特許 6233196 太陽電池モジュールの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6233196

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】太陽電池モジュールの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 31/048 20140101AFI20171113BHJP

   C08K 3/36 20060101ALI20171113BHJP

   C08K 5/14 20060101ALI20171113BHJP

   C08L 83/07 20060101ALI20171113BHJP

【ＦＩ】

   H01L31/04 560

   C08K3/36

   C08K5/14

   C08L83/07

【請求項の数】16

【全頁数】30

(21)【出願番号】特願2014-115750(P2014-115750)

(22)【出願日】2014年6月4日

(65)【公開番号】特開2015-65403(P2015-65403A)

(43)【公開日】2015年4月9日

【審査請求日】2016年6月23日

(31)【優先権主張番号】特願2013-179827(P2013-179827)

(32)【優先日】2013年8月30日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000002060

【氏名又は名称】信越化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079304

【弁理士】

【氏名又は名称】小島 隆司

(74)【代理人】

【識別番号】100114513

【弁理士】

【氏名又は名称】重松 沙織

(74)【代理人】

【識別番号】100120721

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 克成

(74)【代理人】

【識別番号】100124590

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 武史

(74)【代理人】

【識別番号】100157831

【弁理士】

【氏名又は名称】正木 克彦

(72)【発明者】

【氏名】降籏 智欣

(72)【発明者】

【氏名】大和田 寛人

(72)【発明者】

【氏名】塚田 淳一

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 厚雄

(72)【発明者】

【氏名】柳沼 篤

(72)【発明者】

【氏名】山川 直樹

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 実

【審査官】 佐竹 政彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−０４９２２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１５３０８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１３４７６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１９２８０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１８５０２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０９８３７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１１０２２１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ３１／００−３１／０７８、３１／１８−３１／２０、

５１／４２−５１／４８

Ｈ０２Ｓ １０／００−１０／４０、３０／００−９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

透明パネルとパネルとの間、又は透明パネルとバックシートとの間に複数の太陽電池素子がマトリックス状に配置され互いに電気接続されてなる太陽電池素子マトリックスを樹脂封止して太陽電池モジュールを製造する太陽電池モジュールの製造方法において、
（工程１）ミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなり粘着性を有する未加硫のシリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施してエンボス凹部が溝状となった所定のパターンの凹凸を形成し、透明パネルの一面に該エンボス加工したシリコーンゴムシートを、そのいずれか一方の片面側のエンボス凸部を該透明パネルに押し当てると共にエンボス凹部を潰さないようにして貼り付けて、透明パネルの一面に上記エンボス加工した未加硫のシリコーンゴムシートが貼り付けられてなり、該シリコーンゴムシートの表面に所定のパターンの凹凸を有する第１積層体を用意する工程と、
（工程２）ミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなり粘着性を有する未加硫のシリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施してエンボス凹部が溝状となった所定のパターンの凹凸を形成し、パネル又はバックシートの一面に該エンボス加工したシリコーンゴムシートを、そのいずれか一方の片面側のエンボス凸部を該パネル又はバックシートに押し当てると共にエンボス凹部を潰さないようにして貼り付けて、パネル又はバックシートの一面に上記エンボス加工した未加硫のシリコーンゴムシートが貼り付けられてなり、該シリコーンゴムシートの表面に所定のパターンの凹凸を有する第２積層体を用意する工程と、
（工程３）上記第１積層体と第２積層体とを互いのシリコーンゴムシートの凹凸面を対向させて配置すると共に、その間に太陽電池素子マトリックスを配置し、その状態で減圧して上記シリコーンゴムシートのエンボス凹部を空気の抜ける通路として第１積層体、第２積層体それぞれのシリコーンゴムシートと太陽電池素子マトリックスとの間、第１積層体における透明パネルとシリコーンゴムシートとの間、第２積層体におけるパネル又はバックシートとシリコーンゴムシートとの間を脱気し、上記第１積層体及び第２積層体を加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する工程と
を有することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項2】

上記シリコーンゴムシートに形成される凹凸のパターンのエンボス凹部が直線状かつ格子状となった請求項１記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項3】

エンボス凹部の幅が０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下である請求項１又は２記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項4】

エンボス凹部の深さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である請求項１〜３のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項5】

上記エンボス加工は、表面に凹凸を設けたシート状の型部材をシリコーンゴムシートの両面に押し付けて行うものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項6】

上記型部材の表面に設けた凹凸パターンのエンボス凸部が直線状かつ格子状になっている請求項５記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項7】

上記型部材の表面に設けた凹凸のパターンは、所定の形状のエンボス単位が繋がって繰り返されたエンボス模様である請求項５又は６記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項8】

上記エンボス加工の後、シリコーンゴムシートのいずれか片面側の型部材を剥離してその面をエンボス構造の凹部分を潰さないように透明パネル、パネル又はバックシートに貼り付け、次いでシリコーンゴムシートの反対面側の型部材を剥離した後に、上記工程３を行うことを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項9】

上記シリコーンゴムシートの型部材を剥離して露出したエンボス加工面を透明パネル、パネル又はバックシートに当てた状態でゴムローラで押圧して貼り付ける請求項８記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項10】

上記シリコーンゴムシートの厚みが０．３〜２ｍｍである請求項１〜９のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項11】

上記工程３は、上記第１積層体、又は第２積層体のシリコーンゴムシート上に太陽電池素子マトリックスを載置し、上記第１積層体と第２積層体とをシリコーンゴムシートを内側にして重ね合わせ、その状態で減圧した後、減圧下で加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する工程である請求項１〜１０のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項12】

上記工程３の加熱温度は、７０〜１５０℃である請求項１〜１１のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項13】

上記バックシートは、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムの両面をフッ化ビニル樹脂フィルムで被覆した複合シートである請求項１〜１２のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項14】

上記シリコーンゴム組成物は、
（Ａ）成分として下記平均組成式（Ｉ）
Ｒ¹_aＳｉＯ_(4-a)/2 （Ｉ）
（式中、Ｒ¹は同一又は異種の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）
で表される一分子中にアルケニル基を少なくとも２個有する重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン １００質量部、
（Ｂ）比表面積が５０ｍ²／ｇ以上の補強性シリカ １０〜１５０質量部、
（Ｃ）硬化剤 （Ａ）成分を硬化させる有効量
を含むことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項15】

上記（Ｃ）成分は、オルガノハイドロジェンポリシロキサンとヒドロシリル化反応触媒の組み合わせ、又は有機過酸化物であることを特徴とする請求項１４記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【請求項16】

上記シリコーンゴム組成物の可塑度が１５０以上１，０００以下である請求項１４又は１５記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、太陽電池素子マトリックスを樹脂封止する太陽電池モジュールの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

太陽電池モジュールの高効率化及び２０年から３０年超の長期信頼性を確保するための方策として、封止材に着目した報告や提案がなされている。高効率化という点においては現在、封止材の主流であるエチレン−酢酸ビニル共重合体（以下、ＥＶＡと略す）と比較してシリコーン材料が波長３００〜４００ｎｍ付近の光透過率特性に基づく内部量子効率の優位性が報告され（例えば、非特許文献１参照）、また実際にＥＶＡとシリコーン材料を封止材に用いた際の出力電力の比較実験も報告されている（例えば、非特許文献２参照）。更に、長期信頼性という点においては、シリコーンを封止材に用いたモジュールでは、２９年の屋外曝露を経てもなお、最大出力の劣化率がわずかに−０．２２％／年であることが報告されている（例えば、非特許文献３参照）。

【0003】

元々シリコーン材料を封止材として用いることは、既に１９７０年代前半に宇宙用の太陽電池を作製する上で成し遂げられていることだが、それを地上用途向けに製造するに当たり、シリコーン材料のコストの問題や封止する際の作業性の問題があったために、当時低コストで、かつフィルムで供給可能なＥＶＡに置き換わったという経緯がある。
しかし、近年太陽電池の高効率化や長期信頼性が改めてクローズアップされると同時に、シリコーン材料の封止材としての性能、例えば、低モジュラス性、高透明性、高耐候性等が見直され、シリコーン材料を用いた新しい封止方法もさまざま提案されている。

【0004】

例えば、シリコーンシートを用いる方法としては、特表２００９−５１５３６５号公報（特許文献１）では、有機ポリシロキサン主体のホットメルトタイプのシートでの封止が提案されている。しかし、高透明性を維持したままシート状に加工するのは難しく、例えば１ｍｍ前後の厚みに加工するためには、その「脆さ」ゆえに注型法やプレス法などの加工方法に限られ、量産向きではない。また、特表２０１０−５０５６７０号公報（特許文献２）では、熱可塑性のシリコーンシートとして、ポリシロキサン−尿素系のコポリマーが提案されている。しかし、特に低波長側の透明性においてはポリシロキサンに比べて劣る可能性があり、また共重合体製造のためにコスト高になる可能性がある。

【0005】

一方、液状のシリコーン組成物（液体シリコーン材料）を用いる方法として、特表２００７−５２７１０９号公報（特許文献３）では、基板上にコーティングされた液体シリコーン材料上又は液体シリコーン材料中に、接続された太陽電池を多軸ロボットにより配置し、その後で液体シリコーン材料を硬化することにより気泡を取り込まずに封入することが提案されている。また、特表２０１１−５１４６８０号公報（特許文献４）では、移動可能なプレートを有したセルプレスを使用し、真空下で太陽電池セルを配置することにより気泡を取り込まずに封入することが提案されている。しかし、いずれの方法においても、従来の太陽電池の封止方法とは大きく異なり、現行の量産装置では対処できない可能性がある。

【0006】

また、その他には、二枚のガラスそれぞれにシリコーン組成物を塗布した後、太陽電池のセルマトリックスをそれらの間に真空下で挟み込み、加熱硬化させることが知られている。しかしながら、シリコーン組成物を塗布させた後に重ね合せ、硬化させることはその粘度が低いために塗布面を垂直、下方に向けることで、流動により膜厚ばらつきが発生するため、水平な定盤上で処理される必要があり、量産工程においては大型な装置となる。これを硬化させた後に下方に向けることで、流動を抑えることが可能となるが、シリコーン組成物を一旦硬化させると、重ね合わせても接着しないため、結局、真空下でシリコーン組成物をディスペンスさせることが求められ、大型装置の導入が必須となる。
このような工程上の煩雑さから、低モジュラスと言う特性を活かしたシリコーン材料が太陽電池モジュールの量産における適用が進展しなかった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特表２００９−５１５３６５号公報

【特許文献2】特表２０１０−５０５６７０号公報

【特許文献3】特表２００７−５２７１０９号公報

【特許文献4】特表２０１１−５１４６８０号公報

【非特許文献】

【0008】

【非特許文献1】Ｓ．Ｏｈｌ，Ｇ．Ｈａｈｎ，“Ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ｉｎｔｅｒｎａｌ ｑｕａｎｔｕｍ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｏｆ ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｅｄ ｓｏｌａｒ ｃｅｌｌ ｂｙ ｕｓｉｎｇ ｔｗｏ−ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ｓｉｌｉｃｏｎｅ ａｓ Ｅｎｃａｐｓｕｌａｎｔ ｍａｔｅｒｉａｌ”，Ｐｒｏｃ．２３ｒｄ，ＥＵ ＰＶＳＥＣ，Ｖａｌｅｎｃｉａ（２００８），ｐｐ．２６９３−２６９７

