特許 6232448出願番号 特願 2015-553358
電子銃装置及び真空蒸着装置
出願人 株式会社アルバック（識別番号 231464）
2026年 特許公開件数ランキング 635位 45件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 558位 34件（※）
公報発行日 2017年11月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6232448 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
真空蒸着法等に用いられる電子銃装置及び真空蒸着装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、２つの電子銃装置を用いて交互に蒸発材料を加熱する場合は、一方の電子銃装置を使用している際、他方の電子銃装置を停止させることとなる。或いは２つの電子銃装置のうち、一方の電子銃のみしか使用しない場合も同様である。これらの場合、当該他方の電子銃装置の加熱電流用電源やコイル用の電源等の設備が過剰となり、設備コストを上昇させる可能性があった。 以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、複数の電子ビームを発生させることが可能であり、かつ設備を簡素化することが可能な電子銃装置及び真空蒸着装置を提供することにある。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的を達成するため、本発明の一形態に係る電子銃装置は、第１のフィラメントと、第２のフィラメントと、電源ユニットと、切替ユニットと、制御部とを具備する。
第１のフィラメントは、第１の電子ビームを発生することが可能である。
第２のフィラメントは、第２の電子ビームを発生することが可能である。
電源ユニットは、第１のフィラメント及び第２のフィラメントのうちのいずれ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】本発明の第１の電子銃装置を備えた真空蒸着装置を示す概略図である。
【図2】電子銃装置の回路図である。
【図3】電子銃装置の制御部の一動作例を示すフローチャートである。
【図4】本発明の第１の実施形態の比較例に係る電子銃装置の回路図である。
【図5】本発明の第１の実施形態の参考例に係る真空蒸着装置の概略図である。
【図6】本発明の第２の電子銃装置の回路図である。
【図7】電子銃装置の接続部の構成と接続関係を示す要部回路図である。
【図8】本発明の第２の実施形態の参考例に係る電子銃装置の回路図である。
【図9】本発明の第３の電子銃装置の回路図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１００，２００，３００，５００…電子銃装置
１１０ａ，２１０ａ…第１のフィラメント
１１０ｂ，２１０ｂ…第２のフィラメント
１２０ａ，２２０ａ…第１の偏向コイル（第１の偏向器）
１２０ｂ，２２０ｂ…第２の偏向コイル（第２の偏向器）
１３０，２３０，５３０…電源ユニット
１３１，２３１…加熱電流供給部
１３２，２３２…バイアス供給部
１３３，２３３…偏向電流供給部
１３４，２３４…加熱電流用電源
１３６，２３６…第１の加熱電流回路
１３７，２３７…第１の変圧部
１４０，２４０，５４０…切替ユニット
１４１，２４１…加熱電流切替部
１４２，２４２…バイアス切替部
１４３，２４３…偏向電流切替部
１４４，２４４…第２の加熱電流回路
１４５，２４５…第２の変圧部
１５０，２５０，５５０…制御部
２６０…接続部
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