特許6230019成膜装置及び成膜方法

発明の名称　成膜装置及び成膜方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 798 位（28件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（43件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6230019

公報発行日　2017年11月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6230019

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