特許 6234066 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6234066

(24)【登録日】2017年11月2日

(45)【発行日】2017年11月22日

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20171113BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 F

【請求項の数】1

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2013-109373(P2013-109373)

(22)【出願日】2013年5月23日

(65)【公開番号】特開2014-229800(P2014-229800A)

(43)【公開日】2014年12月8日

【審査請求日】2016年3月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】梶原 佑介

(72)【発明者】

【氏名】高木 敦史

【審査官】 内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０５６３８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−１４８６４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０７０２９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０１９６９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０５５３３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０１５２３４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該加工手段の加工条件を入力する入力手段と、
該入力手段で入力された加工条件を表示する表示手段と、
作業者を特定する識別コードを読み取って作業者を特定する読取手段と、
各構成要素を制御する制御手段と、を備え、
該制御手段は、
該表示手段に表示する複数のアドバイス情報を記憶するアドバイス情報記憶部と、
該加工装置の各種エラーの発生と該エラーの発生時刻とを処理情報として記憶する処理記憶部と、
該処理記憶部に記憶された該読取手段で特定された該作業者の処理情報を集計する集計部と、
該集計部の集計結果に対応する該アドバイス情報を選定し、該読取手段で特定された該作業者に対する該アドバイス情報を該表示手段に表示するアドバイス情報選定部と、を備え、
該アドバイス情報選定部は、該特定された該作業者が前回の作業時に発生させたエラーの発生を回避させるアドバイス情報を選定する加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスや電子部品の製造工程では、半導体ウエーハやセラミックス基板等の各種素材からなる板状の被加工物を、研削装置のスピンドルに装着された研削ホイールによって研削して所定の厚みに形成した後、切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードやレーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割する。これら加工装置は複数の作業者によって使用されるが、複数の作業者への伝言を残すため、装置には市販のメッセージボード等を装着する等して、注意事項等を周知することが行われている。また、加工装置が何らかのトラブルで加工停止となった場合、所定の作業者の携帯電話に停止したことを知らせるシステムが開発されており、特に重要であるトラブル情報について、トラブル発生直後に作業者に連絡することは可能となっている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−１１２９３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、作業者の交代などの際に伝達すべき情報、例えば、これまでに頻発し今後も起こりうるであろうトラブルやその対処方法、近々実施すべき作業の情報は、誰かが装置のログを確認したりして、メッセージボード等に書き込んだりして周知する必要があった。また、作業者によって、実施する作業が細かく制限されている場合、どの作業者に対してどういった情報を伝達するかを区別し、作業者毎に必要とする情報を提供しないと正しく情報が伝わらない可能性があった。

【0005】

本発明の目的は、作業者に対して適切に情報を提供することができる加工装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該加工手段の加工条件を入力する入力手段と、該入力手段で入力された加工条件を表示する表示手段と、作業者を特定する識別コードを読み取って作業者を特定する読取手段と、各構成要素を制御する制御手段と、を備え、該制御手段は、該表示手段に表示する複数のアドバイス情報を記憶するアドバイス情報記憶部と、加工装置の各種エラーの発生と該エラーの発生時刻とを処理情報として記憶する処理記憶部と、該処理記憶部に記憶された該読取手段で特定された該作業者の処理情報を集計する集計部と、該集計部の集計結果に対応する該アドバイス情報を選定し、該読取手段で特定された該作業者に対する該アドバイス情報を該表示手段に表示するアドバイス情報選定部と、を備え、該アドバイス情報選定部は、該特定された該作業者が前回の作業時に発生させたエラーの発生を回避させるアドバイス情報を選定することを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明に係る加工装置は、作業者を特定する識別コードを読み取って作業者を特定する読取手段と、各構成要素を制御する制御手段と、を備える。制御手段は、表示手段に表示する複数のアドバイス情報を記憶するアドバイス情報記憶部と、加工装置で実施した処理と処理の発生時刻とを処理情報として記憶する処理記憶部と、処理記憶部に記憶された読取手段で特定された作業者の処理情報を集計する集計部と、集計部の集計結果に対応するアドバイス情報を選定し、読取手段で特定された作業者に対するアドバイス情報を表示手段に表示するアドバイス情報選定部と、を備える。本発明に係る加工装置によれば、作業者に対して適切に情報を提供することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態に係るブロック図である。

【図3】図３は、実施形態に係るバーコードリーダを示す図である。

【図4】図４は、実施形態に係るバーコードリーダによる識別コードの読取方法を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下に、本発明の実施形態に係る加工装置につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記の実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。

