特許 6233775 感光性樹脂組成物、その樹脂硬化物およびカラーフィルター

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6233775

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】感光性樹脂組成物、その樹脂硬化物およびカラーフィルター

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/004 20060101AFI20171113BHJP

   G03F 7/033 20060101ALI20171113BHJP

   G02B 5/20 20060101ALI20171113BHJP

   C08F 220/34 20060101ALI20171113BHJP

   C08F 220/06 20060101ALI20171113BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/004 505

   G03F7/033

   G03F7/004 504

   G02B5/20 101

   C08F220/34

   C08F220/06

【請求項の数】20

【全頁数】73

(21)【出願番号】特願2013-205143(P2013-205143)

(22)【出願日】2013年9月30日

(65)【公開番号】特開2015-69125(P2015-69125A)

(43)【公開日】2015年4月13日

【審査請求日】2015年10月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】306037311

【氏名又は名称】富士フイルム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100161469

【弁理士】

【氏名又は名称】赤羽 修一

(74)【代理人】

【識別番号】100076439

【弁理士】

【氏名又は名称】飯田 敏三

(74)【代理人】

【識別番号】100131288

【弁理士】

【氏名又は名称】宮前 尚祐

(72)【発明者】

【氏名】田口 貴規

(72)【発明者】

【氏名】稲部 陽樹

【審査官】 本田 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２１６９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１６４５８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０１５８１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１９１３０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１０８２６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１４８８５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１６２６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０７９０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２１２６５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０７２２９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１７３３５６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ ７／００４ − ７／１８

Ｇ０２Ｂ ５／２０ − ５／２８

ＣＡｐｌｕｓ／ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

顔料、酸性もしくは中性の色素誘導体、下記（１）、（２）、（３）のいずれかである塩基性分散剤および現像樹脂を含有する赤色の感光性樹脂組成物であって、該顔料がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１およびＣ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９を含む感光性樹脂組成物。
（１）（ｂ−１）アミノ基及び含窒素へテロ環基から選択された少なくとも一つの基を有するモノマー、（ｂ−２）カルボキシル基を有するモノマー、及び（ｂ−３）重量平均分子量が１，０００以上５０，０００以下のマクロモノマーの共重合体
（２）下記式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ａ）で表される繰り返し単位、又は、式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ｂ）で表される繰り返し単位を含む樹脂

【化1】

（Ｒ^１及びＲ^２は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基を表す。ａは、各々独立に、１〜５の整数を表す。＊は繰り返し単位間の連結部を表す。Ｒ^８及びＲ^９はＲ^１と同義の基である。Ｌは単結合、アルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、イミノ基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基である。Ｌ^ａはＣＲ^８ＣＲ^９とＮとともに環構造形成する構造部位である。ＸはｐＫａ１４以下の官能基を有する基を表す。Ｙは数平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー鎖又はポリマー鎖を表す。）
（３）（３−ａ）Ｎ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位を有する共重合体ブロックと、（３−ｂ）ビニル系モノマー単位としてアルキル（メタ）アクリレートを含む共重合体ブロックを含むブロック共重合体

【請求項2】

前記塩基性分散剤が前記（３）の分散剤である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項3】

さらに、重合性化合物を含有する請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項4】

前記顔料がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７をさらに含む請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項5】

前記酸性もしくは中性の色素誘導体が、ｐＫａ５以下の酸性基を有するか、または、ｐＫａ５以下の酸性基と、対応する共役酸のｐＫａ値が５以上の塩基性基を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項6】

前記色素誘導体が下記式（Ｉ）で表される請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【化2】

（式中、Ｑ^ｘは有機色素残基である。Ｘ^１は塩基性基である。Ｙ^１は酸性基である。ｎは１以上４以下の整数である。ｒは０以上最大置換基数以下の整数である。ｍは０以上４以下の整数である。ｎ≧ｍを満たす。Ｔは置換基を表す。）

【請求項7】

前記現像樹脂が下記式（Ａ１）で表される化合物が共重合された高分子化合物を含む請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【化3】

（式中、Ｒ^Ａ１は水素原子またはメチル基を表す。Ｒ^Ａ２は炭素数２または３のアルキレン基を表す。Ｒ^Ａ３は水素原子またはベンゼン環を含んでいても良い炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。ｎが２以上の場合、複数のＲ^Ａ２は、それぞれ同一であってもよく異なっていてもよい。ｍは１〜５の整数を表す。）

【請求項8】

前記顔料を全固形分中３０質量％以上８０質量％以下で含有する請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項9】

前記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２及びＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を用いる場合はこれを含む） １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１を５０〜３００質量部含有する請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項10】

前記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２及びＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を用いる場合はこれを含む） １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９を５〜１００質量部含有する請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項11】

前記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４ １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７及び／又はＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２を１００〜３００質量部含有する請求項４〜１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項12】

前記塩基性分散剤を顔料１００質量部に対して１〜８０質量部含有する請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項13】

前記現像樹脂を顔料１００質量部に対して１０〜１００質量部含有する請求項１〜１２のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項14】

前記色素誘導体を顔料１００質量部に対して３〜２０質量部含有する請求項１〜１３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項15】

前記感光性樹脂組成物がその硬化膜として利用するものであり、緑色の樹脂硬化膜と隣接して用いる請求項１〜１４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項16】

前記緑色の樹脂硬化膜がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｇ．５８を含む請求項１５に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項17】

請求項１〜１６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物である赤色の樹脂硬化物。

【請求項18】

請求項１７に記載の赤色の樹脂硬化物を有してなるカラーフィルター。

【請求項19】

前記赤色の樹脂硬化物と隣接して緑色の樹脂硬化物を配置した請求項１８に記載のカラーフィルター。

【請求項20】

前記緑色の樹脂硬化物がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｇ．５８を含む請求項１９に記載のカラーフィルター。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、感光性樹脂組成物、その樹脂硬化物およびカラーフィルターに関する。

【背景技術】

【0002】

カラーフィルターは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色からなる画素部が形成され、ベイヤーパターンとよばれる配列で配置された薄板状の構造が一般的である。これにより、空間的に色を分解する。表示装置であればその色の光を外部に放出し、撮像素子であればその色の入射光としてセンサーに正確に到達するよう構成される。

【0003】

とりわけ、昨今技術開発が進む固体撮像装置は、微細な部材が多数組み込まれた精密半導体製品である。例えば、イメージセンサーには、入射光を電気信号に変換する複数の画素と、各画素を選択的に読み出すＣＭＯＳセンサー、さらにシリコン基板内を通して各画素から読み出した信号電荷を電荷転送するＣＣＤがある。このセンサーにより、適正かつ高感度で光の情報を取り込むよう、カラーフィルターの画素の色相の調整も高度に求められてくる。これを受け、特定の配合で、画素部を形成する着色材料を混合することを提案した例がある（特許文献１〜３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００５−１８１３８４号公報

【特許文献2】特開２００９−２１６９５２号公報

【特許文献3】特許第４５７６８９０号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

赤色（Ｒ）のカラーフィルター画素部の色相については、前記特許文献２が詳しくその設計目標となる分光特性を示している。求められる色相は必ずしも一様ではなく、利用者の好みによって変わる部分もあるが、人間の目に近い色分解性を考慮するときには、そこで設定されている分光特性が１つの目安となる。
一方、本発明者が研究開発を進めるなかで見出した現象として、上記特許文献２に記載されているような特定の顔料を配合した赤色組成物は、微細画素パターンを形成した際、当該画素パターンを上方から観察した際の画素パターン側壁の直線性（以下、「パターン直線性」と呼ぶ）に劣る傾向が見られた。ここで、パターン直線性に劣るとは、画素パターンを上方から観察した際に、パターン側壁に大きな凹凸（ガタつき）が認められ、直線状ではないことをいう。また、当該赤色組成物はカラーフィルタとした際の微細な色ムラ（以下、「ザラ」と呼ぶ）の経時安定性に劣る傾向が見られた。加えて、当該赤色組成物から得られる赤色硬化膜を高温加熱すると、膜上に針状の異物を生成することがあり、特に当該赤色組成物から得られる赤色硬化膜が特定の緑色顔料を含む緑色硬化物と隣接した状態で高温加熱したとき、針状の成長物（針状異物）を顕著に生じることが分かってきた。
そこで本発明は、画素パターンのパターン直線性やザラの経時安定性に優れ、かつその硬化物を高温加熱したとき（特に特定の緑色顔料を含む緑色硬化物（画素）と隣接させた状態で高温加熱したとき）にも針状異物を生じない感光性樹脂組成物、その樹脂硬化物およびこれを用いて作製したカラーフィルターの提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題は下記の手段により解決された。
〔１〕顔料、酸性もしくは中性の色素誘導体、下記（１）、（２）、（３）のいずれかである塩基性分散剤および現像樹脂を含有する赤色の感光性樹脂組成物であって、顔料がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１およびＣ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９を含む感光性樹脂組成物。
（１）（ｂ−１）アミノ基及び含窒素へテロ環基から選択された少なくとも一つの基を有するモノマー、（ｂ−２）カルボキシル基を有するモノマー、及び（ｂ−３）重量平均分子量が１，０００以上５０，０００以下のマクロモノマーの共重合体
（２）下記式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ａ）で表される繰り返し単位、又は、式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ｂ）で表される繰り返し単位を含む樹脂

【化1】

（Ｒ^１及びＲ^２は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基を表す。ａは、各々独立に、１〜５の整数を表す。＊は繰り返し単位間の連結部を表す。Ｒ^８及びＲ^９はＲ^１と同義の基である。Ｌは単結合、アルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、イミノ基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基である。Ｌ^ａはＣＲ^８ＣＲ^９とＮとともに環構造形成する構造部位である。ＸはｐＫａ１４以下の官能基を有する基を表す。Ｙは数平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー鎖又はポリマー鎖を表す。）
（３）（３−ａ）Ｎ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位を有する共重合体ブロックと、（３−ｂ）ビニル系モノマー単位としてアルキル（メタ）アクリレートを含む共重合体ブロックを含むブロック共重合体
〔２〕上記塩基性分散剤が上記（３）の分散剤である〔１〕に記載の感光性樹脂組成物。
〔３〕さらに、重合性化合物を含有する〔１〕または〔２〕に記載の感光性樹脂組成物。
〔４〕上記顔料がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７をさらに含む〔１〕〜〔３〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔５〕上記酸性もしくは中性の色素誘導体が、ｐＫａ５以下の酸性基を有するか、または、ｐＫａ５以下の酸性基と、対応する共役酸のｐＫａ値が５以上の塩基性基を有する〔１〕〜〔４〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔６〕上記色素誘導体が下記式（Ｉ）で表される〔１〕〜〔５〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。

【化2】

（式中、Ｑ^ｘは有機色素残基である。Ｘ^１は塩基性基である。Ｙ^１は酸性基である。ｎは１以上４以下の整数である。ｒは０以上最大置換基数以下の整数である。ｍは０以上４以下の整数である。ｎ≧ｍを満たす。Ｔは置換基を表す。）
〔７〕上記現像樹脂が下記式（Ａ１）で表される化合物が共重合された高分子化合物を含む〔１〕〜〔６〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。

【化3】

（式中、Ｒ^Ａ１は水素原子またはメチル基を表す。Ｒ^Ａ２は炭素数２または３のアルキレン基を表す。Ｒ^Ａ３は水素原子またはベンゼン環を含んでいても良い炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。ｎが２以上の場合、複数のＲ^Ａ２は、それぞれ同一であってもよく異なっていてもよい。ｍは１〜５の整数を表す。）
〔８〕上記顔料を全固形分中３０質量％以上８０質量％以下で含有する〔１〕〜〔７〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔９〕上記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２及びＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を用いる場合はこれを含む） １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１を５０〜３００質量部含有する〔１〕〜〔８〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１０〕上記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２及びＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を用いる場合はこれを含む） １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９を５〜１００質量部含有する〔１〕〜〔９〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１１〕上記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４ １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７及び／又はＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２を１００〜３００質量部含有する〔４〕〜〔１０〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１２〕上記塩基性分散剤を顔料１００質量部に対して１〜８０質量部含有する〔１〕〜〔１１〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１３〕上記現像樹脂を顔料１００質量部に対して１０〜１００質量部含有する〔１〕〜〔１２〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１４〕上記色素誘導体を顔料１００質量部に対して３〜２０質量部含有する〔１〕〜〔１３〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１５〕上記感光性樹脂組成物がその硬化膜として利用するものであり、緑色の樹脂硬化膜と隣接して用いる〔１〕〜〔１４〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
〔１６〕上記緑色の樹脂硬化膜がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｇ．５８を含む〔１５〕に記載の感光性樹脂組成物。
〔１７〕 〔１〕〜〔１６〕のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物の硬化物である赤色の樹脂硬化物。
〔１８〕 〔１７〕に記載の赤色の樹脂硬化物を有してなるカラーフィルター。
〔１９〕上記赤色の樹脂硬化物と隣接して緑色の樹脂硬化物を配置した〔１８〕に記載のカラーフィルター。
〔２０〕上記緑色の樹脂硬化物がＣ．Ｉ．Ｐ．Ｇ．５８を含む〔１９〕に記載のカラーフィルター。

【発明の効果】

【0007】

本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂硬化物（カラーフィルターの画素）としたときに、そのパターン直線性やザラの経時安定性に優れ、かつその硬化物を高温加熱したとき（特に特定の緑色顔料を含む緑色硬化物（画素）と隣接させた状態で高温加熱したとき）にも針状異物を生じさせない優れた性能を発揮する。
本発明のカラーフィルターは、上記樹脂硬化物（画素）に係る優れた性能に基づき、高い耐久性と高品質を実現する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の好ましい実施形態に係る固体撮像素子の一部断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本発明のカラーフィルター用の感光性樹脂組成物は、特有の分光特性を有し、固体撮像素子に好適に適用することができる。また、微細画素を形成した際のパターン直線性やザラの経時安定性に優れ、場合により生じる針状異物を抑制ないし防止し、高品位のカラーフィルターを提供することができる。本発明に係る感光性樹脂組成物についてその好ましい実施形態に基づき詳細に説明するが、まずその好適な応用形態である固体撮像素子について説明する。

【0010】

［固体撮像素子］
図１は、本発明の好ましい実施形態に係る固体撮像素子の一部断面図である。同図では固体撮像素子１０を、下部平坦化膜１２の上側（光入射側）のみを図示している。その下側には、回路や受光素子等が含まれるが、図示を省略した。本実施形態の固体撮像素子１０においては、シリコン基板（図示せず）の上に設けられた受光素子（フォトダイオード）（図示せず）、カラーフィルター２０、上部平坦化膜１１、マイクロレンズ１５等から構成される。上部・下部平坦化膜１２・１１は必ずしも設ける必要はない。なお、図１では、各部を明確にするため、相互の厚みや幅の比率は無視して一部誇張して表示している。

【0011】

カラーフィルター２０は赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各カラーフィルター画素部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂで構成されている。なお、本明細書においては、上記のように、カラーフィルターの各色の構成単位を「画素部」というが、その画素部で区画される領域（図中のｇ）を画素といい、区別することがある。

【0012】

カラーフィルター２０は、前記のとおり、２次元配列された複数の緑色画素部２０Ｇ、２０Ｒ、２０Ｂで構成されている。本実施形態においては、その間にブラックマトリックスを有していない。各着色画素部２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂは、それぞれ受光素子の上方位置に形成されている。緑色画素部２０ＧがＢａｙｅｒパターン（市松模様）に形成されるとともに、青色画素部２０Ｂ及び赤色画素部２０Ｒは、各緑色画素部２０Ｇの間に形成されている。なお、図１では、カラーフィルター２０が３色の画素部から構成されていることを説明するために、各着色画素部２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂを１列に並べて表示している。

【0013】

平坦化膜１１は、カラーフィルター２０の上面を覆うように形成されており、カラーフィルター表面を平坦化している。マイクロレンズ１５は、凸面を上にして配置された集光レンズであり、平坦化膜１１の上方でかつ受光素子の上方に設けられている。すなわち、光の入射方向に沿って、マイクロレンズ、カラーフィルター画素部および受光素子が直列に並ぶ配置とされ、外部からの光を効率良く各受光素子へ導く構造とされている。なお、受光素子およびマイクロレンズについて詳細な説明を省略するが、この種の製品に通常適用されるものを適宜利用することができる。

【0014】

本発明において、画素部の幅ｇは特に制限されないが、その効果が顕著に現われることから、５μｍ以下であることが好ましく、３μｍ以下であることがより好ましく、２μｍ以下であることがさらに好ましく、１μｍ以下であることが特に好ましい。下限値は特にないが、０．５μｍ以上であることが実際的である。ベイヤーパターンの矩形画素として言えば、平面視において、５μｍ□以下であることが好ましく、３μｍ□以下であることがより好ましく、２μｍ□以下であることがさらに好ましく、１μｍ□以下であることが特に好ましい。下限値は特にないが、０．５μｍ□以上であることが実際的である。また、本発明の好ましい実施形態に係る効果が際立つことから、各画素部は隣接していることが好ましい。なお、□（ｓｑ）とは正方形の一辺の長さであることを意味する。
画素部の厚さは、例えば、０．２μｍ以上とすることが好ましく、０．３μｍ以上とすることがより好ましく、０．４μｍ以上とすることが特に好ましい。上限としては、２μｍ以下とすることが好ましく、１．５５μｍ以下とすることがより好ましく、０．８μｍ以下とすることが特に好ましい。
本明細書において、膜の厚さは特に断らない限り、接触式膜厚測定器（Ｄｅｋｔａｋ１５０；ブルカー社製）を用いて測定した値とする。ただし、サンプリングは５点を測定した値の平均とした。

