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特許6242119広角回転機構を有する露光装置
発明の名称 広角回転機構を有する露光装置
出願人 株式会社ピーエムティー （識別番号 599067053）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所 （識別番号 301021533）
特許公開件数ランキング 196 位（88件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 144 位（102件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6242119
公報発行日 2017年12月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6242119
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