【非特許文献2】Ｂａｒｒｙ Ｋｅｔｏｌａ，Ｃｈｒｉｓ Ｓｈｉｒｋ，Ｐｈｉｌｉｐ Ｇｒｉｆｆｉｔｈ，Ｇａｂｒｉｅｌａ Ｂｕｎｅａ，“ＤＥＭＯＮＳＴＲＡＴＩＯＮ ＯＦ ＴＨＥ ＢＥＮＥＦＩＴＳ ＯＦ ＳＩＬＩＣＯＮＥ ＥＮＣＡＰＳＵＬＡＴＩＯＮ ＯＦ ＰＶ ＭＯＤＵＬＥＳ ＩＮ Ａ ＬＡＲＧＥ ＳＣＡＬＥ ＯＵＴＤＯＯＲ ＡＲＲＡＹ”，Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ

【非特許文献3】伊藤厚雄，大和田寛人，降籏智欣，金享培，山川直樹，柳沼篤，今瀧智雄，渡邉百樹，阪本貞夫：第９回次世代の太陽光発電システムシンポジウム予稿集，２０１２，ｐ．５４

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、未加硫のシリコーンゴムシートを封止材として用いて太陽電池素子マトリックスを封止する際に気泡の取り込みを抑制し、かつ従来の太陽電池モジュールの製造装置を使用して太陽電池素子を損傷することなく封止でき、更に耐久性に優れた太陽電池モジュールを製造できる太陽電池モジュールの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明は、上記目的を達成するため、下記の太陽電池モジュールの製造方法を提供する。
〔１〕 透明パネルとパネルとの間、又は透明パネルとバックシートとの間に複数の太陽電池素子がマトリックス状に配置され互いに電気接続されてなる太陽電池素子マトリックスを樹脂封止して太陽電池モジュールを製造する太陽電池モジュールの製造方法において、
（工程１）ミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなり粘着性を有する未加硫のシリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施してエンボス凹部が溝状となった所定のパターンの凹凸を形成し、透明パネルの一面に該エンボス加工したシリコーンゴムシートを、そのいずれか一方の片面側のエンボス凸部を該透明パネルに押し当てると共にエンボス凹部を潰さないようにして貼り付けて、透明パネルの一面に上記エンボス加工した未加硫のシリコーンゴムシートが貼り付けられてなり、該シリコーンゴムシートの表面に所定のパターンの凹凸を有する第１積層体を用意する工程と、
（工程２）ミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなり粘着性を有する未加硫のシリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施してエンボス凹部が溝状となった所定のパターンの凹凸を形成し、パネル又はバックシートの一面に該エンボス加工したシリコーンゴムシートを、そのいずれか一方の片面側のエンボス凸部を該パネル又はバックシートに押し当てると共にエンボス凹部を潰さないようにして貼り付けて、パネル又はバックシートの一面に上記エンボス加工した未加硫のシリコーンゴムシートが貼り付けられてなり、該シリコーンゴムシートの表面に所定のパターンの凹凸を有する第２積層体を用意する工程と、
（工程３）上記第１積層体と第２積層体とを互いのシリコーンゴムシートの凹凸面を対向させて配置すると共に、その間に太陽電池素子マトリックスを配置し、その状態で減圧して上記シリコーンゴムシートのエンボス凹部を空気の抜ける通路として第１積層体、第２積層体それぞれのシリコーンゴムシートと太陽電池素子マトリックスとの間、第１積層体における透明パネルとシリコーンゴムシートとの間、第２積層体におけるパネル又はバックシートとシリコーンゴムシートとの間を脱気し、上記第１積層体及び第２積層体を加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する工程と
を有することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
〔２〕 上記シリコーンゴムシートに形成される凹凸のパターンのエンボス凹部が直線状かつ格子状となった〔１〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔３〕 エンボス凹部の幅が０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下である〔１〕又は〔２〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔４〕 エンボス凹部の深さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である〔１〕〜〔３〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔５〕 上記エンボス加工は、表面に凹凸を設けたシート状の型部材をシリコーンゴムシートの両面に押し付けて行うものであることを特徴とする〔１〕〜〔４〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔６〕 上記型部材の表面に設けた凹凸パターンのエンボス凸部が直線状かつ格子状になっている〔５〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔７〕 上記型部材の表面に設けた凹凸のパターンは、所定の形状のエンボス単位が繋がって繰り返されたエンボス模様である〔５〕又は〔６〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔８〕 上記エンボス加工の後、シリコーンゴムシートのいずれか片面側の型部材を剥離してその面をエンボス構造の凹部分を潰さないように透明パネル、パネル又はバックシートに貼り付け、次いでシリコーンゴムシートの反対面側の型部材を剥離した後に、上記工程３を行うことを特徴とする〔５〕〜〔７〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔９〕 上記シリコーンゴムシートの型部材を剥離して露出したエンボス加工面を透明パネル、パネル又はバックシートに当てた状態でゴムローラで押圧して貼り付ける〔８〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１０〕 上記シリコーンゴムシートの厚みが０．３〜２ｍｍである〔１〕〜〔９〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１１〕 上記工程３は、上記第１積層体、又は第２積層体のシリコーンゴムシート上に太陽電池素子マトリックスを載置し、上記第１積層体と第２積層体とをシリコーンゴムシートを内側にして重ね合わせ、その状態で減圧した後、減圧下で加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する工程である〔１〕〜〔１０〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１２〕 上記工程３の加熱温度は、７０〜１５０℃である〔１〕〜〔１１〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１３〕 上記バックシートは、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムの両面をフッ化ビニル樹脂フィルムで被覆した複合シートである〔１〕〜〔１２〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１４〕 上記シリコーンゴム組成物は、
（Ａ）成分として下記平均組成式（Ｉ）
Ｒ¹_aＳｉＯ_(4-a)/2 （Ｉ）
（式中、Ｒ¹は同一又は異種の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）
で表される一分子中にアルケニル基を少なくとも２個有する重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン １００質量部、
（Ｂ）比表面積が５０ｍ²／ｇ以上の補強性シリカ １０〜１５０質量部、
（Ｃ）硬化剤 （Ａ）成分を硬化させる有効量
を含むことを特徴とする〔１〕〜〔１３〕のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１５〕 上記（Ｃ）成分は、オルガノハイドロジェンポリシロキサンとヒドロシリル化反応触媒の組み合わせ、又は有機過酸化物であることを特徴とする〔１４〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。
〔１６〕 上記シリコーンゴム組成物の可塑度が１５０以上１，０００以下である〔１４〕又は〔１５〕記載の太陽電池モジュールの製造方法。

【発明の効果】

【0011】

本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、透明パネル、及びパネル又はバックシートそれぞれに貼り付けた未加硫のシリコーンゴムシートで、少なくとも所定のパターンの凹凸を付与した面（エンボス加工面）で太陽電池素子マトリックスを減圧（真空）下で挟み込み、押圧するので気泡の取り込み（空隙の形成）を抑制し、かつ太陽電池素子を損傷させることなく、該太陽電池素子マトリックスを封止することができる。更に、未加硫のシリコーンゴムシートを貼り付けた透明パネル、及び未加硫のシリコーンゴムシートを貼り付けたパネル又はバックシートを減圧（真空）下で加熱しながら押圧することでシリコーンゴムシートの硬化が進み、その内部の太陽電池素子マトリックスを密封するようになり、太陽電池モジュールの端面からの水分等のガスの浸入を防止でき、耐久性の高い太陽電池モジュールを実現できる。また、この製造方法によれば、従来のＥＶＡフィルムを用いた太陽電池モジュール製造装置である真空ラミネータ装置を使用することが可能となるので、新たに液状シリコーンを塗布するなどの装置を用意することなく、太陽電池モジュールを製造することができる。
また、未加硫のシリコーンゴムシートにエンボス加工を施す際には、予めエンボス模様のシート状又はロール状の型部材をシリコーンゴムシートに押し付けてエンボス模様を転写するようにすると、未加硫の柔らかいシリコーンゴムシートを傷付けることなくかつ均一にエンボス加工を施すことができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の第１の実施形態におけるシリコーンゴムシートのエンボス加工工程を示す断面図であり、（ａ）はエンボス加工前、（ｂ）はエンボス加工後の状態を示す。

【図2】エンボス加工用の型部材のエンボスパターンの構成を示す概略図であり、（ａ）は全体正面図、（ｂ）はエンボス単位の正面図である。

【図3】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の第１の実施形態におけるシリコーンゴムシートのパネルへの貼り付けの様子を示す断面図であり、（ａ）はシリコーンゴムシート貼り付け前、（ｂ）はシリコーンゴムシート貼り付け後の状態を示す。

【図4】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の第１の実施形態において太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図5】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法において真空ラミネータ装置のラミネート処理により太陽電池素子マトリックスを樹脂封止した状態を示す断面図である。

【図6】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の第２の実施形態において使用するガラスラミネータの構成例を示す斜視図である。

【図7】透明パネルに貼り付けたシリコーンゴムシート表面にエンボス加工を施す様子を示す断面図である。

【図8】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の第２の実施形態において使用するフィルムラミネータの構成例を示す斜視図である。

【図9】バックシートに貼り付けたシリコーンゴムシート表面にエンボス加工を施す様子を示す断面図である。

【図10】本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の第２の実施形態において太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図11】実施例１の太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図12】比較例１の太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図13】参考例１の太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図14】参考例２の太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図15】参考例３の太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【図16】参考例４の太陽電池モジュール構成部材の積層配置の状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、透明パネルとパネルとの間、又は透明パネルとバックシートとの間に複数の太陽電池素子がマトリックス状に配置され互いに電気接続されてなる太陽電池素子マトリックスを樹脂封止して太陽電池モジュールを製造する太陽電池モジュールの製造方法において、
（工程１）透明パネルの一面にミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなる未加硫のシリコーンゴムシートが貼り付けられてなり、該シリコーンゴムシートの表面に所定のパターンの凹凸を有する第１積層体を用意する工程と、
（工程２）パネル又はバックシートの一面にミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなる未加硫のシリコーンゴムシートが貼り付けられてなり、該シリコーンゴムシートの表面に所定のパターンの凹凸を有する第２積層体を用意する工程と、
（工程３）上記第１積層体と第２積層体とを互いのシリコーンゴムシートの凹凸面を対向させて配置すると共に、その間に太陽電池素子マトリックスを配置し、その状態で減圧し、上記第１積層体及び第２積層体を加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する工程と
を有することを特徴とするものである。
以下に、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法の好適な態様について図面を参照しながら説明する。

【0014】

（第１の実施形態）
本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、第１の実施形態として、上記工程１が上記シリコーンゴム組成物からなる未加硫のシリコーンゴムシートの少なくとも片面にエンボス加工を施す工程と、透明パネルの一面に上記エンボス加工したシリコーンゴムシートを少なくとも貼り付け反対面側がエンボス加工面となるように貼り付ける工程とを有するものであり、また上記工程２が上記シリコーンゴム組成物からなる未加硫のシリコーンゴムシートの少なくとも片面にエンボス加工を施す工程と、パネル又はバックシートの一面に上記エンボス加工したシリコーンゴムシートを少なくとも貼り付け反対面側がエンボス加工面となるように貼り付ける工程とを有するものであることが好ましい。