【0015】

［分光特性］
本発明の好ましい実施形態に係る赤色の感光性樹脂組成物によれば、その硬化膜において、分光分布に係る立ち上がり領域に適度な吸収を持ち、ピーク透過領域の吸収は十分に抑えられた分光特性を得ることができる。これは換言すると、好ましい実施形態として、約６００ｎｍ以上の領域では十分な透過を示し、５７５ｎｍ付近では分光分布曲線が斜めになる分光特性ということができる。

【0016】

さらに具体的には、下記条件＜Ａ＞を満たすことが好ましい。すなわち、条件＜Ａ＞は、
波長５７５〜５８５ｎｍの範囲内で透過率５０％以上に達することが好ましい。
波長４５０〜５００ｎｍの範囲内の透過率が５％以下であることが好ましい。
波長５００ｎｍにおける透過率（Ｔ５００）と波長５５０ｎｍにおける透過率（Ｔ５５０）との比（Ｔ５５０／５００）が３以上であることが好ましい。Ｔ５５０／５００に上限値はないが、概ね５０以下であることが実際的である。
波長６００ｎｍの透過率が７０％以上となることが好ましい。
上記の条件を満たす塗膜の膜厚が０．５〜２．５μｍであることが好ましく、０．５〜１μｍであることがより好ましい。

【0017】

このような分光特性（条件＜Ａ＞）を示すことにより、やや広がりのある入射光の色の分解につながる可能性があり、例えば人間の目に近い性能をもつ固体撮像素子の新たな設計に資するものと解される。なお、分光特性の測定方法は、特に断らない限り、下記の方法で測定した条件によるものとする。
＜分光特性の評価＞
７．５ｃｍ×７．５ｃｍのガラス基板上にスピンコーターにて、上述の組成物を膜厚０．８μｍの塗布膜となるように塗布する。その後、ホットプレートを使用して１００℃で２分間加熱乾燥する。次いで２００℃で５分間の加熱を行い、塗布膜の硬化を行って着色層を形成する。得られた着色層形成基板をＭＣＰＤ−３０００（大塚電子社製）により分光測定する。測定温度は２５℃とした。

【0018】

［樹脂硬化物（カラーフィルター）］
本発明の好ましい実施形態に係るカラーフィルターの各画素部は、下記の感光性樹脂組成物を硬化させてなることが好ましい。本実施形態の感光性樹脂組成物は、顔料（ａ）と分散剤（ｂ）と現像樹脂（ｃ）と酸性もしくは中性の色素誘導体（ｄ）を含有する。さらに、重合性化合物（ｅ）、重合開始剤（ｆ）等を含有していてもよい。

【0019】

（ａ）顔料
本発明においては、着色剤となる顔料として、ピグメントレッド２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４）とピグメントオレンジ７１（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１）とピグメントイエロー１３９（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９）とを含む。前記顔料としては、さらにピグメントレッド１７７（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７）および／またはピグメントレッド１２２（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２）を含むことが好ましい。

【0020】

顔料の平均一次粒子径は、１０ｎｍ以上が実際的である。上限としては、より良好なコントラストを得る観点から、１μｍ以下が好ましく、５００ｎｍ以下がより好ましく、２００ｎｍ以下がさらに好ましく、１００ｎｍ以下がさらに好ましく、５０ｎｍ以下が特に好ましい。また、粒子の単分散性を表す指標として、本発明においては、特に断りのない限り、体積平均粒径（Ｍｖ）と数平均粒径（Ｍｎ）の比（Ｍｖ／Ｍｎ）を用いる。顔料微粒子（一次粒子）の単分散性、つまりＭｖ／Ｍｎは、１．０〜２．０であることが好ましく、１．０〜１．８であることがより好ましく、１．０〜１．５であることが特に好ましい。なお、本発明において粒子の平均一次粒径は、透過型電子顕微鏡により観察した画像から、円相当直径を求め、その５００個の平均値とする。

【0021】

顔料粒子の調製方法としては通常の方法によればよく、例えば、ミリングにより粉砕して調製しても（ブレイクダウン法）、良溶媒と貧溶媒を用いて析出により調製（ビルドアップ法）してもよい。前者（ブレイクダウン法）については、ビーズミルなどを用いて定法により顔料粒子を微細化することができる。例えば、日本画像学会誌，第４５巻，第５号（２００６）１２−２１頁の「機械的解砕」の項に記載された説明を参照することができる。後者（ビルドアップ法）については再沈法などとも呼ばれ、例えば、特開２０１１−０２６４５２号公報、特開２０１１−０１２２１４号公報、特開２０１１−００１５０１号公報、特開２０１０−２３５８９５号公報、特開２０１０−２０９１号公報、特開２０１０−２０９１６０号公報などを参照することができる。

【0022】

感光性樹脂組成物に含有される着色剤（顔料）の濃度としては、感光性樹脂組成物の全固形分中、１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましい。上限については特に制限はないが、好ましくは８０質量％以下である。具体的な顔料種としていうと、採用される顔料中で、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４，Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２，Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７，Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９，Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１の総量が９８質量％以上であることが特に好ましい。
前記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２及びＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を用いる場合はこれを含む）とＣ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１との関係についていうと、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４ １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｏ．７１を５０質量部以上で含有させることが好ましく、７５質量部以上で含有させることがより好ましく、１００質量部以上で含有させることが特に好ましい。上限側の規定としては、３００質量部以下で含有させることが好ましく、２００質量部以下で含有させることがより好ましく、１５０質量部以下で含有させることが特に好ましい。
前記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１２２及びＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を用いる場合はこれを含む）とＣ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９との関係についていうと、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４ １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１３９を５質量部以上で含有させることが好ましく、１０質量部以上で含有させることがより好ましく、２０質量部以上で含有させることが特に好ましい。上限側の規定としては、１００質量部以下で含有させることが好ましく、７０質量部以下で含有させることがより好ましく、４０質量部以下で含有させることが特に好ましい。
前記Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４とＣ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７との関係についていうと、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４ １００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７を１００質量部以上で含有させることが好ましく、１５０質量部以上で含有させることがより好ましく、２００質量部以上で含有させることが特に好ましい。上限側の規定としては、３００質量部以下で含有させることが好ましく、２５０質量部以下で含有させることがより好ましく、２２０質量部以下で含有させることが特に好ましい。

【0023】

本発明の感光性樹脂組成物は、公知の無機顔料、有機顔料、染料などの着色剤を適宜添加してもよい。

【0024】

無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色顔料を挙げることができる。

【0025】

有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１，２４，３１，５３，８３，９３，９９，１０８，１０９，１１０，１３８，１４７，１５０，１５１，１５４，１５５，１６７，１８０，１８５，１９９，；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６，３８，４３；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８１，１０５，１２２，１４９，１５０，１５５，１７１，１７５，１７６，２０９，２２０，２２４，２４２，２５５，２６４，２７０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９，２３，３２，３９；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，２，１５，１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，３７，５８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５，２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１；
等を挙げることができる。

【0026】

公知の染料としては、例えば特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許４８０８５０１号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、米国特許５０５９５０号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。また、染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開２０１１−２１３９２５、特開２０１３−０４１０９７に記載されている化合物が挙げられる。

【0027】

（ｂ）塩基性分散剤
本発明においては、顔料分散剤として塩基性分散剤を含む。本発明における塩基性分散剤とは、塩基性基を有する樹脂からなる分散剤を意味する。好ましくは、顔料粒子表面に吸着する吸着性基として対応する共役酸のｐＫａが５以上の塩基性基を有する樹脂を指す。塩基性基の共役酸のｐＫａ値はさらに７以上であることが好ましい。上限は特にないが１２以下であることが実際的である。対応する共役酸のｐＫａが５以上の塩基性基としては、アミノ基（ＮＲ^Ｎ_２）が挙げられる。なお、ｐＫａ値の定義は後記色素誘導体で説明するものと同義である。

【0028】

本発明に用いられる塩基性分散剤は、顔料表面に吸着する性質を有する顔料親和性部位と、顔料担体と相溶性のある部位とを有する樹脂であり、顔料表面に吸着して顔料の顔料担体への分散を安定化する働きをするものである。このような塩基性分散剤としては、ポリエステル系、アクリル系、ウレタン系の直鎖状または櫛状の樹脂からなるものが挙げられ、直鎖状樹脂の主鎖もしくは末端、櫛状樹脂の主鎖または側鎖に、ブロックまたはランダムに塩基性基、酸性基、芳香族基等を有するものが好ましい。
このような塩基性分散剤として、市販品を使用することができる。例えば、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ２００００、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ２４０００（日本ルーブリゾール製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０（ビックケミー社製）、アジスパーＰＢ７１１、ＰＢ８２１（味の素ファインテクノ株式会社製）等の市販品を使用することができる。

【0029】

本発明に用いられる塩基性分散剤として上述のような市販品を用いても良いが、下記（１）、（２）、（３）に該当する樹脂を用いることが好ましく、（３）に該当する樹脂を用いることが特に好ましい。
（１） （ｂ−１）アミノ基及び含窒素へテロ環基から選択された少なくとも一つの基を有するモノマー、（ｂ−２）カルボキシル基を有するモノマー、及び（ｂ−３）重量平均分子量が１，０００以上５０，０００以下のマクロモノマーの共重合体
（２）下記式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ａ）で表される繰り返し単位、又は、式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ｂ）で表される繰り返し単位を含む樹脂

【0030】

【化4】

（Ｒ^１及びＲ^２は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基（炭素数１〜６が好ましい）を表す。ａは、各々独立に、１〜５の整数を表す。＊は繰り返し単位間の連結部を表す。Ｒ^８及びＲ^９はＲ^１と同義の基である。Ｌは単結合、アルキレン基（炭素数１〜６が好ましい）、アルケニレン基（炭素数２〜６が好ましい）、アリーレン基（炭素数６〜２４が好ましい）、ヘテロアリーレン基（炭素数１〜６が好ましい）、イミノ基（炭素数０〜６が好ましい）、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基である。なかでも、単結合もしくは−ＣＲ^５Ｒ^６−ＮＲ^７−（イミノ基がＸもしくはＹの方になる）であることが好ましい。ここで、Ｒ^５Ｒ^６は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基（炭素数１〜６が好ましい）を表す。Ｒ^７は水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。Ｌ^ａはＣＲ^８ＣＲ^９とＮとともに環構造形成する構造部位であり、ＣＲ^８ＣＲ^９の炭素原子と合わせて炭素数３〜７の非芳香族複素環を形成する構造部位であることが好ましい。さらに好ましくはＣＲ^８ＣＲ^９の炭素原子及びＮ（窒素原子）を合わせて５〜７員の非芳香族複素環を形成する構造部位であり、より好ましくは５員の非芳香族複素環を形成する構造部位であり、ピロリジンを形成する構造部位であることが特に好ましい。ただし、当該構造部位はさらにアルキル基等の置換基を有していてもよい。ＸはｐＫａ１４以下の官能基を有する基を表す。Ｙは数平均分子量が５００〜１００，０００であるオリゴマー鎖又はポリマー鎖を表す。）
（３） （３−ａ）含窒素共重合体ブロックと、（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックを含むブロック共重合体
以下に上記（１）、（２）、（３）に該当する樹脂について、詳細を説明する。

【0031】

上記（１）に該当する樹脂としては、下記の実施形態が挙げられる。

【0032】

＜（１）に係る共重合体＞
（１）に係る共重合体（共重合体（１））は、モノマー（ｂ−１）、モノマー（ｂ−２）、マクロモノマー（ｂ−３）、及び必要に応じて任意の他のモノマーを用い、これらを共重合することにより製造されるものである。

【0033】

モノマー（ｂ−１）
（ｂ−１）アミノ基及び含窒素へテロ環基から選択された少なくとも一つの基を有するモノマー（以下、適宜、「モノマー（ｂ−１）」と称する。）は、アミノ基及び含窒素へテロ環基から選択された少なくとも一つの基を有し、且つ分子量が５０以上１，０００以下のモノマーである。

【0034】

モノマー（ｂ−１）が有するアミノ基としては、１級、２級及び３級のアミノ基が挙げられ、分散安定性の観点からは、２級又は３級のアミノ基であることが好ましく、３級のアミノ基であることがより好ましい。該アミノ基としては、炭素数１〜１０の直鎖若しくは分岐状のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、又は炭素数６〜１５のアリール基を有するアミノ基が好ましく、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐状のアルキル基を有するアミノ基が最も好ましい。該アミノ基の具体例としては、−ＮＨＭｅ、−ＮＨＥｔ、−ＮＨＰｒ、−ＮＨｉＰｒ、−ＮＨＢｕ、−ＮＨ（ｔｅｒｔ−Ｂｕ）、−ＮＭｅ２、−ＮＥｔ２、−ＮＰｒ２、−ＮＰｈ２、モルホリノ基等が挙げられる。（ここで、Ｍｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表し、Ｐｒはプロピル基を表し、Ｂｕはブチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。）

【0035】

モノマー（ｂ−１）が有する含窒素へテロ環基は、環構造内に少なくとも一つの窒素原子を有する環状置換基であり、該環構造は、飽和環であっても、不飽和環であってもよく、単環であっても縮合環であってもよく、無置換であっても置換基（例えば後記置換基Ｔ）を有していてもよい。また、モノマー（ｂ−１）に由来する含窒素へテロ環基は、共重合体（１）において、側鎖構造中に含まれていても、主鎖構造中に含まれていてもよいが、分散性及び分散安定性の観点からは、側鎖構造中に含まれることがより好ましい。

【0036】

含窒素へテロ環基の具体例としては、例えば、ピロリジン、ピロリン、テトラヒドロピリジン、ピペラジン、ホモピペラジン、ピペリジン、トリアジン、モルホリン、ヘキサメチレンテトラミン、ジアザビシクロウンデセン、デカヒドロキノリン、ジアザビシクロオクタン、ピロリジノン、δ−バレロラクタム、スクシンイミド、グルタルイミド、イミダゾリドン、テトラヒドロピリミドン、ウラゾール、ジヒドロウラシル、バルビツール酸、インドール、カルバゾール、ジュロリジン、フェノキサジン、フェノチアジン、オキシンドール、フェナンスリジノン、イサチン、フタルイミド、ジイミノイソインドリン、イミノイソインドリノン、ジイミノベンズイソインドリン、ナフタルイミド、キナゾリンジオン、ピロール、ポルフィリン、ポルフィリン金属錯体、フタロシアニン、フタロシアニン金属錯体、ナフタロシアニン、ナフタロシアニン金属錯体、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、テトラゾール、イソキサゾール、オキサゾール、イソチアゾール、チアゾール、チアジアゾール、チアトリアゾール、イミノスチルベン、アザインドール、インダゾール、ベンズイミダゾール、ベンゾトリアゾール、アザベンズイミダゾール、アンスラニル、ベンズイソキサゾール、ベンズオキサゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾフラザン、ベンゾチアジアゾール、トリアゾールピリミジン、トリアゾールピリジン、プリン、キサンチン、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピリミドン、ウラシル、ピラジン、キノリン、アクリジン、シンノリン、ベンゾシンノリン、キノキサリン、キナゾリン、キノキサリン、フェナジン、フェナンスロリン、ペリミジン、アクリドン等の含窒素ヘテロ環基を挙げることができ、これらは無置換であっても置換基を有していてもよい。

【0037】

モノマー（ｂ−１）としては、分散安定性、現像性及び耐光性の観点から、アミノ基、ピリジニル基、イミダゾイル基、フタルイミド基、ナフタルイミド基、ベンズイミダゾール基、又はアクリドン基を有するモノマーであることが好ましく、アミノ基又はナフタルイミド基を有するモノマーであることが更に好ましい。

【0038】

モノマー（ｂ−１）としては、アミノ基及び含窒素へテロ環基から選択された少なくとも一つの基を有し、且つ重量平均分子量が５０以上１，０００以下の公知のモノマーを使用することができる。該モノマーとしては、重合性の観点からは、アクリル系モノマー又はスチレン系モノマーであることが好ましく、下記式（Ｋ）で表されるアクリル系エステルモノマー、又は下記式（Ｌ）で表されるスチレン系モノマーであることが最も好ましい。

【0039】

【化5】

【0040】

式（Ｋ）中、Ｒ^Ａは、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子、又は塩素原子を表す。Ｂは、酸素原子、−Ｎ（Ｒ^Ｂ）−を表す。Ｒ^Ｂは、水素原子、アルキル基（炭素数１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましく、１〜３が特に好ましい）、シクロアルキル基（炭素数３〜１２が好ましく、３〜６がより好ましい）、又はアリール基（炭素数６〜２２が好ましく、６〜１４がより好ましい）を表す。Ｃは、二価の連結基を表す。Ａは、アミノ基又は含窒素へテロ環基を表す。

【0041】

Ｃで表される二価の連結基としては、炭素数２〜２０のアルキレン基、炭素数２〜２０のアルキレンアミノカルボニル基、炭素数５〜１０のシクロアルキレン基、及び炭素数６〜１０のアリーレン基が好ましく、炭素数２〜１０のアルキレン基、及び炭素数２〜１０のアルキレンアミノカルボニル基が最も好ましい。
Ａで表されるアミノ基又は含窒素ヘテロ環基としては、モノマー（ｂ−１）が有するアミノ基又はヘテロ環基として前記したものと同義であり、好ましい範囲も同一である。

【0042】

【化6】

【0043】

式（Ｌ）中、Ａは、式（Ｋ）と同義である。
以下、モノマー（ｂ−１）の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【0044】

【化7】

【0045】

【化8】

【0046】

モノマー（ｂ−２）
（ｂ−２）カルボキシル基を有するモノマーは、（以下、適宜、「モノマー（ｂ−２）」と称する。）は、少なくとも１つのカルボキシル基を有し、且つ重量平均分子量が５０以上５００以下のモノマーである。

【0047】

モノマ（ｂ−２）としては、重合性の観点からは、アクリル系モノマー又はスチレン系モノマーであることが好ましく、（メタ）アクリル系エステルモノマー及び（メタ）アクリル系アミドモノマーが最も好ましい。

