特許6235711下層膜形成用樹脂組成物、積層体、パターン形成方法およびデバイスの製造方法

発明の名称　下層膜形成用樹脂組成物、積層体、パターン形成方法およびデバイスの製造方法

出願人　富士フイルム株式会社　（識別番号 306037311）

　　　　特許公開件数ランキング 27 位（709件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 21 位（814件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6235711

公報発行日　2017年11月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6235711

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