【0015】

即ち、本実施形態における太陽電池モジュールの製造方法は、透明パネルとパネルとの間、又は透明パネルとバックシートとの間に複数の太陽電池素子がマトリックス状に配置され互いに電気接続されてなる太陽電池素子マトリックスを樹脂封止して太陽電池モジュールを製造する太陽電池モジュールの製造方法において、
（ｉ）（Ａ）成分として下記平均組成式（Ｉ）
Ｒ¹_aＳｉＯ_(4-a)/2 （Ｉ）
（式中、Ｒ¹は同一又は異種の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）
で表される一分子中にアルケニル基を少なくとも２個有する重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン １００質量部、
（Ｂ）比表面積が５０ｍ²／ｇ以上の補強性シリカ １０〜１５０質量部、
（Ｃ）硬化剤 （Ａ）成分を硬化させる有効量
を含むシリコーンゴム組成物からなる未加硫の二枚のシリコーンゴムシートそれぞれの少なくとも片面にエンボス加工を施す工程と、
（ｉｉ）透明パネルの一面に上記エンボス加工したシリコーンゴムシートの一方を少なくとも貼り付け反対面側がエンボス加工面となるように貼り付け、パネル又はバックシートの一面に上記エンボス加工したシリコーンゴムシートの他方を少なくとも貼り付け反対面側がエンボス加工面となるように貼り付ける工程と、
（ｉｉｉ）上記透明パネル、又はパネル又はバックシートのシリコーンゴムシート上に太陽電池素子マトリックスを配置し、上記透明パネルとパネル又はバックシートとをシリコーンゴムシートを内側にして重ね合わせ、真空下で加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する工程と
を含むことが好ましい。

【0016】

（ｉ）エンボス加工工程
未加硫のシリコーンゴムシート１０の少なくとも片面、好ましくは両面にシート状の型部材２０を押し付けてエンボス加工を施す工程である（図１）。

【0017】

未加硫のシリコーンゴムシートは以下に示すミラブルタイプのシリコーンゴム組成物からなる。
即ち、（Ａ）成分は下記平均組成式（Ｉ）で表される一分子中にアルケニル基を少なくとも２個有する重合度が１００以上のオルガノポリシロキサンである。
Ｒ¹_aＳｉＯ_(4-a)/2 （Ｉ）
（式中、Ｒ¹は同一又は異種の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）

【0018】

上記平均組成式（Ｉ）中、Ｒ¹は同一又は異種の非置換もしくは置換の一価炭化水素基を示し、通常、炭素数１〜１２、特に炭素数１〜８のものが好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基等のアルケニル基、シクロアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、ベンジル基、２−フェニルエチル基等のアラルキル基、あるいはこれらの基の水素原子の一部又は全部をフッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子もしくはシアノ基等で置換した基などが挙げられ、メチル基、ビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基が好ましく、特にメチル基、ビニル基が好ましい。

【0019】

具体的には、該オルガノポリシロキサンの主鎖を構成するジオルガノシロキサン単位（Ｒ¹₂ＳｉＯ_2/2、Ｒ¹は上記と同じ、以下同様）の繰り返し構造がジメチルシロキサン単位のみの繰り返しからなるもの、又はこの主鎖を構成するジメチルシロキサン単位の繰り返しからなるジメチルポリシロキサン構造の一部として、フェニル基、ビニル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基等を置換基として有するジフェニルシロキサン単位、メチルフェニルシロキサン単位、メチルビニルシロキサン単位、メチル−３，３，３−トリフルオロプロピルシロキサン単位等のジオルガノシロキサン単位を導入したものなどが好適である。

【0020】

なお、分子鎖両末端は、例えば、トリメチルシロキシ基、ジメチルフェニルシロキシ基、ビニルジメチルシロキシ基、ジビニルメチルシロキシ基、トリビニルシロキシ基等のトリオルガノシロキシ基（Ｒ¹₃ＳｉＯ_1/2）やヒドロキシジメチルシロキシ基等のヒドロキシジオルガノシロキシ基（Ｒ¹₂（ＨＯ）ＳｉＯ_1/2）などで封鎖されていることが好ましい。これらの中でも特にトリビニルシロキシ基は反応性が高く、好ましい。

【0021】

特に、（Ａ）成分としてのオルガノポリシロキサンは、一分子中に２個以上のケイ素原子に結合したアルケニル基を有することが必要である。通常、２〜５０個、特に２〜２０個程度のアルケニル基を有するものが好ましく、特にビニル基を有するものであることが好ましい。この場合、全Ｒ¹中０．０１〜２０モル％、特に０．０２〜１０モル％がアルケニル基であることが好ましい。なお、このアルケニル基は、分子鎖末端でケイ素原子に結合していても、分子鎖の途中（分子鎖非末端）のケイ素原子に結合していても、その両方であってもよいが、少なくとも分子鎖末端のケイ素原子に結合していることが好ましい。

【0022】

また、ａは１．９５〜２．０５、好ましくは１．９８〜２．０２、より好ましくは１．９９〜２．０１の正数である。また、全Ｒ¹中９０モル％以上、好ましくは９５モル％以上、更に好ましくはアルケニル基を除く全てのＲ¹がアルキル基、特にはメチル基であることが望ましい。

【0023】

このようなオルガノポリシロキサンは、例えばオルガノハロゲノシランの１種又は２種以上を（共）加水分解縮合することにより、あるいは環状ポリシロキサン（シロキサンの３量体、４量体など）をアルカリ性又は酸性の触媒を用いて開環重合することによって得ることができる。これらは基本的に直鎖状のジオルガノポリシロキサンであるが、（Ａ）成分としては、分子量（重合度）や分子構造の異なる２種又は３種以上の混合物であってもよい。

【0024】

なお、上記オルガノポリシロキサンの重合度は１００以上（通常、１００〜１００，０００）が好ましく、より好ましくは２，０００〜５０，０００、特に好ましくは３，０００〜２０，０００であり、室温（２５℃）において自己流動性のない、いわゆる生ゴム状（非液状）であることが好ましい。重合度が小さすぎるとコンパウンドとした際に、ロール粘着などの問題が生じ、ロール作業性が低下するおそれがある。なお、この重合度は、通常、トルエンを展開溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析による標準ポリスチレン換算の重量平均重合度として測定することができる（以下、同じ）。

【0025】

（Ｂ）成分の補強性シリカは、機械的強度が優れ、かつ透明性の優れたシリコーンゴム組成物を得るために添加されるものである。

【0026】

優れた機械的強度を持たせるためには比表面積（ＢＥＴ吸着法）が５０ｍ²／ｇ以上であることが必要であり、好ましくは１００〜４５０ｍ²／ｇ、より好ましくは１００〜３００ｍ²／ｇである。比表面積が５０ｍ²／ｇ未満だと、硬化物の機械的強度が低くなってしまう。また、特に硬化後のシリコーンゴムとして波長３００ｎｍ以下での優れた透明性を持たせるためには、比表面積２００ｍ²／ｇ以上であることが好ましく、より好ましくは２５０ｍ²／ｇ以上である。これにより、例えば上記シリコーンゴム組成物の厚さ２ｍｍの硬化物シートの全光線透過率が９０％以上であり、かつヘイズ値が１０以下となる。

【0027】

このような補強性シリカとしては、例えば煙霧質シリカ（乾式シリカ又はヒュームドシリカ）、沈降シリカ（湿式シリカ）等が挙げられ、またこれらの表面をクロロシランやヘキサメチルジシラザン等で疎水化処理したものも好適に用いられる。これらの中でも動的疲労特性に優れる煙霧質シリカが好ましい。（Ｂ）成分は１種単独で使用しても２種以上を併用してもよい。

【0028】

（Ｂ）成分の補強性シリカとしては、市販品を用いることができ、例えば、アエロジル１３０、アエロジル２００、アエロジル３００、アエロジルＲ−８１２、アエロジルＲ−９７２、アエロジルＲ−９７４などのアエロジルシリーズ（日本アエロジル（株）製）、Ｃａｂｏｓｉｌ ＭＳ−５、ＭＳ−７（キャボット社製）、レオロシールＱＳ−１０２、１０３、ＭＴ−１０（トクヤマ社製）等の表面未処理又は表面疎水化処理された（即ち、親水性又は疎水性の）ヒュームドシリカや、トクシールＵＳ−Ｆ（トクヤマ社製）、ＮＩＰＳＩＬ−ＳＳ、ＮＩＰＳＩＬ−ＬＰ（日本シリカ（株）製）等の表面未処理又は表面疎水化処理された沈降シリカ等が挙げられる。

【0029】

（Ｂ）成分の補強性シリカの配合量は、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサン１００質量部に対して１０〜１５０質量部であり、好ましくは５０〜１２０質量部であり、更に好ましくは７０〜１００質量部である。（Ｂ）成分の配合量が少なすぎる場合には補強効果が得られず、またシリコーンゴムコンパウンド硬化後の透明性が低下する。多すぎる場合にはシリコーンポリマー中へのシリカの分散が困難になると同時に加工性が悪くなり、また機械的強度も低下する。

【0030】

（Ｃ）成分の硬化剤としては、上記（Ａ）成分を硬化させ得るものであれば特に限定されるものではないが、一般的にゴム硬化剤として公知の（ａ）付加反応（ヒドロシリル化反応）型硬化剤、即ちオルガノハイドロジェンポリシロキサン（架橋剤）とヒドロシリル化反応触媒との組み合わせ、又は（ｂ）有機過酸化物が好ましい。

【0031】

上記（ａ）付加反応（ヒドロシリル化反応）における架橋剤としてのオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、一分子中に少なくとも２個のケイ素原子と結合した水素原子（ＳｉＨ基）を含有するもので、下記平均組成式（ＩＩ）で示される従来から公知のオルガノハイドロジェンポリシロキサンが適用可能である。

【0032】

Ｒ²_bＨ_cＳｉＯ_(4-b-c)/2 （ＩＩ）
（式中、Ｒ²は同一又は異種の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ｂは０．７〜２．１、ｃは０．０１〜１．０、かつｂ＋ｃは０．８〜３．０の正数である。）

【0033】

ここで、Ｒ²は炭素数１〜８の非置換又は置換の一価炭化水素基で、好ましくは脂肪族不飽和結合を有さないものである。具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基等のアリール基、ベンジル基等のアラルキル基等の非置換の一価炭化水素基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、シアノメチル基等の上記一価炭化水素基の水素原子の少なくとも一部がフッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子やシアノ基で置換された置換アルキル基等の置換の一価炭化水素基である。ｂは０．７〜２．１、ｃは０．０１〜１．０、かつｂ＋ｃは０．８〜３．０、好ましくはｂは０．８〜２．０、ｃは０．１０〜１．０、より好ましくは０．１８〜１．０、更に好ましくは０．２〜１．０、かつｂ＋ｃは１．０〜２．５を満足する正数で示される。

