【0016】
本発明において、粉状の金属又は粉状の導電性金属酸化物からなるスクラップは、半導体及び電子部品、液晶ディスプレイ、工具コーティング、ガラスコーディング、光ディスク、ハードディスク、太陽電池、リチウムイオン2次電池用正極材等に用いるスパッタリングターゲット材を粉砕して作製した粉状スクラップが挙げられる。このため、これらの構成材料に含まれている金属(例えば、Ag、Au、Co、Cr、Cu、Ga、Ge、In、Mn、Mo、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Sn、Ta、Ti、W、それらの合金、それらの導電性酸化物等)が、本発明に係る回収対象となる金属である。具体的な金属の種類を、各種用途とともに以下に列挙する:
・半導体及び電子部品:Ag, Al, Au, AuAs, AuSb, AuSi, AuSn, Al
2O
3, Cr, Cu, CuCr, CrNiAl, CrSi, GeS
2, Hf, Ir, Mo, Ni, NiV, OsRu, Pd, Pt, PtNi, Rh, Ru, Si, Ta, TaAl, Ti, WTi, WTiなど
・液晶ディスプレイ:Ag, Ag合金, Al, AlNd, Cr, InSn, ITO, Mo, MoW, Si, SiO
2, Ta, Ti, W, ZnAl, ZAO(ZnO+Al
2O
3)など
・工具コーティング:Cr, CrAl, Ti, TiAlなど
・ガラスコーティング:Ag, Ag合金, Al, Bi, Cr, InSn, ITO, Nb, Nb
2O
5, NiCr, Si, SiO
2, Sn, Ta
2O
5, Ti, W, ZAO(ZnO+Al
2O
3), Znなど
・光ディスク:Al
2O
3, C, Co合金, Cr, Fe合金, Ta, Tb合金, Te合金, Pt, Pt合金など
・ハードディスク:Al
2O
3, C, CoCr, CoCrTa, CoCrPt, Cr, Cr合金, Cr酸化物, MgO, Mo, NiAl, NiSi, SiC, Ta, Ta
2O
5, Ti酸化物, V, Wなど
・太陽電池:Ag, Al, CIG(Cu+In+Ga), CuGa, ITO, Mo, Ni/NiV, Sn, ZAO(ZnO+Al
2O
3)など
・リチウムイオン2次電池用正極材:正極材としてLiCoO
2、LiNiO
2、LiMn
2O
4、Li(CoxNiyMnz)O
2 〔x+y+z=1〕など、金属としてNi、Co、Mnなど、合金としてNiCoなど