてフィルム２のＸ軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。なお、検査部１４は、各受光装置１２Ａ・１２Ｂに接続されている（非図示）。

【0107】

以上の構成により、フィルム検査装置１Ｇは、一つの受光装置１２のみを備える上述のフィルム検査装置１・１Ａ〜１Ｄよりも、明瞭かつ精密にフィルム２の欠陥を検査できる。

【0108】

（他の受光装置）
受光装置１２は、レンズを含む受光器と、受光器が集光した検査光を分光する分光器とを備えた構成であってもよい。この構成では、分光器は、検査光をスペクトルに分光し、光源１１ａからの光の成分と、光源１１ｂからの光の成分とに分け、各成分を電気信号に変換する。

【0109】

また、受光装置１２は、密着型センサ（ＣＩＳ；Contact Image Sensor）モジュールであってもよい。ＣＩＳモジュールは、一方向に並ぶ複数の撮像素子（例えばＣＣＤ）と、光学フィルターと、レンズアレイとを備える。光学フィルターは、撮像素子ごとに備えられており、特定の撮像素子が特定の光のみを電気信号に変換できるように、特定の光のみを透過する。レンズアレイは、上述の一方向へ小型のレンズを並べたものである。以上の構成により、ＣＩＳモジュールは、は、集光した検査光を、光源１１ａからの光の成分と、光源１１ｂからの光の成分とに分け、各成分を電気信号に変換できる。

【0110】

〔付記事項〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0111】

１・１Ａ〜１Ｇ フィルム検査装置
２ フィルム
３ａ・３ｂ 搬送ローラー（第２ローラー）
１１ａ・１１ｂ 光源
１２・１２Ａ・１２Ｂ 受光装置
１３ 反射ローラー（第１ローラー）
１３Ａ 凹型反射ローラー（第１ローラー）
１４ 検査部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】