【0034】

また、オルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子構造は、直鎖状、環状、分岐状、三次元網状のいずれの構造であってもよい。この場合、一分子中のケイ素原子の数（又は重合度）は２〜３００個、特に４〜２００個程度の室温（２５℃）で液状のものが好適に用いられる。なお、ケイ素原子に結合する水素原子（ＳｉＨ基）は分子鎖末端にあっても側鎖（分子鎖途中）にあっても、その両方にあってもよく、一分子中に少なくとも２個（通常２〜３００個）、好ましくは３個以上（例えば３〜２００個）、より好ましくは４〜１５０個程度含有するものが使用される。

【0035】

このオルガノハイドロジェンポリシロキサンとして、例えば、１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン、メチルハイドロジェンシクロポリシロキサン、メチルハイドロジェンシロキサン・ジメチルシロキサン環状共重合体、トリス（ジメチルハイドロジェンシロキシ）メチルシラン、トリス（ジメチルハイドロジェンシロキシ）フェニルシラン、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン共重合体、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、環状メチルハイドロジェンポリシロキサン、環状メチルハイドロジェンシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、環状メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、（ＣＨ₃）₂ＨＳｉＯ_1/2単位とＳｉＯ_4/2単位とからなる共重合体、（ＣＨ₃）₂ＨＳｉＯ_1/2単位とＳｉＯ_4/2単位と（Ｃ₆Ｈ₅）ＳｉＯ_3/2単位とからなる共重合体等や、上記各例示化合物において、メチル基の一部又は全部がエチル基、プロピル基等の他のアルキル基やフェニル基等のアリール基で置換されたもの等が挙げられる。また、このようなオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、具体的に下記構造式の化合物を例示することができる。

【0036】

【化1】

（式中、ｋは２〜１０の整数、ｓ及びｔはそれぞれ０〜１０の整数である。）

【0037】

このオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、２５℃における粘度が０．５〜１０，０００ｍＰａ・ｓ、特に１〜３００ｍＰａ・ｓであることが好ましい。粘度は、回転粘度計により測定することができる。

【0038】

また、このオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、（Ａ）成分中のケイ素原子に結合したアルケニル基等の脂肪族不飽和基に対するオルガノハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子に結合した水素原子（即ち、ＳｉＨ基）のモル比（ＳｉＨ基／脂肪族不飽和基）が０．５〜１０モル／モル、好ましくは０．８〜６モル／モル、より好ましくは１〜５モル／モルとなる量で配合することが望ましい。０．５モル／モル未満だと架橋が十分でなく、十分な機械的強度が得られない場合があり、また１０モル／モルを超えると硬化後の物理特性が低下し、特に耐熱性と耐圧縮永久歪性が著しく劣化する場合がある。

【0039】

オルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合量は、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンを硬化させる有効量であり、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサン１００質量部に対して０．１〜３０質量部であることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０質量部、更に好ましくは０．３〜１０質量部である。

【0040】

また、上記（ａ）付加反応（ヒドロシリル化反応）における架橋反応に用いられるヒドロシリル化反応触媒は、（Ａ）成分中の脂肪族不飽和基（例えばアルケニル基等）と、架橋剤としての上記オルガノハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子結合水素原子（ＳｉＨ基）を付加反応させる触媒である。ヒドロシリル化反応触媒としては、白金族金属系触媒が挙げられ、白金族の金属単体とその化合物があり、これには従来、付加反応硬化型シリコーンゴム組成物の触媒として公知のものが使用できる。例えば、シリカ、アルミナ又はシリカゲルのような担体に吸着させた微粒子状白金金属、塩化第二白金、塩化白金酸、塩化白金酸６水塩のアルコール溶液、パラジウム触媒、ロジウム触媒等が挙げられるが、白金又は白金化合物が好ましい。

【0041】

ヒドロシリル化反応触媒の添加量は、付加反応を促進できる、いわゆる触媒量であればよく、通常、（Ａ）成分に対して白金系金属質量に換算して１ｐｐｍ〜１質量％の範囲で使用されるが、１０〜５００ｐｐｍの範囲が好ましい。添加量が１ｐｐｍ未満だと、付加反応が十分促進されず、硬化が不十分である場合があり、一方、１質量％を超えると、これより多く加えても、反応性に対する影響も少なく、不経済となる場合がある。

【0042】

また、上記の触媒のほかに硬化速度を調整する目的で、付加架橋制御剤を使用してもよい。具体的にはエチニルシクロヘキサノールやテトラメチルテトラビニルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。

【0043】

一方、（ｂ）有機過酸化物としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ｐ−メチルベンゾイルパーオキサイド、ｏ−メチルベンゾイルパーオキサイド、２，４−ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−ビス（２，５−ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーベンゾエート、１，６−ヘキサンジオール−ビス−ｔ−ブチルパーオキシカーボネート等が挙げられる。

【0044】

有機過酸化物の添加量は、（Ａ）成分１００質量部に対して０．１〜１５質量部、特に０．２〜１０質量部が好ましい。添加量が少なすぎると架橋反応が十分に進行せず、硬度低下やゴム強度不足、圧縮永久歪増大等の物性悪化を生じる場合があり、多すぎるとコスト的に好ましくないばかりでなく、硬化剤の分解物が多く発生して、圧縮永久歪増大等の物性悪化や得られたシートの変色を増大させる場合がある。

【0045】

また、透明パネル及びパネル又はバックシートとの接着性を改善するために、常法によりシランカップリング剤を添加してもよい。

【0046】

上記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）成分の所定量を、２本ロール、ニーダー、バンバリーミキサー等で混練りすることによってシリコーンゴム組成物を得る。

【0047】

このようにして調製されたシリコーンゴム組成物の可塑度（ＪＩＳ Ｋ６２４９に準ずる）は、１５０以上１，０００以下、好ましくは２００以上８００以下、更に好ましくは２５０以上６００以下である。可塑度が１５０より小さいとシートの粘着性が増大し、作業性に劣りまた次工程以降でエンボス加工しエンボスシートを剥離する際にも作業しにくくなる。また、シリコーンゴムシート表面に付与されるエンボス構造の凹凸形状を維持することが困難となる。一方、可塑度が１，０００を超えると、シート自体が脆くなりエンボス加工しにくくなる可能性がある。

【0048】

更に、上記シリコーンゴム組成物は、カレンダー成形法、インジェクション法、プレス法などの常法によりシート化することができる。この際、シリコーンゴムシートの厚みは０．３ｍｍ以上２．０ｍｍ以下の厚みで成形するのが好ましく、０．３ｍｍ以上１．０ｍｍ以下がより好ましい。０．３ｍｍより薄いと次工程のエンボス加工する際にシートが柔らかいために傷付く可能性があり、２．０ｍｍより厚いと特にカレンダー成形方法では成形が困難となり、またコスト的にも劣る可能性がある。以上のようにして、粘着性があり表面が平坦な未加硫のシリコーンゴムシート１０を得る。

【0049】

次に、得られた未加硫のシリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施す工程について説明する。本発明で行うエンボス加工は、図１に示すように、表面に凹凸を設けたシート状の型部材（エンボスシートともいう）２０のこの凹凸を設けた面（エンボス面）を上記シリコーンゴム組成物からなるシリコーンゴムシート１０に押し付けて該型部材２０のエンボス模様をシリコーンゴムシートに転写することによってエンボス加工を施すものである。このとき、２つの型部材２０でシリコーンゴムシート１０を挟むようにして、該シリコーンゴムシート１０の両面にエンボス加工を施すとよい。また、型部材２０をシリコーンゴムシート１０に押し付けてエンボス加工する際には、常法によりゴムローラ等を用いて押し付けることができる。エンボス加工後の型部材２０は両面にエンボス加工したシリコーンゴムシート（両面エンボスシート）１１の保護フィルムとして機能する。
本実施形態では、これ以降シリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施した場合について説明する。

【0050】

また、エンボス加工を行う際には、室温で行うのがよい。温度が高いとゴムシート組成物の加硫が進行してしまう可能性があり、一方温度が低いとエンボス模様の転写が上手くいかない可能性がある。通常は非加熱の室温加工である。

【0051】

この際に用いる型部材２０の材質は、シリコーンゴムシートに対して剥離性の良いものであれば特に限定されず、例えばポリエチレン製のエンボスシートを用いることができる。また、型部材２０の厚みは０．０８ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることが好ましい。０．０８ｍｍより薄いと、型部材２０をシリコーンゴムシート１０に押し付ける際にエンボス模様が潰れてしまう可能性があり、０．３ｍｍより厚いとコスト高になってしまう。

【0052】

また型部材２０のエンボス模様は特に限定しないが、型部材２０のエンボス面のエンボス模様の凸部分（図２（ａ）におけるエンボス凸部２１ａ）が直線状かつ格子状になっていることが好ましい。つまり、次工程でエンボス加工したシリコーンゴムシート１１をパネル等に貼り付けて、更に後述する減圧（真空）下ラミネートする際に、型部材２０のエンボス面のエンボス凸部２１ａで転写されたシリコーンゴムシート１１のエンボス凹部１１ｂによって、より気泡を抜けやすくするためである。即ち、減圧の際に、エンボス凹部１１ｂが空気の抜ける通路となり、太陽電池素子マトリックス１４との間や透明パネル１３ａ（又はパネル又はバックシート１３ｂ）との間の空間が容易に脱気され、気泡の発生を防止することができる。脱気で排出される気体は空気のみならず、空気中の水蒸気、未加硫のシリコーンゴムシートから発生する低分子のシロキサンガス及び水蒸気を含む気体として排出される総体である。代表して空気として表す。この脱気が不十分であると、太陽電池素子マトリックスと未加硫のシリコーンゴムシートの間で気泡に起因する未接着部（空隙）が生じ、太陽電池素子マトリックスの封止が不十分となり、太陽電池モジュールの屋外暴露時にその部分をつたって水蒸気が侵入しやすくなることから、太陽電池の電極の腐食が発生して長期信頼性を損なうこととなる。

【0053】

型部材２０のエンボス模様（凹凸パターン）は、シリコーンゴムシート１１におけるエンボス凹部１１ｂが空気の抜ける通路となるのであれば、特に限定されず、ダイヤ型のエンボス単位が繋がったダイヤ模様、矩形のエンボス単位が繋がった格子模様、円形のエンボス単位が繋がった網目模様、亀の甲のエンボス単位が繋がった亀甲模様、波型のエンボス単位が繋がった波型模様、閉じた線形状のエンボス単位が繋がった不定形模様などいずれでもよい。また、格子状に溝を形成し、四方の溝で区画された正方形或いは方形の凸面或いは凹面の形状であっても良い。更には、方形、正方形に区分けされた領域の各中心に円筒状、或いは楕円状の凹面、凸面を設けた形状であっても良く、凹凸の形状は限定されない。