【0048】

以下、モノマー（ｂ−２）の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【0049】

【化9】

【0050】

マクロモノマー（ｂ−３）
（ｂ−３）重量平均分子量が１，０００以上５０，０００以下のマクロモノマー（以下、適宜、「マクロモノマー（ｂ−３）」と称する。）は、当該重量平均分子量を有し、且つ末端に重合性基を有するオリゴマー又はポリマーである。
マクロモノマー（ｂ−３）の重量平均分子量は、１，０００以上５０，０００以下であり、１，０００以上２０，０００以下であることが好ましく、２，０００以上１０，０００以下であることがさらに好ましく、２，０００以上５，０００以下であることが最も好ましい。マクロモノマー（ｂ−３）の重量平均分子量がこの範囲にあることにより、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた感光性樹脂組成物が示す現像性が向上する。
なお、上記重量平均分子量は、下記で定義されるＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）法で測定されたポリスチレン換算値である。
マクロモノマー（ｂ−３）としては、公知のマクロモノマーを用いることできる。
マクロモノマー（ｂ−３）の例としては、東亜合成（株）製のマクロモノマーＡＡ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル）、ＡＳ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン）、ＡＮ−６Ｓ（末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体）、ＡＢ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル）、ダイセル化学工業（株）製のプラクセルＦＭ５（メタクリル酸２−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン５モル当量付加品）、ＦＡ１０Ｌ（アクリル酸２−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン１０モル当量付加品）、及び特開平２−２７２００９号公報に記載のポリエステル系マクロモノマーが挙げられる。これらの中でも、特に柔軟性且つ親溶剤性に優れるポリエステル系マクロモノマーが、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた感光性樹脂組成物が示す現像性、耐光性の観点から特に好ましく、更に、下記式（Ｍ）で表されるポリエステル系マクロモノマーが最も好ましい。

【0051】

【化10】

式（Ｍ）中、Ｒ^１Ａは水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^２Ａはアルキレン基を表す。Ｒ^３Ａはアルキル基を表す。ｎは５〜１００の整数を表す。
Ｒ^２Ａとしては、特に炭素数５〜２０の直鎖又は分岐のアルキレン基が好ましく、−（ＣＨ_２）_５−が最も好ましい。Ｒ^３Ａとしては、炭素数５〜２０の直鎖又は分岐のアルキル基が好ましい。ｎとしては、５〜３０の整数が好ましく、１０〜２０の整数が最も好ましい。
マクロモノマー（ｂ−３）は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

【0052】

共重合体（１）は、モノマー（ｂ−１）に由来する繰り返し単位を、当該共重合体の全質量に対して、１０〜５０質量％含有することが好ましく、１５〜４５質量％含有することがさらに好ましく、２０〜４０質量％含有することが最も好ましい。モノマー（ｂ−１）に由来する繰り返し単位の含有量がこの範囲にあることにより、顔料分散液の分散性及び分散安定性と、顔料分散物を用いた着色硬化性組成物が示す現像性とがさらに向上する。モノマー（ｂ−１）に由来する繰り返し単位は、アミノ基を必須に含有することが、分散性及び分散安定性の観点から好ましく、アミノ基及び含窒素へテロ環基の双方を含有することがより好ましく、該含窒素へテロ環基を共重合体の側鎖構造中に含有することがさらに好ましい。
モノマー（ｂ−１）に由来する繰り返し単位におけるアミノ基と含窒素へテロ環基との含有比率（アミノ基：含窒素ヘテロ環基、質量比）は、１００：０〜５：９５が好ましく、１００：０〜１０：９０がさらに好ましく、１００：０〜１５：８５が最も好ましい。
共重合体（１）の酸価は、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが最も好ましい。当該共重合体の酸価がこの範囲にあることにより、顔料分散液の分散性及び分散安定性と、顔料分散物を用いた感光性樹脂組成物の現像性が向上する。この酸価は、塩基滴定により測定することができる。
モノマー（ｂ−２）に由来する繰り返し単位は、共重合体（１）の酸価が、上記の範囲となるように、当該共重合体中に含まれることが好ましい。
共重合体（１）は、マクロモノマー（ｂ−３）に由来する繰り返し単位を、当該共重合体の全質量に対して、１５〜９０質量％含有することが好ましく、２５〜８０質量％含有することがさらに好ましく、３５〜６０質量％含有することが最も好ましい。マクロモノマー（ｂ−３）に由来する繰り返し単位の含有量がこの範囲にあることにより、顔料分散液の分散性及び分散安定性と、顔料分散物を用いた感光性樹脂組成物の現像性とがさらに向上する。
モノマー（ｂ−１）に由来する繰り返し単位、モノマー（ｂ−２）に由来する繰り返し単位、及びマクロモノマー（ｂ−３）に由来する繰り返し単位の含有比（ｂ−１：ｂ−２：ｂ−３、質量比）としては、１０〜５０：２〜３０：３０〜８０が好ましく、２０〜５０：５〜２０：４０〜７０がより好ましく、２０〜４０：８〜２０：４０〜６０が更に好ましい。
共重合体（１）は、硬化性を示すものであってもよい。その硬化性を向上させるためには、更に重合性基を導入してもよい。重合性基の導入方法としては、例えば、カルボキシル基とエポキシ基を含有する（メタ）アクリレート（例えば、メタクリル酸グリシジル等）を反応させる方法、ヒドロキシル基とイソシアネート基を含有する（メタ）アクリレート又は重合性基を含有する環状酸無水物とを反応させる方法、等の公知の方法を用いることができる。
共重合体（１）が重合性を有する場合、重合性基を有する繰り返し単位は、当該共重合体の全質量に対し、５〜５０質量％含有されることが好ましく、１０〜４０質量％含有されることがより好ましい。
共重合体（１）は、溶剤への溶解性や塗布性を向上させるため、前記以外の繰り返し単位を含有してもよい。そのような繰り返し単位の例としては、（メタ）アクリル酸アルキル、（メタ）アクリル酸シクロアルキル、（メタ）アクリル酸アラルキル、（メタ）アクリル酸アミド、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、スチレン等に由来する繰り返し単位が挙げられる。
共重合体（１）は、原料物質として、モノマー（ｂ−１）、モノマー（ｂ−２）、マクロモノマー（ｂ−３）、及び必要に応じて任意の他のモノマーを用い、ラジカル重合で製造することが好ましい。ラジカル重合法で製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、常法と同様である。

【0053】

＜（２）に係る樹脂＞
塩基性分散樹脂（２）は、（ｉ）ポリ（低級アルキレンイミン）系繰り返し単位、ポリアリルアミン系繰り返し単位、ポリジアリルアミン系繰り返し単位、メタキシレンジアミン−エピクロルヒドリン重縮合物系繰り返し単位、及びポリビニルアミン系繰り返し単位から選択される少なくとも１種の、塩基性窒素原子を有する繰り返し単位であって、前記塩基性窒素原子に結合し、かつｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造Ｘを有する繰り返し単位（ｉ）と、数平均分子量５００〜１００，０００の側鎖Ｙを含む側鎖（ｉｉ）とを有する分散樹脂であることが特に好ましい。

【0054】

前記繰り返し単位（ｉ）を有することにより、粒子表面へ分散樹脂の吸着力が向上し、且つ粒子間の相互作用が低減できる。ポリ（低級アルキレンイミン）は鎖状であっても網目状であってもよい。ここで、低級アルキレンイミンとは、好ましくは、炭素数１〜５のアルキレン鎖を含むアルキレンイミンを意味する。前記繰り返し単位（ｉ）は、特定分散樹脂における主鎖部を形成することが好ましい。該主鎖部の数平均分子量、すなわち、上記分散樹脂から前記側鎖Ｙ部分を含む側鎖を除いた部分の数平均分子量は、１００〜１０，０００が好ましく、２００〜５，０００がさらに好ましく、３００〜２，０００が最も好ましい。主鎖部の数平均分子量は、側鎖を導入する前のプレポリマーのＧＰＣ法によるポリスチレン換算値により測定することができる。

【0055】

塩基性分散樹脂（２）としては、下記式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ａ）で表される繰り返し単位、又は、式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位及び式（Ｉ−２ｂ）で表される繰り返し単位を含む分散樹脂であることが好ましい。

【0056】

【化11】

Ｒ^１及びＲ^２は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基（炭素数１〜６が好ましい）を表す。ａは、各々独立に、１〜５の整数を表す。＊は繰り返し単位間の連結部を表す。
Ｒ^８及びＲ^９はＲ^１と同義の基である。
Ｌは単結合、アルキレン基（炭素数１〜６が好ましい）、アルケニレン基（炭素数２〜６が好ましい）、アリーレン基（炭素数６〜２４が好ましい）、ヘテロアリーレン基（炭素数１〜６が好ましい）、イミノ基（炭素数０〜６が好ましい）、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基である。なかでも、単結合もしくは−ＣＲ^５Ｒ^６−ＮＲ^７−（イミノ基がＸもしくはＹの方になる）であることが好ましい。ここで、Ｒ^５Ｒ^６は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基（炭素数１〜６が好ましい）を表す。Ｒ^７は水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。
Ｌ^ａはＣＲ^８ＣＲ^９とＮとともに環構造形成する構造部位であり、ＣＲ^８ＣＲ^９の炭素原子と合わせて炭素数３〜７の非芳香族複素環を形成する構造部位であることが好ましい。さらに好ましくはＣＲ^８ＣＲ^９の炭素原子及びＮ（窒素原子）を合わせて５〜７員の非芳香族複素環を形成する構造部位であり、より好ましくは５員の非芳香族複素環を形成する構造部位であり、ピロリジンを形成する構造部位であることが特に好ましい。ただし、当該構造部位はさらにアルキル基等の置換基を有していてもよい。
ＸはｐＫａ１４以下の官能基を有する基を表す。
Ｙは数平均分子量５００〜１００，０００の側鎖を表す。

【0057】

塩基性分散樹脂（２）は、さらに式（Ｉ−３）、式（Ｉ−４）、または式（Ｉ−５）で表される繰り返し単位を共重合成分として有することが好ましい。このような繰り返し単位を含むことで、分散性能を更に向上させることができる。

【0058】

【化12】

Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｌ、Ｌａ、及びａは式（Ｉ−１）、（Ｉ−２）、（Ｉ−２ａ）における規定と同義である。

【0059】

Ｙａは前記側鎖Ｙのアニオン基を表す。式（Ｉ−３）で表される繰り返し単位は、主鎖部に一級又は二級アミノ基を有する樹脂に、アミンと反応して塩を形成する基を有するオリゴマー又はポリマーを添加して反応させることで形成することが可能である。Ｙａは後記式（ＩＩＩ−２）であることが好ましい。

【0060】

分散樹脂（２）は、さらに一級又は三級のアミノ基を含有する低級アルキレンイミンを繰り返し単位として含んでいてもよい。なお、そのような低級アルキレンイミン繰り返し単位における窒素原子には、さらに、前記Ｘ、Ｙ又はＹａで示される基が結合していてもよい。このような主鎖構造に、Ｘで示される基が結合した繰り返し単位とＹが結合した繰り返し単位の双方を含む樹脂もまた、分散樹脂（２）に包含される。

【0061】

式（Ｉ−１）で表される繰り返し単位は、保存安定性・現像性の観点から、分散樹脂（２）に含まれる全繰り返し単位中、１〜８０モル％含有することが好ましく、３〜５０モル％含有することが最も好ましい。式（Ｉ−２ａ）又は（Ｉ−２ｂ）（以下、式（Ｉ−２）と言う）で表される繰り返し単位は、保存安定性の観点から、分散樹脂（２）に含まれる全繰り返し単位中、１０〜９０モル％含有されることが好ましく、３０〜７０モル％含有されることが最も好ましい。分散安定性及び親疎水性のバランスの観点からは、繰り返し単位（Ｉ−１）及び繰り返し単位（Ｉ−２）の含有比〔（Ｉ−１）：（Ｉ−２）〕は、モル比で１０：１〜１：１００の範囲であることが好ましく、１：１〜１：１０の範囲であることがより好ましい。所望により併用される式（Ｉ−３）で表される繰り返し単位は、特定分散樹脂（２）に含まれる全繰り返し単位中、効果の観点からは、０．５〜２０モル％含有されることが好ましく、１〜１０モル％含有されることが最も好ましい。なお、ポリマー鎖Ｙａがイオン的に結合していることは、赤外分光法や塩基滴定により確認できる。
なお、上記式（Ｉ−２）の共重合比に関する説明は、式（Ｉ−４）、式（Ｉ−５）で表される繰り返し単位についても同義であり、両者を含むときにはその総量を意味する。

【0062】

・部分構造Ｘ
上記各式中の部分構造Ｘは、水温２５℃でのｐＫａが１４以下の官能基を有する。ここでいう「ｐＫａ」とは、化学便覧（ＩＩ）（改訂４版、１９９３年、日本化学会編、丸善株式会社）に記載されている定義のものである。「ｐＫａ１４以下の官能基」は、物性がこの条件を満たすものであれば、その構造などは特に限定されず、公知の官能基でｐＫａが上記範囲を満たすものが挙げられるが、特にｐＫａが１２以下である官能基が好ましく、ｐＫａが１１以下である官能基が特に好ましい。下限値は特にないが、−５以上であることが実際的である。部分構造Ｘとして具体的には、例えば、カルボン酸基（ｐＫａ：３〜５程度）、スルホン酸（ｐＫａ：−３〜−２程度）、−ＣＯＣＨ_２ＣＯ−（ｐＫａ：８〜１０程度）、−ＣＯＣＨ_２ＣＮ（ｐＫａ：８〜１１程度）、−ＣＯＮＨＣＯ−、フェノール性水酸基、−Ｒ_ＦＣＨ_２ＯＨ又は−（Ｒ_Ｆ）_２ＣＨＯＨ（Ｒ_Ｆはペルフルオロアルキレン基もしくはペルフルオロアルキル基を表す。ｐＫａ：９〜１１程度）、スルホンアミド基（ｐＫａ：９〜１１程度）等が挙げられ、特にカルボン酸基（ｐＫａ：３〜５程度）、スルホン酸基（ｐＫａ：−３〜−２程度）、−ＣＯＣＨ_２ＣＯ−（ｐＫａ：８〜１０程度）が好ましい。

【0063】

部分構造Ｘが有する官能基のｐＫａが１４以下であることにより、顔料粒子との相互作用を達成することができる。部分構造Ｘは、前記塩基性窒素原子を有する繰り返し単位における塩基性窒素原子に単結合することが好ましい。部分構造Ｘは、共有結合のみならず、イオン結合して塩を形成する態様で連結していてもよい。部分構造Ｘとしては、特に、下記式（Ｖ−１）、式（Ｖ−２）又は式（Ｖ−３）で表される構造を有するものが好ましい。

【0064】

【化13】

Ｕは単結合又は２価の連結基を表す。
ｄ及びｅは、それぞれ独立して０又は１を表す。
Ｑはアシル基又はアルコキシカルボニル基を表す。

【0065】

Ｕで表される２価の連結基としては、例えば、アルキレン（より具体的には、例えば、−ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨＭｅ−（Ｍｅはメチル基）、−（ＣＨ_２）_５−、−ＣＨ_２ＣＨ（ｎ−Ｃ_１０Ｈ_２１）−等）、酸素を含有するアルキレン（より具体的には、例えば、−ＣＨ_２ＯＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２−等）、アリーレン基（例えば、フェニレン、トリレン、ビフェニレン、ナフチレン、フラニレン、ピロリレン等）、アルキレンオキシ（例えば、エチレンオキシ、プロピレンオキシ、フェニレンオキシ等）等が挙げられるが、特に炭素数１〜３０のアルキレン基又は炭素数６〜２０のアリーレン基が好ましく、炭素数１〜２０のアルキレン又は炭素数６〜１５のアリーレン基が最も好ましい。
生産性の観点から、ｄは１が好ましく、ｅは０が好ましい。

【0066】

Ｑはアシル基又はアルコキシカルボニル基を表す。Ｑにおけるアシル基としては、炭素数１〜３０のアシル基（例えば、ホルミル、アセチル、ｎ−プロパノイル、ベンゾイル等）が好ましく、特にアセチルが好ましい。Ｑにおけるアルコキシカルボニル基としては、Ｑは、特にアシル基が好ましく、アセチル基が製造のし易さ、原料（Ｘの前駆体Ｘ^ａ）の入手性の観点から好ましい。

【0067】

部分構造Ｘは、塩基性窒素原子を有する繰り返し単位における該塩基性窒素原子と結合していることが好ましい。これにより、顔料粒子の分散性・分散安定性が飛躍的に向上する。部分構造Ｘは溶剤溶解性をも付与し、経時における樹脂の析出を抑え、これにより分散安定性に寄与すると考えられる。さらに、部分構造Ｘは、ｐＫａ１４以下の官能基を含むものであるため、アルカリ可溶性基としても機能する。それにより、現像性が向上し、分散性・分散安定性・現像性の両立が可能になると考えられる。

【0068】

部分構造ＸにおけるｐＫａ１４以下の官能基の含有量は特に制限がないが、特定分散樹脂（２）１ｇに対し、０．０１〜５ｍｍｏｌであることが好ましく、０．０５〜１ｍｍｏｌであることが特に好ましい。また、酸価の観点からは、分散樹脂（２）の酸価が５〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇ程度となる量、含まれることが、現像性の観点から好ましい。
・側鎖Ｙ
Ｙとしては、特定分散樹脂（２）の主鎖部と連結できるポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリ（メタ）アクリル酸エステル等の公知のポリマー鎖が挙げられる。Ｙにおける特定分散樹脂（２）との結合部位は、側鎖Ｙの末端であることが好ましい。