【0010】

［実施形態］
図１から図４を参照して、実施形態について説明する。本実施形態は、加工装置に関する。図１は、本発明の実施形態に係る加工装置を示す斜視図、図２は、実施形態に係るブロック図、図３は、実施形態に係るバーコードリーダを示す図、図４は、実施形態に係るバーコードリーダによる識別コードの読取方法を示す図である。

【0011】

図１に示すように、実施形態に係る加工装置１は、チャックテーブル３と、加工手段１０と、表示モニタ４と、バーコードリーダ５と、制御手段３０とを含んで構成されている。本実施形態の表示モニタ４は、入力手段としての機能と、表示手段としての機能とを有する。また、本実施形態のバーコードリーダ５は、読取手段の構成要素である。制御手段３０は、図２に示すように、アドバイス情報記憶部３１と、処理記憶部３２と、集計部３３とを含んで構成されている。

【0012】

図１に戻り、チャックテーブル３、表示モニタ４、バーコードリーダ５、加工手段１０および制御手段３０は、それぞれ加工装置１の本体２に配置されている。本体２は、箱状の筐体である。チャックテーブル３は、被加工物Ｗを保持する。実施形態のチャックテーブル３は、保持面３ａに被加工物Ｗを吸引保持する。保持面３ａは、吸引源と連通しており、吸引源から供給される負圧によって被加工物Ｗを吸引保持する。チャックテーブル３は、Ｚ軸回りに回転可能である。

【0013】

被加工物Ｗは、例えば、半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。被加工物Ｗは、例えば、粘着テープＴを介して環状のフレームＦに貼着された状態で、チャックテーブル３上に載置され、チャックテーブル３によって保持される。

【0014】

加工手段１０は、チャックテーブル３に保持された被加工物Ｗを加工する。実施形態に係る加工手段１０は、切削手段であり、切削ブレード１１を有する。加工手段１０は、回転する切削ブレード１１によって、被加工物Ｗに対して切削加工を施す。加工装置１は、本体２に対してチャックテーブル３をＸ軸方向に相対移動させるＸ軸移動手段を有する。また、加工装置１は、本体２に対して加工手段１０をＹ軸方向に相対移動させるＹ軸移動手段と、本体２に対して加工手段１０をＺ軸方向に相対移動させるＺ軸移動手段とを有する。加工装置１は、各移動手段によって、チャックテーブル３と加工手段１０とを相対移動させることにより、チャックテーブル３に保持された被加工物Ｗを加工する。

【0015】

表示モニタ４は、作業者が加工手段１０の加工条件を入力する入力手段としての機能と、入力手段で入力された加工条件を表示する表示手段としての機能とを有する。本実施形態の表示モニタ４は、入力手段としてのタッチパネルを有するモニタ画面４１を備えている。モニタ画面４１の前面は、タッチパネルとなっている。作業者は、タッチパネルを操作して加工条件を含む各種の情報を入力することができる。

【0016】

また、モニタ画面４１は、入力手段で入力された加工条件を表示する。モニタ画面４１は、加工条件を含む各種の情報を表示することができる。また、本実施形態のモニタ画面４１は、作業者に対するアドバイス情報を表示する機能を有している。表示モニタ４は、例えば、本体２の側面や正面に配置される。

【0017】

制御手段３０は、加工装置１の各構成要素を制御する。制御手段３０は、例えば、コンピュータを有する電子制御ユニットである。実施形態の制御手段３０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に係る移動手段、チャックテーブル３、加工手段１０、表示モニタ４およびバーコードリーダ５を制御する。

【0018】

バーコードリーダ５は、作業者を識別する識別コードを読み取る。本実施形態では、制御手段３０とバーコードリーダ５とを含んで読取手段が構成されている。制御手段３０は、バーコードリーダ５が読み取った識別コードに基づいて、作業者を特定する。バーコードリーダ５は、例えば、本体２における表示モニタ４の近傍に配置される。バーコードリーダ５は、表示モニタ４を介して制御手段３０と接続されている。バーコードリーダ５による識別コードの読み込み等の詳細については、後述する。

【0019】

図２に示すように、制御手段３０は、アドバイス情報記憶部３１と、処理記憶部３２と、集計部３３と、アドバイス情報選定部３４と、集計項目記憶部３５と、作業者情報記憶部３６とを有する。