【0054】

ここで、型部材２０のエンボス面のエンボスパターン例としては、図２に示すように、ダイヤ型のエンボスパターン２１が挙げられる。図２（ａ）がダイヤ型のエンボスパターンの全体正面図、（ｂ）が図２（ａ）のエンボスパターンを構成するエンボス単位の正面図である。
ダイヤ型エンボスパターンの場合、ダイヤ型のエンボス単位２１ｐの外周の一辺の長さＬが２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい（図２（ｂ））。一辺Ｌが２ｍｍより小さいとエンボスの模様が正確に転写できなくなる可能性があり、５ｍｍより大きいと型部材２０を未加硫のシリコーンゴムシート１０に押し付ける際にエンボス模様が潰れてしまう可能性がある。また、一辺Ｌが２ｍｍより小さいとシリコーンゴムシート１１においてエンボス凹部２１ｂが転写されて形成されるエンボス凸部１１ａが小さくなり、透明パネル１３ａ、パネル又はバックシート１３ｂへの貼り付け面積が小さくなることからエンボス凸部２１ａの幅によってはシリコーンゴムシート１１が剥離する場合がある。逆に、一辺Ｌが５ｍｍより大きいとシリコーンゴムシート１１の貼り付け面積が大きくなるが、相対的にシリコーンゴムシート１１におけるエンボス凹部１１ｂが少なくなることから真空ラミネート工程において脱気が不十分となるおそれがある。なお、同様の理由から、エンボス単位が矩形の場合には矩形の一辺の長さが２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、円形の場合には円形の半径が２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。

【0055】

また、ダイヤ型のエンボス単位２１ｐの鋭角となる角部の角度αが４０度以上７０度以下であることが好ましい。角度αが４０度より小さいとエンボスの模様が未加硫のシリコーンゴムシートに正確に転写できなくなる可能性があり、７０度より大きいと型部材２０を未加硫のシリコーンゴムシート１０に押し付ける際にエンボス模様が潰れてしまう可能性がある。

【0056】

更に、ダイヤ型のエンボス単位２１ｐのエンボス凸部２１ａの幅ｗが０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましい。幅ｗが０．２ｍｍより小さいとエンボス凸部２１ａがシリコーンゴムシートに正確に転写できなくなる可能性があり、１ｍｍより大きいとエンボス凹部２１ｂがシリコーンゴムシートに正確に転写できなくなる可能性がある。なお、同様の理由から、エンボス単位が矩形や円形の場合にもエンボス凸部の幅は０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましい。

【0057】

ダイヤ型のエンボス単位２１ｐのエンボス凸部２１ａの高さ（エンボス凹部２１ｂの深さ）は０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。高さが０．１ｍｍより小さいとシリコーンゴムシート１１のエンボス凸部１１ａの高さが低すぎて真空ラミネート工程の減圧の際に空気が抜ける通路が確保できなくなるおそれがあり、高さが０．５ｍｍより大きいとエンボス凸部１１ａが高くなりすぎて真空ラミネート工程で押圧しても対象物（太陽電池素子マトリックス、透明パネル、パネル、バックシート）との間の空間が完全には埋まらない可能性がある。なお、同様の理由から、エンボス単位が矩形や円形の場合にもエンボス凸部の高さは０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。

【0058】

以上のようにシリコーンゴムシート１０に型部材２０のエンボス面を押し付けた後、該型部材２０を剥離すると、型部材２０のエンボス面の凹凸パターンがほぼそのまま転写された凹凸パターンを有するシリコーンゴムシート１１となる（図３（ａ））。即ち、シリコーンゴムシート１１のエンボス凹部１１ｂは型部材２０のエンボス凸部２１ａの形状及び寸法に対応したものとなり、エンボス凸部１１ａはエンボス凹部２１ｂの形状及び寸法に対応したものとなる。

【0059】

（ｉｉ）シリコーンゴムシート貼り付け工程（図３）
本工程では、透明パネルの一面に上記エンボス加工したシリコーンゴムシートの一方を少なくとも貼り付け反対面側がエンボス加工面となるように貼り付け、パネル又はバックシートの一面に上記エンボス加工したシリコーンゴムシートの他方を少なくとも貼り付け反対面側がエンボス加工面となるように貼り付ける。

【0060】

即ち、図３に示すように、エンボス加工したシリコーンゴムシート１１のいずれか片面側の型部材２０を剥離し（図３（ａ））、その面のエンボス凸部（エンボス構造の凸部分）１１ａを透明パネル１３ａ（又はパネル又はバックシート１３ｂ）に軽く押し当てると共にエンボス凹部（エンボス構造の凹部分）１１ｂを潰さないようにしてその面を透明パネル１３ａ（又はパネル又はバックシート１３ｂ）に貼り付ける（図３（ｂ））。

【0061】

ここで、透明パネルは、太陽光を入射させる側（受光面側）となる透明部材であり、受光面パネルともいわれるものであり、透明性、耐候性、耐衝撃性をはじめとして屋外使用において長期の信頼性能を有する部材が必要である。例えば白板強化ガラス、アクリル樹脂、フッ素樹脂又はポリカーボネート樹脂等が挙げられ、特に厚さ３〜５ｍｍ程度の白板強化ガラスが好ましい。

【0062】

また、パネル又はバックシートは、透明パネルに対して対向して配置されるものであり、パネルとしては、太陽電池素子の温度を効率よく放熱することが求められ、材料として硝子材、合成樹脂材、金属材又はそれらの複合部材が挙げられる。硝子材の例としては、青板硝子、白板硝子又は強化硝子等が挙げられ、合成樹脂材としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂又はエポキシ樹脂等が挙げられる。また金属材としては、銅、アルミニウム又は鉄等が挙げられ、複合部材としては、シリカをはじめ、酸化チタン、アルミナ、窒化アルミニウムなど高い熱伝導性を有する材料を担持した合成樹脂等が挙げられる。なお、このパネルが太陽光入射の反対面のパネルとなる場合、太陽光を入射させるパネルと共に透明性を有する部材を用いることにより、太陽光の直達光及び散乱光の一部を太陽光入射の反対面側に透過させることができ、例えば草原などに設置した場合、太陽電池モジュールの入射面と反対側の、つまり本来日陰となってしまう部分にも太陽光に一部が照射されることにより植物の生育を促し、家畜の放牧等にも利用できる。

【0063】

バックシートとしては、例えばＥＴＦＥ（エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体）フィルム、ＰＶＦ（ポリフッ化ビニル）フィルム等のフッ素樹脂フィルム、またアルミ箔やＰＥＴをＰＶＦのシートで挟み込んだりした積層シートなどを用いることができる。

【0064】

上記シリコーンゴムシートの貼り付け方法としては、例えば透明パネル１３ａに、上記（ｉ）工程で得られたエンボス加工したシリコーンゴムシート１１の両面に押し付けたままとなっている型部材２０のうち、いずれか一方を剥離し（図３（ａ））、その面をパネル１３ａに当てた状態で常法によりゴムローラ等で押圧してシリコーンゴムシート１１を貼り付ける（図３（ｂ））。その際、シリコーンゴムシート１１のエンボス模様のうち、エンボス凸部１１ａがパネル１３ａに当接して若干押し潰された状態となりシリコーンゴムシート１１が貼り付くようになるが、エンボス凹部（凹面の溝部分）１１ｂを潰さないようにする。エンボス凹部１１ｂを潰してしまうと、次工程の真空ラミネート処理の際に気泡が抜けにくくなる可能性がある。透明パネルに対向配置されるパネル又はバックシート１３ｂについても同様の方法によりシリコーンゴムシート１１を貼り付ける。

【0065】

（ｉｉｉ）真空ラミネート処理工程
次いで、シリコーンゴムシート１１の反対面側の型部材２０を剥離した後に、透明パネル１３ａ、又はパネル又はバックシート１３ｂのシリコーンゴムシート１１上に太陽電池素子マトリックス１４を配置し、透明パネル１３ａとパネル又はバックシート１３ｂとをシリコーンゴムシート１１を内側にして重ね合わせる（図４）。即ち、透明パネル１３ａ、エンボス加工したシリコーンゴムシート（両面エンボスシート）１１、太陽電池素子マトリックス１４、エンボス加工したシリコーンゴムシート１１、バックシート１３ｂをこの順番で積層配置している。このとき、シリコーンゴムシート１１は太陽電池素子マトリックス１４全体を覆うように配置される。
なお、シリコーンゴムシートについて片面のみにエンボス加工を施した場合には、シリコーンゴムシートのエンボス加工面を太陽電池素子マトリックス側に向けて配置することになる。

【0066】

上記のように太陽電池モジュール構成部材を積層配置したものについて、真空ラミネータ装置（不図示）を用いて真空下で加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する。

【0067】

ここで、太陽電池素子は、単結晶シリコン又は多結晶シリコンのうちから選ばれる１種もしくは２種のシリコン材料（シリコン基板）を用いて作製された太陽電池セルである。また、太陽電池素子マトリックス１４は、複数の太陽電池セルを縦横二次元方向それぞれに複数枚配置される状態（マトリックス状）に配置し、互いに電気接続したものである。通常２〜６０個の太陽電池セルが互いにタブ線等のインターコネクタで電気的に直列に接続された直線状の太陽電池素子ストリングを複数用意し、これら（太陽電池素子ストリングス）を平行に配列し、その太陽電池素子ストリング同士を直列接続して太陽電池素子マトリックス１４を構成している。なお、太陽電池素子が両面受光型の場合、透明パネル１３ａだけでなく、透明パネル１３ａに対向配置されるパネル又はバックシート１３ｂも透明なものとする。

【0068】

また、真空ラミネータ装置としては、柔軟な膜体で仕切られた、隣接する２つの減圧槽を有する汎用の太陽電池モジュール作製用のラミネータ装置を採用できる。

【0069】

この場合、例えば一方の減圧槽内に、図４に示すように透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂ等の太陽電池モジュール構成部材を仮積層した状態でセットして２つの減圧槽を減圧し、略真空状態にする。ここで、本発明で用いる未加硫のシリコーンゴムシートは粘着性があるため、平坦なシリコーンゴムシートをそのまま上記のように仮積層した場合、太陽電池素子マトリックスとの間、シリコーンゴムシート同士の間で部分的にくっついて減圧時の排気経路が閉塞されるようになり、排出されずに残った空気が結果として気泡として残り、未接着領域（空隙）が発生する。脱気で排出される気体は空気のみならず、空気中の水蒸気、未加硫のシリコーンゴムシートから発生する低分子のシロキサンガス及び水蒸気を含む気体として排出される総体であり、空気をその代表として表していることは、前記と同様である。未接着領域が発生すると太陽電池素子マトリックスの封止が不十分となり、太陽電池モジュールの屋外暴露時の水蒸気の浸入が容易となり、セルの電極の腐食を発生させ長期信頼性を損なうこととなる。太陽電池モジュールは幅１ｍ弱、長さ約１．６ｍの大きなパネルであるが、その中に数個の気泡起因の未接着部分（空隙）が発生すれば完成品とならず、このような空隙の発生は製造工程上の大きな問題となる。本発明では、この真空ラミネータ装置における減圧時に、透明パネル１３ａとシリコーンゴムシート１１との間、太陽電池素子マトリックス１４とシリコーンゴムシート１１との間及びシリコーンゴム１１とバックシート１３ｂとの間の空間の気体（空気）は、シリコーンゴムシート１１に設けられたエンボス凹部１１ｂで確保された空間を通じて脱気することが可能である。このときの減圧状態（真空度）の程度は、この後の圧縮時に各積層間の隙間が気泡として残らず、完全に埋まる程度とすればよい。次いで、仮積層された透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂ等の太陽電池モジュールの構成部材がセットされた減圧槽内の減圧状態を維持したまま、他方の減圧槽の減圧を開放し、常圧とし又は加圧して膜体で透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂをその板厚方向に圧縮するようにする。このとき、上記のように各積層間が脱気されているので、その空間がシリコーンゴムにより隙間なく埋められるようになる。このとき、透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂを７０〜１５０℃、好ましくは９０〜１３０℃、更に好ましくは１１０〜１２０℃に加熱しながら、１〜３０分間押圧すると、二枚の未加硫のシリコーンゴムシート１１同士が融着すると共に硬化し、更に太陽電池素子マトリックス、透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂに固着するようになる。即ち、太陽電池素子マトリックス１４が透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂの間で上記シリコーンゴム組成物の硬化物である封止材１２で封止された状態となる（図５）。これにより、封止材１２で密封するようになり、太陽電池モジュールの端面からの水分等のガスの浸入を防止でき、耐久性の高い太陽電池モジュールを実現できる。

