特許6238996光パターン化可能な軟質突出部接触面を有する静電チャック

発明の名称　光パターン化可能な軟質突出部接触面を有する静電チャック

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 300 位（103件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 338 位（76件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6238996

公報発行日　2017年11月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6238996

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