発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献１に記載の半導体検査装置のように、ガルバノスキャナにより走査することによって、検査対象物の一定の範囲を比較的高速に検査することが可能である。ところが、特許文献１に記載の半導体検査装置は、半導体デバイスに照射されるパルスレーザ光と、検出されるテラヘルツ波とが同軸となる、いわば同軸落射型の検査装置となっている。このような同軸落射型の検査装置では、パルスレーザ光を透過する一方で、テラヘルツ波を反射するため、ＩＴＯ膜付き光学板を設ける必要があった。このため、検査装置の構成が複雑化する虞があり、改善が求められている。 本発明は、課題に鑑みなされたものであり、検査対象物をパルス光で走査するための装置構成を簡略化する技術を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

第１の態様に係る検査装置によると、走査機構によりパルス光で高速に走査することができる。また、交差する方向に放射される電磁波を検出するため、従来のように、パルス光と同軸に放射される電磁波を、別方向に反射するためのＩＴＯ付き光学板を用いる必要がない。このため、装置構成を簡略化することができる。
また、電場強度の分布を視覚的に把握することができる。
また、電場強度の取得位置を正しく反映した電場強度分布画像を取得することができる。 また、第２の態様に係る検査装置によると、電磁波の時間波形を復元することができる。