【0070】

このとき、７０℃より加熱温度が低いと、シリコーンゴムシート１１の加硫反応が完全には進まない可能性があり、１５０℃より温度が高いと、加硫反応速度が大きくなり、シリコーンゴムシート１１の硬化が早くなり封止が完全にはできなくなり、透明パネル１３ａやバックシート１３ｂとの間に空隙ができてしまう可能性がある。

【0071】

最後に、封止後の透明パネル及びパネル又はバックシートの外周端部（額縁端部）にフレーム部材を装着して、太陽電池モジュールを完成する。
フレーム部材は、衝撃、風圧又は積雪に対する強度が優れ、耐候性を有し、かつ軽量であるアルミニウム合金、ステンレス鋼等からなるものが好ましい。これらの材料で成形したフレーム部材が太陽電池素子を狭持したパネルの外周を囲うように装着され、ねじ等により固定される。

【0072】

以上のように製造された太陽電池モジュールは、太陽電池素子マトリックスがシリコーンゴム硬化物を介して平坦な透明パネル及びパネル又はバックシートに保持されるようになるため、高効率で長期信頼性を有するものとなる。また、本発明によれば、このような高性能の太陽電池モジュールの量産が容易となる。

【0073】

（第２の実施形態）
本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、第２の実施形態として、上記工程１が透明パネルの一面に上記シリコーンゴム組成物からなる未加硫のシリコーンゴムシートを貼り付ける工程と、上記透明パネルに貼り付けたシリコーンゴムシート表面にエンボス加工を施す工程とを有するものであり、上記工程２がパネル又はバックシートの一面に上記シリコーンゴム組成物からなる未加硫のシリコーンゴムシートを貼り付ける工程と、上記パネル又はバックシートに貼り付けたシリコーンゴムシート表面にエンボス加工を施す工程とを有するものであることが好ましい。
以下、本実施形態における各工程について説明する。なお、本実施形態で使用するシリコーンゴムシート１０、透明パネル１３ａ、パネル又はバックシート１３ｂは、第１の実施形態と同じものである。

【0074】

（工程１（ｉ））シリコーンゴムシート貼り付け工程（図６）
本工程では、シリコーンゴムシート１０、即ち上述したミラブルタイプのシリコーン組成物からなる粘着性のある未加硫のシリコーンゴムシートを準備し、図６に示す圧着ローラを有するラミネータ装置（ガラスラミネータ３０）を用いてこれを透明パネル１３ａに貼り付ける。

【0075】

ガラスラミネータ３０は、透明パネル１３ａを搬送ローラ３１で水平に支持しながら搬送する搬送機構、シリコーンゴムシートロール１０ｒから保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈを巻き出し圧着ローラ３２側に供給するシート供給機構、透明パネル１３ａとシリコーンゴムシート１０とを圧着して貼り付けるウレタンゴム製又はシリコーンゴム製の一対の圧着ローラ３２，３２、圧着ローラ３２の出側でシリコーンゴムシート１０から剥離した保護フィルム２２を巻き取る巻取り機構を備えるガラスラミネータ装置である。図中右側が装置入側、図中左側が装置出側である。また、図中矢印はローラ及びロールの回転方向を示す。

【0076】

このとき、シリコーンゴムシート１０は粘着性を有することから太陽電池モジュールの大きさ（例えば、幅１ｍ弱×長さ約１．６ｍ）に対応したシリコーンゴムシート１０をそのままの状態で扱うことは困難である。そこで、シリコーンゴムシート１０の一方の面又は両面に保護フィルム２２を貼り付けてその取り扱いが容易となるようにすることが好ましい。この保護フィルム２２は、シリコーンゴムシート１０の疵付き防止、汚染防止及び粘着性の保持が可能で、かつシリコーンゴムシート１０から容易に剥離可能であればどのようなフィルムでもよいが、例えばポリエチレン、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）に代表されるポリエステルなどからなり可撓性を有する平坦な（エンボス加工のない）フィルム、あるいはこのようなフィルムに図２（ａ）に示すようなエンボスパターンのエンボス加工を施したエンボスフィルムが挙げられる。本工程では、シリコーンゴムシート１０の片面に保護フィルム２２を貼り付けた後に、ロール状に巻いたもの（シリコーンゴムシートロール１０ｒ）を本工程用の材料として用意する。

【0077】

本工程では、まず図６に示すガラスラミネータ３０において、透明パネル１３ａを搬送ローラ３１によって図中右側から左側方向へ搬送すると共に、装置入側かつ上方に配置されたシリコーンゴムシートロール１０ｒから保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈを保護フィルム２２貼り付け面側が上面、シリコーンゴムシート１０露出面が下面となるように巻き出し、透明パネル１３ａの上面に供給する。次いで、圧着ローラ３２，３２間に透明パネル１３ａ及び保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈを重ねるように挿入し、透明パネル１３ａと保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈとをこの圧着ローラ３２，３２で圧着し、貼り合わせる。このとき、圧着ローラ３２は加熱されておらず、貼り付けは室温で行われる。圧着ローラ３２の出側では貼り合わされた積層体から保護フィルム２２が剥離され保護フィルムロール２２ｒとして巻き取られ、透明パネル１３ａにシリコーンゴムシート１０が貼り付けられた積層体１３０ａが得られる。積層体１３０ａでは、透明パネル１３ａとシリコーンゴムシート１０とが隙間なく、即ち気泡を取り込むことなく密着した状態で貼り合わされている。

【0078】

なお、以上の貼り付け処理は大気圧下で行ってもよいが、差動排気により減圧した状態で行うと、透明パネル１３ａとシリコーンゴムシート１０との間に気泡が巻き込まれるのを防止しやすくなるため好ましい。また、パネルサイズの小さいものについては、回転駆動する上記圧着ローラ３２，３２のユニットに、手作業で透明パネル１３ａとシリコーンゴムシート１０ｈを重ねて挿入して貼り合わせた後、保護フィルム２２を剥離させて積層体１３０ａを得るようにしてもよい。

【0079】

（工程１（ｉｉ））エンボス加工工程（図７）
本工程では、図７に示すように、上記のようにして得られた積層体１３０ａのシリコーンゴムシート１０の表面にエンボス加工を施す。図７において、５１は平坦な定盤、５２はローラ状の型部材であるエンボス加工ローラである。

【0080】

ここで、エンボス加工ローラ５２は、ステンレス鋼などの金属、ポリエチレンやＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの硬質プラスチックからなることが好ましく、シリコーンゴムシートに対して剥離性のよいものであればより好ましい。また、エンボス加工ローラ５２のローラ外周面には第１の実施形態で述べたものと同じエンボス模様（凹凸パターン）が設けられている。

【0081】

図７では、まず平坦な定盤５１上に積層体１３０ａをシリコーンゴムシート１０が上方を向くように載置し、このシリコーンゴムシート１０の表面にエンボス加工ローラ５２のローラ外周面を押し付けながら回転移動させて該シリコーンゴムシート１０表面にエンボス模様（凹凸パターン）を転写させる。これにより、シリコーンゴムシートの片面全面に所定の凹凸パターンが付与され、透明パネル１３ａの一面に所定のパターンの凹凸を有するシリコーンゴムシート１１’が貼り付けられた第１積層体１３１が得られる。

【0082】

なお、エンボス加工はこの方法に限定されるものではなく、例えば第１の実施形態で示したように型部材２０を積層体１３０ａのシリコーンゴムシート１０に押し付けてエンボス模様を転写するようにしてもよい。

【0083】

（工程２（ｉ））シリコーンゴムシート貼り付け工程（図８）
本工程では、シリコーンゴムシート１０、即ち上述したミラブルタイプのシリコーン組成物からなる粘着性のある未加硫のシリコーンゴムシートを準備し、図８に示す圧着ローラを有するラミネータ装置（フィルムラミネータ４０）を用いてこれをバックシート１３ｂに貼り付ける。

【0084】

フィルムラミネータ４０は、バックシートロール１３ｂｒからバックシート１３ｂを巻き出し支持ローラ４１で支持しながら圧着ローラ４２側に供給する第１シート供給機構、シリコーンゴムシートロール１０ｒから保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈを巻き出し支持ローラ４１で支持しながら圧着ローラ４２側に供給する第２シート供給機構、バックシート１３ｂとシリコーンゴムシート１０とを圧着して貼り付けるウレタンゴム製又はシリコーンゴム製の一対の圧着ローラ４２，４２、圧着ローラ４２の出側でシリコーンゴムシート１０から剥離した保護フィルム２２を巻き取る巻取り機構を備えるフィルムラミネータ装置である。図中右側が装置入側、図中左側が装置出側である。また、図中矢印はローラ及びロールの回転方向を示す。

【0085】

本工程では、まず図８に示すフィルムラミネータ４０において、装置入側かつ下方に配置されたバックシートロール１３ｂｒから第１シート供給機構によりバックシート１３ｂを巻き出し供給すると共に、装置入側かつ上方に配置されたシリコーンゴムシートロール１０ｒから第２シート供給機構により保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈを保護フィルム２２貼り付け面側が上面、シリコーンゴムシート１０露出面が下面となるように巻き出し、バックシート１３ｂの上面に供給する。次いで、圧着ローラ４２，４２間にバックシート１３ｂ及び保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈを重ねるように挿入し、バックシート１３ｂと保護フィルム２２付きシリコーンゴムシート１０ｈとをこの圧着ローラ４２，４２で圧着し、貼り合わせる。このとき、圧着ローラ４２は加熱されておらず、貼り付けは室温で行われる。圧着ローラ４２の出側では貼り合わされた積層体から保護フィルム２２が剥離され保護フィルムロール２２ｒとして巻き取られ、バックシート１３ｂにシリコーンゴムシート１０が貼り付けられた積層体１３０ｂが積層体ロール１３０ｂｒとして巻き取られる。積層体１３０ｂでは、バックシート１３ｂとシリコーンゴムシート１０とが隙間なく、即ち気泡を取り込むことなく密着した状態で貼り合わされている。

