特許6230184成膜装置、成膜方法及び金属酸化物薄膜の製造方法

発明の名称　成膜装置、成膜方法及び金属酸化物薄膜の製造方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 752 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 512 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6230184

公報発行日　2017年11月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6230184

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