【0069】

Ｙは、ポリ（低級アルキレンイミン）系繰り返し単位、ポリアリルアミン系繰り返し単位、ポリジアリルアミン系繰り返し単位、メタキシレンジアミン−エピクロルヒドリン重縮合物系繰り返し単位、及びポリビニルアミン系繰り返し単位から選択される少なくとも１種の窒素原子を有する繰り返し単位の前記窒素原子と結合していることが好ましい。ポリ（低級アルキレンイミン）系繰り返し単位、ポリアリルアミン系繰り返し単位、ポリジアリルアミン系繰り返し単位、メタキシレンジアミン−エピクロルヒドリン重縮合物系繰り返し単位、及びポリビニルアミン系繰り返し単位から選択される少なくとも１種の塩基性窒素原子を有する繰り返し単位などの主鎖部とＹとの結合様式は、共有結合、イオン結合、又は、共有結合及びイオン結合の混合である。Ｙと前記主鎖部の結合様式の比率は、共有結合：イオン結合＝１００：０〜０：１００であるが、９５：５〜５：９５が好ましく、９０：１０〜１０：９０が特に好ましい。
Ｙは、前記塩基性窒素原子を有する繰り返し単位の前記窒素原子とアミド結合、又はカルボン酸塩としてイオン結合していることが好ましい。

【0070】

また、Ｙの数平均分子量は、下記の定義に従ってＧＰＣ法によるポリスチレン換算値により測定することができる。このとき、Ｙは樹脂に組み込む前の状態でその分子量を測定することが実際的である。Ｙの数平均分子量は、５００以上が好ましく、１，０００以上がより好ましい。上限は、１００，０００以下が好ましく、５０，０００以下がより好ましく、３０，０００以下が特に好ましい。Ｙの分子量をこの範囲とすることが、分散性・分散安定性・現像性の観点から最も好ましい。Ｙの分子量は、Ｙの原料となる高分子化合物から特定することができ、その測定方法は後記ＧＰＣによる測定条件に準ずるものとする。
Ｙで示される側鎖構造は、主鎖連鎖に対し、樹脂１分子中に、２つ以上連結していることが好ましく、５つ以上連結していることが特に好ましい。

【0071】

特に、Ｙは式（ＩＩＩ−１）で表される構造を有するものが好ましい。

【0072】

【化14】

【0073】

式（ＩＩＩ−１）中、Ｚはポリエステル鎖を部分構造として有するポリマー又はオリゴマーであり、ＨＯ−ＣＯ−Ｚで表される遊離のカルボン酸を有するポリエステルからカルボキシル基を除いた残基を表す。特定分散樹脂（２）が式（Ｉ−３）〜（Ｉ−５）で表される繰り返し単位を含有する場合、Ｙａが式（ＩＩＩ−２）であることが好ましい。

【0074】

【化15】

【0075】

式（ＩＩＩ−２）中、Ｚは式（ＩＩＩ−１）におけるＺと同義である。上記部分構造Ｙは、片末端にカルボキシル基を有するポリエステルは、カルボン酸とラクトンの重縮合、ヒドロキシ基含有カルボン酸の重縮合、二価アルコールと二価カルボン酸（もしくは環状酸無水物）の重縮合などにより得ることができる。

【0076】

Ｚは好ましくは、−（Ｌ^Ｂ）_ｎＢ−Ｚ^Ｂであることが好ましい。
Ｚ^Ｂは、水素原子又は１価の有機基を表す。Ｚ^Ｂが有機基であるとき、アルキル基（好ましくは炭素数１〜３０）、アリール基、複素環基などが好ましい。Ｚ^Ｂはさらに置換基を有していてもよく、当該置換基としては、炭素数６〜２４のアリール基、炭素数３〜２４の複素環基が挙げられる。
Ｌ^Ｂは、アルキレン基（炭素数１〜６が好ましい）、アルケニレン基（炭素数２〜６が好ましい）、アリーレン基（炭素数６〜２４が好ましい）、ヘテロアリーレン基（炭素数１〜６が好ましい）、イミノ基（炭素数０〜６が好ましい）、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基である。なかでも、アルキレン基（炭素数１〜６が好ましい）、エーテル基、カルボニル基、またはこれらの組合せに係る連結基であることが好ましい。アルキレン基は分岐でも直鎖であってもよい。アルキレン基は置換基を有していてもよく、好ましい置換基としては、アルキル基（好ましい炭素数１〜６）、アシル基（好ましい炭素数２〜６）、アルコキシ基（好ましい炭素数１〜６）、またはアルコキシカルボニル基（好ましい炭素数２〜８）である。ｎＢは５〜１００，０００の整数である。ｎＢ個のＬ^Ｂはそれぞれ異なる構造であってもよい。

【0077】

特定分散樹脂（２）の具体的態様を、樹脂が有する繰り返し単位の具体的構造とその組合せにより以下に示すが、本発明はこれに限定されるものではない。下記式中、ｋ、ｌ、ｍ、及びｎはそれぞれ繰り返し単位の重合モル比を示し、ｋは１〜８０、ｌは１０〜９０、ｍは０〜８０、ｎは０〜７０であり、且つｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ＝１００である。ｋ、ｌ、ｍで定義されるもの、ｋ、ｌのみで定義されるものは、それぞれ、ｋ＋ｌ＋ｍ＝１００、ｋ＋ｌ＝１００を意味する。ｐ及びｑはポリエステル鎖の連結数を示し、それぞれ独立に５〜１００，０００を表す。Ｒ^ａは水素原子又はアルコキシカルボニル基を表す。

【0078】

【化16】

【0079】

【化17】

【0080】

【化18】

【0081】

【化19】

【0082】

【化20】

【0083】

【化21】

【0084】

【化22】

【0085】

【化23】

【0086】

【化24】

【0087】

【化25】

【0088】

特定分散樹脂（２）を合成するには、（１）一級又は二級アミノ基を有する樹脂と、部分構造Ｘの前駆体ｘ、及びＹの前駆体ｙとを反応させる方法、（２）部分構造Ｘに対応する構造を含有するモノマーとＹを含有するマクロモノマーとの重合による方法などにより製造することが可能である。まず、一級又は二級アミノ基を主鎖に有する樹脂を合成し、その後、該樹脂に、Ｘの前駆体ｘ及びＹの先駆体ｙを反応させて、主鎖に存在する窒素原子に高分子反応により導入することで製造することが好ましい。当該製造方法の詳細は、特開２００９−２０３４６２等を参照することができる。

【0089】

＜（３）に係る共重合体＞
樹脂型の顔料分散剤は、顔料粒子表面に吸着する部位（以下、吸着部と略記する）と、顔料同士の凝集を防ぎ、分散安定性を高める効果をもたらす、顔料担体に対する親和性が高い部位（以下、親和性部と略記する）を有するのが一般的である。この親和性部と吸着部とが、ランダムに配列していると、顔料粒子表面への分散剤の吸着が不十分となり、分散不安定となり、顔料粒子が析出してしまうことがある。そうなると、微細画素パターンを形成した時に、そのパターン側壁に顔料析出物が現れてパターン直線性が損なわれたり、あるいは、経時で析出した顔料粒子がカラーフィルターの微細な色ムラ（ザラ）となって現れてしまうことがある。そこで、顔料粒子表面に対する吸着部である（３−ａ）含窒素共重合体ブロックと、顔料担体に対する親和性部である（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックが、同一分子上に分かれて存在しているブロック共重合体樹脂を塩基性分散剤として用いることにより、画素パターンのパターン直線性やザラの経時安定性に特に優れた組成物を提供することが可能となる。
（３）ブロック共重合体を構成する（３−ａ）含窒素共重合体ブロックと、（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックは、それぞれ様々な樹脂系を選択することができるが、樹脂設計が容易でかつ諸耐性に優れたビニル系共重合体が望ましい。

【0090】

（３−ａ）含窒素共重合体ブロックの具体例として、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド等のＮ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位を有する共重合体、アリルアミン等の１級アミノ基含有モノマー単位を有する重合体、又は、ポリエチレンイミン、ポリエチレンポリアミン、ポリキシリレンポリ（ヒドロキシポロピレン）ポリアミン、ポリ（アミノメチル化）エポキシ樹脂等を挙げることができるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
この中で、特に、ブロック共重合体の樹脂設計が容易でかつ諸耐性に優れたＮ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位を有する共重合体が好ましく、この場合、（３−ａ）含窒素共重合体ブロック中に含まれるＮ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位は６０〜１００重量％、更に好ましくは、８０〜１００重量％であり、Ｎ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位以外のビニル系モノマー単位としては（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックで説明するビニル系モノマー単位であることが好ましい。Ｎ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有モノマーとしては、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレートが好ましい。

【0091】

（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックは、ブロック共重合体の樹脂設計が容易でかつ諸耐性に優れたビニル系モノマー共重合体であることが好ましい。更に、ビニル系モノマー単位としてアルキル（メタ）アクリレート（好ましくは炭素数４〜２４）を含むことが好ましい。特に（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロック中に６０〜１００重量％、更に好ましくは、８０〜１００重量％含む。アルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、又はラウリル（メタ）アクリレート等の不飽和モノカルボン酸と炭素数１〜１８のアルキルアルコールとの反応で得られる（メタ）アクリルエステル類等が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。炭素数４〜２４のアルキル（メタ）アクリレートの好ましいもとして、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレートであり、最も好ましくはｎ−ブチル（メタ）アクリレートが挙げられる。
（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックには、アミノ基を含むビニル系モノマー単位を全く含有しないことが好ましいが、例えば１０重量％未満であれば含まれていても構わない。
（３−ａ）含まれても良いその他のビニル系モノマー単位としては、（メタ）アクリロニトリル等のニトロ基含有ビニル系モノマー類、スチレン、α−メチルスチレン、又はベンジル（メタ）アクリレート等のビニル系芳香族モノマー類、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、又はポリエチレングリコール（メタ）アクリレート等の水酸基含有ビニル系モノマー類、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミド等のアミド基含有ビニル系モノマー類、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、又はジメチロール（メタ）アクリルアミド等のビニル系モノマー類、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、又はＮ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド等のアルコキシメチル基含有ビニル系モノマー類、エチレン、プロピレン、又はイソプレン等のオレフィン類；クロロプレン、又はブタジエン等のジエン類、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ｎ−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類、あるいは、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類等が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
ただし、本発明では、上記（３）のブロック共重合体は、（３−ａ）Ｎ，Ｎ−ジ置換アミノ基含有ビニル系モノマー単位を有する共重合体ブロックと、（３−ｂ）ビニル系モノマー単位としてアルキル（メタ）アクリレートを含む共重合体ブロックを含むブロック共重合体である。

【0092】

＜（３）ブロック共重合体樹脂の製造方法＞
本発明の塩基性分散剤として上述の（３）ブロック共重合体を用いる場合、このブロック共重合体は公知の方法で製造することができるが、特に、（１）リビング重合を用いる方法、又は（２）末端に反応性官能基を有する（３−ａ）含窒素共重合体ブロックの前駆体（ａ）と末端に反応性官能基を有する（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックの前駆体（ｂ）とを反応させるポリマーカップリング法が好ましい。この中で、特に（１）リビング重合を用いた方法が好ましい。

【0093】

（１）リビング重合法
リビング重合法は、一般的なラジカル重合に起こる副反応が抑制され、更には、重合の成長が均一に起こる為、容易にブロックポリマーや分子量の揃った樹脂を合成できる。中でも、有機ハロゲン化物、ハロゲン化スルホニル化合物を開始剤とし、遷移金属錯体を触媒とする原子移動ラジカル重合法は、広範囲の単量体に適応できる点、既存の設備に適応可能な重合温度を採用できる点で好ましい。原子移動ラジカル重合法は、下記の参考文献１ 〜 ８ 等に記載された方法で行うことができる。
（参考文献１）Ｆｕｋｕｄａら、Ｐｒｏｇ． Ｐｏｌｙｍ． Ｓｃｉ． ２００４， ２９ ， ３２９
（参考文献２）Ｍａｔｙｊａｓｚｅｗｓｋｉら、Ｃｈｅｍ．Ｒ ｅ ｖ．２００１，１０１，２９２１
（参考文献３）Ｍａｔｙｊａｓｚｅｗｓｋｉら、Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．１９９５
，１１７，５６１４
（参考文献４） Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ １９９５，２８，７９０１，Ｓｃｉｅｎｃｅ， １９９６，２７２，８６６
（参考文献５）国際公開第９６／３０４２１号パンフレット
（参考文献６）国際公開第９７／１８２４７号パンフレット
（参考文献７）特開平９−２０８６１６号公報
（参考文献８）特開平８−４１１１７号公報
原子移動ラジカル重合法では、レドックス触媒として銅、ルテニウム、鉄、及びニッケル等の遷移金属錯体を用いて行われる。遷移金属錯体の具体的な例としては、塩化銅（Ｉ）、臭化銅（Ｉ）等の低原子価のハロゲン化遷移金属が挙げられるが、重合速度をコントロールするために、周知の方法に従って塩化銅（ＩＩ）や臭化銅（ＩＩ）等の高原子価の遷移金属を重合系に添加してもよい。

【0094】

（２）ポリマーカップリング法
ポリマーカップリング法の（３−ａ）含窒素共重合体ブロックの前駆体（ａ）及び（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロック（Ｂ）の前駆体（ｂ）の末端の反応性官能基として好ましいものとして、具体的には、カルボキシル基、１級アミノ基、水酸基、及びアルコキシシリル基等が挙げられる。
（３−ａ）含窒素共重合体ブロックの前駆体（ａ）及び（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックの前駆体（ｂ）の末端に反応性官能基を導入する方法としては、上述した反応性官能基とチオール基を有する連鎖移動剤を用いて、ラジカル重合する方法が好ましい。カルボキシル基を有する連鎖移動剤としてはメルカプトプロピオン酸、１級アミノ基を有する連鎖移動剤としてはシステアミン、水酸基を有する連鎖移動剤としてはメルカプトエタノール、アルコキシシリル基を有する連鎖移動剤としては、３−メルカプトプロピルメチルメトキシシラン、及び３−メルカプトプロピルトリメトキシシランがそれぞれ例示できる。
前駆体（ａ）と、前駆体（ｂ）とのカップリング反応は、例えば、以下の表Ａに示す公知の反応で可能である。結合剤としては、適宜、この種の反応に用いられるものを選定すればよい。

【0095】

【表A】

【0096】

本発明の塩基性分散剤（１）〜（３）の分子量としては、重量平均分子量で３，０００〜１００，０００であることが好ましく、更に５，０００〜５５，０００であることが好ましい。重量平均分子量が上記の範囲であると、塩基性分散剤（１）〜（３）に導入された複数の塩基性吸着部位が効率的に顔料粒子表面に吸着することができ、分散安定性に優れた組成物を得ることが可能となり好ましい。
なお、本明細書において、高分子化合物の分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定した値を言い、特に断らない限り、ＨＬＣ−８０２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）を用い、カラムをＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨＺＭ−Ｈ、ＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨＺ４０００、ＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨＺ２００（東ソー社製）として測定した。キャリアは適宜選定すればよいが、溶解可能であるかぎり、テトラヒドロフランを用いることにする。
また、本発明で用いる塩基性分散剤として（３）ブロック共重合体を用いる場合、そのアミン価は、３５〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、更に、好ましくは５０〜７５ｍｇＫＯＨ／ｇである。アミン価が小さすぎると、顔料に十分吸着されず分散不良となることがあり、大きすぎると顔料担体中の酸性成分に対する吸着又は反応により、顔料に対する吸着効率が悪くなり、分散不良となることがある。
（３−ａ）含窒素共重合体ブロックと（３−ｂ）顔料担体親和性共重合体ブロックの構成重量比率及びそれぞれのブロックの数平均分子量は、樹脂型分散剤全体の数平均分子量及びアミン価が、前記の好適な範囲になるように任意に設計できることが好ましい。

【0097】

塩基性分散剤の濃度としては、顔料１００質量部に対して、１質量部以上であることが好ましく、５質量部以上がより好ましく、１０質量部以上が特に好ましい。上限側の規定としては、８０質量部以下であることが好ましく、７０質量部以下がさらに好ましく、６０質量部以下がさらに好ましい。
感光性樹脂組成物全固形分に対しては、前記分散剤が、３質量％以上であることが好ましく、４質量％以上であることがより好ましい。上限としては、１５質量％以下であることが好ましく、１０質量％以下であることがより好ましい。
前記分散剤の量を上記の範囲とすることで、感光性樹脂組成物のリソ直線性良化やザラの経時安定性の良化といった本発明の効果を一層効果的に実現することができ好ましい。

【0098】

（ｃ）現像樹脂
本発明の感光性樹脂組成物については、現像樹脂として、下記アルカリ可溶性部位を有する高分子化合物を用いることが好ましい。さらに、要求に応じて、重合性基含有部位や重合性基非含有部位を導入した高分子化合物としてもよい。

【0099】

・アルカリ可溶性部位
現像樹脂においては、そのアルカリ可溶性を考慮して、アルカリ可溶性部位を有することが好ましい。アルカリ可溶性を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられる。なかでも（メタ）アクリル酸が特に好ましい。

【0100】

前記重合後に酸基を付与しうるモノマーを用いてもよい。その場合には、例えば、水酸基やエポキシ基、イソシアネート基を有する繰り返し単位を樹脂に組み込んでおいて、それらの基を酸基に変換することが好ましい。重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。
なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、定法により、重合後に酸基を付与するための処理が必要となる。

【0101】

アルカリ可溶性構造部の割合としては、モル共重合比率で、分子中（全量を１００とする）、１０以上であるのが好ましく、２０以上であるのがより好ましい。上限としては、５０以下であるのが好ましく、４０以下であるのがより好ましい。このような範囲とすることにより、アルカリ現像性が向上し、矩形パターンの形成性がより効果的に達成される。