【0020】

アドバイス情報記憶部３１は、表示手段としてのモニタ画面４１に表示する複数のアドバイス情報を記憶する。アドバイス情報記憶部３１は、予め定められた各種のアドバイス情報を記憶している。記憶されるアドバイス情報としては、例えば、当該加工装置１において頻発しているエラーに係る情報、当該作業者が過去に加工装置１を操作したときに発生したエラーに係る情報、切削ブレード１１の交換時期に係る情報などが含まれる。また、アドバイス情報としては、当該作業者の操作時間に係る情報や、当該作業者の操作時間に係る統計情報が含まれてもよい。

【0021】

処理記憶部３２は、加工装置１で実施した処理と該処理の発生時刻（発生日時）とを処理情報として記憶する。処理記憶部３２は、各処理の処理コードａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，…と、各処理の発生時刻とを関連付けて記憶する。処理記憶部３２は、発生した各処理を時系列で記憶する。処理記憶部３２は、例えば、加工装置１に係る全てのログ（イベント）を処理情報として記憶する。処理記憶部３２によって記憶される処理には、例えば、アライメントエラーやカーフチェックエラー等の各種エラーの発生が含まれる。また、処理記憶部３２によって記憶される処理には、例えば、アライメントの開始や終了、切削加工の開始や終了、カーフチェックの開始や終了、各作業者による加工装置１の使用開始や終了、セットアップ等、様々なログが含まれる。

【0022】

作業者情報記憶部３６は、加工装置１に対するログインが許容される作業者についての情報が記憶されている。作業者情報記憶部３６には、作業者を特定する識別コードが少なくとも記憶されている。識別コードは、例えば、数字や記号の組み合せであり、各作業者に対して個別に割り当てられている。

【0023】

集計項目記憶部３５は、各作業者と、当該作業者に関して集計する処理とを関連付けて記憶する。例えば、作業者Ａに関してａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇの各処理を集計することが定められている場合、集計項目記憶部３５には、作業者Ａと、処理ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇとが関連付けて記憶される。

【0024】

集計部３３は、処理記憶部３２に記憶された読取手段で特定された作業者の処理情報を集計する。ここで、読取手段による作業者の特定について説明する。図３に示すように、バーコードリーダ５は、バーコード読取部５１を有する。バーコードリーダ５は、各作業者が携帯しているＩＤカード６上のバーコード６２を読み取る。ＩＤカード６の本体６１には、バーコード６２および作業者の写真６３が配置されている。バーコード読取部５１は、バーコード６２をスキャンし、取得した光信号を識別コードに復号する。

【0025】

バーコードリーダ５は、加工装置１の本体２に対して着脱可能である。バーコードリーダ５は、有線あるいは無線の通信によって、表示モニタ４や制御手段３０との間で情報を授受する。バーコード読取部５１は、受光窓５２を有する。バーコード読取部５１の内部には、光源部や受光部等が配置されている。バーコード読取部５１は、受光窓５２を介して入射する光を受光する。ＩＤカード６のバーコード６２を読み取る場合、作業者は、図４に示すように、受光窓５２をバーコード６２と対向させる。バーコード読取部５１は、バーコード６２を読み取り、取得した光信号を識別コードに復号する。バーコードリーダ５は、復号された識別コードを出力する。本実施形態では、バーコードリーダ５が出力する識別コードは、表示モニタ４を介して制御手段３０に送られる。

【0026】

制御手段３０は、バーコードリーダ５から出力された識別コードを取得すると、取得した識別コードと、作業者情報記憶部３６に記憶された情報とに基づいて、作業者を特定する。制御手段３０は、取得した識別コードが作業者情報記憶部３６に記憶された何れかの作業者の識別コードと一致する場合、当該作業者に対して加工装置１に対するログインを許可する。ログインが許可された作業者は、予め定められた操作内容の範囲内で加工装置１を操作することができる。各作業者に対して許可されている操作内容は、例えば、集計項目記憶部３５から取得することができる。例えば、作業者Ａは、処理ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇに係る操作を実行することが許可される。一例として、処理ａがアライメントに係るものである場合、作業者Ａは、アライメントに係る操作を実行することができる。

【0027】

制御手段３０の集計部３３は、作業者に対して加工装置１に対するログインが許可されると、処理記憶部３２に記憶された読取手段で特定された作業者の処理情報を集計する。集計部３３は、特定された作業者について集計すべき処理を、処理記憶部３２に記憶された処理から抽出する。例えば、特定された作業者が作業者Ｋである場合、集計部３３は、集計項目記憶部３５から作業者Ｋについて集計すべき項目を取得する。作業者Ｋについて集計すべき処理が、処理ａ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇである場合、集計部３３は、処理記憶部３２に記憶された処理のうち、処理ａ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇを抽出し、集計する。

