特許6240607直線型大面積プラズマリアクタ内における均一プロセスのためのガス送出及び分配

発明の名称　直線型大面積プラズマリアクタ内における均一プロセスのためのガス送出及び分配

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（235件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6240607

公報発行日　2017年11月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6240607

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