【0102】

・重合性基含有部位
重合性基を有する繰り返し単位（重合性基含有部位）は、アクリル構造を有することが好ましい。重合性基含有部位の基部となるアクリル構造としては、（メタ）アクリロイル基を有することが好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基（ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ）ＣＯＯ−）または（メタ）アクリロイルアミノ基（ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ）ＣＯＮＲ^Ｎ−）を有することがより好ましい。ここでのＲは水素原子またはメチル基である。Ｒ^Ｎは水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。

【0103】

重合性基としては、エチレン性不飽和結合基（ビニル基、アリル基等）、エポキシ基、オキセタン基、イソシアネート基が挙げられる。

【0104】

重合性基の割合としては、モル共重合比率で、分子中（全量を１００とする）、５以上であるのが好ましく、１０以上であるのがより好ましい。上限としては、５０以下であるのが好ましく、４０以下であるのがより好ましい。このような範囲とすることにより、後述する膜面荒れの防止と現像性との両立がより効果的に達成される。

【0105】

・重合性基非含有部位
重合性基を有さない繰り返し単位（重合性基非含有部位）としては、任意の構造を適用できるが、下記式（ＥＤ）で表される化合物（以下「エーテルダイマー」と称することもある。）を単量体成分を重合してなる繰り返し単位であることが好ましい。

【0106】

【化26】

【0107】

式中、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２は、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２で表される置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、直鎖状又は分岐状のアルキル基（炭素数１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましく、１〜３が特に好ましい）；アリール基（炭素数６〜２２が好ましく、６〜１４がより好ましい）；シクロヘキシル、ｔ−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、２−メチル−２−アダマンチル等の脂環式基（炭素数３〜１２が好ましく、３〜６がより好ましい）；アルコキシで置換されたアルキル基（炭素数２〜１２が好ましく、２〜６がより好ましく、２〜３が特に好ましい）；ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基（炭素数７〜２３が好ましく、７〜１５がより好ましい）；等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい１級又は２級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。

【0108】

エーテルダイマーの具体例としては、特開２０１２−２０８４９４号の段落［０５６５］（対応する米国特許出願公開第２０１２／２３５０９９号明細書の［０６９４］）に記載のエーテルダイマーの具体例が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
エーテルダイマーの具体例としては、ジメチル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエートが好ましい。

【0109】

上記エーテルダイマーを重合させてなる繰り返し単位としては、下記のような構造を挙げることができる。Ｍｅはメチル基である。＊は結合手である。ｎ^Ｘは整数であり、１〜１００が好ましく、２〜３０がより好ましく、５〜１５が特に好ましい。具体例はｎ^Ｘ＝１０である。

【0110】

【化27】

【0111】

重合性基を有さない繰り返し単位（重合性基非含有部位）としては、２個以上６個以下の水酸基を有する重合性単量体成分を重合してなる繰り返し単位であることが好ましい。具体的には、下記式（ＡＥ）を有する重合性単量体成分を重合してなる繰り返し単位であることが好ましい。

【化28】

【0112】

式中、Ｒ^Ｅ１及びＲ^Ｅ４はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５の置換されてもよいアルキル基を表し、Ｒ^Ｅ２は炭素数１〜４のアルキレン基を表し、Ｒ^Ｅ３は炭素数１〜４のアルキレン基、または単結合を表し、ｎは２以上６以下の整数を表す。

【0113】

上記式（ＡＥ）で示されるモノマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有する多価アルコールのモノエステルなどが挙げられるが、好ましいのはグリセロールモノ（メタ）アクリレートである。

【0114】

重合性基非含有部の割合としては、モル共重合比率で、分子中（全量を１００とする）、１０以上であるのが好ましく、２０以上であるのがより好ましい。上限としては、８０以下であるのが好ましく、７０以下であるのがより好ましい。このような範囲とすることにより、溶剤への溶解性がより効果的に達成される。

【0115】

本発明においては、現像樹脂に下記式（Ａ１）で表される化合物が共重合されている高分子化合物が含まれると、本発明の効果に優れるようになり、特に好ましい。

【化29】

【0116】

Ｒ^Ａ１は水素原子またはメチル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。ｎが２以上の場合、複数のＲ^Ａ２は同一であってもよく、異なっていてもよい。ｍは０〜５の整数を表す。
Ｒ^Ａ２は、炭素数２または３のアルキレン基を表し、ｎが２以上の場合、複数のＲ^Ａ２は同一であってもよく、異なっていてもよい。
Ｒ^Ａ３はベンゼン環を含んでいても良い炭素数１〜２０のアルキル基を表す。アルキル基は、好ましくは炭素数１〜１０のアルキル基である。メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等を挙げることができる。ベンゼン環を含むアルキル基としては、１−フェニルエチル基、１−フェニルプロプル基、１−フェニルブチル基、１−フェニルペンチル基、１−フェニルヘキシル基、１−フェニルヘプチル基、１−フェニルオクチル基、１−フェニルノニル基、１−フェニルデシル基、ベンジル基、２−フェニル（イソ）プロピル基等を挙げることができる。これらの中でも、ベンジル基、２−フェニル（イソ）プロピル基が好ましい。

【0117】

式（Ａ１）で表される化合物としては、フェノールのエチレンオキサイド（ＥＯ）変性（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのＥＯまたはプロピレンオキサイド（ＰＯ）変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＥＯ変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＰＯ変性（メタ）アクリレート等が挙げられる。これら化合物のうち、パラクミルフェノールのＥＯまたはＰＯ変性（メタ）アクリレートを共重合した現像樹脂は本発明の効果を充分に得る上で特に好ましい。

【0118】

式（Ａ１）で表される化合物を現像樹脂の共重合成分として用いる場合、その共重合割合としては、モル共重合比率で、分子中（全量を１００とする）、５以上であるのが好ましく、１０以上であるのがより好ましい。上限としては、３０以下であるのが好ましく、２０以下であるのがより好ましい。

【0119】

現像樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法で樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶剤の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。

【0120】

・現像樹脂の諸元
現像樹脂は、感光性樹脂組成物中、１質量％以上であることが好ましく、３質量％以上であることがより好ましい。上限側の規定としては、２０質量％以下であることが好ましく、１５質量％以下であることがより好ましく、１０質量％以下であることがさらに好ましい。
現像樹脂成分は、全固形分の１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがさらに好ましい。上限側の規定としては、５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがさらに好ましい。
顔料１００質量部に対しては、現像樹脂を１０質量部以上で含有させることが好ましく、２５質量部以上で含有させることがより好ましく、５０質量部以上で含有させることが特に好ましい。上限側の規定としては、１００質量部以下で含有させることが好ましく、８０質量部以下で含有させることがより好ましく、６０質量部以下で含有させることが特に好ましい。
現像樹脂を上記の範囲とすることにより、硬化させて着色層を形成する際に膜収縮が起こりにくく、パターン形成性に優れ、表面荒れの少ない着色層が形成できる。

【0121】

現像樹脂の酸価は、１０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。この範囲とすることにより、現像後の未露光部の残渣を低減することが可能になる。

【0122】

現像樹脂は、重量平均分子量が５０，０００以下であることが好ましく、３０，０００以下であることが特に好ましい。下限側の規定としては、３，０００以上であることが好ましく、５，０００以上であることが特に好ましい。

【0123】

（ｄ）色素誘導体
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに酸性もしくは中性の色素誘導体を含有する。酸性もしくは中性の色素誘導体を含有することで、前記塩基性分散剤を配合したことの作用と相まって、本発明の効果が好適に発揮される。
本発明における酸性の色素誘導体とは、有機色素骨格に酸性基を有する化合物を指す。酸性基はｐＫａ値が５以下の官能基が好ましく、例えば、カルボン酸、リン酸基、スルホン酸基などが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。ｐＫａ値はさらに４．８以下であることが好ましい。下限は特にないが−１５以上であることが実際的である。
一方、本発明における中性の色素誘導体とは、色素骨格に酸性基と塩基性基とを有する化合物を指し、酸性基と塩基性基とがそれぞれ実質的に当量置換された化合物であることが好ましい。ここで、酸性基の好ましいｐＫａ値の範囲は前記と同じである。塩基性基は対応する共役酸のｐＫａ値が５以上の官能基が好ましい。共役酸のｐＫａ値はさらに７以上であることが好ましい。上限は特にないが１２以下であることが実際的である。塩基性基の具体例としては、アミノ基（ＮＲ^Ｎ_２）が挙げられる。Ｒ^Ｎは水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。Ｒ^Ｎがアルキル基であるとき、その複数のものが連結してもよい。この連結にはヘテロ原子を含む基（Ｏ，Ｓ，ＣＯ，ＮＲ^Ｎ等）を介在していてもよい。本発明の中性の色素誘導体は、酸性基と塩基性基がそれぞれ当量置換されており、酸塩基が中和しあって、分子全体としては実質的に中性となっているものである。「実質的に中性」とは分子全体としての酸塩基性に偏りが無く、酸性も塩基性も呈さない状態を意味する。
なお、ここでいうｐＫａ値とは、化学便覧（ＩＩ）（改訂４版、１９９３年、日本化学会編、丸善株式会社）に記載されている定義のものであり、２５℃水中における値である。置換基のｐＫａとして評価するときに、ＣＨ_３基を補ってその値を定めることとする。
なお、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる色素誘導体としては、上記定義に基づく酸性もしくは中性の色素誘導体を含有していれば、塩基性の色素誘導体を含んだ混合物として用いても良い。

【0124】

当該の色素誘導体は下記式（Ｉ）で表されるものであることが好ましい。

【0125】

【化30】

【0126】

式中、Ｑ^ｘは有機色素残基である。当該色素残機を構成する色素化合物としては、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等が好ましい。さらに、下記式（Ｉ−１）〜（Ｉ−６）のいずれかで表される色素がより好ましい。

【0127】

【化31】

【0128】

Ｙ^１は酸性基である。酸性基はカルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、ホスホン酸基が挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。これらの酸性基は塩を形成していてもよい。対塩としては、例えば、ナトリウム、カリウムなどのアルカリ塩などが好ましく、アンモニウムイオンなどでもよい。アンモニウムイオンとしては、^＋ＮＨ（ＣＨ_２）_４Ｎ（Ｃ_２Ｈ_５）_２が挙げられる。

【0129】

ｎは１以上４以下の整数であり、ｍは０以上４以下の整数であり、ｎ≧ｍを満たす。

【0130】

ｒは０以上最大置換基数以下の整数であり、最大置換基数とは有機色素残基Ｑ^Ｘが置換することができる最大数を言う。例えば、フェニル基であれば５である。

【0131】

Ｔは置換基を表し、以下から選択される置換基であることが好ましい。
アルキル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキル基、例えばメチル、エチル、イソプロピル、ｔ−ブチル、ペンチル、ヘプチル、１−エチルペンチル、ベンジル、２−エトキシエチル、１−カルボキシメチル等）、アルケニル基（好ましくは炭素原子数２〜２０のアルケニル基、例えば、ビニル、アリル、オレイル等）、アルキニル基（好ましくは炭素原子数２〜２０のアルキニル基、例えば、エチニル、ブタジイニル、フェニルエチニル等）、シクロアルキル基（好ましくは炭素原子数３〜２０のシクロアルキル基、例えば、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、４−メチルシクロヘキシル等）、アリール基（好ましくは炭素原子数６〜２６のアリール基、例えば、フェニル、１−ナフチル、４−メトキシフェニル、２−クロロフェニル、３−メチルフェニル等）、ヘテロ環基（好ましくは炭素原子数２〜２０のヘテロ環基、好ましくは、少なくとも１つの酸素原子、硫黄原子、窒素原子を有する５または６員環のヘテロ環基が好ましく、例えば、２−ピリジル、４−ピリジル、２−イミダゾリル、２−ベンゾイミダゾリル、２−チアゾリル、２−オキサゾリル等）、アルコキシ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルコキシ基、例えば、メトキシ、エトキシ、イソプロピルオキシ、ベンジルオキシ等）、アリールオキシ基（好ましくは炭素原子数６〜２６のアリールオキシ基、例えば、フェノキシ、１−ナフチルオキシ、３−メチルフェノキシ、４−メトキシフェノキシ等）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素原子数２〜２０のアルコキシカルボニル基、例えば、エトキシカルボニル、２−エチルヘキシルオキシカルボニル等）、アミノ基（好ましくは炭素原子数０〜２０のアミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基を含み、例えば、アミノ、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ、Ｎ−エチルアミノ、アニリノ等）、スルファモイル基（好ましくは炭素原子数０〜２０のスルホンアミド基、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイル、Ｎ−フェニルスルファモイル等）、アシル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアシル基、例えば、アセチル、プロピオニル、ブチリル、ベンゾイル等）、アシルオキシ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアシルオキシ基、例えば、アセチルオキシ、ベンゾイルオキシ等）、カルバモイル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のカルバモイル基、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイル、Ｎ−フェニルカルバモイル等）、アシルアミノ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアシルアミノ基、例えば、アセチルアミノ、ベンゾイルアミノ等）、スルホンアミド基（好ましくは炭素原子数０〜２０のスルファモイル基、例えば、メタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、Ｎ−メチルメタンスルホンアミド、Ｎ−エチルベンゼンスルホンアミド等）、アルキルチオ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキルチオ基、例えば、メチルチオ、エチルチオ、イソプロピルチオ、ベンジルチオ等）、アリールチオ基（好ましくは炭素原子数６〜２６のアリールチオ基、例えば、フェニルチオ、１−ナフチルチオ、３−メチルフェニルチオ、４−メトキシフェニルチオ等）、アルキルもしくはアリールスルホニル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキルもしくはアリールスルホニル基、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、ベンゼンスルホニル等）、ヒドロキシル基、シアノ基、ハロゲン原子（例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等）であり、より好ましくはアルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、アシルアミノ基、ヒドロキシル基またはハロゲン原子であり、特に好ましくはアルキル基、アルケニル基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、アシルアミノ基またはヒドロキシル基である。

【0132】

Ｘ^１は本発明の色素誘導体が中性である場合に有する、酸性基Ｙ^１と中和しあうための塩基性基であり、アミノ基（ＮＲ^Ｎ_２）を有する基が好ましく、下記式（２）または（３）で表される塩基性基であることがより好ましい。

【0133】

【化32】

【0134】

Ｘは、単結合、−Ｓ−、−Ｏ−、−ＳＯ_２−、−ＣＯ−、−ＳＯ_２ＮＲ−、−ＮＲＳＯ_２−、−ＣＯＮＲ−、−ＣＨ_２ＮＲＣＯＣＨ_２ＮＲ−、−（ＣＨ_２）_ｋＮＨ−、またはその組合せを表し、そのそれぞれであることが好ましい。ただし、ｋは、１以上１０以下の整数を表す。Ｒは、水素原子、炭素数が１以上２０以下のアルキル基、炭素数が２以上２０以下のアルケニル基、または炭素数が６以上２０以下のアリール基を表す。

【0135】

Ｙは、単結合、炭素数が１以上２０以下のアルキレン基、炭素数が２以上２０以下のアルケニレン基、炭素数が６以上２０以下のアリーレン基、窒素、酸素もしくは硫黄原子を含む置換されていてもよい複素環、または−Ｙ^１１−Ｙ^１２−Ｙ^１３−を表す。Ｙ^１１およびＹ^１３は、それぞれ独立に、単結合、炭素数が１以上２０以下のアルキレン基、炭素数が２以上２０以下のアルケニレン基、炭素数が６以上２０以下のアリーレン基、または、窒素、酸素もしくは硫黄原子を含む置換されていてもよい複素環を表す。Ｙ^１２は、単結合、−ＮＲ−、−Ｏ−、−ＳＯ_２−、−ＣＯ−、−Ｓ−、−ＳＯ_２ＮＲ−、−ＮＲＳＯ_２−、−ＣＯＮＲ−、−ＣＨ_２ＮＲＣＯＣＨ_２ＮＲ−、−（ＣＨ_２）_ｋＮＲ−、またはその組合せを表し、そのそれぞれであることが好ましい。Ｒは上記定義のとおりである。
なお、本明細書において連結基は、その元素記号による規定においてどちらの向きでもよい意味である。例えば、式（２）において、Ｙ^１２の−（ＣＨ_２）_ｋＮＲ−、は、ＣＨ_２がＸ側であっても、Ｎ側であってもよい。

【0136】

Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数が１以上３０以下の飽和または不飽和のアルキル基を表し、Ｒ^１およびＲ^２で窒素、酸素または硫黄原子を含む置換されていてもよい複素環を形成していてもよい。また、Ｙが炭素数１以上２０以下のアルキレン基、炭素数２以上２０以下のアルケニレン基、炭素数６以上２０以下のアリーレン基、窒素、酸素もしくは硫黄原子を含む置換されていてもよい複素環を表す場合、Ｒ^１とＹ、および／またはＲ^２とＹが互いに結合して環を形成していても良い。

【0137】

Ｚは、単結合、−ＣＨ_２ＮＲ’ＣＯＣＨ_２ＮＲ’−、−ＣＨ_２ＮＲ’ＣＯＣＨ_２ＮＲ’−Ｇ−、−ＮＲ’−、−ＮＲ’−Ｇ−ＣＯ−、−ＮＲ’−Ｇ−ＣＯＮＲ’−、−ＮＲ’−Ｇ−ＳＯ_２−、−ＮＲ’−Ｇ−ＳＯ_２ＮＲ’−、−Ｏ−Ｇ−ＣＯ−、−Ｏ−Ｇ−ＣＯＮＲ’−、−ＳＯ_２−、−Ｏ−Ｇ−ＳＯ_２−、または−Ｏ−Ｇ−ＳＯ_２ＮＲ’−を表す。ここで、Ｇは、置換基を有していてもよく炭素数が２０以下のアルキレン基、置換基を有していてもよく炭素数が２０以下のアルケニレン基、または置換基を有していてもよく炭素数２０以下のアリーレン基を表し、Ｒ’は、水素原子、置換基を有していてもよく炭素数が２０以下のアルキル基、置換基を有していてもよく炭素数が２０以下のアルケニル基、または置換基を有していてもよく炭素数が２０以下のアリール基を表す。