【0028】

集計部３３によって実行される集計は、例えば、各処理の発生回数や時間あたりの発生頻度、発生間隔、これらの増減の算出を含んでいてもよい。また、集計部３３によって実行される集計は、各処理に要した時間やその増減の算出を含んでいてもよい。また、集計部３３によって実行される集計は、各種の交換作業やメンテナンスを実行すべき時期の算出を含んでいてもよい。

【0029】

集計部３３は、特定された作業者が加工装置１を操作している間に発生した処理と、それ以外の処理、例えば他の作業者が加工装置１を操作している間に発生した処理とを分けて集計するようにしてもよい。これにより、特定された作業者に適したアドバイスを選択することが可能である。

【0030】

また、集計部３３は、特定された作業者が最後に加工装置１の操作を終了(ログアウト)してから現在までに発生した処理や、現在までの所定の稼働時間の間に発生した処理など、直近に発生した処理を集計してもよい。これにより、特定された作業者に対して直近の加工装置１の状況に基づくアドバイスを行うことができる。

【0031】

アドバイス情報選定部３４は、集計部３３の集計結果に対応するアドバイス情報を選定し、読取手段で特定された作業者に対するアドバイス情報を表示手段に表示する。アドバイス情報には、挨拶が含まれてもよい。アドバイス情報選定部３４は、例えば、直近に同一のエラーが頻発している場合、その旨のアドバイス情報を選定し、当該アドバイス情報を表示モニタ４に表示する。アドバイス情報選定部３４は、例えば、エラーＷの時間あたりの発生頻度が閾値以上である場合や、エラーＷが所定時間未満の間隔で発生した場合に、エラーＷが頻発しているとのアドバイス情報を選定する。

【0032】

また、アドバイス情報選定部３４は、部品の交換時期が近づいている場合、部品の交換時期が近づいている旨のアドバイス情報を選定する。アドバイス情報選定部３４は、例えば、切削ブレード１１の交換時期が近づいている場合、ブレード交換が近づいている旨のアドバイス情報を選定し、当該アドバイス情報を表示モニタ４に表示する。切削ブレード１１の交換時期は、例えば、切削ブレード１１の加工距離や摩耗量等に基づいて予測される。作業者に対して切削ブレード１１等の交換時期が近いことを予めアドバイスしておくことにより、交換作業の準備を行っておくことが可能となる。これにより、加工装置１の稼働率の低下を抑制することができる。

【0033】

また、アドバイス情報選定部３４は、特定された作業者が過去に作業していたときに発生したエラーに基づくアドバイス情報を選定する。アドバイス情報選定部３４は、例えば、特定された作業者が前回加工装置１を操作していたときにエラーＹが発生していた場合、「前回作業時はエラーＹが発生していましたので、注意しましょう」というアドバイス情報を選定し、当該アドバイス情報を表示モニタ４に表示する。

【0034】

また、アドバイス情報選定部３４は、エラーの回避や加工時間の短縮に有用なアドバイス情報を選定する。アドバイス情報選定部３４は、例えば、特定された作業者が前回の作業時にアライメントエラーを発生させている場合、エラーの発生を回避させるアドバイス情報を選定する。一例として、アドバイス情報選定部３４は、画像処理のエラーによるアライメントエラーが発生していた場合、アライメント時の画像処理に係る設定値として適切な値についてのアドバイス情報を選定する。

【0035】

アドバイス情報選定部３４は、アライメント時の画像処理に係る設定値として適切な値を予め記憶している。また、処理記憶部３２には、画像処理に係る設定値の入力・変更に係る処理が記憶されている。アドバイス情報選定部３４は、画像処理に係る設定値を手動により設定する処理がなされ、かつ画像処理に係るエラーが発生していた場合、当該作業者に対して適切な値を用いることを推奨する旨のアドバイス情報を選定する。これにより、作業者は、エラーの発生原因を知ることができるだけでなく、エラーの発生を回避する方法を知ることができる。作業者は、マニュアルを確認することなくエラーの回避方法について学習することができるため、作業者の習熟度向上に有利である。