【0086】

なお、圧着ローラ４２，４２で圧着する部分には、バックシート１３ｂ及びシリコーンゴムシート１０ｈに対してバックシートロール１３ｂｒ及びシリコーンゴムシートロール１０ｒ側にバックテンションをかけながら、該バックシート１３ｂ及びシリコーンゴムシート１０ｈの圧着方向に垂直となる面が互いに等速となるように供給すると、バックシート１３ｂとシリコーンゴムシート１０とが隙間なく、即ち気泡を取り込むことなく密着した状態で貼り合わされるため好ましい。

【0087】

また、以上の貼り付け処理は大気圧下で行ってもよいが、差動排気により減圧した状態で行うと、バックシート１３ｂとシリコーンゴムシート１０との間に気泡が取り込まれるのを防止しやすくなるため好ましい。

【0088】

（工程２（ｉｉ））エンボス加工工程（図９）
本工程では、図９に示すように、上記のようにして得られた積層体１３０ｂのシリコーンゴムシート１０の表面にエンボス加工を施す。図９において、６１は支持ローラ、６２はローラ状の型部材であるエンボス加工ローラである。エンボス加工ローラ６２は、上述したエンボス加工ローラ５２と同じものでよいが、ここでは支持ローラ６１との間で積層体１３０ｂを挟んで押圧するものとして固定配置される。図中矢印はローラ及びロールの回転方向を示す。

【0089】

図９では、まず図中右側に配置された積層体ロール１３０ｂｒから積層体１３０ｂをシリコーンゴムシート１０が上方を向くように巻き出し、エンボス加工ローラ６２、支持ローラ６１間に供給し、エンボス加工ローラ６２が積層体１３０ｂの通過速度と等速で回転しながら、積層体１３０ｂのシリコーンゴムシート１０の表面にエンボス加工ローラ６２のローラ外周面を押し付けることで該シリコーンゴムシート１０表面にエンボス模様（凹凸パターン）を転写させる。これにより、シリコーンゴムシートの片面全面に所定の凹凸パターンが付与され、バックシート１３ｂの一面に所定のパターンの凹凸を有するシリコーンゴムシート１１’が貼り付けられた第２積層体１３２が得られる。ここでは、第２積層体１３２が巻き取られて第２積層体ロール１３２ｒとなるが、最終的に次工程の真空ラミネート処理用として所定の寸法のシート状の第２積層体１３２として切り出す。

【0090】

なお、積層体１３０ｂが小さなパネルサイズのものである場合、回転駆動する上記支持ローラ６１、エンボス加工ローラ６２のユニットに、手作業で積層体１３０ｂを挿入してシリコーンゴムシート１０にエンボス加工を施すようにしてもよい。

【0091】

また、ここではロール状のバックシートを連続的に処理する方法を示したが、これに限定されるものではなく、切板状のバックシートやパネルを処理するようにしてもよい。その場合は、上述した透明パネル１３ａの処理（工程１（ｉ）、（ｉｉ））と同様の処理を行うとよい。

【0092】

（工程３）真空ラミネート処理工程
次いで、上記のようにして得られた第１積層体１３１と第２積層体１３２とを互いのシリコーンゴムシート１１’の凹凸面を対向させて配置すると共に、その間に太陽電池素子マトリックス１４を配置して積層する（図１０）。即ち、透明パネル１３ａ、エンボス加工したシリコーンゴムシート（片面エンボスシート）１１’、太陽電池素子マトリックス１４、エンボス加工したシリコーンゴムシート１１’、バックシート１３ｂをこの順番で積層配置している。

【0093】

上記のように太陽電池モジュール構成部材を積層配置したものについて、第１の実施形態と同様に真空ラミネータ装置を用いて真空下で加熱しながら押圧してシリコーンゴムシートを硬化させて上記太陽電池素子マトリックスを封止する。

【0094】

この場合、例えば真空ラミネータ装置の一方の減圧槽内に、図１０に示すように透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂ等の太陽電池モジュール構成部材を仮積層した状態でセットして２つの減圧槽を減圧し、略真空状態にする。このとき、透明パネル１３ａ側のシリコーンゴムシート１１’と太陽電池素子マトリックス１４との間、太陽電池素子マトリックス１４とバックシート１３ｂ側のシリコーンゴムシート１１’との間の空間の気体（空気）は、シリコーンゴムシート１１’に設けられたエンボス凹部１１ｂで確保された空間を通じて脱気される。次いで、仮積層された透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂ等の太陽電池モジュールの構成部材がセットされた減圧槽内の減圧状態を維持したまま、他方の減圧槽の減圧を開放し、常圧とし又は加圧して膜体で透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂをその板厚方向に圧縮するようにする。このとき、上記のように各積層間が脱気されているので、その空間がシリコーンゴムにより隙間なく埋められるようになる。なお、透明パネル１３ａとシリコーンゴムシート１１’との間、バックシート１３ｂとシリコーンゴムシート１１’との間は、上記貼り付け工程で隙間なく密着しているため、気泡の取り込みなく埋められる。このとき、透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂを７０〜１５０℃、好ましくは９０〜１３０℃、更に好ましくは１１０〜１２０℃に加熱しながら、１〜３０分間押圧すると、二枚の未加硫のシリコーンゴムシート１１’同士が融着すると共に硬化し、更に太陽電池素子マトリックス、透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂに固着するようになる。即ち、太陽電池素子マトリックス１４が透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂの間で上記シリコーンゴム組成物の硬化物である封止材１２で封止された状態となる（図５）。これにより、封止材１２で密封するようになり、太陽電池モジュールの端面からの水分等のガスの浸入を防止でき、耐久性の高い太陽電池モジュールを実現できる。

【0095】

最後に、封止後の透明パネル及びパネル又はバックシートの外周端部（額縁端部）にフレーム部材を装着して、太陽電池モジュールを完成する。

【0096】

以上のように製造された太陽電池モジュールは、太陽電池素子マトリックスがシリコーンゴム硬化物を介して平坦な透明パネル及びパネル又はバックシートに保持されるようになるため、高効率で長期信頼性を有するものとなる。また、本発明によれば、このような高性能の太陽電池モジュールの量産が容易となる。

【実施例】

【0097】

以下、実施例、比較例及び参考例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、下記の例で部は質量部を示す。また、室温は２５℃を示す。また、質量平均重合度は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析におけるポリスチレン換算値である。

【0098】

［実施例１］
以下の条件で太陽電池モジュールを作製した。
まず、ジメチルシロキサン単位９９．８２５モル％、メチルビニルシロキサン単位０．１５モル％、ジメチルビニルシロキサン単位０．０２５モル％からなり、平均重合度が約８，０００であるオルガノポリシロキサン１００部、ＢＥＴ比表面積２００ｍ²／ｇの乾式シリカ（アエロジル（Ａｒｏｓｉｌ）２００（日本アエロジル（株）製））８０部、両末端にシラノール基を有し、粘度２９ｍＰａ・ｓ（２５℃）のジメチルポリシロキサン５部をニーダーで配合し、１８０℃で２時間熱処理し、ベースゴムコンパウンドを作製した。
次いで、付加硬化剤としてＣ−２５Ａ（白金触媒）０．５部及びＣ−２５Ｂ（オルガノハイドロジェンポリシロキサン）２．０部（ともに信越化学工業（株）製）を２本ロールミルにて添加混合し、５ｍｍ厚のシリコーンゴムシートを作製した。なお、得られたシリコーンゴム組成物の可塑度をＪＩＳ Ｋ６２４９に準じて測定したところ、４３０であった。
次に、得られた５ｍｍ厚のシリコーンゴムシートを室温にて日本ロール（株）製カレンダー成形機にて１ｍｍ厚のシリコーンゴムシートに成形した後、同じく室温にてこのシリコーンゴムシートの両面に、図２に示すダイヤ型エンボスパターンを有するシート状の型部材としてダイヤエンボスフィルム（石島化学工業（株）製、エンボスＮＥＦタイプ；厚さ０．１５ｍｍ）をそのエンボス面をゴムローラにて押し付けて、２枚のシリコーンゴムシートの両面にエンボス加工を施した（以後、このシリコーンゴムシートを両面エンボスシートという）。なお、この型部材のエンボス単位２１ｐの寸法としては、外周一辺の長さＬが３．２ｍｍ、鋭角となる角部の角度αが５６度、エンボス凸部２１ａのｗが０．４５ｍｍである。
次に、上記両面エンボスシートの片面の型部材（エンボスフィルム）を剥離した後、そのエンボス加工面を受光面側の透明パネルである厚さ３．２ｍｍ、縦横寸法３４０ｍｍ×３６０ｍｍの白板強化ガラス基板（以下、ガラス基板）に当接させ、ゴムローラにて該両面エンボスシートのエンボス凹部が潰れないように貼り付けた。
更に、裏面の封止状態を判別するために単層の透明ＰＥＴフィルム（厚さ０．２５ｍｍ）をバックシートとして用い、上記と同様にしてその片面に、もう一枚の上記両面エンボスシートの片面の型部材（エンボスフィルム）を剥離した後、そのエンボス加工面を当接させ、ゴムローラにて該両面エンボスシートのエンボス凹部が潰れないように貼り付けた。
次いで、図１１に示すように太陽電池モジュールの構成部材を積層配置した。即ち、上記ガラス基板上に貼り付けた両面エンボスシートのもう片面の型部材（エンボスフィルム）を剥離した後、その上に太陽電池素子を縦横方向に２行２列に接続した合計４直の単結晶シリコン太陽電池素子マトリックスを載置し、更に上記バックシート上に貼り付けた両面エンボスシートのもう片面の型部材（エンボスフィルム）を剥離した後、その剥離面（エンボス加工面）を下にして太陽電池素子マトリックス上に載置した。
次に、図１１に示す積層体を、真空ラミネータ装置内に載置し減圧真空下、１１０℃で１５分間、大気圧で圧着することにより太陽電池モジュールＡを製造した。

【0099】

［比較例１］
実施例１において、二枚のシリコーンゴムシートについていずれも両面のエンボス加工を施さないで両面フラットなものを用いた以外は実施例１と同様に行い太陽電池モジュールＢを製造した。なお、そのときの真空ラミネート処理前の太陽電池モジュール構成部材の積層配置状態を図１２に示す。

【0100】

［比較例２］
実施例１において、シリコーンゴム組成物について、（Ｂ）成分として、アエロジル２００を１６０部用いた以外は実施例１と同様にしてベースゴムコンパウンド及び５ｍｍ厚のシリコーンゴムシートを作製した。しかし、得られた５ｍｍ厚のシリコーンゴムシートは大変脆く、室温にて日本ロール（株）製カレンダー成形機にて１ｍｍ厚のシートに成形しようとしたがシートにならず、それ以降の処理が行えなかった。

【0101】

［参考例１］
実施例１において、二枚のシリコーンゴムシートのうち、一枚を片側面にのみ実施例１と同様のエンボス加工を施し、もう片面はエンボス加工を施さないで表面はフラットな状態とし（以後、このシリコーンゴムシートを片面エンボスシートという）、もう一枚は実施例１と同様の両面エンボスシートとした。上記片面エンボスシート１１’を太陽電池素子マトリックス１４と透明パネル１３ａとの間に配置し、そのエンボス加工面を太陽電池素子マトリックス１４側に向け、非エンボス加工面（フラットな面）を透明パネル１３ａ側に向けて積層した以外は実施例１と同様に行い太陽電池モジュールＣを製造した。そのときの真空ラミネート処理前の太陽電池モジュール構成部材の積層配置状態を図１３に示す。

