特許6246830５０ｎｍ以下のライン間寸法を有するパターン化材料を処理する際におけるアンチパターン崩壊を回避するための、界面活性剤及び疎水剤を含む組成物の使用

発明の名称　５０ｎｍ以下のライン間寸法を有するパターン化材料を処理する際におけるアンチパターン崩壊を回避するための、界面活性剤及び疎水剤を含む組成物の使用

出願人　ビーエーエスエフ　ソシエタス・ヨーロピア　（識別番号 508020155）

　　　　特許公開件数ランキング 117 位（267件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 219 位（136件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6246830

公報発行日　2017年12月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6246830

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