【0138】

Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数が１以上２０以下のアルキル基、炭素数が２以上２０以下のアルケニル基、または炭素数が６以上２０以下のアリール基を表す。

【0139】

Ｒ^７は、水素原子、炭素数が１以上２０以下のアルキル基、または炭素数が３以上２０以下のアルケニル基を表す。

【0140】

本発明の中性の色素誘導体が有する塩基性基としては、上述した式（２）や式（３）で表される塩基性基が好まし。その他の態様として規定すると、色素誘導体が有する塩基性基は、下記式（４）で表される塩基性基である事が特に好ましい。

【0141】

【化33】

【0142】

式（４）において、Ｙ^１４は炭素数１〜１０、好ましくは炭素数２〜６の直鎖状もしくは分岐状もしくは環状のアルキレン基を表す。Ｒ^８、Ｒ^９はそれぞれ独立して、置換基を有していてもよい炭素数１０以下の飽和もしくは不飽和、かつ直鎖状もしくは分岐状もしくは環状のアルキル基を表す。Ｒ^８、Ｒ^９が互いに連結して窒素、酸素、硫黄原子を含む置換基を有していてもよい複素環を形成していてもよい。
Ｒ^８、Ｒ^９が置換基を有する場合、好ましいものとしてはヒドロキシル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、炭素数１〜１０のエステル基、炭素数１〜１０のアミド基が挙げられ、より好ましくはヒドロキシル基である。
Ｒ^８、Ｒ^９が互いに連結して窒素、酸素、硫黄原子を含む複素環を形成する場合、当該複素環が有する置換基としては、アミノ基、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−メチルエチルアミノ基、ヒドロキシル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、炭素数１〜１０のエステル基、炭素数１〜１０のアミド基が挙げられ、好ましくはアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−メチルエチルアミノ基であり、最も好ましくはＮ，Ｎ−ジメチルアミノ基である。

【0143】

上記式（２）や上記式（３）で表される塩基性基の好ましい具体例として、以下のような基を挙げる事ができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、下記式において、ｎ、ｍは各々独立に１〜６の整数を表す。
下記の中でも、上記式（４）で表される塩基性基に該当する下記（１）〜（１６）が更に好ましく、更に好ましくは下記（１）〜（１２）が好ましく、最も好ましくは下記（１）〜（３）である。

【0144】

【化34】

【0145】

前記色素誘導体の濃度としては、顔料１００質量部に対して、３質量部以上であることが好ましく、４質量部以上がより好ましく、５質量部以上が特に好ましい。上限側の規定としては、２０質量部以下であることが好ましく、１５質量部以下がさらに好ましく、１０質量部以下がさらに好ましい。
感光性樹脂組成物全固形分に対しては、酸性もしくは中性の色素誘導体が、１質量％以上であることが好ましく、３質量％以上であることがより好ましい。上限としては、１０質量％以下であることが好ましく、６質量％以下であることがより好ましい。
酸性もしくは中性の色素誘導体の量を上記の範囲とすることで、本発明の効果を一層効果的に実現することができ好ましい。
なお、酸性もしくは中性の色素誘導体に加えて、塩基性の色素誘導体を添加してもよい。このときの含有量は、酸性もしくは中性の色素誘導体を加えた効果が発現する量であることが好ましく、具体的には上記の含有量の範囲が挙げられる。逆に、塩基性誘導体の含有量は、本願発明の効果を阻害しない範囲であれば特に制限はなく、酸性もしくは中性の色素誘導体の総量１００質量部に対して、塩基性の色素誘導体を１，０００質量部以下に抑えることが好ましく、８００質量部以下に抑えることがより好ましく、塩基性の色素誘導体を７００質量部以下に抑えることが特に好ましい。

【0146】

（ｅ）重合性化合物
重合性化合物としては、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー（以下、「多官能モノマー」ということがある）はこれらを特に限定なく用いることができる。多官能モノマーは一種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。多官能モノマーは、（メタ）アクリレートモノマーが好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８に記載されている化合物を本実施形態においても好適に用いることができる。

【0147】

前記多官能モノマーは、下記反応性基ＲＡを分子内にもつものであることが好ましい。
（反応性基ＲＡ：ビニル基、（メタ）アクリロイル基、または（メタ）アクリロイルオキシ基）
前記モノマーは、さらに、下記式（ＭＯ−１）〜（ＭＯ−８）のいずれかで表される、ラジカル重合性モノマーを好適に用いることができる。なお、式中、Ｔがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲに結合する。

【0148】

【化35】

【0149】

式中、Ｒは末端にヒドロキシ基またはビニル基を有する基である。ただし、分子内に１つ以上はビニル基を有し、ビニル基が２つ以上であることが好ましく、３つ以上であることがより好ましい。Ｒは好ましくは、下記Ｒ１〜Ｒ５のいずれかの置換基である。Ｔは連結基であり、好ましくは下記Ｔ１〜Ｔ５のいずれかまたはその組合せの連結基である。Ｚは連結基であり、下記Ｚ^１であることが好ましい。Ｚ^２は連結基であり、下記式Ｚ２であることが好ましい。なお、Ｔ^１〜Ｔ^５の向きは式に合わせて逆であってもよい。

【0150】

【化36】

【0151】

式中、ｎは整数であり、それぞれ０〜１４であることが好ましく、０〜５がより好ましく、１〜３が特に好ましい。ｍはそれぞれ１〜８であり、１〜５がより好ましく、１〜３が特に好ましい。一分子内に複数存在するＲ、ＴおよびＺは、それぞれ、同一であっても、異なっていてもよい。Ｔがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲに結合する。Ｒのうち少なくとも２つが重合性基であることが好ましく、３つが重合性基であることがより好ましい。Ｚ^３は炭素数１〜１２のアルキレン基であることが好ましく、炭素数１〜６のアルキレン基であることがより好ましい。なかでも、２，２−プロパンジイル基であることが、特に好ましい。
上記ラジカル重合性モノマーの具体例としては、特開２００７−２６９７７９号公報の段落番号０２４８〜段落番号０２５１に記載されている化合物を本実施形態においても好適に用いることができる。

【0152】

中でも、重合性モノマー等としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としては ＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ−３３０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としては ＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ−３２０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としては ＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ−３１０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としては ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；日本化薬株式会社製）、及びこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造や、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としては Ｍ−４６０；東亜合成製）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。

【0153】

多官能モノマーは、特に好ましくは、下記式（ｉ）で表される化合物および式（ｉｉ）で表される化合物から選択される少なくとも１種である。

【0154】

【化37】

【0155】

上記式中、Ｅは、それぞれ、−（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）−、または−（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）−を表し、−（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）−が好ましい。
ｙは、それぞれ、１〜１０の整数を表し、１〜５の整数が好ましく、１〜３がより好ましい。
Ｘは、それぞれ、水素原子、アクリロイル基、メタクリロイル基、または、カルボキシル基を表す。
式（ｉ）中、アクリロイル基およびメタクリロイル基の合計は３個または４個であることが好ましく、４個がより好ましい。
ｍは、それぞれ、０〜１０の整数を表し、１〜５が好ましい。それぞれのｍの合計は１〜４０の整数であり、４〜２０個が好ましい。
式（ｉｉ）中、アクリロイル基およびメタクリロイル基の合計は５個または６個であることが好ましく、６個がより好ましい。
ｎは、それぞれ、０〜１０の整数を表し、１〜５が好ましい。それぞれｎの合計は１〜６０の整数であり、４〜３０個が好ましい。

【0156】

多官能モノマーとしては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等の酸基を有していても良い。従って、エチレン性化合物が、上記のように混合物である場合のように未反応のカルボキシル基を有するものであることが好ましく、これをそのまま利用することができるが、必要において、上述のエチレン性化合物のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を導入しても良い。この場合、使用される非芳香族カルボン酸無水物の具体例としては、無水テトラヒドロフタル酸、アルキル化無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、アルキル化無水ヘキサヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸が挙げられる。

【0157】

酸基を有するモノマーとしては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルであり、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた多官能モノマーが好ましく、特に好ましくは、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び／又はジペンタエリスリトールであるものである。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製の多塩基酸変性アクリルオリゴマーとして、アロニックスシリーズのＭ−３０５、Ｍ−５１０、Ｍ−５２０などが挙げられる。
酸基を有する多官能モノマーの好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、特に好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。

【0158】

これらの多官能モノマーについて、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、組成物の最終的な性能設計にあわせて任意に設定できる。本実施形態では、異なる官能数および／または異なる重合性基（例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物）のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。さらに、３官能以上８官能以下でエチレンオキサイド鎖長の異なる多官能モノマーを併用することが、組成物の現像性を調節することができ、優れたパターン形成能が得られるという点で好ましい。また、組成物に含有される他の成分（例えば、重合開始剤、着色剤（顔料）、樹脂等）との相溶性、分散性に対しても、多官能モノマーの選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や２種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板などの硬質表面との密着性を向上させる観点で特定の構造を選択することもあり得る。

【0159】

重合性化合物の濃度（配合率）は、感光性樹脂組成物中の全固形分中１質量％以上であることが好ましく、５質量％以上であることが好ましい。上限については特に制限はないが、５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましい。

【0160】

（ｆ）重合開始剤
重合開始剤としては、前記多官能モノマーの重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の重合開始剤の中から適宜選択することができ、例えば、活性エネルギー線に対して感光性を有するものが好ましい。光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。前記重合開始剤は、約３００〜８００ｎｍ（３３０〜５００ｎｍがより好ましい。）の範囲内に少なくとも約５０の分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有していることが好ましい。

【0161】

前記重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。

【0162】

前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Ｂｕｌｌ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｊａｐａｎ，４２、２９２４（１９６９）記載の化合物、英国特許１３８８４９２号明細書記載の化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報記載の化合物、独国特許３３３７０２４号明細書記載の化合物、Ｆ．Ｃ．ＳｃｈａｅｆｅｒなどによるＪ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．；２９、１５２７（１９６４）記載の化合物、特開昭６２−５８２４１号公報記載の化合物、特開平５−２８１７２８号公報記載の化合物、特開平５−３４９２０号公報記載化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されている化合物、などが挙げられる。

【0163】

前記米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されている化合物としては、例えば、オキサジアゾール骨格を有する化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報、特公昭５７−１８１９号公報、同５７−６０９６号公報、及び米国特許第３６１５４５５号明細書に記載された化合物などが挙げられる。

【0164】

重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平１０−２９１９６９号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィンオキシド系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９，ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、３６５ｎｍまたは４０５ｎｍ等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開２００９−１９１１７９公報に記載の化合物も用いることができる。また アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９やＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。

【0165】

重合開始剤として、より好ましくはオキシム系化合物が挙げられる。オキシム系化合物の具体例としては、特開２００１−２３３８４２号記載の化合物、特開２０００−８００６８号記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号記載の化合物を用いることができる。

【0166】

本実施形態で重合開始剤として好適に用いられるオキシム誘導体等のオキシム化合物としては、例えば、３−ベンゾイロキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイロキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、及び２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。
具体的には、オキシム系重合開始剤としては、下記式（Ｏ１）で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのＮ−Ｏ結合が（Ｅ）体のオキシム化合物であっても、（Ｚ）体のオキシム化合物であっても、（Ｅ）体と（Ｚ）体との混合物であってもよい。

【0167】

重合開始剤となるオキシム化合物としては、下記式（ＯＸ）で表されるものが好ましく、式（ＯＸ−１）で表されるものがより好ましい。

【化38】

・Ａ^１
Ａ^１は式（ＯＸ−１）の−Ａ−Ｃまたはアルキル基であることが好ましい。アルキル基は、炭素数１〜１２が好ましく、１〜６であることがより好ましい。アルキル基は、後記置換基Ｏを有していてもよい。また、置換基Ｏは後記連結基Ｌを介在して置換していてもよい。

【0168】

・Ｃ
ＣはＳＡｒもしくはＣＯＡｒを表す。
・Ｒ
Ｒは一価の置換基を表し、一価の非金属原子団であることが好ましい。前記一価の非金属原子団としては、アルキル基（好ましくは炭素数１〜１２、より好ましくは１〜６、特に好ましくは１〜３）、アリール基（好ましくは炭素数６〜１４、より好ましくは６〜１０）、アシル基（好ましくは炭素数２〜１２、より好ましくは２〜６、特に好ましくは２〜３）、アリーロイル基（好ましくは炭素数７〜１５、より好ましくは７〜１１）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜１２、より好ましくは２〜６、特に好ましくは２〜３）、アリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜１５、より好ましくは７〜１１）、複素環基（好ましくは炭素数２〜１２、より好ましくは２〜６）、アルキルチオカルボニル基（好ましくは炭素数２〜１２、より好ましくは２〜６、特に好ましくは２〜３）、アリールチオカルボニル基（好ましくは炭素数７〜１５、より好ましくは７〜１１）等が挙げられる。また、これらの基は、１以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基Ｏで置換されていてもよい。置換基Ｏとしてはハロゲン原子、アルキル基（好ましくは炭素数１〜１２、より好ましくは１〜６、特に好ましくは１〜３）、アリール基（好ましくは炭素数６〜１４、より好ましくは６〜１０）等が挙げられる。置換基Ｏは任意の連結基Ｌ（炭素数１〜６のアルキレン基，Ｏ，Ｓ，ＣＯ，ＮＲ^Ｎ，またはこれらの組み合わせ：Ｒ^Ｎは水素原子または炭素数１〜６のアルキル基）を介して置換していてもよい。

【0169】

・Ｂ
Ｂは一価の置換基を表し、アルキル基（好ましくは炭素数１〜１２）、アリール基（好ましくは炭素数６〜１４、より好ましくは炭素数６〜１０）、複素環基（好ましくは炭素数２〜１８、より好ましくは炭素数２〜１２）を表す。これらの基は、連結基Ｌを介して結合していてもよい。また、これらの基は１以上の置換基Ｏを有していてもよい。置換基Ｏも任意の連結基Ｌを介して置換していてもよい。Ｂの具体的な基として下記が挙げられる。＊は結合位置を示すが、異なる位置で結合していてもよい。また、これらの基はさらに置換基Ｏを伴っていてもよい。具体的には、ベンゾイル基、フェニルチオ基、フェニルオキシ基が挙げられる。

【0170】

【化39】

【0171】

・Ａ
Ａは単結合または連結基である。連結基の好ましい例としては、前記連結基Ｌまたはアリーレン基（好ましくは炭素数６〜１４、より好ましくは炭素数６〜１０）または複素環連結基（好ましくは芳香族複素環連結基）（好ましくは炭素数２〜１８、より好ましくは炭素数２〜１２）である。

【0172】

・Ａｒ
Ａｒはアリール基またはヘテロアリール（芳香族複素環基）である。アリール基としては、好ましくは炭素数６〜１４、より好ましくは炭素数６〜１０であり、フェニル基、ナフチル基が好ましい。ヘテロアリール基としては、好ましくは炭素数２〜１８、より好ましくは炭素数２〜１２であり、Ｎ位にアルキル基等の置換基を有していてもよいカルバゾリル基が好ましい。

【0173】

オキシム開始剤としては、特開２０１２−２０８４９４号公報段落０５１３（対応する米国特許出願公開第２０１２／２３５０９９号明細書の［０６３２］）以降の式（ＯＸ−１）、（ＯＸ−２）または（ＯＸ−３）で表される化合物の説明を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。

【0174】

以下好適に用いられるオキシム化合物の具体例（ＰＩｏｘ−１）〜（ＰＩｏｘ−１３）を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【0175】

【化40】

【0176】

オキシム化合物は、熱により分解し重合を開始、促進する熱重合開始剤としての機能を有する。上記のオキシム化合物（ＰＩｏｘ−１）は、Ｉ線（３６５ｎｍ）での感度が特に高く好ましい。また上記のオキシム化合物（特にＰＩｏｘ−２）は、非常に高い反応性を有しており、本発明において好適に適用することができる。総合すると、前記オキシム化合物（特にＰＩｏｘ−１およびＰＩｏｘ−２）は、露光波長の感度が高くまた反応性が高いため、σを絞った光学系（光束が少ない）の露光光源に対し、十分な像形成能を有するため、特に本発明においてその使用が効果的である。

【0177】

オキシム化合物は、３５０ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有することが好ましく、３６０ｎｍ〜４８０ｎｍの波長領域に吸収波長を有するものであることがより好ましく、３６５ｎｍ及び４５５ｎｍの吸光度が高いものが特に好ましい。
オキシム化合物は、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、１，０００〜３００，０００であることが好ましく、２，０００〜３００，０００であることがより好ましく、５，０００〜２００，０００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｒｙ−５ ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
オキシム化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０１、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０２などの市販品（いずれも、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ−ＰＢＧ−３０４（常州強力電子新材料有限公司社製）も好適に使用できる。

【0178】

重合開始剤は、必要に応じて２種以上を組み合わせて使用しても良い。重合開始剤の感光性樹脂組成物中における濃度（２種以上の場合は総濃度）としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．１〜２０質量％の範囲が好ましく、より好ましくは０．５〜１０質量％の範囲、特に好ましくは１〜８質量％の範囲である。この範囲内であると、良好な感度とパターン形成性が得られる。

【0179】

重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。本実施形態に用いることができる増感剤としては、重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。

【0180】

増感剤としては、例えば、特開２００８−３２８０３号公報の段落番号０１０１〜０１５４に記載される化合物が挙げられる。
前記組成物中における増感剤の濃度は、配合する場合、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、０．１質量％〜２０質量％であることが好ましく、０．５質量％〜１５質量％がより好ましい。
増感剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