【0036】

加工条件等に係る各種の設定値には、加工装置１の種類や加工対象の被加工物Ｗに応じた好適な値がある。設定値の調整には、ノウハウ的な部分があり、習熟度の低い作業者が経験を積んでノウハウを取得するまでには多くの時間を要する。本実施形態に係る加工装置１によれば、記憶された処理に基づいて作業者に対して適切な設定をアドバイスすることが可能であり、短時間で作業者の習熟度を向上させることができる。また、エラーが発生した場合にそのエラーを回避するためのアドバイス情報を表示することにより、作業者が不得手とする操作を少なくしていくことができる。

【0037】

また、アドバイス情報選定部３４は、ある処理に要した時間が長かった場合、所要時間を短縮できるようなアドバイス情報を選定する。例えば、特定された作業者が前回の作業時にアライメントを行った際のアライメント時間が所定よりも長時間であった場合、アライメント時間を短縮する方法についてのアドバイス情報が選定される。例えば、アライメントターゲットの高さ位置がばらつくことでアライメントターゲットの検出に多くの時間を要することがある。アドバイス情報選定部３４は、アライメント時間が長かった場合、例えば「アライメントターゲットを確認しましょう」とのアドバイス情報を選定する。

【0038】

以上説明したように、本実施形態に係る加工装置１によれば、作業者に対して適切にアドバイス情報を表示することができる。加工装置１は、作業者を特定した後、既に記録されている動作記録から作業者ごとに必要とされる解析を実施して、解析結果から作業者にとって有用なアドバイス情報を自動的に表示する。よって、作業者は、有用なアドバイスを自動的に得ることができる。

【0039】

［実施形態の第１変形例］
上記実施形態では、読取手段はバーコードリーダ５と制御手段３０を含んで構成されていたが、例えば、バーコードリーダ５が単独で読取手段として機能してもよい。例えば、バーコードリーダ５は、作業者情報記憶部３６から作業者の識別コードを取得して、読み取った識別コードに基づいて作業者を特定する機能を有していてもよい。また、読取手段は、バーコードリーダ５に代えて、他の読取機構を備えていてもよい。読取手段は、例えば、通信によって識別コードを読み取る通信装置や、電磁的に記録された識別コードを読み取るカードリーダ等を有していていてもよい。また、読取手段は、身体的特徴を識別コードとして読み取るようにしてもよい。

【0040】

［実施形態の第２変形例］
集計部３３が特定された作業者の処理情報を集計するタイミングは、ログイン時以外であってもよい。例えば、作業者が加工装置１を操作している間に、適宜当該作業者の処理情報が集計されてもよい。また、表示モニタ４にアドバイス情報を表示するタイミングは、ログイン時以外であってもよい。例えば、集計部３３が処理情報を集計するごとに、アドバイス情報選定部３４がアドバイス情報を選定し、表示モニタ４に当該アドバイス情報を表示するようにしてもよい。このようにすれば、例えば、エラーが発生した場合に速やかにそのエラーに対応するためのアドバイス情報を表示することが可能となる。

【0041】

［実施形態の第３変形例］
集計部３３は、一人の作業者について、同一の処理に要した時間の変化を集計するようにしてもよい。例えば、アライメント時間やブレード交換に要した時間などの推移が集計されてもよい。アドバイス情報選定部３４は、所要時間が短縮してきている場合、その作業者に対して技量が向上している旨のアドバイス情報を表示するようにしてもよい。

【0042】

［実施形態の第４変形例］
上記実施形態では、加工装置１の加工手段１０が切削手段であったが、加工装置１は、切削手段に代えて、研削手段や研磨手段、レーザ加工手段等を備えていてもよい。

【0043】

［実施形態の第５変形例］
処理記憶部３２に記憶される処理情報には、作業者による指示内容が含まれてもよい。例えば、加工処理や画像処理に係る設定値の手動による入力内容が処理記憶部３２に記憶されてもよい。このようにした場合、手動による条件の設定内容が適切でなかった場合に、適切な値を使用するようにアドバイスするアドバイス情報を選定することが可能である。アドバイス情報選定部３４は、処理記憶部３２に記憶された作業者による設定値が、記憶している適切な値とは異なる場合、当該作業者に対して適切な値を用いることを推奨する旨のアドバイス情報を選定する。

【0044】

上記の実施形態および変形例に開示された内容は、適宜組み合わせて実行することができる。

【符号の説明】

【0045】

１ 加工装置
３ チャックテーブル
４ 表示モニタ
５ バーコードリーダ
１０ 加工手段
３０ 制御手段
３１ アドバイス情報記憶部
３２ 処理記憶部
３３ 集計部
３４ アドバイス情報選定部
３５ 集計項目記憶部
３６ 作業者情報記憶部
Ｗ 被加工物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】