【0102】

［参考例２］
実施例１において、二枚のシリコーンゴムシートのうち、一枚を片面エンボスシート１１’とし、もう一枚を実施例１と同様な両面エンボスシート１１とし、上記片面エンボスシート１１’を太陽電池素子マトリックス１４と透明パネル１３ａの間に配置し、その非エンボス加工面（フラット面）を太陽電池素子マトリックス１４側に向け、エンボス加工面を透明パネル１３ａ側に向けて積層した以外は実施例１と同様に行い太陽電池モジュールＤを製造した。そのときの真空ラミネート処理前の太陽電池モジュール構成部材の積層配置状態を図１４に示す。

【0103】

［参考例３］
実施例１において、二枚のシリコーンゴムシートのうち、一枚を片面エンボスシート１１’とし、もう一枚を実施例１と同様な両面エンボスシート１１とし、上記片面エンボスシート１１’を太陽電池素子マトリックス１４とバックシート１３ｂの間に配置し、そのエンボス加工面を太陽電池素子マトリックス１４側に向け、非エンボス加工面（フラット面）をバックシート１３ｂ側に向けて積層した以外は実施例１と同様に行い太陽電池モジュールＥを製造した。そのときの真空ラミネート処理前の太陽電池モジュール構成部材の積層配置状態を図１５に示す。

【0104】

［参考例４］
実施例１において、二枚のシリコーンゴムシートのうち、一枚を片面エンボスシート１１’とし、もう一枚を実施例１と同様な両面エンボスシート１１とし、上記片面エンボスシート１１’を太陽電池素子マトリックス１４とバックシート１３ｂの間に配置し、その非エンボス加工面（フラット面）を太陽電池素子マトリックス１４側に向け、エンボス加工面をバックシート１３ｂ側に向けて積層した以外は実施例１と同様に行い太陽電池モジュールＦを製造した。そのときの真空ラミネート処理前の太陽電池モジュール構成部材の積層配置状態を図１６に示す。

【0105】

実施例１、比較例１及び参考例１〜４において、各太陽電池モジュールのシリコーンゴム硬化物による封止状態を観察した。
表１にそれらの評価観察結果を示す。なお、封止評価においては、太陽電池モジュールの透明パネル１３ａ及びバックシート１３ｂを外側から目視で観察し、それぞれの面の面積全体における気泡によって生じた未封止部分（空隙）の面積の割合が、１％未満である状態を「○」、１％以上５％未満である状態を「△」、及び５％以上である状態を「×」と判定した。

【0106】

【表1】

【0107】

［参考例５］
ジメチルシロキサン単位９９．８２５モル％、メチルビニルシロキサン単位０．１５モル％、ジメチルビニルシロキサン単位０．０２５モル％からなり、平均重合度が約８，０００であるオルガノポリシロキサン１００部、ＢＥＴ比表面積２００ｍ²／ｇの乾式シリカ Ａｒｏｓｉｌ２００（日本エアロジル（株）製）８０部、両末端にシラノール基を有し、粘度２９ｍＰａ・ｓ（２５℃）のジメチルポリシロキサン５部をニーダーで配合し、１８０℃で２時間熱処理し、ベースゴムコンパウンドを作製した。
次いで、付加硬化剤としてＣ−２５Ａ（白金触媒）０．５部及びＣ−２５Ｂ（オルガノハイドロジェンポリシロキサン）２．０部（ともに信越化学工業（株）製）を２本ロールミルにて添加混合し、５ｍｍ厚のゴムコンパウンドシートを作製した。
次に、得られた５ｍｍ厚のゴムコンパウンドシートを室温にて日本ロール株式会社製カレンダー成形機にて１ｍｍ厚のシートに成形した後、同じく室温にてシートの両面に石島化学工業株式会社製のダイヤエンボスフィルム（エンボスＮＥＦタイプ；厚さ０．１５ｍｍ）を保護フィルムとしてそのエンボスロール面で挟み未加硫のシリコーンゴムシート１０を両面で保護した。
次に、上記未加硫のシリコーンゴムシートの片面のエンボスフィルムを剥離した後、厚み３．２ｍｍ、３４０ｍｍ×３６０ｍｍの白板強化ガラス基板（以下、透明パネル１３ａ）上にシリコーンゴムシート露出面がガラス板に向き合うように重ね合わせた状態で、一対のシリコーンゴムローラ（圧着ローラ）で圧着し、隙間なくガラス基板に未加硫のシリコーンゴムシート１０ｈを貼り付けた。その後、残るエンボスフィルムを未加硫のシリコーンゴムシート１０の表面から剥し、積層体１３０ａを得た。
更に、裏面の封止状況を判別するために厚み０．３ｍｍ、３４０ｍｍ×３６０ｍｍの単層の透明ＰＥＴフィルムをバックシート１３ｂとして用い、上記と同様にしてその片面に、上記エンボスフィルムで保護された未加硫のシリコーンゴムシートの片面のエンボスフィルムを剥離した後、透明ＰＥＴフィルム上にシリコーンゴムシート露出面が透明ＰＥＴフィルムに向き合うように重ね合わせた状態で、一対のシリコーンゴムローラ（圧着ローラ）で、隙間なく、透明ＰＥＴフィルム（バックシート１３ｂ）にシリコーンゴムシート１０ｈを貼り付けた。その後、残るエンボスフィルムを未加硫のシリコーンゴムシート１０から剥し、積層体１３０ｂを得た。
次いで、図７に示すように、上記積層体１３０ａを定盤５１上にシリコーンゴムシート１０が上となるように載置し、このシリコーンゴムシート１０の表面にエンボス加工ローラ５２のローラ外周面を押し付けながら回転移動させて該シリコーンゴムシート１０表面にエンボス模様（凹凸パターン）を転写させて、透明パネル１３ａの一面に所定のパターンの凹凸を有するシリコーンゴムシート１１’が貼り付けられた第１積層体１３１を得た。なお、エンボス加工ローラ５２は、直径４０ｍｍ、長さ４００ｍｍのステンレス製のローラであって、その外周面に図２（ａ）に示すダイヤ型のエンボスパターンであってその溝の高低差を０．３ｍｍとした凹凸パターンを形成したものである。
また、直径４０ｍｍ、長さ４００ｍｍのシリコーンゴム製の支持ローラと、上記エンボス加工ローラ５２とを両者の離間距離１．１５ｍｍとして対向して配置し、エンボス加工ローラ５２を回転駆動させながら、上記積層体１３０ｂをシリコーンゴムシート１０がエンボス加工ローラ５２側となるように支持ローラ−エンボス加工ローラ５２間に挿入して該シリコーンゴムシート１０表面にエンボス模様（凹凸パターン）を転写させて、バックシート１３ｂの一面に所定のパターンの凹凸を有するシリコーンゴムシート１１’が貼り付けられた第２積層体１３２を得た。
上記第１積層体１３１のシリコーンゴムシート１１’の表面に、太陽電池素子を縦横方向に２行２列に直列接続した合計４直の単結晶シリコン太陽電池素子マトリックスを載置し、更に上記第２積層体１３２をそのシリコーンゴムシート１１’が太陽電池素子マトリックスを覆うように載置した。
次に、上記積層体（図１０）を、真空ラミネータ装置内に載置し、減圧真空下、１１０℃で３分間真空引きを行い、大気圧下で１２分間圧着することにより太陽電池モジュールＧを製造した。

【0108】

［比較例３］
参考例５において、１ｍｍ厚のシリコーンゴムシート１０を３４０ｍｍ×３６０ｍｍの白板強化ガラス基板（透明パネル１３ａ）に貼り付け処理することなく載置し、次いでこのシリコーンゴムシート１０の表面に、太陽電池素子を縦横方向に２行２列に直列接続した合計４直の単結晶シリコン太陽電池素子マトリックスを載置し、更に１ｍｍ厚のシリコーンゴムシート１０を該太陽電池素子マトリックスを覆うように載置し、最後にこのシリコーンゴムシート１０上に厚み０．３ｍｍ、３４０ｍｍ×３６０ｍｍの単層の透明ＰＥＴフィルム（バックシート１３ｂ）を載置した。
次に、この仮積層体を、真空ラミネータ装置内に載置し、減圧真空下、１１０℃で３分間真空引きを行い、大気圧下で１２分間圧着することにより太陽電池モジュールＨを製造した。

【0109】

参考例５、比較例３において、各太陽電池モジュールのシリコーンゴムシート硬化物による封止状態を観察した。
表２にそれらの評価観察結果を示す。なお、封止評価においては、太陽電池モジュールを外側から目視で観察し、透明パネル１３ａと表面側シリコーンゴムシート硬化物との間、表面側シリコーンゴムシート硬化物と太陽電池素子マトリックスとの間、太陽電池素子マトリックスと裏面側シリコーンゴムシート硬化物との間、裏面側シリコーンゴムシート硬化物とバックシート１３ｂとの間それぞれにおける空隙の有無及び空隙がある場合にはその大きさ（空隙を球形として見た場合の最大の径）を観察した。ここで、空隙がない場合は「○」、空隙がある場合であってその大きさ（最大の径）が５ｍｍ未満のものしかない場合には”ややあり”として「△」、空隙の大きさ（最大の径）が５ｍｍ以上のものがある場合には”あり”として「×」と判定した。

【0110】

【表2】

【0111】

参考例５では、真空ラミネート処理前にシリコーンゴムシートを透明パネル及びバックシートに隙間なく密着して貼り付けておくことで空隙の発生なく硬化させることができる。また、参考例５では、シリコーンゴムシートの太陽電池素子マトリックスに対向する面にエンボス加工を施すことで、真空ラミネート処理において短時間の真空引きでシリコーンゴムシート硬化物と太陽電池素子マトリックスとの間に空隙の発生なく硬化させることが可能である。

【0112】

なお、これまで本発明を図面に示した実施形態をもって説明してきたが、本発明は図面に示した実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0113】

１０ シリコーンゴムシート
１０ｈ 保護フィルム付きシリコーンゴムシート
１０ｒ シリコーンゴムシートロール
１１ 両面エンボスシート（両面にエンボスが付与されたシリコーンゴムシート）
１１’ 片面エンボスシート（片面にエンボスが付与されたシリコーンゴムシート）
１１ａ エンボス凸部
１１ｂ エンボス凹部
１２ 封止材
１３ａ 透明パネル
１３ｂ バックシート
１３ｂｒ バックシートロール
１４ 太陽電池素子マトリックス
２０ 型部材
２１ エンボスパターン
２１ａ エンボス凸部
２１ｂ エンボス凹部
２１ｐ エンボス単位
２２ 保護フィルム
２２ｒ 保護フィルムロール
３０ ガラスラミネータ
３１ 搬送ローラ
３２、４２ 圧着ローラ
４０ フィルムラミネータ
４１、６１ 支持ローラ
５１ 定盤
５２、６２ エンボス加工ローラ
１３０ａ、１３０ｂ 積層体
１３０ｂｒ 積層体ロール
１３１ 第１積層体
１３２ 第２積層体
１３２ｒ 第２積層体ロール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】