【0181】

置換基Ｔとしては、下記のものが挙げられる。
アルキル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキル基、例えばメチル、エチル、イソプロピル、ｔ−ブチル、ペンチル、ヘプチル、１−エチルペンチル、ベンジル、２−エトキシエチル、１−カルボキシメチル等）、アルケニル基（好ましくは炭素原子数２〜２０のアルケニル基、例えば、ビニル、アリル、オレイル等）、アルキニル基（好ましくは炭素原子数２〜２０のアルキニル基、例えば、エチニル、ブタジイニル、フェニルエチニル等）、シクロアルキル基（好ましくは炭素原子数３〜２０のシクロアルキル基、例えば、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、４−メチルシクロヘキシル等）、アリール基（好ましくは炭素原子数６〜２６のアリール基、例えば、フェニル、１−ナフチル、４−メトキシフェニル、２−クロロフェニル、３−メチルフェニル等）、ヘテロ環基（好ましくは炭素原子数２〜２０のヘテロ環基、好ましくは、少なくとも１つの酸素原子、硫黄原子、窒素原子を有する５または６員環のヘテロ環基が好ましく、例えば、２−ピリジル、４−ピリジル、２−イミダゾリル、２−ベンゾイミダゾリル、２−チアゾリル、２−オキサゾリル等）、アルコキシ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルコキシ基、例えば、メトキシ、エトキシ、イソプロピルオキシ、ベンジルオキシ等）、アリールオキシ基（好ましくは炭素原子数６〜２６のアリールオキシ基、例えば、フェノキシ、１−ナフチルオキシ、３−メチルフェノキシ、４−メトキシフェノキシ等）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素原子数２〜２０のアルコキシカルボニル基、例えば、エトキシカルボニル、２−エチルヘキシルオキシカルボニル等）、アミノ基（好ましくは炭素原子数０〜２０のアミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基を含み、例えば、アミノ、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ、Ｎ−エチルアミノ、アニリノ等）、スルファモイル基（好ましくは炭素原子数０〜２０のスルホンアミド基、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイル、Ｎ−フェニルスルファモイル等）、アシル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアシル基、例えば、アセチル、プロピオニル、ブチリル、ベンゾイル等）、アシルオキシ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアシルオキシ基、例えば、アセチルオキシ、ベンゾイルオキシ等）、カルバモイル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のカルバモイル基、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイル、Ｎ−フェニルカルバモイル等）、アシルアミノ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアシルアミノ基、例えば、アセチルアミノ、ベンゾイルアミノ等）、スルホンアミド基（好ましくは炭素原子数０〜２０のスルファモイル基、例えば、メタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、Ｎ−メチルメタンスルホンアミド、Ｎ−エチルベンゼンスルホンアミド等）、アルキルチオ基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキルチオ基、例えば、メチルチオ、エチルチオ、イソプロピルチオ、ベンジルチオ等）、アリールチオ基（好ましくは炭素原子数６〜２６のアリールチオ基、例えば、フェニルチオ、１−ナフチルチオ、３−メチルフェニルチオ、４−メトキシフェニルチオ等）、アルキルもしくはアリールスルホニル基（好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキルもしくはアリールスルホニル基、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、ベンゼンスルホニル等）、ヒドロキシル基、シアノ基、ハロゲン原子（例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等）であり、より好ましくはアルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、アシルアミノ基、ヒドロキシル基またはハロゲン原子であり、特に好ましくはアルキル基、アルケニル基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、アシルアミノ基またはヒドロキシル基である。

【0182】

（ｇ）その他
感光性樹脂組成物は、その他の成分を含有させることもできる。その他の成分としては、溶剤、界面活性剤、ＵＶ吸収剤、重合禁止剤、密着向上剤などが挙げられる。

【0183】

・溶剤
感光性樹脂組成物は、一般には、溶剤を用いて構成することができる。溶剤は、各成分の溶解性や感光性樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特に紫外線吸収剤、バインダー樹脂の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、感光性樹脂組成物を調製する際には、少なくとも２種類の溶剤を含むことが好ましい。

【0184】

溶剤としては、エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル（例：オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例：３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例：２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、キシレン等が好適に挙げられる。

【0185】

溶剤の感光性樹脂組成物中における濃度は、塗布性の観点から、組成物の全固形分濃度が５〜８０質量％になる量とすることが好ましく、５〜６０質量％が更に好ましく、１０〜５０質量％が特に好ましい。

【0186】

・界面活性剤
前記組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。界面活性剤の添加量は配合する場合、組成物の全質量に対して、０．００１質量％〜２質量％が好ましく、より好ましくは０．００５質量％〜１質量％である。

【0187】

重合禁止剤
組成物の製造中又は保存中において、多官能モノマーの不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ｏ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。更に、感光性樹脂組成物は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、或いは酸素による多官能モノマーの重合阻害を抑制する等の目的で共増感剤を含有してもよい。また、硬化皮膜の物性を改良するために、希釈剤、可塑剤、感脂化剤等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。重合禁止剤を用いる場合の添加量としては、着色感光性樹脂組成物中の全固形分中、０．００１質量％〜０．０１５質量％の範囲であることが好ましく、０．０３質量％〜０．０９質量％がより好ましい。

【0188】

・密着向上剤
密着向上剤を用いる場合の添加量としては、着色感光性樹脂組成物中の全固形分中、０．１質量％〜５質量％の範囲であることが好ましく、０．２質量％〜３質量％がより好ましい。

【0189】

・紫外線吸収剤
感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有しても良い。紫外線吸収剤としては、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、トリアジン系の紫外線吸収剤を使用することができる。紫外線吸収剤を含む場合、紫外線吸収剤の濃度は、全固形分質量に対して、０．００１質量％以上１質量％以下であることが好ましく、０．０１質量％以上０．１質量％以下であることがより好ましい。

【0190】

（感光性樹脂組成物の調製）
感光性樹脂組成物の調製態様については特に特に制限されないが、例えば、必須成分、及び、所望により併用される各種の添加剤を混合し、調製することができる。

【0191】

（硬化膜及びその製造方法）
組成物を硬化してなる硬化膜は、色純度が高く、薄層で高い吸光係数が得られ、堅牢性（特に耐熱性及び耐光性）が良好である。かかる利点を活かして、固体撮像素子や液晶表示装置用のカラーフィルターにおける着色画素の形成に用いられる。
硬化膜の製造方法は、感光性樹脂組成物を基板上に適用する工程と、該感光性樹脂組成物を露光する工程を含む。具体的には、任意の基板又は基材上に硬化膜を形成する際には、感光性樹脂組成物を塗布するか、或いは、基板等を感光性樹脂組成物に浸漬して感光性樹脂組成物層を形成し、これを硬化させてもよい。また、パターン状の硬化膜を形成する場合、基板上にインクジェット記録方法により適用してもよく、捺染やオフセット印刷などの公知の印刷法を適用してもよいが、高精細なパターンを形成しうるという観点からは、後述する、基板上に感光性樹脂組成物層を形成し、パターン状に露光した後、現像して感光性樹脂組成物層の未露光部を除去する方法が好ましい。

【0192】

カラーフィルター及びその製造方法：
カラーフィルターの製造方法は、その一例において、感光性樹脂組成物を基板上に適用する工程と、該感光性樹脂組成物をパターン露光する工程を含む。具体的には、支持体上に、既述の感光性樹脂組成物を適用して感光性樹脂組成物層を形成する工程（以下、「感光性樹脂組成物層形成工程」ともいう）と、前記感光性樹脂組成物層をマスクを介してパターン露光する工程（以下、「露光工程」ともいう）と、露光後の感光性樹脂組成物層を現像して着色パターン（以下、「着色画素」ともいう）を形成する工程（以下、「現像工程」ともいう）とを含む。

【0193】

・露光工程
本発明の製造方法に係る好ましい実施形態においては、上記の感光性樹脂組成物に露光エネルギーを照射し、その露光部分を現像して樹脂硬化物のパターンを形成する。本実施形態においては、上記の露光に先立ち、支持体等の上に、感光性樹脂組成物を付与して感光性樹脂組成物の層を形成する。支持体としては、例えば、基板（例えば、シリコン基板）上にＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基板を用いることができる。着色パターンは、固体撮像素子用基板の撮像素子形成面側（おもて面）に形成されてもよいし、撮像素子非形成面側（裏面）に形成されてもよい。固体撮像素子用基板における各撮像素子間や、固体撮像素子用基板の裏面には、遮光膜が設けられていてもよい。また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。

【0194】

支持体上への感光性樹脂組成物の適用方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。支持体上に塗布された感光性樹脂組成物層の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等で５０℃〜１４０℃の温度で１０秒〜３００秒で行うことができる。

【0195】

露光工程では、感光性樹脂組成物の層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、所定のマスクパターンを有するマスクを介してパターン露光する。前記露光エネルギーの照射は、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ＫｒＦ線（エキシマレーザー線）、およびＡｒＦ線（エキシマレーザー線）から選ばれる活性エネルギー線の照射により行われることが好ましい。上記露光エネルギーの照度が５０００Ｗ／ｍ^２以上であることが好ましく、７０００Ｗ／ｍ^２以上であることがより好ましく、８０００Ｗ／ｍ^２以上であることが特に好ましい。上限側の規定としては、１８０００Ｗ／ｍ^２以下であることが好ましく、１５０００Ｗ／ｍ^２以下であることがより好ましく、１００００Ｗ／ｍ^２以下であることが特に好ましい。この範囲の照射エネルギーとすることで、良好なパターンの解像度を得ることができる。

【0196】

露光装置等は、適宜通常のものを利用すればよいが、例えば縮小投影露光装置を用いることができる。投影露光装置においては、例えば、特定の光源から発せられた活性エネルギー線がコンデンサーレンズを介して、プロジェクションレンズ（投影レンズ）に入射する。本投影光学系においては、コンデンサーレンズの前または後には、所定のパターンを付したマスクが設置され、所定のパターンとされた活性エネルギー線がプロジェクションレンズに到達するようにされている。このとき、コンデンサーレンズ側の開口数（ＮＡ_１）、プロジェクションレンズ側の開口数が（ＮＡ_２）などの条件を適宜所望の範囲に設定することが好ましい。縮小投影光学系を透過した活性エネルギー線は、その反対側から出射され、露光基板（ワーク）へと照射される。この活性エネルギー線の照射により、その基板上の感光性樹脂組成物層は露光され、ネガ型（露光硬化性）のものが好ましく、その露光部分が硬化する。プロジェクションレンズの出射側の開口数（ＮＡ_３）についても適宜所望の範囲に設定することが好ましい。

【0197】

・現像工程
次いでアルカリ現像処理等の現像を行うことにより、露光工程における光未照射部分の感光性樹脂組成物層がアルカリ水溶液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常２０℃〜３０℃であり、現像時間は、例えば、２０秒〜９０秒である。より残渣を除去するため、近年では１２０秒〜１８０秒実施する場合もある。さらには、より残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。

【0198】

アルカリ性の水溶液としては、アルカリ性化合物を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜５質量％となるように溶解して調製されたアルカリ性水溶液が好適である。

【0199】

アルカリ性化合物は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシ、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン等が挙げられる（このうち、有機アルカリが好ましい。）。
なお、アルカリ性水溶液を現像液として用いた場合は、一般に現像後に水で洗浄処理が施される。

【0200】

・ポストベーク
次いで、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。多色の着色パターンを形成するのであることが好ましく、各色ごとに前記工程を順次繰り返して硬化皮膜を製造することができる。これによりカラーフィルターが得られる。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。その加熱温度は、有機光電変換部の損傷を抑制する観点から、２４０℃以下が好ましく、２２０℃以下がより好ましく、２００℃以下がさらに好ましく、１９０℃以下が特に好ましい。下限は特にないが、効率的かつ効果的な処理を考慮すると、５０℃以上の熱硬化処理を行うことが好ましく、１００℃以上がより好ましい。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。

【0201】

上記の加熱によるポストベークに変え、ＵＶ（紫外線）照射によってカラーフィルターの画素を硬化させてもよい。このとき、ＵＶ硬化剤は、通常のＩ線露光によるリソグラフィー工程のために添加する開始剤の露光波長である３６５ｎｍより単波の波長で硬化できるものが好ましい。ＵＶ硬化剤としては、例えば、チバ イルガキュア ２９５９（商品名）が挙げられる。ＵＶ照射光の具体的波長としては、３４０ｎｍ以下で硬化する材料とすることが好ましい。波長の下限値は特にないが、２２０ｎｍ以上であることが一般的である。またＵＶ照射の露光量は１００〜５０００ｍＪが好ましく、３００〜４０００ｍＪが好ましく、８００〜３５００ｍＪがさらに好ましい。このＵＶ硬化工程は、リソグラフィー工程の後に行うことが、低温硬化をより効果的に行うために、好ましい。露光光源はオゾンレス水銀ランプを使用することが好ましい。

【0202】

上記の感光性樹脂組成物のポストベークを、低酸素濃度の雰囲気下で行うことが好ましい。その酸素濃度は、１９％（体積基準）であることが好ましく、１５％（体積基準）であることがより好ましく、１０％（体積基準）であることがさらに好ましく、７％（体積基準）であることがさらに好ましく、３％（体積基準）であることが特に好ましい。下限は特にないが、１０ｐｐｍ（体積基準）以上が実際的である。

【0203】

・応用形態
本発明においては、前記の感光性樹脂組成物で形成した硬化物（画素部）と緑色の感光性樹脂組成物で形成した硬化物（画素部）とが隣接することが好ましい。このような形態とすることにより発生することがある針欠陥を好適に抑制ないし防止することができ、本発明の利点が顕著となる。緑色の感光性樹脂組成物に含有させる色材としては、上記針欠陥の発生の観点から、ピグメントグリーン５８（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｇ．５８）であることが好ましい。

【0204】

本発明の好ましい実施形態に係るカラーフィルターは、液晶表示装置や固体撮像素子や有機ＥＬ装置に用いることができ、特に固体撮像用途に好適である。本発明の好ましい実施形態に係る固体撮像素子は、既に図１に基づいて述べたが、例えば、以下のような構成が挙げられる。支持体上に、固体撮像素子（ＣＣＤイメージセンサー、ＣＭＯＳイメージセンサー、等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、固体撮像素子用カラーフィルターを有する構成である。更に、前記デバイス保護層上であってカラーフィルターの下（支持体に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルター上に集光手段を有する構成等であってもよい。

【実施例】

【0205】

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、これにより本発明は限定して解釈されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。

【0206】

（実施例１）

【0207】

＜（ｂ）塩基性分散剤の合成＞
（ｂ−１）
下図に示すマクロモノマー（Ｎ−１）１３１ｇ、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート７４ｇ、メタクリル酸３７ｇ、及びドデカンチオール６ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテル２３３ｇに加え、窒素雰囲気下、７５℃で一時間攪拌した。ここに、２，２’−ビスイソ酪酸ジメチル（Ｖ−６０１、和光純薬製）０．５ｇを加え、２時間加熱した。さらに、２，２’−アゾビス（イソ酪酸メチル）０．５ｇを加え、２時間加熱した。その後、９０℃で２時間加熱した後、放冷し、（１）の塩基性分散剤（ｂ−１）（重量平均分子量１４，０００）の３０質量％溶液を得た。合成スキームを以下に示す（Ｍｅはメチル基を表す）。

【0208】

【化41】

【0209】

ｎ−オクタン酸６．４ｇ、ε−カプロラクトン２００ｇ、チタン（ＩＶ）テトラブトキ
シド５ｇを混合し、１６０℃で８時間加熱した後、室温まで冷却しポリエステルを得た。合成スキームを以下に示す。

【0210】

【化42】

【0211】

（ｂ−２）
ポリエチレンイミン（ＳＰ−０１８、数平均分子量１，８００、日本触媒製）１０ｇ及
び上記で得られたポリエステル１００ｇを混合し、１２０℃で３時間加熱して、中間体（Ｊ−１Ｂ）を得た。その後、６５℃まで放冷し、無水コハク酸３．８ｇを含有するプロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート（以下、ＰＧＭＥＡとよぶ）２００ｇをゆっくり添加し２時間攪拌した。その後、ＰＧＭＥＡを添加し、（２）の塩基性分散剤（ｂ−２）のＰＧＭＥＡ２０重量％溶液を得た。塩基性分散剤（ｂ−２）は、ポリエステル由来の側鎖と無水コハク酸由来のｐＫａが１４以下である官能基（カルボキシル基）を有する基を有するものである。合成スキームを以下に示す。

【0212】

【化43】

ｌ１、ｌ２、ｘ、ｙ、ｍ１、ｍ２、ｎ、ｋは任意の整数である。
中間体（Ｊ−１Ｂ）の塩基滴定を行ったところ、酸価が０．１１ｍｍｏｌ／ｇであることが確認できた。また、塩基性分散剤（ｂ−２）の塩基滴定、酸滴定を行ったところ、酸価が０．３１ｍｍｏｌ／ｇ、塩基価が０．８３ｍｍｏｌ／ｇであった。すなわち、塩基性分散剤（ｂ−２）の酸価と中間体（Ｊ−１Ｂ）の酸価の差よりｋが、塩基性分散剤（ｂ−２）の塩基価と反応前の樹脂の窒素原子数の差よりｌ１＋ｌ２が、中間体（Ｊ−１Ｂ）の酸価よりｍ１＋ｍ２が計算でき、ｋ／（ｌ１＋ｌ２）／（ｍ１＋ｍ２）／ｎ＝１０／５０／５／３５となる。また、塩基性分散剤（ｂ−２）のＧＰＣ法による重量平均分子量は２４，０００であった。

【0213】

（ｂ−３）
温度計、撹拌機、蒸留管、冷却器を具備した４つ口セパラブルフラスコに、メチルエチルケトン７０．０ｇ、ｎ−ブチルアクリレート７６．０ｇ、スパルテイン２．８ｇ、ブロモイソ酪酸エチル１．９ｇを仕込み、窒素気流下で４０℃に昇温した。塩化第一銅１．１ｇを投入し、７５℃まで昇温して重合を開始した。３時間重合後、重合溶液をサンプリングし、重合の固形分から重合収率が９５％以上であることを確認し、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート２４．０ｇ、及びメチルエチルケトン３０．０ｇを添加して更に重合を行った。２時間後、重合溶液の固形分から重合収率が９７％以上であるのを確認し、室温に冷却して重合を停止した。得られた樹脂溶液１００ｇをメチルエチルケトン１００ｇで希釈し、カチオン交換樹脂「ダイヤイオン ＰＫ２２８（三菱化学（株）製）」６０ｇを添加して室温で１時間撹拌し、更に、酸性物質の吸着剤として「キョーワード５００（協和化学工業（株）製）」を添加し３０分撹拌した。濾過によってカチオン交換樹脂と吸着剤を除去して、重合触媒の残渣を取り除いた。更に、樹脂溶液を濃縮した上で溶剤をＰＧＭＥＡに置換して、不揮発分４０質量％の（３）の塩基性分散剤（ｂ−３）溶液を得た。塩基性分散剤（ｂ−３）は、ｎ−ブチルアクリレートとＮ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレートがブロック共重合した樹脂となっている。また、塩基性分散剤（ｂ−３）のＧＰＣ法による重量平均分子量は１２，２００であった。

【0214】

＜（ｃ）現像樹脂の合成＞
セパラブル四口フラスコに、温度計、冷却管、窒素ガス導入管、攪拌装置を取り付けた反応容器に、ＰＧＭＥＡを入れ、反応容器に窒素ガスを導入しながら１００℃に加熱して、同温度で滴下管よりベンジルメタクリレート１２３．３ｇ、メタクリル酸２５．８ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１０．０ｇの混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。
室温まで冷却した後、樹脂溶液を約３ｇサンプリングして１８０℃２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が４０質量％となるようにＰＧＭＥＡを添加して、現像樹脂（ｃ−１）の溶液を得た。現像樹脂（ｃ−１）のＧＰＣ法による重量平均分子量は３０，０００であった。

【0215】

使用する原料モノマーを適宜変更する以外は上記（ｃ−１）に記載した方法と同様の方法で、現像樹脂（ｃ−２）、（ｃ−３）を合成した。下図に、現像樹脂（ｃ−１）〜（ｃ−３）の構造と、ＧＰＣ法にて測定した重量平均分子量（Ｍｗ）を示す。なお、下図において、各繰り返し構造単位のカッコ右下に添え書きした数値は、各繰り返し構造単位の組成をモル比で記入したものである。また、下記構造式における現像樹脂（ｃ−２）の右端の繰り返し単位は、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成株式会社製「アロニックスＭ１１０」、前記式（Ａ１）で表される化合物に相当）に由来する繰り返し単位である。

【0216】

【化44】

【0217】

＜赤色顔料分散組成物の調製＞
下記の組成の混合物を均一に攪拌混合した後、ビーズミルにより３時間混合・分散して赤色顔料分散組成物（１０１）を調製した。
ジケトピロピロール系赤色顔料
（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ２５４）
４．４質量部
ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料
（Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＯｒａｎｇｅ７１）
５．４質量部
イソインドリン系黄色顔料
（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ１３９）
１．２質量部
酸性の色素誘導体（ｄ−１）：
下記化学式（ｄ−１）で表される化合物のアルミニウム塩
１．５質量部
塩基性分散剤（ｂ−４）：
ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール製）
１．２質量部
現像樹脂（ｃ−１） ５．６質量部（不揮発分）
ＰＧＭＥＡ ８０．９質量部

【0218】

【化45】

【0219】

組成を表１に記載した組成に変更した以外は、上述の赤色顔料分散組成物（１０１）と同様の方法で、表の中の赤色顔料分散組成物を調製した。なお、表１の赤色顔料分散組成物は溶剤としてＰＧＭＥ（プロピレングリコールモノメチルエーテル）を含むが、これは塩基性分散剤（ｂ−１）をＰＧＭＥ溶液として添加していることに由来するものである。

【0220】

＜赤色感光性樹脂組成物の調製＞
下記の組成の混合物を均一に攪拌混合して、赤色感光性樹脂組成物（ＲＲ−ａ）を調製した。
赤色顔料分散組成物（１０１） ６９．５質量部
現像樹脂（ｃ−３） １．９質量部
（４０質量％樹脂溶液として）
光重合開始剤（Ｆ−１） ０．８質量部
エチレン性不飽和化合物（Ｅ−１） ０．６質量部
フッ素系界面活性剤 ４．２質量部
（不揮発分１質量％のプロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート溶液として）
ｐ−メトキシフェノール ０．０００３質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）
２３．０質量部

【0221】

光重合開始剤（Ｆ−１）：１．２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］（ＢＡＳＦ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０１）
エチレン性不飽和化合物（Ｅ−１）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのエチレンオキシド変性品（新中村化学工業株式会社製、ＮＫエステル Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ）
フッ素系界面活性剤：（大日本インキ株式会社製、メガファックＦ−７８１Ｆ）
使用する赤色顔料分散組成物を変更する以外は、上述の赤色感光性樹脂組成物と同様にして、表１中の各赤色感光性樹脂組成物を調製した。

【0222】

＜評価＞
（パターン直線性の評価）
上記で得た赤色感光性樹脂組成物を、予めヘキサメチルジシラザンを噴霧した８インチのシリコンウエハの上に、乾燥後膜厚が０．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークした。
塗布基板をｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−ｉ５＋（キヤノン（株）製）を使用して、塗布膜に３６５ｎｍの波長で、１．４μｍ四方のアイランドパターンを有するマスクを通し、１．４μｍ四方のアイランドパターンが形成される最適な露光量で照射した。露光後、アルカリ現像液ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を使用して、２５℃４０秒間の条件で現像した。その後、流水で３０秒間リンスした後、スプレー乾燥し、着色パターンを得た。
得られた１．４μｍ四方のアイランドパターンについて、走査型電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−９２２０）を用いてパターン上方から観察し、パターン側壁の直線性を下記４段階で評価した。
Ａ：パターン側壁にガタつきが全く認められず、問題が無い
Ｂ：パターン側壁に微小なガタつきが認められるものの、問題は無い
Ｃ：パターン側壁にガタつきが認められるが、許容可能である
Ｄ：パターン側壁に大きなガタつきがあり、許容範囲外
このパターン直線性評価結果をまとめて表１に示す。

【0223】

（ザラ（色ムラ）の評価）
上記で得た赤色感光性樹脂組成物を、ガラス基板上に乾燥後膜厚が０．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークして着色塗膜１を得た。
また、上記要領で得た赤色感光性樹脂組成物を室温で６ヶ月間経時させた後、ガラス基板上に乾燥後膜厚が０．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークして着色塗膜２を得た。
得られた着色塗膜１および着色塗膜２を光学顕微鏡の観測レンズと光源との間に設置して光を観測レンズに向けて照射し、その透過光状態を倍率が１０００倍のデジタルカメラが設置された光学顕微鏡によって観察した。光学顕微鏡に設置されたデジタルカメラには１２８万画素のＣＣＤが搭載されており、透過光状態にある被膜表面を撮影した。撮影画像は８ビットのビットマップ形式でデジタル変換したデータ（デジタル画像）として保存した。
なお、着色塗膜の被膜表面の撮影は任意に選択した２０の領域に対して行った。また、デジタル変換したデータは、撮影画像をＲＧＢの３原色それぞれの輝度を０〜２５５までの２５６階調の濃度分布として数値化して保存した。
次いで、保存されたデジタル画像について、１つの格子サイズが実基板上の０．５μｍ四方に相当するように、格子状に区分し、一つの区画内での輝度を平均化した。本実施例においては、１２８万画素のデジタルカメラで光学１０００倍の画像を撮影したため、実基板上の０．５μｍは撮影画像上の０．５ｍｍとなり、ディスプレイ上における画像サイズが４５２ｍｍ×３５２ｍｍであったことから、一つの領域における総区画数は６３６４１６個であった。
各領域の全区画について、任意の１区画とそれに隣接する全ての隣接区画の平均輝度とを計測した。隣接区画の平均輝度との差が５以上の区画を有意差区画と認定し、全領域の有意差区画の平均総数を算出した。この数値が小さいほど、隣接する区画との濃度差が小さく、ザラが少なく、カラーフィルターとしての特性に優れることを表す。
着色塗膜１のザラの平均総数を調製直後のザラの値として、着色塗膜２のザラの平均総数を室温６ヶ月経時後のザラの値として、さらに調製直後のザラの値から室温６ヶ月経時後にかけてのザラの増大率をまとめて表１に示す。

【0224】

（針状異物の評価）
（１）Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン５８とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９との１００／５５（質量比）混合物１２．６部と、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ２００１（ビックケミー（ＢＹＫ）社製、固形分濃度４５．１質量％）５．２部と、分散樹脂として上述の現像樹脂（ｃ−１）を２．７部と、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７８．３部とからなる混合液を、ビーズミルにより１５時間混合・分散して、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｇ−１を調製した。

【0225】

顔料としてＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン５８の代わりにＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６を使用する以外は上記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｇ−１と同様の方法で、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｇ−２を調製した。

【0226】

（２）Ｂｌｕｅ顔料分散液の調製
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との１００／２５（質量比）混合物１４部と、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ２００１（ビックケミー（ＢＹＫ）社製、固形分濃度４５．１質量％）４．７部と、分散樹脂として上述の現像樹脂（ｃ−１）を３．５部と、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７７．８部とからなる混合液を、ビーズミルにより１５時間混合・分散して、Ｂｌｕｅ顔料分散液を調製した。

【0227】

（３）Ｇｒｅｅｎ着色硬化性組成物（塗布液）の調製
上記で得られたＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｇ−１を用い、下記組成となるように混合、撹拌して緑色着色硬化性組成物を調製した。

【0228】

＜組成＞
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｇ−１ ８３．３部
・現像樹脂（ｃ−３） １．０部
・１．２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］
（ＢＡＳＦ社製の光重合開始剤、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０１）
１．２部
・モノマー１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのエチレンオキシド変性品
（新中村化学工業株式会社製、ＮＫエステル Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ）
１．４部
・モノマー２：Ｍ−３０５（東亞合成社製） １．４部
・エポキシ樹脂：ＥＨＰＥ３１５０（ダイセル化学工業株式会社製）
〔分子内に約１５個のエポキシ基を含むエポキシ化合物〕
１．０５部
・ｐ−メトキシフェノール ０．００１部
・ＰＧＭＥＡ（溶媒） ７．４部
・界面活性剤
（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製のＰＧＭＥＡ０．２％溶液）
４．２部

【0229】

更に、使用するＧｒｅｅｎ顔料分散液をＧ−１からＧ−２に変更する以外は上記と同様の方法で、緑色着色硬化性組成物を調製した。
なお、上記緑色着色硬化性組成物の調製に用いたモノマー２（Ｍ−３０５、東亞合成社製）とエポキシ樹脂（ＥＨＰＥ３１５０、ダイセル化学工業株式会社製）の化学構造式を以下に示す。

【0230】

【化46】

【0231】

（４）Ｂｌｕｅ着色硬化性組成物（塗布液）の調製
上記のＢｌｕｅ顔料分散液を用い、下記組成となるように混合、撹拌して青色着色硬化性組成物を調製した。

【0232】

＜組成＞
・前記Ｂｌｕｅ顔料分散液 ５０．６部
・現像樹脂（ｃ−３） ２．１部
・１．２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］
（ＢＡＳＦ社製の光重合開始剤、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０１）
１．２部
・モノマー１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのエチレンオキシド変性品
（新中村化学工業株式会社製、ＮＫエステル Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ）
３．５部
・モノマー２：ＳＲ−４９４（サートマー社製） １．２部
・ｐ−メトキシフェノール ０．００２部
・ＰＧＭＥＡ（溶媒） ３６部
・界面活性剤
（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製のＰＧＭＥＡ０．２％溶液）
４．２部

【0233】

（５）カラーフィルターの形成
前記において調製されたＧｒｅｅｎ着色硬化性組成物を、あらかじめヘキサメチルジシラザンを噴霧した８インチのシリコンウエハの上に塗布し、乾燥後膜厚が０．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークした。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、３６５ｎｍの波長で１．４μｍ四方のベイヤーパターンマスクを通して１．４μｍのベイヤーパターンが形成される最適な露光量にて照射した。露光後のシリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の４０％希釈液を用いて２３℃で１８０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハ上に緑色着色パターンを形成した。
緑色着色パターンが形成されたシリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。
次に、２００℃のホットプレートにて５分間加熱し、パターンが形成されたカラーフィルタを得た。

【0234】

こうして得られた緑色の画素パターン上に、上述のＢｌｕｅ着色硬化性組成物および赤色感光性樹脂組成物を用いて、露光パターンを１．４μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して露光する以外はＧｒｅｅｎと同様の工程を繰り返すことにより、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の画素パターンが互いに隣接した状態のカラーフィルターを得た。

【0235】

なお、本発明の一部の実施例および一部の比較例では、Ｇｒｅｅｎ着色硬化性組成物としてＧ−１（使用している緑色顔料がＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＧｒｅｅｎ５８）の代わりに、Ｇ−２（使用している緑色顔料がＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＧｒｅｅｎ３６）を配合したものを使用して評価を行った。

【0236】

（６）針状異物発生の有無
上記（１）〜（５）の要領で得られた、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の着色画素パターンが互いに隣接した状態のカラーフィルタを２６０℃のホットプレートにて５分加熱し、そのパターンを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて２０，０００倍で観察し、下記の評価基準にしたがって針状異物発生の程度を評価した。評価結果を表１にまとめて示す。
＜評価基準＞
ＡＡ：針状異物の発生が全く認められない
Ａ：微小な針状異物の発生が認められるが問題なし
Ｂ：針状異物の発生が認められるが、許容可能
Ｃ：針状異物の発生が多く、許容範囲外であった
Ｄ：針状異物の発生が上記評価×よりも更に多く、許容範囲外であった

【0237】

【表1-1】

【0238】

【表1-2】

【0239】

＜表の注釈＞
・分散剤と現像樹脂の配合量は不揮発分である
・直線性：パターン直線性
・直後：調製直後
・６ヶ月：室温６ヶ月経過後
・隣接顔料：隣接する緑色画素パターンに使用されている顔料
・異物：針状異物

【0240】

表１において、各記号は以下の化合物を意味する。
ＰＲ２５４：ジケトピロロピロール系赤色顔料（Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ２５４）
ＰＲ１２２：キナクリドン系赤色顔料（Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ１２２）
ＰＲ１７７：アントラキノン系赤色顔料（Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ１７７）
ＰＯ７１：ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料（Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＯｒａｎｇｅ７１）
ＰＹ１３９：イソインドリン系黄色顔料（Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＹｅｌｌｏｗ１３９）
（ｂ−４）：ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール製）
（ｄ−１）：下記化学式（ｄ−１）で表される化合物のアルミニウム塩

【0241】

【化47】

【0242】

（ｄ−２）：下記構造式の化合物（ｄ−２）のアルミニウム塩

【0243】

【化48】

【0244】

（ｄ−３）：下記構造式の化合物

【0245】

【化49】

【0246】

（ｄ−４）：下記構造式の化合物（ｄ−４）’と（ｄ−４）’’の８６：１４混合物、下記（ｄ−４）’は塩基性の色素誘導体であり、下記（ｄ−４）’’は中性の色素誘導体に相当する。すなわち、（ｄ−４）は中性の色素誘導体（ｄ−４）’’を構成成分として含有しているため、本発明に該当する色素誘導体である。

【0247】

【化50】

【0248】

（ｄ−５）：下記構造式の化合物（塩基性の色素誘導体）

【0249】

【化51】

【0250】

ここで、試験Ｎｏ．１０１〜１０４は参考例である。
上記表１に示す結果より、比較例ｃ１１〜ｃ１２の赤色感光性樹脂組成物は、本発明の組成物に必須の成分である酸性もしくは中性の色素誘導体を含まないため、パターン直線性やザラの経時増大、ならびに針状異物の発生に大きな問題があることが判る。また、隣接する緑色画素パターンにＰＧ３６を用いた比較例ｃ１２に比べ、隣接する緑色画素パターンにＰＧ５８を用いた比較例ｃ１１は針状異物の発生が特に顕著であった。これは、比較例の赤色感光性樹脂組成物が、ＰＧ５８との相性が悪いことを示す結果である。
なお、例えば参考例１０１〜１０２に示す赤色感光性樹脂組成物は、本発明の組成物に必須の成分である酸性もしくは中性の色素誘導体を含むため、パターン直線性やザラの経時増大、ならびに針状異物の発生が改善されていることが判る。また、隣接する緑色画素パターンにＰＧ３６を用いた参考例１０２に比べ、隣接する緑色画素パターンにＰＧ５８を用いた参考例１０１の方が針状異物の発生がより抑えられていることが判る。これは、赤色感光性樹脂組成物が、ＰＧ５８との相性に優れていることを示す結果である。さらに、本実施例の中で現像樹脂として式（Ａ１）の化合物（Ｃ−２）を用いたものが、針状異物の発生抑制において顕著な効果を奏することが分かる。

【0251】

さらに、上記表１に示した実施例赤色感光性樹脂組成物について、その色相を確認した結果、そのすべてが前記分光特性に係る条件＜Ａ＞を満たすことを確認した。

【符号の説明】

【0252】

１０ 固体撮像素子
１１ 上部平坦化膜
１２ 下部平坦化膜
１５ マイクロレンズ
２０ カラーフィルター
２０Ｂ，２０Ｇ，２０Ｒ カラーフィルター画素部

【図1】